JPH04214826A - 複合化材料の製造方法 - Google Patents
複合化材料の製造方法Info
- Publication number
- JPH04214826A JPH04214826A JP3059545A JP5954591A JPH04214826A JP H04214826 A JPH04214826 A JP H04214826A JP 3059545 A JP3059545 A JP 3059545A JP 5954591 A JP5954591 A JP 5954591A JP H04214826 A JPH04214826 A JP H04214826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melting point
- porosity
- heat
- pores
- high melting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 213
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 76
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 64
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 58
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 50
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 42
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 23
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 claims description 13
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 claims description 13
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 claims description 13
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 10
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 9
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 7
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 238000005275 alloying Methods 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000005242 forging Methods 0.000 claims description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 abstract 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 67
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 39
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 30
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 25
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 21
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 10
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 9
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 229910004369 ThO2 Inorganic materials 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 4
- ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N thorium dioxide Chemical compound O=[Th]=O ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 Mg O Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/18—After-treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/24—After-treatment of workpieces or articles
- B22F3/26—Impregnating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C9/00—Alloys based on copper
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/02—Pretreatment of the material to be coated, e.g. for coating on selected surface areas
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
- B22F2998/10—Processes characterised by the sequence of their steps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2255/00—Heat exchanger elements made of materials having special features or resulting from particular manufacturing processes
- F28F2255/18—Heat exchanger elements made of materials having special features or resulting from particular manufacturing processes sintered
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばＷ（タングステ
ン）とＣｕ （銅）の如き、融点が異なり、しかも互い
に固溶しない二つの金属材料を複合化する複合化材料の
製造方法ならびに受熱材料と受熱材料の製造方法に関す
る。
ン）とＣｕ （銅）の如き、融点が異なり、しかも互い
に固溶しない二つの金属材料を複合化する複合化材料の
製造方法ならびに受熱材料と受熱材料の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】活性金属溶解用るつぼ又は受熱板に代表
される超高温場を有する機器においては、高温で高エネ
ルギー密度を持った電子ビームやプラズマ等に耐え得る
材料、つまりビームターゲット材料が必要不可欠な場合
が多い。
される超高温場を有する機器においては、高温で高エネ
ルギー密度を持った電子ビームやプラズマ等に耐え得る
材料、つまりビームターゲット材料が必要不可欠な場合
が多い。
【０００３】このビームターゲット材料は、過酷な条件
で使用されることから、次の２つの特性を満足するもの
でなけばならない。（１）温度が上昇する熱源直下で耐
熱性が十分であること。（２）熱伝導性が良く、かつ冷
却特性が優れていること。この（２）の特性が必要なの
は、一般に熱源の反対側はなんらかの手段により冷却さ
れているからである。
で使用されることから、次の２つの特性を満足するもの
でなけばならない。（１）温度が上昇する熱源直下で耐
熱性が十分であること。（２）熱伝導性が良く、かつ冷
却特性が優れていること。この（２）の特性が必要なの
