JPH0421906A - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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JPH0421906A
JPH0421906A JP12513490A JP12513490A JPH0421906A JP H0421906 A JPH0421906 A JP H0421906A JP 12513490 A JP12513490 A JP 12513490A JP 12513490 A JP12513490 A JP 12513490A JP H0421906 A JPH0421906 A JP H0421906A
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JP
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soft magnetic
gap
magnetic thin
thin film
angle
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JP12513490A
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Japanese (ja)
Inventor
Takanori Hara
孝則 原
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Sharp Corp
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Abstract

PURPOSE:To lessen the generation of cracks in soft magnetic thin films or substrates by providing a central region intersecting with the gap of the soft magnetic thin films in such a manner that the angle of inclination with the gap has the angle smaller than the angle of the regions at the ends. CONSTITUTION:The inclined wall surfaces symmetrical with a center line in-between are formed to the two-stepped inclined shape, the angle of inclination of which with the center line is sharper on a base 1b side than on a front 1a side at the time of providing grooves 5 having an approximately V-shaped section on substrates 1. Consequently, the soft magnetic thin films 2 exposed on the sliding surface (upper surface in Fig.) on which a magnetic tape slides are formed to the two-stepped inclined shape, the angle of inclination of which with the gap 12 is smaller in the center region 2c intersecting with the gap 12 than in the end regions 2b extending obliquely from both ends of this central region 2c respectively toward the side. The thermal stresses, etc., occurring in the difference in the coefft. of thermal expansion of the above- mentioned magnetic head are decreased at the time of joining the above-mentioned substrate blocks 11, 11 to each other under pressurization. Consequently, the generation of the cracks in the soft magnetic thin films 2 or the substrates 1 is lessened.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ビデオテープレコーダー(以下、VTRと略
す)等の磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘッドに関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic head used in a magnetic recording/reproducing device such as a video tape recorder (hereinafter abbreviated as VTR).

〔従来の技術〕[Conventional technology]

磁気記録の高密度化に伴って、例えばメタルテープ等の
高保持力媒体を用いることが主流となってきている。一
方、このような高保持力媒体に対応して、磁気ヘッドに
使用されるコア材料には高い飽和磁束密度を有するもの
が要求されている。
With the increase in the density of magnetic recording, the use of high coercivity media such as metal tapes has become mainstream. On the other hand, in response to such high coercive force media, core materials used in magnetic heads are required to have a high saturation magnetic flux density.

そこで、このような高い飽和磁束密度を有する磁気ヘッ
ドとして、例えば第9図に示すように、相互に加圧接合
される一対の基板21・21の表面に、高い飽和磁束密
度を有する軟磁性合金、例えばFe−A 1−si系合
金からなる軟磁性薄膜22を真空蒸着等により形成した
後、低融点ガラス等を挟んで加熱溶融させて相互に接合
することにより作製したヘッドチップ25が用いられて
いる。
Therefore, as a magnetic head having such a high saturation magnetic flux density, for example, as shown in FIG. For example, a head chip 25 is used, which is manufactured by forming a soft magnetic thin film 22 made of a Fe-A 1-si alloy by vacuum evaporation or the like, and then bonding the soft magnetic thin film 22 to each other by sandwiching a low-melting point glass or the like and melting the film by heating. ing.

このようなヘッドチップ25を用いた磁気ヘッドは、磁
気テープが摺動する摺動面に表出する上記軟磁性薄膜2
2がギャップ23と交差する方向に傾斜して延びるよう
に斜めに形成されている。
A magnetic head using such a head chip 25 has the soft magnetic thin film 2 exposed on the sliding surface on which the magnetic tape slides.
2 is formed obliquely so as to extend in a direction intersecting the gap 23.

