JPH04216955A - 液体噴射記録ヘッド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘッドを備えた記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘッドを備えた
記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
なインク吐出口（オリフィス）、インク路及び該インク
路の一部に設けられるインクを吐出するために利用され
るエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備えて
おり、記録時においてはエネルギー発生素子の作動によ
り、インクの小滴が吐出口から噴射されて被記録紙に着
滴し、これにより印字、記録が行なわれるものである。 従来、このような液体噴射記録ヘッドを作製する方法と
して、例えば、ガラスや金属等の板を用い、該板に切削
やエッチング等の加工手段によって微細な溝を形成した
後、該溝を形成した板を他の適当な板と接合してインク
路の形成を行なう方法が知られている。

【０００３】しかしながら、斯かる従来法によって作製
される液体噴射記録ヘッドでは、切削加工されるインク
路内壁面の平滑さが不充分であったり、エッチング率の
差からインク路に歪が生じたりして、流路抵抗の一定し
たインク路が得難く、製作後の液体噴射記録ヘッドの記
録特性にバラツキが出易いといった問題があった。また
、切削加工の際に、板の欠けや割れが生じ易く、製造歩
留りが悪いという欠点もあった。また、エッチング加工
を行なう場合には、製造工程が多く、製造コストの上昇
を招くという不利もあった。更には、上記従来法に共通
する欠点として、インク路を形成した溝付き板と、イン
ク小滴を吐出させる為の吐出エネルギーを発生するため
の圧電素子や電気熱変換素子等の駆動素子（エネルギー
発生素子）が設けられた蓋板とを貼り合わせる際に、こ
れら板の位置合わせが困難であり、量産性に欠けるとい
った問題もあった。

【０００４】また、液体噴射記録ヘッドは、通常その使
用環境下にあっては、インク（一般には、水を主体とし
、多くの場合中性ではないインク、あるいは有機溶剤を
主体とするインク等）と常時接触している。それ故、液
体噴射記録ヘッドを構成するヘッド構造材料は、インク
からの影響を受けて強度低下を起こすことがなく、また
逆にインク中に、インク適性を低下させるような有害成
分を与えることの無いものが望まれる。しかし、上記従
来法においては、加工方法等の制約もあって、必ずしも
これら目的にかなった材料を選択することができなかっ
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の諸点に
鑑み成されたものであって、安価、精密であり、また信
頼性も高い液体噴射記録ヘッド、その製造方法、及び本
ヘッドを備えた記録装置を提供することを目的とする。

【０００６】また、インク路が精度良く正確に、且つ歩
留り良く微細加工された構成を有する液体噴射記録ヘッ
ドを供給することが可能な新規な液体噴射記録ヘッド、
その製造方法、及び本ヘッドを備えた記録装置を提供す
ることも目的とする。