は、一般に熱源の反対側はなんらかの手段により冷却さ
れているからである。
【０００４】ところが、単一の材料では、耐熱性と熱伝
導性を切り離して考えることはできず、片方の特性が決
まれば、他方の特性が決まるため、おのずと限界がある
。このような事から、従来２つの特性を共に上げるため
には、材料の複合化されたものの製造方法が試みられて
いる。この一つとして、金属の中で最も融点が高いＷと
熱伝導性の良いＣｕ を複合化し、耐熱性と熱伝導性の
両方の特性に優れた複合化材料の創製が試みられている
。
導性を切り離して考えることはできず、片方の特性が決
まれば、他方の特性が決まるため、おのずと限界がある
。このような事から、従来２つの特性を共に上げるため
には、材料の複合化されたものの製造方法が試みられて
いる。この一つとして、金属の中で最も融点が高いＷと
熱伝導性の良いＣｕ を複合化し、耐熱性と熱伝導性の
両方の特性に優れた複合化材料の創製が試みられている
。
【０００５】ところが、ＷとＣｕ を複合化する場合、
この二つの材料は互いに固溶しないため、その接合方法
は限られ、単純な張り合わせやろう付等の主として機械
的接合方法が使用されている。
この二つの材料は互いに固溶しないため、その接合方法
は限られ、単純な張り合わせやろう付等の主として機械
的接合方法が使用されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述のようにＷとＣｕ
を複合化したものを、高温場で用いようとする場合、
両者の熱膨張率の差が大きい。具体的には、Ｗは４．５
×１０−６／Ｋであるのに対し、Ｃｕ は１７．１×１
０−６／Ｋと大きく、発生する熱応力も極めて大きい。 このため、ＷとＣｕ を単にろう付して複合化した場合
には、ＷとＣｕ の界面で発生する熱応力で剥離や加熱
時に引っ張り応力が、熱膨脹率の小さい側のＷ中に割れ
が生じやすい。その割れや剥離は、トータルの熱伝導率
を低下させるため、材料の温度上昇につながり、最悪の
場合には溶融事故を引き起こす。
を複合化したものを、高温場で用いようとする場合、
両者の熱膨張率の差が大きい。具体的には、Ｗは４．５
×１０−６／Ｋであるのに対し、Ｃｕ は１７．１×１
０−６／Ｋと大きく、発生する熱応力も極めて大きい。 このため、ＷとＣｕ を単にろう付して複合化した場合
には、ＷとＣｕ の界面で発生する熱応力で剥離や加熱
時に引っ張り応力が、熱膨脹率の小さい側のＷ中に割れ
が生じやすい。その割れや剥離は、トータルの熱伝導率
を低下させるため、材料の温度上昇につながり、最悪の
場合には溶融事故を引き起こす。
【０００７】このような事から、最近２種類の粉末を混
ぜると共に、この混合比率を変えて積層し、この積層し
たものを焼結して傾斜組成材料を得ることが試みられて
いる。ところが、この手法は、混合する２種類の粉末の
融点が互いに類似しているものでは、傾斜組成材料を得
ることが可能であるが、混合する２種類の粉末の融点が
極端に異なる場合には、片方が溶融して他方のみが残る
事になり、傾斜組成材料を製造することは困難である。
ぜると共に、この混合比率を変えて積層し、この積層し
たものを焼結して傾斜組成材料を得ることが試みられて
いる。ところが、この手法は、混合する２種類の粉末の
融点が互いに類似しているものでは、傾斜組成材料を得
ることが可能であるが、混合する２種類の粉末の融点が
極端に異なる場合には、片方が溶融して他方のみが残る
事になり、傾斜組成材料を製造することは困難である。
【０００８】本発明は、互いに接合すべき二つの材料の
界面の接合強度および熱伝導性に優れた複合化材料の製
造方法ならびに受熱材料と受熱材料の製造方法を提供す
ることを目的とする。
界面の接合強度および熱伝導性に優れた複合化材料の製
造方法ならびに受熱材料と受熱材料の製造方法を提供す
ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するため、以下のように構成したものである。請求項
１に対応する発明は、高融点材料と低融点材料とを複合
化した複合化材料の製造方法において、高融点材料に気
孔を形成すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一
部分で大きく、またその部分に向かって次第に気孔率が
大きくなるように気孔率分布をもった材料を得る第１の
工程と、この第１の工程で得られた材料の気孔率の大き
い部分から前記低融点側材料を溶浸する第２の工程を含
み、前記高融点材料と低融点材料の組成比率が傾斜分布
するようにしたことを特徴とする複合化材料の製造方法
である。
成するため、以下のように構成したものである。請求項
１に対応する発明は、高融点材料と低融点材料とを複合
化した複合化材料の製造方法において、高融点材料に気
孔を形成すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一
部分で大きく、またその部分に向かって次第に気孔率が
大きくなるように気孔率分布をもった材料を得る第１の
工程と、この第１の工程で得られた材料の気孔率の大き
い部分から前記低融点側材料を溶浸する第２の工程を含
み、前記高融点材料と低融点材料の組成比率が傾斜分布
するようにしたことを特徴とする複合化材料の製造方法
である。
【００１０】請求項３に対応する発明は、高融点材料と
低融点材料とを複合化した複合化材料の製造方法におい
て、前記高融点材料の粉末と、この粉末に固溶する第２
元素の粉末を添加混合する第１の工程と、この第１の工
程で得られた混合物を成形して固溶強化した成形体を得
る第２の工程と、この第２の工程で得た成形体を焼結し
て気孔を形成すると共に、その気孔率が少なくとも表面
の一部分で大きく、またその部分に向かって次第に気孔
率が大きくなるように気孔率分布をもった焼結体を得る
第３の工程と、この第３の工程で得られた焼結体の気孔
に前記低融点材料を溶浸する第４の工程を含んだ複合化
材料の製造方法である。
低融点材料とを複合化した複合化材料の製造方法におい
て、前記高融点材料の粉末と、この粉末に固溶する第２
元素の粉末を添加混合する第１の工程と、この第１の工
程で得られた混合物を成形して固溶強化した成形体を得
る第２の工程と、この第２の工程で得た成形体を焼結し
て気孔を形成すると共に、その気孔率が少なくとも表面
の一部分で大きく、またその部分に向かって次第に気孔
率が大きくなるように気孔率分布をもった焼結体を得る
第３の工程と、この第３の工程で得られた焼結体の気孔
に前記低融点材料を溶浸する第４の工程を含んだ複合化
材料の製造方法である。
【００１１】請求項４に対応する発明は、高融点材料と
低融点材料とを複合化した複合化材料の製造方法におい
て、前記高融点材料の粉末と、この粉末に反応しない第
２元素または化合物の粉末を添加混合する第１の工程と
、この第１の工程で得られた混合物を成形して分散強化
した成形体を得る第２の工程と、この第２の工程で得た
成形体を焼結して気孔を形成すると共に、その気孔率が
少なくとも表面の一部分で大きく、またその部分に向か
って次第に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもっ
た焼結体を得る第３の工程と、この第３の工程で得られ
た焼結体の気孔に前記低融点材料を溶浸する第４の工程
を含んだ複合化材料の製造方法である。
低融点材料とを複合化した複合化材料の製造方法におい
て、前記高融点材料の粉末と、この粉末に反応しない第
２元素または化合物の粉末を添加混合する第１の工程と
、この第１の工程で得られた混合物を成形して分散強化
した成形体を得る第２の工程と、この第２の工程で得た
成形体を焼結して気孔を形成すると共に、その気孔率が
少なくとも表面の一部分で大きく、またその部分に向か
って次第に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもっ
た焼結体を得る第３の工程と、この第３の工程で得られ
た焼結体の気孔に前記低融点材料を溶浸する第４の工程
を含んだ複合化材料の製造方法である。
【００１２】請求項５に対応する発明は、高融点材料と
低融点材料とを複合化した複合化材料の製造方法におい
て、前記高融点材料を圧延、鍛造等の塑性加工、又は、
合金化により機械的強度を強化した基材を得る第１の工
程と、この第１の工程で得られた基材に、減圧プラズマ
溶射手段により共材を溶射させる事により、気孔を形成
すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一部分で大