これによって、磁気ヘッドにテープを摺動させる際、偏
摩耗に強く、また、軟磁性薄膜22を支持する基板21
に例えばフェライト等の酸化物磁性材料を用いた場合に
、酸化物磁性材料と軟磁性薄膜22との境界がギャップ
23と平行になっていると、上記境界の両側で磁気特性
が不連続になり、疑似ギャップの作用をして磁気ヘッド
の性能に悪影響を与えるという問題点も回避できる。
As a result, when the tape is slid on the magnetic head, the substrate 22 that supports the soft magnetic thin film 22 is resistant to uneven wear.
For example, when an oxide magnetic material such as ferrite is used, if the boundary between the oxide magnetic material and the soft magnetic thin film 22 is parallel to the gap 23, the magnetic properties will become discontinuous on both sides of the boundary. It is also possible to avoid the problem that the performance of the magnetic head is adversely affected by the effect of a pseudo gap.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

ところが、上記構造の磁気ヘッドでは、トラック幅を大
きくして構成する場合等に軟磁性薄膜22もしくは基板
21にクラックが生じ易いという問題点を有している。
However, the magnetic head having the above structure has a problem in that cracks are likely to occur in the soft magnetic thin film 22 or the substrate 21 when the track width is increased.

つまり、上記の構造では、軟磁性薄膜22がギャップ2
3と交差する部分でのギャップ方向の幅でトラック幅が
与えられるために、トラック幅を大きくしようとする場
合には、軟磁性薄膜22の膜厚を厚くすることが必要で
ある。そして、このように、軟磁性薄膜22の膜厚を厚
くすると、一対の各基板21・21を、例えば低融点ガ
ラス等を挟んで加熱溶融させることで相互に接合する際
、軟磁性薄膜22と基板21との熱膨張係数の差に起因
する熱応力も増大し、このため、軟磁性薄膜22もしく
は基板21にクランクが生じ易いものとなっている。
That is, in the above structure, the soft magnetic thin film 22
Since the track width is given by the width in the gap direction at the portion that intersects with 3, in order to increase the track width, it is necessary to increase the thickness of the soft magnetic thin film 22. When the thickness of the soft magnetic thin film 22 is increased in this way, when the pair of substrates 21 are bonded to each other by heating and melting, for example, by sandwiching a low melting point glass or the like, the soft magnetic thin film 22 becomes thicker. Thermal stress due to the difference in thermal expansion coefficient with the substrate 21 also increases, making it easy for the soft magnetic thin film 22 or the substrate 21 to crack.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明に係る磁気ヘッドは、上記課題を解決するために
、基板とこの基板に介設された軟磁性薄膜とから成るヘ
ッドチップが設けられ、このヘッドチップにおける磁気
記録担体の摺動面に表出する上記軟磁性薄膜の端面が、
ギャップと交差する方向に傾斜して延びる磁気ヘッドに
おいて、上記軟磁性薄膜は、上記摺動面におけるギャッ
プとの傾斜角を、上記ギャップと交差する中央部領域の
方がこの中央部領域の両端からそれぞれ側方に延びる端
部領域よりも小さくして形成されていることを特徴とし
ている。
In order to solve the above problems, a magnetic head according to the present invention is provided with a head chip consisting of a substrate and a soft magnetic thin film interposed on the substrate, and is provided with a head chip that is exposed on the sliding surface of a magnetic recording carrier in this head chip. The end face of the soft magnetic thin film to be released is
In a magnetic head that extends obliquely in a direction intersecting the gap, the soft magnetic thin film has an inclination angle with respect to the gap on the sliding surface such that the central region intersecting the gap is closer to the opposite end of the central region. They are each characterized in that they are formed smaller than the laterally extending end regions.

〔作 用〕[For production]

上記の構成によれば、軟磁性薄膜のギャップと交差する
中央部領域は、上記ギャップとの傾斜角が端部領域より
小さな角度をなして設けられていることから、ギャップ
と交差する部分でのギャップ方向の幅で与えられるトラ
ック幅は、従来と同一の膜厚の場合には、より大きくな
る。
According to the above configuration, since the central region intersecting with the gap of the soft magnetic thin film is provided at a smaller inclination angle with the gap than the end region, The track width given by the width in the gap direction becomes larger when the film thickness is the same as the conventional one.