【０００７】また、インクとの相互影響が少なく、機械
的強度や耐薬品性に優れた液体噴射記録ヘッドを供給し
得る新規な液体噴射記録ヘッド、その製造方法、及び本
ヘッドを備えた記録装置を提供することも目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記問題点
を解決することを目的として、リソグラフィーの手法に
よる液体噴射記録ヘッドの製造方法を種々検討した結果
、ヘッドの構成材料に熱架橋型ポジレジストを用いてパ
ターン潜像の形成前に予め熱架橋を行なうことにより、
現像時にいわゆる膜べりがほとんどない、従って高アス
ペクト比を有するパターンを得ることができ、インクに
対する耐性も高く、構造的にも充分な強度を有するヘッ
ドを製造し得ることを知得して、本発明を完成するに到
ったものである。即ち、本発明はインク吐出口と、イン
ク供給口と、及び前記インク吐出口とインク供給口とを
連通するインク路と、該インク路に対応して配設されイ
ンクを吐出するために利用されるエネルギーを発生する
エネルギー発生素子とを有する液体噴射記録ヘッドの製
造方法において、 （Ａ）エネルギー発生素子が配設された基板上に熱架橋
型ポジレジストからなるインク路形成用第１感光性材料
層を設けて加熱架橋後、前記架橋された第１感光性材料
層に電離放射線によるインク路形成用パターン露光を行
なう工程、 （Ｂ）前記露光を行なった第１感光性材料層に熱架橋型
ポジレジストからなる第２感光性材料層を設けて加熱架
橋後、前記架橋した第２感光性材料層に電離放射線によ
るインク吐出口及びインク供給口形成用パターン露光を
行なう工程、 （Ｃ）前記第１及び第２の感光性材料層に形成されたパ
ターン露光による潜像を現像する工程、上記（Ａ）、（
Ｂ）、（Ｃ）の各工程を順次行なう液体噴射記録ヘッド
の製造方法に関するもので、また、インク吐出口と、該
インク吐出口と連通するインク路と、該インク路に対応
して配設されインクを吐出するために利用されるエネル
ギーを発生するエネルギー発生素子とを有する液体噴射
記録ヘッドの製造方法において、（Ａ）エネルギー発生
素子が配設されインク供給口が設けられた基板上に熱架
橋型ポジレジストからなるインク路形成用第１感光性材
料層を設けて加熱架橋後、前記架橋された第１感光性材
料層に電離放射線によるインク路形成用パターン露光を
行なう工程、 （Ｂ）前記露光を行なった第１感光性材料層に熱架橋型
ポジレジストからなる第２感光性材料層を設けて加熱架
橋後、前記架橋した第２感光性材料層に電離放射線によ
るインク吐出口形成用パターン露光を行なう工程、（Ｃ
）前記第１及び第２の感光性材料層に形成されたパター
ン露光による潜像を現像する工程、上記（Ａ）、（Ｂ）
、（Ｃ）の各工程を順次行なうもので、更に上記方法で
製造したヘッド、及び同ヘッドを備えた記録装置に関す
るものである。

【０００９】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明
する。

【００１０】図１乃至図７は本発明に係る製造方法の説
明図で、本発明に係るヘッドは図１中に示す基板１上に
形成する。この基板１は、例えばガラス、セラミックス
、プラスチックス、又は金属等で構成され、後述するイ
ンク路構成部材の一部として機能し、また後述する感光
性材料層の支持体として機能するもので、上記目的に合
致するものであれば、その形状、材質等、特に制限され
ることなく使用できる。上記基板１上には、電気熱変換
素子、圧電素子等のインクを吐出するために利用される
エネルギーを発生するエネルギー発生素子２を所定数（
本図においては２個）配設してある。このような、エネ
ルギー発生素子２によって、インク小滴を吐出させるた
めの吐出エネルギーがインクに与えられ、記録が行なわ
れる。因に、例えば、上記エネルギー発生素子２として
電気熱変換素子を用いるときには、この素子が近傍の記
録液を加熱することにより、吐出エネルギーを発生する
。また、例えば、圧電素子を用いるときは、この素子の
機械的振動によって、吐出エネルギーを発生する。

【００１１】尚、これらの素子２には、これら素子２を
動作させるための制御信号入力用電極（図示せず）を接
続してある。また、一般にはこれら吐出エネルギー発生
素子の耐用性の向上を目的として、保護層等の各種機能
層を設けることもできる。

【００１２】次いで図２に示すように、上記エネルギー
発生素子２を配設した基板１上に、熱架橋型ポジレジス
トよりなる第１感光性材料層３を設ける。感光性材料層
３の形成方法としては、感光性材料を溶解した溶液を、
ソルベントコート法によって塗布しても良いし、また、
感光性材料を塗布したドライフィルムを作製し、ラミネ
ート法によって基板上に積層しても良い。

【００１３】ソルベントコート法とは、該感光性材料溶
液をスピンコーター、ロールコーターあるいはワイヤー
バー等により基板上に塗布した後溶剤を乾燥除去し、感
光性材料層を形成する方法である。

【００１４】本発明において使用する架橋型ポジレジス
トとは下記一般式

【００１５】

【化１】　　 （Ｒ、Ｒ’は水素以外の側鎖を示す）で示される露光に
より崩壊可能な構造単位と、架橋可能な構造単位とを有
する高分子化合物である。

【００１６】崩壊可能な構造単位としては、例えばポリ
メチルメタクリレート・ポリエチルメタクリレート・ポ
リｉｓｏ　−プロピルメタクリレート・ポリｎ−ブチル
メタクリレート・ポリｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート
等のメタクリル酸のエステル類、ポリα−メチルスチレ
ン、ポリイソブチレン、ポリメチルイソプロピニルケト
ン、ポリビニルケトン、ポリフェニルイソプロピニルケ
トン等が挙げられる。