きく、またその部分に向かって次第に気孔率が大きくな
るように気孔率分布をもった溶射皮膜を形成する第２の
工程と、この第２の工程で得られた溶射皮膜の気孔に前
記低融点材料を溶浸する第３の工程とを含んだ複合化材
料の製造方法である。
低融点材料とを複合化した複合化材料の製造方法におい
て、前記高融点材料を圧延、鍛造等の塑性加工、又は、
合金化により機械的強度を強化した基材を得る第１の工
程と、この第１の工程で得られた基材に、減圧プラズマ
溶射手段により共材を溶射させる事により、気孔を形成
すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一部分で大
きく、またその部分に向かって次第に気孔率が大きくな
るように気孔率分布をもった溶射皮膜を形成する第２の
工程と、この第２の工程で得られた溶射皮膜の気孔に前
記低融点材料を溶浸する第３の工程とを含んだ複合化材
料の製造方法である。
【００１３】請求項６に対応する発明は、請求項１記載
の複合化材料の製造方法において、第１の工程は、基材
に、これと同一種類の材料を溶射手段により溶射させる
ことにより、気孔を形成したものである。
の複合化材料の製造方法において、第１の工程は、基材
に、これと同一種類の材料を溶射手段により溶射させる
ことにより、気孔を形成したものである。
【００１４】請求項７に対応する発明は、請求項１記載
の複合化材料の製造方法において、第１の工程は、基材
に、これと同一種類の材料を溶射手段により溶射させる
ことにより気孔を有する材料を得、この第１の工程で得
られた材料を熱間等方性加圧した後、第２の工程を行う
ことを特徴とするものである。
の複合化材料の製造方法において、第１の工程は、基材
に、これと同一種類の材料を溶射手段により溶射させる
ことにより気孔を有する材料を得、この第１の工程で得
られた材料を熱間等方性加圧した後、第２の工程を行う
ことを特徴とするものである。
【００１５】請求項９に対応する発明は、超高温場にお
いて使用され、受熱面と反受熱面を有し、前記受熱面側
に融点が高く単結晶化が可能な材料層を形成し、前記受
熱面側から反受熱面側まで組成比率が傾斜分布するよう
にしたことを特徴とする受熱材料である。
いて使用され、受熱面と反受熱面を有し、前記受熱面側
に融点が高く単結晶化が可能な材料層を形成し、前記受
熱面側から反受熱面側まで組成比率が傾斜分布するよう
にしたことを特徴とする受熱材料である。
【００１６】請求項１０に対応する発明は、低熱伝導材
料と高熱伝導材料を複合化して受熱材料を製造する場合
、前記低熱伝導材料としてドープ剤添加圧延材、鍛造材
等の塑性材からなる基材を用い、この基材の片面に、こ
の基材と同種類の材料粉末を積層して積層体を得る第１
の工程と、この第１の工程で得られた積層体を加熱焼結
して受熱面となる面を単結晶化し、この受熱面とは反対
側の面に気孔を形成すると共に、その気孔率が少なくと
も表面の一部分で大きく、またその部分に向かって次第
に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもった焼結体
を得る第２工程と、この第２工程で得られた焼結体の気
孔に前記高熱伝導材料を溶浸する第３の工程を含んだ受
熱材料の製造方法である。
料と高熱伝導材料を複合化して受熱材料を製造する場合
、前記低熱伝導材料としてドープ剤添加圧延材、鍛造材
等の塑性材からなる基材を用い、この基材の片面に、こ
の基材と同種類の材料粉末を積層して積層体を得る第１
の工程と、この第１の工程で得られた積層体を加熱焼結
して受熱面となる面を単結晶化し、この受熱面とは反対
側の面に気孔を形成すると共に、その気孔率が少なくと
も表面の一部分で大きく、またその部分に向かって次第
に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもった焼結体
を得る第２工程と、この第２工程で得られた焼結体の気
孔に前記高熱伝導材料を溶浸する第３の工程を含んだ受
熱材料の製造方法である。
【００１７】
【作用】請求項１に対応する発明によれば、高融点材料
と低融点材料の材料の傾斜組成領域（界面）での組成が
連続的に変化する、いわゆる組成が傾斜化する事から、
両材料の界面の接合強度（密着性）および熱伝導性が優
れる。
と低融点材料の材料の傾斜組成領域（界面）での組成が
連続的に変化する、いわゆる組成が傾斜化する事から、
両材料の界面の接合強度（密着性）および熱伝導性が優
れる。
【００１８】請求項３，４に対応する発明によれば、高
融点材料例えばＷにこれに固溶しない第２元素、また第
２の元素あるいは化合物を添加混合して工程を含んでい
るため、高融点側材料が固溶強化または分散強化され、
これにより各材料、各部位の機械的強度が、請求項１に
比べて優れる。
融点材料例えばＷにこれに固溶しない第２元素、また第
２の元素あるいは化合物を添加混合して工程を含んでい
るため、高融点側材料が固溶強化または分散強化され、
これにより各材料、各部位の機械的強度が、請求項１に
比べて優れる。
【００１９】請求項５に対応する発明によれば、熱応力
の発生が大きい部位を高強度材料で構成することにより
、請求項１，３，４に比べてより過酷な条件、例えばビ
ームターゲットの場合高熱負荷条件に耐え得ることがで
きる。
の発生が大きい部位を高強度材料で構成することにより
、請求項１，３，４に比べてより過酷な条件、例えばビ
ームターゲットの場合高熱負荷条件に耐え得ることがで
きる。
【００２０】請求項６，７に対応する発明によれば、溶
射手段を用いて焼結プロセスを変更するようにしている
ので、円筒等の３次元表面での傾斜組成化が可能となる
。
射手段を用いて焼結プロセスを変更するようにしている
ので、円筒等の３次元表面での傾斜組成化が可能となる
。
【００２１】請求項１０，１１に対応する発明によれば
、粒界脆化が生じやすい粒界をなくすことができ、定常
、非定常の両方の熱負荷に耐え得る受熱材料となる。
、粒界脆化が生じやすい粒界をなくすことができ、定常
、非定常の両方の熱負荷に耐え得る受熱材料となる。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の複合化材料の製造方法の第
１の実施例を説明するための工程図であり、第１の工程
１では、Ｗの粉末を得てこれを所望の形状にするために
、図示しない型内に充填する。第２の工程２において、
第１の工程１で得たＷ粉末の成形体を得る。第３の工程
３では、第２の工程２で得た成形体を焼結して気孔を形
成すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一部分で
大きく、またその部分に向かって次第に気孔率が大きく
なるように気孔率分布をもったＷ焼結体を得る。第４の
工程４では図示しない容器内でＣｕ を溶融すると共に
、この中に第３の工程３で得たＷ焼結体を溶浸させる。 第５の工程５では、第４工程４で得たものを機械加工し
て最終的に希望する製品形状にする。
て説明する。図１は本発明の複合化材料の製造方法の第
１の実施例を説明するための工程図であり、第１の工程
１では、Ｗの粉末を得てこれを所望の形状にするために
、図示しない型内に充填する。第２の工程２において、
第１の工程１で得たＷ粉末の成形体を得る。第３の工程
３では、第２の工程２で得た成形体を焼結して気孔を形
成すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一部分で
大きく、またその部分に向かって次第に気孔率が大きく
なるように気孔率分布をもったＷ焼結体を得る。第４の
工程４では図示しない容器内でＣｕ を溶融すると共に
、この中に第３の工程３で得たＷ焼結体を溶浸させる。 第５の工程５では、第４工程４で得たものを機械加工し
て最終的に希望する製品形状にする。
【００２３】この様にして得られた複合化金属材料によ
れば、以下のような効果が得られる。
れば、以下のような効果が得られる。
【００２４】
１）ＷとＣｕ の界面での組成が略連続的に変化すなわ
ち組成が傾斜化する。図２は前述のように製造された複
合化金属材料の模式図で、図２（ａ）は組成分布図であ
り、図２（ｂ）はＷとＣｕ の重量比に対する分布特性
図である。この図から明らかなように、ＷとＣｕ の傾
斜組成領域での組成が傾斜化されるので、単純な材料の
張り合わせや溶射等の機械的接合を利用した従来の複合
化金属材料に比べて本実施例の複合化金属材料は、Ｗと
Ｃｕ 間に微視的なネットワーク構造が作られるため、