これにより、軟磁性薄膜の膜厚をより薄くして、より大
きなトラック幅を得ることができるので、例えば、従来
、軟磁性薄膜と基板との熱膨張係数の差等に起因する軟
磁性薄膜もしくは基板でのクシツクの発生が低減される
This makes it possible to reduce the thickness of the soft magnetic thin film and obtain a larger track width. The occurrence of scratches on the substrate is reduced.

〔実施例〕〔Example〕

本発明の一実施例を第1図ないし第8図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 8.

本実施例の磁気ヘッドは、第1図に示すようにヘッドチ
ップ10が、例えば感光性結晶化ガラス、結晶化ガラス
、あるいはセラミックス等の非磁性材料や、軟磁性フェ
ライト等の酸化物磁性材料等の耐摩耗性に優れた材料か
ら成る一対の基板1・1を低融点ガラス3によって相互
に接合することにより作製されている。そして、上記基
板1・1の各接合面に、それぞれ、例えばFe−A I
!、 −5i系合金からなる軟磁性薄膜2が形成されて
いる。
In the magnetic head of this embodiment, as shown in FIG. 1, the head chip 10 is made of a non-magnetic material such as photosensitive crystallized glass, crystallized glass, or ceramics, or an oxide magnetic material such as soft magnetic ferrite. It is manufactured by bonding a pair of substrates 1 made of a material with excellent wear resistance to each other with a low melting point glass 3. Then, on each bonding surface of the substrates 1, 1, for example, Fe-A I
! A soft magnetic thin film 2 made of a -5i alloy is formed.

上記構造の磁気ヘッドの製造過程を、以下、順をおって
説明する。
The manufacturing process of the magnetic head having the above structure will be explained in order below.

まず、第2図に示すように、上述の非磁性材料または酸
化物磁性材料から成る基板1は、略直方体形状を素材と
して、その表面1aに、所定のピッチ寸法Aで、複数の
溝5・・・を相互に隣接して互いに平行に延びる形状で
形成することによって作製される。これらの溝5・・・
は、それぞれ、中心線を挟んで対称な傾斜壁面で挟まれ
た断面路7学状に形成されている。
First, as shown in FIG. 2, a substrate 1 made of the above-mentioned non-magnetic material or oxide magnetic material has a substantially rectangular parallelepiped shape, and has a plurality of grooves 5 and 5 on its surface 1a with a predetermined pitch dimension A. ... are formed in shapes that are adjacent to each other and extend parallel to each other. These grooves 5...
are each formed in a cross-sectional shape of seven sections sandwiched between symmetrical inclined wall surfaces with the center line in between.

そして、各傾斜壁面は、表面la側と底面lb側とで、
中心線に対する傾斜角が相互に異なる二段傾斜形状とな
っており、表面la側よりも底面lb側の方が鋭角的な
断面形状となっている。
Each inclined wall surface has a surface la side and a bottom surface lb side,
It has a two-stage inclined shape with mutually different inclination angles with respect to the center line, and the cross-sectional shape is more acute on the bottom surface lb side than on the surface la side.

次に、第3図に示すように、上記各溝5・・・の−方の
溝壁面5b・・・上に真空蒸着あるいはスパッタ法等に
より、前記軟磁性薄膜2が所定の膜厚、即ち、後述する
ギャップ12のトラック幅に対応する膜厚に形成される
Next, as shown in FIG. 3, the soft magnetic thin film 2 is deposited on the negative groove wall surface 5b of each groove 5 to a predetermined thickness by vacuum evaporation or sputtering. , is formed to have a film thickness corresponding to the track width of the gap 12, which will be described later.

次いで、第4図に示すように、各溝訃・・に低融点ガラ
ス3が充填され、この後に、第5図に示すように、低融
点ガラス3の表面が、谷溝5・・・の表面側の各頂点に
達するまで平面状に研磨される。
Next, as shown in FIG. 4, each groove bottom is filled with low-melting glass 3, and then, as shown in FIG. It is polished flat until each vertex on the surface side is reached.