【００１７】また、架橋可能な構造単位としては、例え
ばポリメタクリル酸およびそれらの酸塩化物、アルキル
エステル等が挙げられる。上記構造単位のうち、崩壊可
能な構造単位としては感度の点からメタクリル酸のエス
テル類が好ましく、架橋可能な構造単位としては架橋の
起こりやすさからポリメタクリル酸、およびその酸塩化
物が好ましい。

【００１８】架橋可能な構造単位と崩壊可能な構造単位
との共重合割合（モル比）としては、１：１００〜１０
０：１０とすることが好ましい。これらの架橋可能な構
造単位と、崩壊可能な構造単位とを共重合した熱架橋型
ポジレジストの具体例としては、下記の構造のポリマー
が挙げられるが本発明はこれらに限定されるものではな
い。

【００１９】

【化２】 （式中Ｒ、Ｒ’はアルキル基を示し、ｌ、ｍ、ｎは任意
の整数を示す。）また、下記式

【００２０】

【化３】 （式中ｐは整数を示す。） で示されるポリメチルメタクリルアミドの様に崩壊可能
な構造単位と架橋可能な構造単位が同一である化合物も
使用可能である。

【００２１】さらに、上記構造単位以外の構造単位を架
橋型ポジレジストの物性（溶解性、成膜性、ガラス転移
点）調整の目的で共重合させることも可能である。

【００２２】これらの熱架橋型ポジレジストは加熱手段
により簡単に分子間に架橋を生じてゲル化し、溶剤に不
溶となると共に、Ｘ線、電子線又は主発光波長が３００
ｎｍ以下のＤｅｅｐＵＶ光等の電離放射線を照射するこ
とによって分子鎖の切断を生じ、溶剤に可溶となるもの
である。

【００２３】本発明においては、次に前記のようにして
基板１上に形成した第１感光性材料層３を加熱架橋し溶
剤に対して不溶化するものである。加熱による硬化条件
としては、１５０〜２２０℃で５〜６０分間程度保つこ
とが好ましい。

【００２４】本発明においては、上記のようにして架橋
、不溶化した第１感光性材料層３の上面に、図３に示す
ように液流路形成用マスク４を重ね、図３中矢印Ａの方
向から電離放射線照射を行なうものである。これにより
露光部分の架橋ポジレジストの分子鎖を切断し、図４に
示すように第１感光性材料層３中にインク路のパターン
潜像形成部６を形成して、後述の現像工程での現像を可
能とするものである。本露光手段としては、フォトマス
クを介しての一括露光であっても良いし、また電子線あ
るいはイオンビーム等による直接描画でも良い。

【００２５】本発明においては、次いで上記のようにし
てインク路の潜像をパターンニングした第１感光性材料
層３上に、図４に示すように更に熱架橋型ポジレジスト
からなる第２感光性材料層５を積層するものである。第
２感光性材料層５に用いられるレジストとしては、第１
感光性材料層で用いたものと同じものが使用できる。こ
れらのレジストを第１感光性材料層３の上に積層するに
際しては、下層である第１感光性材料層３の潜像形成部
が溶解除去される等の悪影響を及ぼさないように積層す
る必要がある。第２感光性材料層５の形成がドライフィ
ルムによるラミネート法であれば、第１感光性材料層に
対する影響は極めて軽微である。また、ソルベントコー
ト法を使用する場合においては、第１感光性材料層３の
露光部分（即ち、分子鎖切断により現像可能な部分）が
第２感光性材料層５の塗布時にその塗布溶剤により影響
を受けないように注意する必要がある。また、第１感光
性材料層３の表面にシランカップリング剤等を薄くコー
ティングする等の手段を用いれば、塗布溶剤の制約なし
に２層を形成することが可能である。