その結果ＷとＣｕ の微視的ネットワーク構造が形成さ
れ、微視的接触面積が増大するため、密着性が大幅に向
上する。
ち組成が傾斜化する。図２は前述のように製造された複
合化金属材料の模式図で、図２（ａ）は組成分布図であ
り、図２（ｂ）はＷとＣｕ の重量比に対する分布特性
図である。この図から明らかなように、ＷとＣｕ の傾
斜組成領域での組成が傾斜化されるので、単純な材料の
張り合わせや溶射等の機械的接合を利用した従来の複合
化金属材料に比べて本実施例の複合化金属材料は、Ｗと
Ｃｕ 間に微視的なネットワーク構造が作られるため、
その結果ＷとＣｕ の微視的ネットワーク構造が形成さ
れ、微視的接触面積が増大するため、密着性が大幅に向
上する。
【００２５】
２）本実施例は、ＷとＣｕ の混合層における熱膨張率
がほぼ混合比に従い連続的に変化するため、図３に示す
ように前述した従来の機械的接合方法による複合化金属
材料に比べて熱膨張率の差から生じる熱応力（圧縮応力
と引張り応力）が大幅に低減する。このため、ＷとＣｕ
の接合部の破断事故をなくすことができる。
がほぼ混合比に従い連続的に変化するため、図３に示す
ように前述した従来の機械的接合方法による複合化金属
材料に比べて熱膨張率の差から生じる熱応力（圧縮応力
と引張り応力）が大幅に低減する。このため、ＷとＣｕ
の接合部の破断事故をなくすことができる。
【００２６】
３）本実施例の材料は、ＷとＣｕ の接触面積の増大と
ともに、単純な張り合わせの時（従来例）に見られるよ
うな材料間の隙間をなくすことができる。そのため、Ｗ
とＣｕ の傾斜組成領域での熱抵抗が低減され、Ｗ単体
やＣｕ単体のような優れた熱伝導性をもたせることがで
きる。図４はこれを説明するための熱伝導率特性図であ
り、この図から明らかなように、組成が傾斜化した部位
の熱伝導率が大きいＣｕ に大きく依存する特徴を生か
せば、全体としてもＷ単体以上の優れた熱伝導性を得る
事ができる。
ともに、単純な張り合わせの時（従来例）に見られるよ
うな材料間の隙間をなくすことができる。そのため、Ｗ
とＣｕ の傾斜組成領域での熱抵抗が低減され、Ｗ単体
やＣｕ単体のような優れた熱伝導性をもたせることがで
きる。図４はこれを説明するための熱伝導率特性図であ
り、この図から明らかなように、組成が傾斜化した部位
の熱伝導率が大きいＣｕ に大きく依存する特徴を生か
せば、全体としてもＷ単体以上の優れた熱伝導性を得る
事ができる。
【００２７】次に、前述の第１の実施例によって得られ
た複合化材料を活性金属溶解用るつぼ又は受熱板に適用
した場合の例について、図５を参照して説明する。図５
（ａ）は活性金属溶解用るつぼ本体１１と水冷ハース１
３を示す断面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ部
の微細組織を模式的に示す図である。るつぼ本体１１側
は、高温にさらされるため、高融点金属のＷで構成され
、また、水冷ハース１３は熱伝熱性の優れたＣｕ で構
成され、さらに、ＷとＣｕ の傾斜組成領域１４では連
続的に組成が変化した、いわゆる傾斜組成となっている
。 なお、１２は水冷用穴である。
た複合化材料を活性金属溶解用るつぼ又は受熱板に適用
した場合の例について、図５を参照して説明する。図５
（ａ）は活性金属溶解用るつぼ本体１１と水冷ハース１
３を示す断面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ部
の微細組織を模式的に示す図である。るつぼ本体１１側
は、高温にさらされるため、高融点金属のＷで構成され
、また、水冷ハース１３は熱伝熱性の優れたＣｕ で構
成され、さらに、ＷとＣｕ の傾斜組成領域１４では連
続的に組成が変化した、いわゆる傾斜組成となっている
。 なお、１２は水冷用穴である。
【００２８】以上のような構成のものを製造するには、
図６の工程図のように行う。すなわち、第１の工程２１
では、Ｗ微粉末を作ると共に、これを図５のるつぼ本体
１１形状に積層する。第２の工程２２では、第１の工程
２１で得られた積層体をＣＩＰ成形し、Ｗ成形体を作成
する。第３の工程２３では、この第２の工程２２で得ら
れたＷ成形体を、Ｈ２ 等の還元高温雰囲気中に数時
間程度保持し、Ｗ焼結体を作成する。この第３の工程で
は、Ｗに気孔を形成すると共に、その気孔率が少なくと
も表面の一部分で大きく、またその部分に向かって次第
に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもったＷ焼結
体を材料を得る。第４の工程２４では、第３の工程２３
で得たＷ焼結体を機械加工し、最終的なるつぼ形状に仕
上げる。この場合、界面の傾斜組成部を含んで機械加工
を行う。
図６の工程図のように行う。すなわち、第１の工程２１
では、Ｗ微粉末を作ると共に、これを図５のるつぼ本体
１１形状に積層する。第２の工程２２では、第１の工程
２１で得られた積層体をＣＩＰ成形し、Ｗ成形体を作成
する。第３の工程２３では、この第２の工程２２で得ら
れたＷ成形体を、Ｈ２ 等の還元高温雰囲気中に数時
間程度保持し、Ｗ焼結体を作成する。この第３の工程で
は、Ｗに気孔を形成すると共に、その気孔率が少なくと
も表面の一部分で大きく、またその部分に向かって次第
に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもったＷ焼結
体を材料を得る。第４の工程２４では、第３の工程２３
で得たＷ焼結体を機械加工し、最終的なるつぼ形状に仕
上げる。この場合、界面の傾斜組成部を含んで機械加工
を行う。
【００２９】第１〜第４の工程２１〜２４では、るつぼ
本体１１の内側が密度は９５％以上になるように、また
、るつぼ本体１１の外周側が密度は５０％程度になるま
で連続的に変化するように、原料粉末、成形圧、焼結温
度等の製造条件を制御する。
本体１１の内側が密度は９５％以上になるように、また
、るつぼ本体１１の外周側が密度は５０％程度になるま
で連続的に変化するように、原料粉末、成形圧、焼結温
度等の製造条件を制御する。
【００３０】第５の工程２５では、Ｃｕ を何等かの手
段により溶融し、このＣｕ の溶融槽内に第３の工程２
３で得たＷ焼結体を溶浸させ、Ｗ焼結体の気孔中に溶融
したＣｕ が十分に染み込む時間保持した後、冷却する
。第５の工程２５の処理は、Ｈ２等の還元高温雰囲気中
で行うが、第６の工程２６では、十分冷却した後は大気
中に取り出し、所定の寸法のるつぼ本体１１と水冷ハー
ス１３に機械加工で仕上げる。
段により溶融し、このＣｕ の溶融槽内に第３の工程２
３で得たＷ焼結体を溶浸させ、Ｗ焼結体の気孔中に溶融
したＣｕ が十分に染み込む時間保持した後、冷却する
。第５の工程２５の処理は、Ｈ２等の還元高温雰囲気中
で行うが、第６の工程２６では、十分冷却した後は大気
中に取り出し、所定の寸法のるつぼ本体１１と水冷ハー
ス１３に機械加工で仕上げる。
【００３１】以上のような製造方法で製造した複合化金
属材料からなるるつぼ（図５）は、その界面１４とＷと
Ｃｕ の接触面積が大きいために、密着性および熱伝導
性が優れている。また、界面１４での組成が傾斜化して
いるため、ＷとＣｕ の熱膨張率の差に起因して加熱時
に生じる熱応力のピーク値が低減する。
属材料からなるるつぼ（図５）は、その界面１４とＷと
Ｃｕ の接触面積が大きいために、密着性および熱伝導
性が優れている。また、界面１４での組成が傾斜化して
いるため、ＷとＣｕ の熱膨張率の差に起因して加熱時
に生じる熱応力のピーク値が低減する。
【００３２】一方、本実施例のるつぼは、るつぼ本体１
１の外周側で気孔率が連続的に変化するＷ焼結るつぼが
作成できる大きなポイントとなる。原料粉末が焼結体密
度に与える影響については、図７に示すように粉末粒度
を１μｍ〜１０μｍの範囲内で変化させることで、６０
％〜９５％の相対密度を有するＷ焼結体が作成できる。 この事を利用すれば、Ｗ粉末の積層時に使用するＷ粉末
粒径を連続的に変化させることにより、９５％から６０
％まで連続的に密度が変化したＷ焼結るつぼの作成が可
能となる。また、粉末粒径を変える程効果が大きくない
が、成形圧と焼結温度も焼結体密度を変える方法の一つ
であるために、これらを組み合わせることにより、さら
に効果的に前述のＷ焼結るつぼ本体１１の作成が可能と
なる。また、そのＷ焼結るつぼ本体１１の溶融Ｃｕ 中
への溶浸においては、溶融Ｃｕ はＷと非常に濡れやす
いために、Ｗ焼結体の閉気孔中へは染み込む。Ｗ焼結体
の閉気孔と開気孔の境は９０％程度であるために、Ｗ焼