このとき、上記軟磁性薄膜2における谷溝5・・・の表
面側頂点より突出する領域も同時に取り除かれて、研磨
面1cには、谷溝5・・・の表面側頂点に隣接して、紙
面とは直交する方向に延びる軟磁性薄膜2の端面2a・
・・が表出している。
At this time, the regions of the soft magnetic thin film 2 that protrude from the surface-side apexes of the valley grooves 5 are also removed, and the polished surface 1c has areas adjacent to the surface-side apexes of the valley grooves 5. An end surface 2a of the soft magnetic thin film 2 extending in a direction perpendicular to the plane of the paper.
...is appearing.

その後、上記基板1の研磨面1cに、第6図に示すよう
に、内部巻線溝6が、また、基板1の底面1bに外部巻
線溝7がそれぞれ形成される。そして、上記研磨面1c
、トに、酸化シリコン等の非磁性ギャップ材(図示せず
)が真空蒸着あるいはスバンタ法等により所定のギャッ
プ長に対応する膜厚で膜付けされ、ギャップ面8として
形成されて、基板ブロック11が作製される。
Thereafter, as shown in FIG. 6, internal winding grooves 6 are formed on the polished surface 1c of the substrate 1, and external winding grooves 7 are formed on the bottom surface 1b of the substrate 1. Then, the polished surface 1c
Then, a non-magnetic gap material (not shown) such as silicon oxide is applied to a film thickness corresponding to a predetermined gap length by vacuum evaporation or the Svanter method to form a gap surface 8, and a substrate block 11 is formed. is produced.

次に、第7図に示すように、一対の基板ブロック11・
11は、上記各ギャップ面8・8を互いに対面させると
共に、上記各軟磁性薄膜2の端面2a・2aを対向させ
る位置に合わせた状態で、加圧固定され、相互に接合さ
れて、コアブロック9として形成される。このとき、上
記非磁性ギャップ材を挟んで対向する各軟磁性薄膜2の
端面2a・2a間に、前記ギャップ12が形成されてい
る。
Next, as shown in FIG.
11 is pressurized and fixed with the gap surfaces 8, 8 facing each other and the end surfaces 2a, 2a of the soft magnetic thin films 2 facing each other, and bonded to each other to form a core block. Formed as 9. At this time, the gap 12 is formed between the end surfaces 2a, 2a of each soft magnetic thin film 2 facing each other with the nonmagnetic gap material in between.

上記コアブロック9は、次いで、二点鎖線にて示す位置
に沿って、所定のピッチ寸法Bで切断して、第1図に示
すヘッドチップ10が作製される。このヘッドチップ1
0には、その後、図示しないヘッドベースに接着固定し
、コイル巻線及び磁気テープ摺接面の研磨が施されて、
磁気ヘッドとして完成される。
The core block 9 is then cut at a predetermined pitch dimension B along the positions indicated by two-dot chain lines to produce the head chip 10 shown in FIG. 1. This head chip 1
0 was then adhesively fixed to a head base (not shown), and the coil winding and magnetic tape sliding surface were polished.
Completed as a magnetic head.

以上の説明のように、上記実施例においては、前述した
第2図に示すように、基板1に断面路V字状の溝5を設
ける際、それぞれ、中心線を挟んで対称な傾斜壁面は、
中心線に対する傾斜角が表面la側よりも底面1b側の
方が鋭角的な二段傾斜形状となっている。
As described above, in the above embodiment, when providing the groove 5 having a V-shaped cross section in the substrate 1, as shown in FIG. ,
It has a two-step inclined shape in which the angle of inclination with respect to the center line is more acute on the bottom surface 1b side than on the surface la side.