【００２６】本発明においては、このようにして積層し
た第２感光性材料層５を加熱架橋する。架橋条件は、前
記第１感光性材料層における架橋条件と同じである。

【００２７】次いで前記手段により形成された、２層構
成からなる感光性材料層３，５に対して、更に図５に示
すように、インク吐出口及びインク供給口を形成するた
めのパターン露光を行なう。即ち、感光性材料層５の上
にマスク７を置き、マスク上方向（図５中矢印Ｂの方向
）から電離放射線照射を行なう。電離放射線の種類、及
び照射方法としては、前記種類及び方法が採用できる。 この照射により、図６に示すように感光性材料層５にイ
ンク吐出口のパターン潜像形成部８、及びインク供給口
のパターン潜像形成部９を形成する。この第２感光性材
料層５のパターン露光は前述のように電離放射線を用い
るものであるが、インク吐出口及びインク吐出口のパタ
ーン露光はインク路のパターン潜像形成部６よりも小さ
い部分に対して施され、更に第１感光性材料層３、及び
第２感光性材料層５の両者がポジ型レジストであるため
、吐出口及びインク供給口の露光が第１感光性材料層３
を感光させても問題はない。

【００２８】本発明においては、上記のようにして基板
１上に順次第１感光性材料３、第２感光性材料５を積層
して形成したブロック体１０を、次いで現像処理し、こ
れにより上記潜像形成部６，８，９を溶解除去して、図
７に示すように、それぞれ対応するインク路１１、イン
ク吐出口１２、インク供給口１３を形成し、これにより
本発明の液体噴射記録ヘッドを得るものである。現像は
、第１及び第２感光性材料層３，５の露光部が同一の溶
剤によって現像可能なときには一括して現像できるが、
同一の溶剤で現像できないときには、それぞれに適した
溶剤で順次現像する。図７に示す液体噴射記録ヘッドの
場合においては、インクの吐出方向およびインク供給口
がいずれも基板１の同じ面側に存在する為、現像は上層
の第２感光性材料層５に対して行なった後に、下層の第
１感光性材料層３を現像することが望ましい。また、図
７に示す液体噴射記録ヘッドに於いては、インク供給の
為の接合部材１４を設けてインクの供給を行なうことが
可能である。

【００２９】一方、図８に示した液体噴射記録ヘッドに
おいては、インクの供給口１３が基板１を貫通して形成
されており、該構成を取る場合に於いては下層の第１感
光性材料層３を先に現像しても構わない。この記録ヘッ
ドにおいては、図９に示すようなインク供給部材１５を
設けてインクの供給を行なうことが可能である。もちろ
ん、これ以外の手段、形状によってインクの供給を行な
うことも可能である。尚、本例では、２つの吐出口を有
する液体噴射記録ヘッドを示したが、もちろんこれ以上
の多数の吐出口が並設された高密度マルチアレイ液体噴
射記録ヘッドの場合でも同様にして製造できるものであ
る。

【００３０】本発明は、特に液体噴射記録（インクジェ
ット記録）方式の中でもバブルジェット方式の記録ヘッ
ド、記録装置に於いて、優れた効果をもたらすものであ
る。その代表的な構成や原理については、例えば、米国
特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号
明細書に開示されている。この方式は所謂オンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが
、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が
保持されているシートや液路に対応して配置された電気
熱変換体素子に、記録情報に対応した少なくとも一つの
駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に核沸
騰を越える急速な温度上昇を与える熱エネルギーを発生
せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を起させ、結果
的にこの駆動信号に一対一に対応した気泡を液体（イン
ク）内に形成出来るので有効である。この気泡の成長，
収縮により吐出口を介して液体（インク）を吐出させて
、少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパル
ス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれ
るので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達
成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号とし
ては、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４
５２６２号明細書に記載されているようなものが適して
いる。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明とし
て米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている
条件を採用すると、更に優れた記録を行なうことができ
る。

【００３１】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体素子の組み合わせ構成（直線状液流路又は直角液流路
）の他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成
を開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特
許第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含
まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体素子に
対して、共通するスリットを電気熱変換体素子の吐出部
とする構成を開示する特開昭５９年第１２３６７０号公
報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出口に対
応させる構成を開示する特開昭５９年第１３８４６１号
公報に基づいた構成にしても本発明は有効である。

【００３２】更に、記録紙の全幅に亘り同時に記録がで
きるフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述した
明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組み合
わせによって、その長さを満たす構成や、一対的に形成
された一個の記録ヘッドとしての構成のいずれでも良い
が、本発明は、上述した効果を一層有効に発揮すること
ができる。