結るつぼ本体１１の外周側の密度が低い個所には大部分
Ｃｕ が染み込む。従って、Ｗ焼結体るつぼ本体１１の
外周側の密度は、連続的に変化していることから、これ
でＷとＣｕ の組成が傾斜したるつぼが完成する。
１の外周側で気孔率が連続的に変化するＷ焼結るつぼが
作成できる大きなポイントとなる。原料粉末が焼結体密
度に与える影響については、図７に示すように粉末粒度
を１μｍ〜１０μｍの範囲内で変化させることで、６０
％〜９５％の相対密度を有するＷ焼結体が作成できる。 この事を利用すれば、Ｗ粉末の積層時に使用するＷ粉末
粒径を連続的に変化させることにより、９５％から６０
％まで連続的に密度が変化したＷ焼結るつぼの作成が可
能となる。また、粉末粒径を変える程効果が大きくない
が、成形圧と焼結温度も焼結体密度を変える方法の一つ
であるために、これらを組み合わせることにより、さら
に効果的に前述のＷ焼結るつぼ本体１１の作成が可能と
なる。また、そのＷ焼結るつぼ本体１１の溶融Ｃｕ 中
への溶浸においては、溶融Ｃｕ はＷと非常に濡れやす
いために、Ｗ焼結体の閉気孔中へは染み込む。Ｗ焼結体
の閉気孔と開気孔の境は９０％程度であるために、Ｗ焼
結るつぼ本体１１の外周側の密度が低い個所には大部分
Ｃｕ が染み込む。従って、Ｗ焼結体るつぼ本体１１の
外周側の密度は、連続的に変化していることから、これ
でＷとＣｕ の組成が傾斜したるつぼが完成する。
【００３３】以上述べた第２の実施例によれば、ＷとＣ
ｕ の界面の組成が傾斜化し、かつＷとＣｕ の接触面
積を増大することにより、次のような効果が得られる。
ｕ の界面の組成が傾斜化し、かつＷとＣｕ の接触面
積を増大することにより、次のような効果が得られる。
【００３４】
ａ）界面における１４における密着性が向上し、合わせ
て高温使用中における界面１４での熱応力が緩和するこ
とにより、界面１４での割れや破壊が低減し、寿命が向
上する。
て高温使用中における界面１４での熱応力が緩和するこ
とにより、界面１４での割れや破壊が低減し、寿命が向
上する。
【００３５】
ｂ）界面１４における熱抵抗が少なくなり、トータルの
熱伝導性が向上することにより、水冷ハース１３の水冷
効果を十分生かせる。これにより、るつぼ本体１１内の
溶融金属の温度勾配を大きくできるようになるとともに
、るつぼ本体１１内壁温度を下げることができるように
なり、るつぼの寿命が向上する。
熱伝導性が向上することにより、水冷ハース１３の水冷
効果を十分生かせる。これにより、るつぼ本体１１内の
溶融金属の温度勾配を大きくできるようになるとともに
、るつぼ本体１１内壁温度を下げることができるように
なり、るつぼの寿命が向上する。
【００３６】以上述べた第２の実施例は、活性金属溶解
用るつぼ又は受熱板をあげたが、これ以外にＷとＣｕ
の組み合わせを必要とする他の高温機器のすべてにおい
ても適用可能である。さらに、実施例では複合化される
材料としてＷとＣｕ の組み合わせを取り上げているが
、これに限らず融点が異なり、かつ互いに固溶しない二
つの材料であればなんでも適用できる。いずれの場合で
あっても、高融点側の材料の焼結と、その焼結体の低融
点側の溶融材料中への溶浸工程を必ず経る必要があり、
この工程を経ればできた複合化金属材料の界面において
、組成が傾斜化した材料が得られる。
用るつぼ又は受熱板をあげたが、これ以外にＷとＣｕ
の組み合わせを必要とする他の高温機器のすべてにおい
ても適用可能である。さらに、実施例では複合化される
材料としてＷとＣｕ の組み合わせを取り上げているが
、これに限らず融点が異なり、かつ互いに固溶しない二
つの材料であればなんでも適用できる。いずれの場合で
あっても、高融点側の材料の焼結と、その焼結体の低融
点側の溶融材料中への溶浸工程を必ず経る必要があり、
この工程を経ればできた複合化金属材料の界面において
、組成が傾斜化した材料が得られる。
【００３７】次に、本発明の複合化材料の製造方法の第
３の実施例、第４の実施例について、図８〜図１０を参
照して説明する。前述の第１の実施例では、ＷとＣｕ
界面での熱膨脹率の変化を低減させているので、前述の
従来のろう付け材に比べると、大幅な熱応力の緩和が可
能である。ところが、第１の実施例は、気孔率が少なく
とも表面の一部分で大きく、またその部分に向かって次
第に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもったＷ焼
結体（気孔率は溶浸させる側つまり溶浸した結果溶浸材
料が１００％となる側に向かって増大したＷ焼結体）を
製造する工程と、そのＷ焼結体の気孔中へのＣｕ の溶
浸からなる焼結溶浸工程を経ているので、機械的強度の
面で見ると必ずしも十分はとはいえない。すなわち、機
械的強度を支配するＷは焼結と言う工程を経ているため
、再結晶粒で特に粒界が弱い。さらに、そのＷ焼結体は
板厚方向に気孔率分布を持つ必要があるために、機械的
強度を上げるための後加工である熱間鍛造等が使用でき
ない。従って、ＷとＣｕ の界面での組成を傾斜させて
熱応力を緩和させても、機械的強度が低いため、Ｗ中に
割れが発生することがある。
３の実施例、第４の実施例について、図８〜図１０を参
照して説明する。前述の第１の実施例では、ＷとＣｕ
界面での熱膨脹率の変化を低減させているので、前述の
従来のろう付け材に比べると、大幅な熱応力の緩和が可
能である。ところが、第１の実施例は、気孔率が少なく
とも表面の一部分で大きく、またその部分に向かって次
第に気孔率が大きくなるように気孔率分布をもったＷ焼
結体（気孔率は溶浸させる側つまり溶浸した結果溶浸材
料が１００％となる側に向かって増大したＷ焼結体）を
製造する工程と、そのＷ焼結体の気孔中へのＣｕ の溶
浸からなる焼結溶浸工程を経ているので、機械的強度の
面で見ると必ずしも十分はとはいえない。すなわち、機
械的強度を支配するＷは焼結と言う工程を経ているため
、再結晶粒で特に粒界が弱い。さらに、そのＷ焼結体は
板厚方向に気孔率分布を持つ必要があるために、機械的
強度を上げるための後加工である熱間鍛造等が使用でき
ない。従って、ＷとＣｕ の界面での組成を傾斜させて
熱応力を緩和させても、機械的強度が低いため、Ｗ中に
割れが発生することがある。
【００３８】この様なことから、第３の実施例は第１の
実施例の機械的強度を高めるため、Ｗ／Ｃｕ の傾斜組
成材料のように、単一組成の二つの材料からなる組成材
料において、固溶する第２元素、例えばＲｅ （レニウ
ム）、Ｔａ （タンタル）、Ｎｂ （ニオブ）、Ｈｆ
（ハフニウム）粉末等を添加することにより、固溶強化
した組成を傾斜化することによる機能を保持したままで
、機械的強度だけを向上させた複合化材料の製造方法で
ある。
実施例の機械的強度を高めるため、Ｗ／Ｃｕ の傾斜組
成材料のように、単一組成の二つの材料からなる組成材
料において、固溶する第２元素、例えばＲｅ （レニウ
ム）、Ｔａ （タンタル）、Ｎｂ （ニオブ）、Ｈｆ
（ハフニウム）粉末等を添加することにより、固溶強化
した組成を傾斜化することによる機能を保持したままで
、機械的強度だけを向上させた複合化材料の製造方法で
ある。
【００３９】具体的には、図８の工程図に示すように、
第１の工程３１では、それぞれ粒度の異なるＷ粉末に、
Ｒｅ 粉末を添加したものを混合している。第２の工程
３２では、粒度の小さいものから順に積層している。そ
して、第３の工程３３では、第２の工程３２で積層され
た積層体を金型プレス成形方法またはＣＩＰ成形方法で
成形する。第４の工程３４では、第３の工程３３で得た
成形体を焼結し、特に固溶する元素はＷと合金化し、板
厚方向に気孔率分布を有したＷ合金焼結体（図９のＷー
ＨＩＰ材）を得ている。第５の工程３５では、第４の工
程３４で得たＷ合金焼結体を溶融したＣｕ に浸し、気
孔中にＣｕ を溶浸させて冷却している。第６の工程３
６では、第５の工程３５で得た溶浸材を機械加工し、所
望の製品形状にする。
第１の工程３１では、それぞれ粒度の異なるＷ粉末に、
Ｒｅ 粉末を添加したものを混合している。第２の工程
３２では、粒度の小さいものから順に積層している。そ
して、第３の工程３３では、第２の工程３２で積層され
た積層体を金型プレス成形方法またはＣＩＰ成形方法で
成形する。第４の工程３４では、第３の工程３３で得た
成形体を焼結し、特に固溶する元素はＷと合金化し、板
厚方向に気孔率分布を有したＷ合金焼結体（図９のＷー
ＨＩＰ材）を得ている。第５の工程３５では、第４の工
程３４で得たＷ合金焼結体を溶融したＣｕ に浸し、気
孔中にＣｕ を溶浸させて冷却している。第６の工程３