この結果、第1図のように、磁気テープが摺動する摺動
面(図において、上面)に表出する軟磁性薄膜2は、ギ
ャップ■2との傾斜角が、上記ギャップ12と交差する
中央部領域2Cの方がこの中央部領域2Cの両端からそ
れぞれ側方に傾斜して延びる端部領域2bよりも小さな
二段傾斜形状となっている。
As a result, as shown in FIG. 1, the soft magnetic thin film 2 exposed on the sliding surface (top surface in the figure) on which the magnetic tape slides has an inclination angle with the gap 2 that intersects the gap 12. The central region 2C has a two-step inclined shape smaller than the end regions 2b extending laterally from both ends of the central region 2C.

第8図は、ギャップ12に対して傾斜する軟磁性薄膜2
の膜厚と、この軟磁性薄膜2のギャップ方向の幅、ずな
わら、トラック幅との関係を示しており、軟磁性薄膜2
のギャップ12に対する傾斜角θとすると、トラック幅
Twは、軟磁性薄膜2の膜厚t、lこsinθを除して
得られる寸法となる。したがって、上記実施例において
は、図のように、ギャップ12に対する中央部領域2C
の傾斜角θ2は、端部領域2bの傾斜角θ、よりも小さ
いので、中央部領域2Cで与えられるトラック幅’hz
は、端部領域2bを上記ギャップ12へと延長して得ら
れるトラック幅Tw+ よりも大きくなる。
FIG. 8 shows a soft magnetic thin film 2 inclined with respect to the gap 12.
The relationship between the thickness of the soft magnetic thin film 2, the width in the gap direction, the track width, and the width of the soft magnetic thin film 2 is shown.
The track width Tw is the dimension obtained by dividing the film thickness t of the soft magnetic thin film 2 by l sin θ. Therefore, in the above embodiment, as shown in the figure, the central region 2C with respect to the gap 12
Since the inclination angle θ2 of is smaller than the inclination angle θ of the end region 2b, the track width 'hz given in the central region 2C
is larger than the track width Tw+ obtained by extending the end region 2b to the gap 12.

この結果、上記実施例においては、端部領域2bを、従
来とほぼ同一の傾斜角で形成する共に、ギャップ12に
交差する局部の中央部領域2Cの傾斜角を変えることで
、従来と同様に、前記した偏摩耗に強く、また、疑似ギ
ャップの作用の抑制効果をほぼ維持し、そして、軟磁性
薄膜2の膜厚をより薄<シて、より大きなトラック幅を
得ることができる。
As a result, in the above embodiment, the end region 2b is formed with almost the same inclination angle as the conventional one, and the inclination angle of the local central region 2C intersecting the gap 12 is changed, so that The soft magnetic thin film 2 is resistant to uneven wear, substantially maintains the effect of suppressing the effect of the pseudo gap, and can obtain a larger track width by making the soft magnetic thin film 2 thinner.

これにより、上記磁気ヘッドでは、前記各基板ブロック
11・11を相互に加圧接合する際の熱膨張係数の差に
起因する熱応力等が減少する。この結果、軟磁性薄膜2
もしくは基板1におけるクラックの発生が低減され、上
記磁気ヘッドの歩留りが向」二する。
As a result, in the magnetic head, thermal stress caused by the difference in coefficient of thermal expansion when the substrate blocks 11 are bonded to each other under pressure is reduced. As a result, the soft magnetic thin film 2
Alternatively, the occurrence of cracks in the substrate 1 is reduced, and the yield of the magnetic head is improved.

なお、上記実施例では、軟磁性薄膜2にFe−APSi
系合金を用いているが、他の軟磁性体材料を用いること
も可能である。
In the above embodiment, the soft magnetic thin film 2 is made of Fe-APSi.
Although a magnetic alloy is used, it is also possible to use other soft magnetic materials.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明に係る磁気ヘッドにおいては、以上のように、基
板に介設される軟磁性薄膜は、磁気記録担体の摺動面に
おけるギャップとの傾斜角を、上記ギャップと交差する
中央部領域の方がこの中央部領域の両端からそれぞれ側
方に延びる端部領域よりも小さくして形成されている構
成である。
As described above, in the magnetic head according to the present invention, the soft magnetic thin film interposed on the substrate changes the inclination angle with respect to the gap on the sliding surface of the magnetic recording carrier toward the central region intersecting the gap. are formed to be smaller than the end regions extending laterally from both ends of the central region.