【００３３】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドにおいても本発明は有効である。

【００３４】又、記録装置に記録ヘッドに対する回復手
段や予備的な補助手段等を付加することは、本発明によ
り得られる記録ヘッドの効果を一層安定にできるので、
好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録
ヘッドに対しての、キャピング手段、クリーニング手段
、加圧或は吸引手段、電気熱変換体素子、或はこれとは
別の加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱
手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行な
う手段等を付加することも安定した記録を行なうために
有効である。

【００３５】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成した、又は複数個を組み合わせて構
成したいずれでもよいが、異なる色の複数カラー又は、
混色によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装置の
記録ヘッドにも本発明は極めて有効である。

【００３６】又、本発明により得られる記録ヘッドは、
インクが液体でなくとも、室温やそれ以下で固化するイ
ンクであって、室温で軟化もしくは液体となるもの、或
いは、インクジェットにおいて一般的に行なわれている
温度調整範囲である３０℃以上７０℃以下で軟化もしく
は液体となるものにも適用できる。すなわち、記録信号
付与時にインクが液状をなすものであれば良い。加えて
、積極的に熱エネルギーによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への態変化のエネルギーとして吸収せし
めることで防止するか、又は、インクの蒸発防止を目的
として放置状態で固化するインクを用いるかして、いず
れにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によっ
てインクが液化してインク液状として吐出するものや記
録媒体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等の
ような、熱エネルギーによって初めて液化する性質のイ
ンク使用も本発明に係る記録ヘッドには適用可能である
。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号
公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載され
るような、多孔質シート凹部又は貫通孔に液状又は固形
物として保持された状態で、電気熱変換体素子に対して
対向するような形態としても良い。本発明においては、
上述した各インクに対して最も有効なものは、上述した
膜沸騰方式を実行するものである。

【００３７】図１０は本発明により得られた記録ヘッド
をインクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として
装着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を
示す外観斜視図である。

【００３８】図において、２０はプラテン２４上に送紙
されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行な
うノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
（ＩＪＣ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャリ
ッジＨＣであり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する駆
動ベルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設された
２本のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能と
することにより、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる往
復移動が可能となる。

【００３９】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝導機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行なう。このヘッド回復装置
２６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピ
ングに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜
の吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイ
ンク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送
を行ない、インクを吐出口より強制的に排出させること
によりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処
理を行なう。また、記録終了時等にキャッピングを施す
ことによりＩＪＣが保護される。

【００４０】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３０はブレード保持部材３０
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝導機構２３によって動作し
、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これによ
り、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミングで
、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理後
に、ブレード３０をＩＪＣ２０の移動経路中に突出させ
、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出面
における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるものであ
る。

【００４１】

【実施例】以下、実施例により本発明を更に具体的に説
明する。

【００４２】（架橋型ポジレジストの合成）ここでは、
代表的な架橋型ポジレジストとしてメチルメタクリレー
トとメタクリル酸およびメタクリル酸クロライドの共重
合化合物の例を示す。

【００４３】まず、メチルメタクリレート６０．０７ｇ
（０．６ｍｏｌ）、メタクリル酸２．６１ｇ（０．０３
ｍｏｌ）、アゾイソブチロニトリル０．２５ｇをベンゼ
ン９０ｇに溶かし、窒素気流下６０℃で４時間攪拌した
。次に、反応溶液中にヘキサンを徐々に加えて白色粘稠
沈殿を得た。沈殿物は再びベンゼンに溶かし、ヘキサン
で再沈させて最後はベンゼン溶液から凍結乾燥させて白
色のポリマーＡを得た。

【００４４】次に、前述の方法でメチルメタクリレート
、メタクリル酸、メタクリル酸クロライド（ｍｏｌ　比
　０．５２　：　０．０１３　：　０．００１３）を共
重合させて白色のポリマーＢを得た。ここでポリマーＡ
とポリマーＢの混合物が架橋型ポジレジストとなる。