６では、第５の工程３５で得た溶浸材を機械加工し、所
望の製品形状にする。
【００４０】また、第４の実施例は第３の実施例と同様
に、第１の実施例の機械的強度を高めるため、Ｗ／Ｃｕ
の傾斜組成材料のように、単一組成の二つの材料から
なる組成材料において、固溶しない第２元素や化合物、
例えばＴｈＯ２ （トリヤ）粉末等を添加することによ
り、分散強化し組成を傾斜化することによる機能を保持
したままで、機械的強度だけを向上させた複合化材料の
製造方法である。
に、第１の実施例の機械的強度を高めるため、Ｗ／Ｃｕ
の傾斜組成材料のように、単一組成の二つの材料から
なる組成材料において、固溶しない第２元素や化合物、
例えばＴｈＯ２ （トリヤ）粉末等を添加することによ
り、分散強化し組成を傾斜化することによる機能を保持
したままで、機械的強度だけを向上させた複合化材料の
製造方法である。
【００４１】具体的には、第４の実施例は図８の工程図
に示すように、第１の工程３１では、それぞれ粒度の異
なるＷ粉末に、ＴｈＯ２ （トリヤ）粉末を添加したも
のを混合している。この工程以外は前述の第３の実施例
と同一である。
に示すように、第１の工程３１では、それぞれ粒度の異
なるＷ粉末に、ＴｈＯ２ （トリヤ）粉末を添加したも
のを混合している。この工程以外は前述の第３の実施例
と同一である。
【００４２】以上述べた第３の実施例および第４の実施
例によって得られた材料には次のような効果がある。
例によって得られた材料には次のような効果がある。
【００４３】
１）本材料の機械的強度を支配するＷは、図９に示すよ
うに合金化により大幅に曲げ強度が向上する。
うに合金化により大幅に曲げ強度が向上する。
【００４４】
２）Ｗ合金とＣｕ の界面が傾斜組成化しているため、
熱膨脹率の急激な変化がなく、従って、従来のろう付け
等による接合体に比べ、熱応力が緩和される。
熱膨脹率の急激な変化がなく、従って、従来のろう付け
等による接合体に比べ、熱応力が緩和される。
【００４５】
３）Ｗ合金の熱伝導率は主として、熱伝導の良いＷに支
配されるために、ＴｈＯ２ の熱伝導率は１０Ｗ／ｍｋ
と低いが、全体としての熱伝導率の低下はほとんどない
。
配されるために、ＴｈＯ２ の熱伝導率は１０Ｗ／ｍｋ
と低いが、全体としての熱伝導率の低下はほとんどない
。
【００４６】
４）本実施例で得られた材料の工程から明らかなように
、熱伝導性の良いＣｕがネットワーク状組織となってい
るため、トータルとして非常に熱伝導性が良い。
、熱伝導性の良いＣｕがネットワーク状組織となってい
るため、トータルとして非常に熱伝導性が良い。
【００４７】第４の実施例では、分散強化材としては、
ＴｈＯ２ を上げているが、基本的には、化学的に安定
で融点の高い材料なら良く、図１０に示す分散強化材料
、すなわち、ＴａＢ２ 、ＴｉＢ２ 、ＨｆＢ２ 、Ｙ
２ Ｏ３ 、ＺｒＯ２ のいずれでも適用できる。
ＴｈＯ２ を上げているが、基本的には、化学的に安定
で融点の高い材料なら良く、図１０に示す分散強化材料
、すなわち、ＴａＢ２ 、ＴｉＢ２ 、ＨｆＢ２ 、Ｙ
２ Ｏ３ 、ＺｒＯ２ のいずれでも適用できる。
【００４８】以上述べた事から、第３および第４の実施
例によれば、熱応力によるＷとＣｕ 界面の剥離や材料
中の割れをなくすことができ、最終的には、剥離や割れ
による熱抵抗の増大に起因した材料温度の上昇、溶融事
故をなくすことができる。
例によれば、熱応力によるＷとＣｕ 界面の剥離や材料
中の割れをなくすことができ、最終的には、剥離や割れ
による熱抵抗の増大に起因した材料温度の上昇、溶融事
故をなくすことができる。
【００４９】次に、第３の実施例でできた材料を電子ビ
ームターゲットとして適用した例を図１１〜図１４を参
照して説明する。図１１（ａ），図１１（ｂ）は前述の
第３の実施例によって得られた複合化材料を活性金属溶
解用るつぼ等のビームターゲットに適用した例であり、
図１１（ａ）は電子ビーム（ＥＢ）用ターゲットの模式
図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＡーＡ線に沿
って切断し、この断面を見た断面図である。ビームター
ゲット１２１のＣ側は、ＥＢ１１６にさらされ高温とな
るため、高融点で高強度なＷ合金で構成されている。
ームターゲットとして適用した例を図１１〜図１４を参
照して説明する。図１１（ａ），図１１（ｂ）は前述の
第３の実施例によって得られた複合化材料を活性金属溶
解用るつぼ等のビームターゲットに適用した例であり、
図１１（ａ）は電子ビーム（ＥＢ）用ターゲットの模式
図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＡーＡ線に沿
って切断し、この断面を見た断面図である。ビームター
ゲット１２１のＣ側は、ＥＢ１１６にさらされ高温とな
るため、高融点で高強度なＷ合金で構成されている。
【００５０】一方、ビームターゲット１２１の反対側の
Ｄ側は、熱伝導性と加工性に優れたＣｕ で構成されて
おり、水冷パイプ１１７を有する水冷構造となっている
。 さらに、Ｃ側とＤ側の間は、Ｗ合金とＣｕ の組成比が
連続的に変化した、いわゆる、傾斜組成となっている。
Ｄ側は、熱伝導性と加工性に優れたＣｕ で構成されて
おり、水冷パイプ１１７を有する水冷構造となっている
。 さらに、Ｃ側とＤ側の間は、Ｗ合金とＣｕ の組成比が
連続的に変化した、いわゆる、傾斜組成となっている。
【００５１】図１１（ａ）、図１１（ｂ）に使用する複
合化材料は、以下のように製造する。すなわち、Ｗ合金
焼結体１１８の作成は、図８に示す第１の工程から第４
の工程までは、同じである。ところが、Ｗ合金焼結体１
１８の気孔中へのＣｕ １１９の溶浸の際、図１２に示
すように多少大型の黒鉛るつぼ１２０に気孔率が低い側
を上側にして入れ、その反対側にＣｕ の余盛部を設け
る。 この状態でＣｕ の溶浸が完了した後、機械加工により
所定寸法に仕上げると共に、水冷パイプ１１７用の穴を
加工する。最後に、水冷パイプ１１７を、ＡｇーＣｕ
ろう等を用いてろう付することによりビームターゲット
１２１が完成する。
合化材料は、以下のように製造する。すなわち、Ｗ合金
焼結体１１８の作成は、図８に示す第１の工程から第４
の工程までは、同じである。ところが、Ｗ合金焼結体１
１８の気孔中へのＣｕ １１９の溶浸の際、図１２に示
すように多少大型の黒鉛るつぼ１２０に気孔率が低い側
を上側にして入れ、その反対側にＣｕ の余盛部を設け
る。 この状態でＣｕ の溶浸が完了した後、機械加工により
所定寸法に仕上げると共に、水冷パイプ１１７用の穴を
加工する。最後に、水冷パイプ１１７を、ＡｇーＣｕ
ろう等を用いてろう付することによりビームターゲット
１２１が完成する。
【００５２】以上のような製造方法で製造したビームタ
ーゲット１２１は、Ｗ合金とＣｕ が傾斜組成化してお
り、また、熱伝導性の良いＣｕ がネットワーク構造と
なっているために、使用中の最高到達温度の低減と熱応
力の緩和ができる。
ーゲット１２１は、Ｗ合金とＣｕ が傾斜組成化してお
り、また、熱伝導性の良いＣｕ がネットワーク構造と
なっているために、使用中の最高到達温度の低減と熱応
力の緩和ができる。
【００５３】図１３は、図１１に示す電子ビームターゲ
ットに電子ビームをあてた時の温度分布と熱応力（主応
力）分布の解析結果を示すものである。具体的には、図
１３（ａ）と図１３（ｃ）は各々５ｋｗ／ｃｍ ２ の
リニアＥＢにより加熱したときの温度分布の有限要素法
による解析結果を、Ｗ合金／Ｃｕ の傾斜組成材料と、
Ｗ合金／Ｃｕ のろう付材料の二つの場合について比較
したものである。図１３（ｂ）と図１３（ｄ）は各々５
ｋｗ／ｃｍ ２ のリニアＥＢにより加熱したときの熱
応力分布の有限要素法による解析結果を、Ｗ合金／Ｃｕ
の傾斜組成材料と、Ｗ合金／Ｃｕ のろう付材料の二
つの場合について比較したものである。この結果から、
傾斜組成化することにより、最高到達温度を約８０ｋ低
下させることができる。 さらに、温度勾配が最も大きくなるＥＢ直下で最大とな
る熱応力も１／３程度に低減できることがわかる。
ットに電子ビームをあてた時の温度分布と熱応力（主応
力）分布の解析結果を示すものである。具体的には、図
１３（ａ）と図１３（ｃ）は各々５ｋｗ／ｃｍ ２ の
リニアＥＢにより加熱したときの温度分布の有限要素法
による解析結果を、Ｗ合金／Ｃｕ の傾斜組成材料と、
Ｗ合金／Ｃｕ のろう付材料の二つの場合について比較
したものである。図１３（ｂ）と図１３（ｄ）は各々５
ｋｗ／ｃｍ ２ のリニアＥＢにより加熱したときの熱