それゆえ、軟磁性薄膜の膜厚をより薄<シて、より大き
なトラック幅を得ることができるので、例えば、従来、
軟磁性薄膜と基板との熱膨張係数の差等に起因する軟磁
性薄膜もしくは基板でのクシツクの発生を低減すること
ができるという効果を奏する。
Therefore, it is possible to obtain a larger track width by making the soft magnetic thin film thinner.
This has the effect of reducing the occurrence of wrinkles in the soft magnetic thin film or the substrate due to the difference in thermal expansion coefficient between the soft magnetic thin film and the substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図ないし第8図は本発明の一実施例を示すものであ
る。 第1図はへラドチップの斜視図である。 第2図は溝形成後の基板の要部断面図である。 第3図は上記溝の壁面の一方に軟磁性薄膜を形成した後
の基板の要部断面図である。 第4図は上記溝に低融点ガラスを充填した後の基板の要
部断面図である。 第5図は上記低融点ガラスの表面側を研磨した後の基板
の要部断面図である。 第6図は−に記工程後の基板に内部巻線溝と外部巻線溝
とを形成した基板ブロックの斜視図である。 第7図は2個の上記基板ブロックを相互に接合して形成
されたコアブロックの斜視図である。 第8図は軟磁性薄膜とトラック幅との関係を示す説明図
である。 第9図は従来例を示すもので、ヘッドチップの斜視図で
ある。 ■は基板、2は軟磁性薄膜、2Cは中央部領域、2bは
端部領域、10はへラドチップ、12はギャップである
1 to 8 show one embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of the Herad tip. FIG. 2 is a sectional view of a main part of the substrate after grooves are formed. FIG. 3 is a sectional view of a main part of the substrate after a soft magnetic thin film is formed on one of the walls of the groove. FIG. 4 is a sectional view of the main part of the substrate after the grooves are filled with low melting point glass. FIG. 5 is a sectional view of the main part of the substrate after the surface side of the low melting point glass has been polished. FIG. 6 is a perspective view of a substrate block in which internal winding grooves and external winding grooves are formed on the substrate after the steps indicated in -. FIG. 7 is a perspective view of a core block formed by joining two of the above substrate blocks to each other. FIG. 8 is an explanatory diagram showing the relationship between the soft magnetic thin film and the track width. FIG. 9 shows a conventional example, and is a perspective view of a head chip. 2 is a substrate, 2 is a soft magnetic thin film, 2C is a central region, 2b is an end region, 10 is a Herad chip, and 12 is a gap.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、基板とこの基板に介設された軟磁性薄膜とから成る
ヘッドチップが設けられ、このヘッドチップにおける磁
気記録担体の摺動面に表出する上記軟磁性油膜の端面が
、ギャップと交差する方向に傾斜して延びる磁気ヘッド
において、 上記軟磁性薄膜は、上記摺動面におけるギャップとの傾
斜角を、上記ギャップと交差する中央部領域の方がこの
中央部領域の両端からそれぞれ側方に延びる端部領域よ
りも小さくして形成されていることを特徴とする磁気ヘ
ッド。
[Claims] 1. A head chip consisting of a substrate and a soft magnetic thin film interposed on the substrate is provided, and the end surface of the soft magnetic oil film exposed on the sliding surface of the magnetic recording carrier in this head chip. However, in a magnetic head that extends obliquely in a direction intersecting the gap, the soft magnetic thin film has an inclination angle with respect to the gap on the sliding surface such that the central region intersecting the gap is larger than that in the central region. A magnetic head characterized in that it is formed smaller than end regions extending laterally from both ends.
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