【００４５】（実施例） 図１から図７に示す操作手順に準じて、図７の構成の液
体噴射記録ヘッドを作製した。

【００４６】まず、エネルギー発生素子としての電気熱
変換素子（材質ＨｆＢ２　からなるヒーター）を形成し
たガラス基板上に、第１感光性材料層として前記架橋型
ポジレジスト溶液（前記ポリマーＡとポリマーＢの等量
混合物のクロロベンゼン／ジクロロメタン（＝８／２）
２０ｗｔ％溶液）を塗布し、８０℃にて１時間乾燥した
（乾燥後の膜厚は２５μｍ）。

【００４７】基板ごと２００℃、１５分間加熱しレジス
トに架橋反応を起こさせる。この時点で第１感光性材料
層は現像液に対して不溶となった。次いで、該架橋ポジ
レジスト膜に対して、インク路に相当するパターンのマ
スクを重ね、キヤノン製ＰＬＡ−５２０マスクアライナ
ーを用いてコンタクト露光によって光照射を行なった。 光照射量は８０ｍｊ／ｃｍ２程度である。露光部では、
高分子鎖の切断（崩壊）が起こり後の現像処理において
現像液に対して可溶となる。

【００４８】次いで該ポジ型レジスト膜上に、第２感光
性材料層として上記合成例と同様にして合成した架橋型
ポジレジスト（エチルメタクリレート／メタクリル酸の
共重合組成物［ｍｏｌ　比２０／１］とエチルメタクリ
レート／メタクリル酸／メタクリル酸クロライドの共重
合組成物［ｍｏｌ　比４０／１０／１］からなる混合物
）をドライフィルム化してラミネート（膜厚２０μｍ）
し、１８０℃、１５分間加熱した。この第２感光性材料
層に対して、吐出口およびインク供給口に相当するパタ
ーンのマスクを重ね、第１感光性材料層と同様にして光
照射を施した。尚該層の露光量は、約７０ｍｊ／ｃｍ２
である。

【００４９】次いで、前記基板を現像液（メチルイソブ
チルケトン）に浸漬し、攪拌しながら約３０分間現像す
ることにより、インク路、インク吐出口およびインク供
給口を形成した。場合によっては更に架橋密度をあげる
ために後加熱を施してもよい。最後に、インク供給口に
インク供給部材を接着して液体噴射ヘッドを製造した。 　　この様にして作製した液体噴出記録ヘッドは、架橋
高分子で形成されており、機械的強度、耐溶剤性、耐熱
性に優れる。

【００５０】上記記録液体噴出ヘッドを記録装置に装着
し、純水／グリセリン／ダイレクトブラック１５４（水
溶性黒色染料）＝６５／３０／５から成るインクを用い
て記録を行なったところ、安定な印字が可能であった。

【００５１】また、この液体噴出記録ヘッドを記録装置
に装着して６ヵ月間記録試験を行なったが、インク中へ
の析出物の発生や目詰りによる吐出不安定は起こらず、
安定な印字が可能で吐出口の変形等も全く発生していな
かった。

【００５２】

【発明の効果】以上に説明したように本発明において、
ヘッドの構造材として架橋型ポジレジストを用いること
によってもたらされる効果としては下記のものが挙げら
れる。■本発明のヘッドは、ヘッド作製時の現像剤に対
するラチチュードが広く（膜べりがほとんどない）、高
アスペクト比を有する所望のパターンを得る事が出来る
。■本発明のヘッドは記録液に対する耐性に極めて優れ
ており、更に構造材として十分な強度を有する。■第１
感光性材料層と第２感光性材料層との密着性が良好であ
る。（第１感光性材料層を未現像のまま第２感光性材料
層を積層できるため圧力等の手段により密着性を上げる
ことが可能でかつ、第１感光性材料層と第２感光性材料
層での架橋反応が起こるため）

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るヘッドの製造方法において、イン
ク路、吐出口形成前の基板の状態を示す模式的斜視図で
ある。