応力分布の有限要素法による解析結果を、Ｗ合金／Ｃｕ
の傾斜組成材料と、Ｗ合金／Ｃｕ のろう付材料の二
つの場合について比較したものである。この結果から、
傾斜組成化することにより、最高到達温度を約８０ｋ低
下させることができる。 さらに、温度勾配が最も大きくなるＥＢ直下で最大とな
る熱応力も１／３程度に低減できることがわかる。
【００５４】また、ビームターゲット１２１は、Ｗの合
金化により高強度化を図っているため、破壊に達するま
でのＥＢ入力を増大することができる。図１４にＥＢ入
熱密度と発生する最大熱応力、最高到達温度の有限要素
法による解析結果を示している。図１３で示したように
、最大熱応力は熱源直下のＷ合金層で発生しており、Ｃ
ｕ との複合化により各部の強度低下はそれ程大きくな
いと思われるので、ビームターゲット１２１の破壊は、
Ｗ合金層で発生する応力が、その強度より大きくなった
場合に起こるものと考えられる。
金化により高強度化を図っているため、破壊に達するま
でのＥＢ入力を増大することができる。図１４にＥＢ入
熱密度と発生する最大熱応力、最高到達温度の有限要素
法による解析結果を示している。図１３で示したように
、最大熱応力は熱源直下のＷ合金層で発生しており、Ｃ
ｕ との複合化により各部の強度低下はそれ程大きくな
いと思われるので、ビームターゲット１２１の破壊は、
Ｗ合金層で発生する応力が、その強度より大きくなった
場合に起こるものと考えられる。
【００５５】ここで、図９に示した常温におけるＷ、ま
たはＷ合金の強度測定結果をもとにして、合金化する事
により、与える入熱をどれだけ増大できるかについて考
える。純Ｗの場合、強度が約０．４ＧＰａ であるため
に、与えることができる入熱密度がせいぜい４ｋｗ／ｃ
ｍ ２ 程度であるのに対し、５％Ｒｅ を添加したＷ
ー５Ｒｅ 合金では、強度が０．８ＧＰａ と約２倍に
増大するために、約８ｋｗ／ｃｍ ２ のＥＢ入力が可
能となる。さらに、入熱密度を９ｋｗ／ｃｍ ２ とす
ると、最高到達温度がＷ合金の融点を越えるために、Ｒ
ｅ 量を上げて強度を上げても意味がなく、ビームター
ゲット１２１の適用限界となる。
たはＷ合金の強度測定結果をもとにして、合金化する事
により、与える入熱をどれだけ増大できるかについて考
える。純Ｗの場合、強度が約０．４ＧＰａ であるため
に、与えることができる入熱密度がせいぜい４ｋｗ／ｃ
ｍ ２ 程度であるのに対し、５％Ｒｅ を添加したＷ
ー５Ｒｅ 合金では、強度が０．８ＧＰａ と約２倍に
増大するために、約８ｋｗ／ｃｍ ２ のＥＢ入力が可
能となる。さらに、入熱密度を９ｋｗ／ｃｍ ２ とす
ると、最高到達温度がＷ合金の融点を越えるために、Ｒ
ｅ 量を上げて強度を上げても意味がなく、ビームター
ゲット１２１の適用限界となる。
【００５６】以上述べた第３，４の実施例は、ビームタ
ーゲット１２１で、特に、リニアＥＢ加熱の場合につい
て説明したが、これ以外に、耐熱性と高熱伝導性を必要
とするすべての高温機器部品に適用でき、ビームの形態
もＥＢに限ったものではなく、すべての熱源に適用でき
る。
ーゲット１２１で、特に、リニアＥＢ加熱の場合につい
て説明したが、これ以外に、耐熱性と高熱伝導性を必要
とするすべての高温機器部品に適用でき、ビームの形態
もＥＢに限ったものではなく、すべての熱源に適用でき
る。
【００５７】次に、第５の実施例について、図１５と図
１６を参照して説明する。第５の実施例の製造方法は第
１の工程４１から第４の工程４４を含んでいる。第１の
工程４１では、圧延、鍛造等の塑性加工により高強度基
板４５を作成する。第２の工程４２では、第１の工程４
１で作成した高強度基板４５を、局所的に大きな応力が
生じる材料、ＥＢ照射されたビームターゲットの場合に
は加熱表面に、後述する公知の減圧プラズマ溶射装置に
より溶射して、両材料で気孔率が傾斜した溶射皮膜を形
成する。第３の工程４３では、第２の工程４２で得られ
た材料を、オープンＨＩＰ（Ｈｏｔ Ｉｓｏｓｔａｔｉ
ｃ Ｐｒｅｓｓｉｎｇ ：熱間等方性加圧）装置によ
り破壊の起点となる閉気孔（欠陥）を除去する。第４の
工程４４では、第３の工程で得た材料に有する開気孔に
、第２の材料を溶浸することにより、図１６に示す傾斜
組成層４６を有する複合化材料が完成する。
１６を参照して説明する。第５の実施例の製造方法は第
１の工程４１から第４の工程４４を含んでいる。第１の
工程４１では、圧延、鍛造等の塑性加工により高強度基
板４５を作成する。第２の工程４２では、第１の工程４
１で作成した高強度基板４５を、局所的に大きな応力が
生じる材料、ＥＢ照射されたビームターゲットの場合に
は加熱表面に、後述する公知の減圧プラズマ溶射装置に
より溶射して、両材料で気孔率が傾斜した溶射皮膜を形
成する。第３の工程４３では、第２の工程４２で得られ
た材料を、オープンＨＩＰ（Ｈｏｔ Ｉｓｏｓｔａｔｉ
ｃ Ｐｒｅｓｓｉｎｇ ：熱間等方性加圧）装置によ
り破壊の起点となる閉気孔（欠陥）を除去する。第４の
工程４４では、第３の工程で得た材料に有する開気孔に
、第２の材料を溶浸することにより、図１６に示す傾斜
組成層４６を有する複合化材料が完成する。
【００５８】ここで、減圧プラズマ溶射装置（ＶＰＳ）
について、簡単に説明する。高圧容器内に、数十〜数百
ＴＯｒｒの減圧不活性ガスが封入されており、この雰囲
気内で溶射すべきワークを入れ、これに粉末供給装置か
らの粉末を、プラズマ制御装置からのプラズマともに溶
射するものである。
について、簡単に説明する。高圧容器内に、数十〜数百
ＴＯｒｒの減圧不活性ガスが封入されており、この雰囲
気内で溶射すべきワークを入れ、これに粉末供給装置か
らの粉末を、プラズマ制御装置からのプラズマともに溶
射するものである。
【００５９】また、オープン（カプセルフリー）ＨＩＰ
は、材料をカプセルに入れないで、熱間等方性加圧を行
うことであり、通常のＨＩＰは、材料内部に圧力がかか
らないようにように、すなわち外圧のみがかかるように
するため、高温で潰される真空カプセルに材料を入れて
行うものとは異なる。
は、材料をカプセルに入れないで、熱間等方性加圧を行
うことであり、通常のＨＩＰは、材料内部に圧力がかか
らないようにように、すなわち外圧のみがかかるように
するため、高温で潰される真空カプセルに材料を入れて
行うものとは異なる。
【００６０】このようにして得られた複合化材料は、塑
性加工を行った高強度基板４５を使用しているので、機
械的強度の強化を図ることができる。また、溶射法によ
る気孔率は、使用する粉末粒子粒径に大きく依存するた
め、逆に言えば、使用する粉末粒径を変えるだけで、気
孔率が傾斜した溶射皮膜を形成することができる。さら
に、減圧プラズマ溶射方法は、数十〜数百ＴＯｒｒの減
圧不活性雰囲気中で溶射するため、酸化被膜の少ない、
粒子間の結合力の強い、高強度基板との密着性の良い被
膜が形成できる。また、オープンＨＩＰにより、熱抵抗
の増大の原因や、応力集中部となる閉気孔が除去できる
。この場合の溶浸は、不活性ガス、または、還元雰囲気
で常圧、または高圧下で行うことにより、第２の材料で
開気孔を埋めることができる。
性加工を行った高強度基板４５を使用しているので、機
械的強度の強化を図ることができる。また、溶射法によ
る気孔率は、使用する粉末粒子粒径に大きく依存するた
め、逆に言えば、使用する粉末粒径を変えるだけで、気
孔率が傾斜した溶射皮膜を形成することができる。さら
に、減圧プラズマ溶射方法は、数十〜数百ＴＯｒｒの減
圧不活性雰囲気中で溶射するため、酸化被膜の少ない、
粒子間の結合力の強い、高強度基板との密着性の良い被
膜が形成できる。また、オープンＨＩＰにより、熱抵抗
の増大の原因や、応力集中部となる閉気孔が除去できる
。この場合の溶浸は、不活性ガス、または、還元雰囲気
で常圧、または高圧下で行うことにより、第２の材料で
開気孔を埋めることができる。
【００６１】以上ように第５の実施例によれば、電子ビ
ーム加熱時の割れ等の損傷を低減させることができると
同時に、入熱密度を増大させることが可能となる。
ーム加熱時の割れ等の損傷を低減させることができると
同時に、入熱密度を増大させることが可能となる。
【００６２】次に、本発明の第６の実施例について、図
１７を参照して説明する。この実施例は、図１７に示す
ように第１の工程５１から第５の工程５５を含んでおり
、第１の工程５１では、基材の表面を清浄にする。第２
の工程５２では、第１の工程５１で清浄にした基板と、
これと同一種類の材料を、溶射例えば減圧プラズマ溶射
により、連続傾斜組成化を行う。第３の工程５３では、