【図２】本発明に係るヘッドの製造方法において、第１
感光性材料層を形成した基板の状態を示す模式的斜視図
である。

【図３】本発明に係るヘッドの製造方法において、第１
感光性材料層に施すパターン露光の状態を示す模式図で
ある。

【図４】本発明に係るヘッドの製造方法において、第２
感光性材料層の積層状態を示す模式図である。

【図５】本発明に係るヘッドの製造方法において、第２
感光性材料層に施すパターン露光の状態を示す模式図で
ある。

【図６】本発明に係るヘッドの製造方法において、形成
されたインク路、吐出口等のパターン潜像形成部を示す
模式的斜視図である。

【図７】インク供給手段を設けた本発明ヘッドの一実施
例を示す模式図である。

【図８】インクの供給を、インクの吐出方向に対して基
板の反対側より行なう本発明ヘッドの他の実施例を示す
模式図である。

【図９】インク供給手段を設けた図８のヘッドの模式図
である。

【図１０】本発明に係るヘッドを取付可能な記録装置の
説明図である。

【符号の説明】

１　　　　基板 ２　　　　エネルギー発生素子 ３　　　　第１感光性材料層 ４　　　　マスク ５　　　　第２感光性材料層 ６　　　　潜像形成部 ７　　　　マスク ８　　　　潜像形成部 ９　　　　潜像形成部 １０　　　　ブロック体 １１　　　　インク路 １２　　　　インク吐出口 １３　　　　インク供給口 １６　　　　キャリッジ １７　　　　駆動モータ １８　　　　駆動ベルト １９Ａ　　　　ガイドシャフト １９Ｂ　　　　ガイドシャフト ２０　　　　インクジェットヘッドカートリッジ２２　
　　　クリーニング用モータ ２３　　　　伝導機構 ２４　　　　プラテン ２６　　　　キャップ部材 ３０　　　　ブレード ３０Ａ　　　　ブレード保持部材

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　インク吐出口と、インク供給口と、及
   び前記インク吐出口とインク供給口とを連通するインク
   路と、該インク路に対応して配設されインクを吐出する
   ために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生
   素子とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法において
   、（Ａ）エネルギー発生素子が配設された基板上に熱架
   橋型ポジレジストからなるインク路形成用第１感光性材
   料層を設けて加熱架橋後、前記架橋された第１感光性材
   料層に電離放射線によるインク路形成用パターン露光を
   行なう工程、 （Ｂ）前記露光を行なった第１感光性材料層に熱架橋型
   ポジレジストからなる第２感光性材料層を設けて加熱架
   橋後、前記架橋した第２感光性材料層に電離放射線によ
   るインク吐出口及びインク供給口形成用パターン露光を
   行なう工程、 （Ｃ）前記第１及び第２の感光性材料層に形成されたパ
   ターン露光による潜像を現像する工程、上記（Ａ）、（
   Ｂ）、（Ｃ）の各工程を順次行なうことを特徴とする液
   体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】　　インク吐出口と、該インク吐出口と連
   通するインク路と、該インク路に対応して配設されイン
   クを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエ
   ネルギー発生素子とを有する液体噴射記録ヘッドの製造
   方法において、 （Ａ）エネルギー発生素子が配設されインク供給口が設
   けられた基板上に熱架橋型ポジレジストからなるインク
   路形成用第１感光性材料層を設けて加熱架橋後、前記架
   橋された第１感光性材料層に電離放射線によるインク路
   形成用パターン露光を行なう工程、 （Ｂ）前記露光を行なった第１感光性材料層に熱架橋型
   ポジレジストからなる第２感光性材料層を設けて加熱架
   橋後、前記架橋した第２感光性材料層に電離放射線によ
   るインク吐出口形成用パターン露光を行なう工程、（Ｃ
   ）前記第１及び第２の感光性材料層に形成されたパター
   ン露光による潜像を現像する工程、上記（Ａ）、（Ｂ）
   、（Ｃ）の各工程を順次行なうことを特徴とする液体噴
   射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】　　請求項１又は２記載の製造方法で製造
   した液体噴射記録ヘッド。
4. 【請求項４】　　エネルギー発生素子が前記エネルギー
   として熱エネルギーを発生する電気熱変換体であること
   を特徴とする請求項３記載の液体噴射記録ヘッド。
5. 【請求項５】　　記録媒体の記録領域の全幅にわたって
   インク吐出口が複数設けられているフルラインタイプの
   ものであることを特徴とする請求項３記載の液体噴射記
   録ヘッド。
6. 【請求項６】　　記録媒体の被記録面に対向してインク
   吐出口が設けられている請求項３記載の液体噴射記録ヘ
   ッドと、該ヘッドを載置するための部材とを少なくとも
   具備することを特徴とする液体噴射記録装置。