オープンＨＩＰにより第２の工程５２で形成された開気
孔（孔が外部と連通している）を残し、閉気孔（孔が外
部と連通していない）を消滅させる。第４の工程５４で
は、第３の工程５３で得られた気孔中に低融点金属、例
えばＣｕ を溶浸する。第５の工程５５では、機械加工
を行う。
１７を参照して説明する。この実施例は、図１７に示す
ように第１の工程５１から第５の工程５５を含んでおり
、第１の工程５１では、基材の表面を清浄にする。第２
の工程５２では、第１の工程５１で清浄にした基板と、
これと同一種類の材料を、溶射例えば減圧プラズマ溶射
により、連続傾斜組成化を行う。第３の工程５３では、
オープンＨＩＰにより第２の工程５２で形成された開気
孔（孔が外部と連通している）を残し、閉気孔（孔が外
部と連通していない）を消滅させる。第４の工程５４で
は、第３の工程５３で得られた気孔中に低融点金属、例
えばＣｕ を溶浸する。第５の工程５５では、機械加工
を行う。
【００６３】以上述べた第６の実施例によれば、次のよ
うな効果が得られる。第２の工程５２で行う減圧プラズ
マ溶射は、数十Ｔｏｒｒの不活性ガス雰囲気で溶射する
ため、材料は酸化しない。また、使用する溶射用粉末を
大粒径とすることで、内部未溶融粒子が飛来付着し、比
較的気孔率の大きな皮膜を形成することができる。
うな効果が得られる。第２の工程５２で行う減圧プラズ
マ溶射は、数十Ｔｏｒｒの不活性ガス雰囲気で溶射する
ため、材料は酸化しない。また、使用する溶射用粉末を
大粒径とすることで、内部未溶融粒子が飛来付着し、比
較的気孔率の大きな皮膜を形成することができる。
【００６４】さらに、第３の工程５３で行うオープンＨ
ＩＰ処理では、第２の工程５２の減圧プラズマ溶射によ
って形成された開気孔を残し、閉気孔を消滅させること
ができる。このようにして得られた開気孔のみを有し、
この気孔が傾斜化した材料Ｗに低融点の材料Ｃｕ 溶浸
することで、比較的広範囲に溶射し、大型で連続傾斜の
材料を製作できる。
ＩＰ処理では、第２の工程５２の減圧プラズマ溶射によ
って形成された開気孔を残し、閉気孔を消滅させること
ができる。このようにして得られた開気孔のみを有し、
この気孔が傾斜化した材料Ｗに低融点の材料Ｃｕ 溶浸
することで、比較的広範囲に溶射し、大型で連続傾斜の
材料を製作できる。
【００６５】このようなことから、前述の第１の実施例
で得ることが難しかった３次元曲面上にも、傾斜組成化
組織を形成することが可能で、第１の実施例では段階傾
斜であったものが、連続傾斜組成化となることから、よ
り熱応力緩和が図れる。この事により、コーティング、
継手など異種界面の熱応力緩和が有効に働き、熱サイク
ル特性の向上、耐熱性が改善される。
で得ることが難しかった３次元曲面上にも、傾斜組成化
組織を形成することが可能で、第１の実施例では段階傾
斜であったものが、連続傾斜組成化となることから、よ
り熱応力緩和が図れる。この事により、コーティング、
継手など異種界面の熱応力緩和が有効に働き、熱サイク
ル特性の向上、耐熱性が改善される。
【００６６】第６の実施例の基材としては、Ｗ、Ｍｏ
、Ｔａ 、Ｎｂ 、Ｒｅ 、Ｖ、Ｚｒ Ｏ２ 、Ｍｇ
Ｏ、Ａｌ ２ Ｏ ３、Ｙ ２Ｏ ３、Ｓｉ Ｃ、Ｓｉ
３ Ｎ ４、ＢＮ、Ａｌ Ｎのいずれかを用い、低融
点材料としては、Ｃｕ 、Ａｇ 、Ｆｅ 、Ｎｉ 、Ｃ
ｏ あるいはそれらを主成分とする合金のいずれかをも
ちいればよい。
、Ｔａ 、Ｎｂ 、Ｒｅ 、Ｖ、Ｚｒ Ｏ２ 、Ｍｇ
Ｏ、Ａｌ ２ Ｏ ３、Ｙ ２Ｏ ３、Ｓｉ Ｃ、Ｓｉ
３ Ｎ ４、ＢＮ、Ａｌ Ｎのいずれかを用い、低融
点材料としては、Ｃｕ 、Ａｇ 、Ｆｅ 、Ｎｉ 、Ｃ
ｏ あるいはそれらを主成分とする合金のいずれかをも
ちいればよい。
【００６７】さらに、第６の実施例で用いた減圧プラズ
マ溶射は、これに限らず耐酸化特性に優れた材料であれ
ば、大気中の溶射法、例えばプラズマ溶射法、ガス溶射
法、アーク溶射法のいずれであっても同様に実施できる
とともに、同様な効果が得られる。
マ溶射は、これに限らず耐酸化特性に優れた材料であれ
ば、大気中の溶射法、例えばプラズマ溶射法、ガス溶射
法、アーク溶射法のいずれであっても同様に実施できる
とともに、同様な効果が得られる。
【００６８】次に、第７の実施例について、図１８の工
程図を参照して説明する。この実施例は、前述の第１の
実施例の第４の工程で第１材料の気孔中に第２の材料を
溶浸する際に、高圧下で処理するＨＩＰ溶浸を行ったと
ころに特徴を有する。すなわち、第３の工程６３で焼結
体を得た後、第４の工程６４としてオープンＨＩＰによ
り溶浸を行い、その後、第５の工程６５でＨＩＰ溶浸を
行うものである。
程図を参照して説明する。この実施例は、前述の第１の
実施例の第４の工程で第１材料の気孔中に第２の材料を
溶浸する際に、高圧下で処理するＨＩＰ溶浸を行ったと
ころに特徴を有する。すなわち、第３の工程６３で焼結
体を得た後、第４の工程６４としてオープンＨＩＰによ
り溶浸を行い、その後、第５の工程６５でＨＩＰ溶浸を
行うものである。
【００６９】いま、円形の細孔の半径ｒに、表面張力σ
の流体が入るためには、接触角Θとすると、圧力Ｐは以
下の式を満足する必要がある。
の流体が入るためには、接触角Θとすると、圧力Ｐは以
下の式を満足する必要がある。
【００７０】
Ｐ≧（２σｃｏｓΘ）÷ｒ
従って、材料系が決まれば、Θとσは一義的に決まるた
め、小さい孔に液体をしみこませようとすれば、圧力Ｐ
を大きくしなければならない。逆に言えば、圧力Ｐをか
ければ、かける程小さい孔に液体がしみこむことになる
。
め、小さい孔に液体をしみこませようとすれば、圧力Ｐ
を大きくしなければならない。逆に言えば、圧力Ｐをか
ければ、かける程小さい孔に液体がしみこむことになる
。
【００７１】この事から、高温、高圧場を作ることがで
きるＨＩＰ装置を用いて溶浸すれば、開気孔中に第２材
料を確実に溶浸できる。また、ガスの種類として、Ａｒ
，Ｈｅ のような不活性ガスを用いれば、材料の酸化
の問題も解消できる。
きるＨＩＰ装置を用いて溶浸すれば、開気孔中に第２材
料を確実に溶浸できる。また、ガスの種類として、Ａｒ
，Ｈｅ のような不活性ガスを用いれば、材料の酸化
の問題も解消できる。
【００７２】一方、温度を上げていけば、一般的には接
触角Θが小さくなる。これに伴って、ｃｏｓΘも小さく
なるために、圧力Ｐを一定とした場合、半径ｒも小さく
できるが、材料の反応が問題となる。
触角Θが小さくなる。これに伴って、ｃｏｓΘも小さく
なるために、圧力Ｐを一定とした場合、半径ｒも小さく
できるが、材料の反応が問題となる。
【００７３】以上のことから、高圧場でのＨＩＰ溶浸に
より開気孔が残らなく、しかも材料間の反応が小さい傾
斜組成材料の作製が可能となる。気孔が無くなることに
より、機械的強度が向上し、熱伝導性の向上が図れる。
より開気孔が残らなく、しかも材料間の反応が小さい傾
斜組成材料の作製が可能となる。気孔が無くなることに
より、機械的強度が向上し、熱伝導性の向上が図れる。
【００７４】第７の実施例において、接触角Θが小さく
なるように、液体中に活性元素を添加し、微細気孔への
溶浸を促進させるようにしてもよい。
なるように、液体中に活性元素を添加し、微細気孔への
溶浸を促進させるようにしてもよい。
【００７５】次に、図１９と図２０を用いて本発明によ
る受熱材料の製造方法と、この方法によってできた受熱
材料（以下、第８の実施例と称する）に、ついて説明す
る。図２２はその製造方法を示す工程図であり、第１の
工程７１で受熱面側を、Ｗ，Ｍｏ の単結晶化とするた
めに、ドープ圧延材を作製する。第２の工程７２では、
第１の工程７１で得られた圧延材の表面をブラスト等で
粗面化し、Ｗ粉末を傾斜積層する。第３の工程７３では
、第２の工程７２で得られたＷ圧延材とＷ粉末を焼結接
合し、第４の工程７４では、第３の工程７３と同時に、
２次再結晶を利用してＷ、Ｍｏ の最小表面ドープＷ、
Ｍｏ 圧延材部を巨大結晶粒育成を行い、ＷまたはＭ０
のスケルトンを作製する。この場合、受熱面側を単結
晶とする。その後、第５の工程７５では、第４の工程７
４で傾斜した気孔中にＣｕ を溶浸し、第６の工程７６
で機械加工により仕上げる。
る受熱材料の製造方法と、この方法によってできた受熱
材料（以下、第８の実施例と称する）に、ついて説明す
る。図２２はその製造方法を示す工程図であり、第１の
工程７１で受熱面側を、Ｗ，Ｍｏ の単結晶化とするた
めに、ドープ圧延材を作製する。第２の工程７２では、
第１の工程７１で得られた圧延材の表面をブラスト等で
粗面化し、Ｗ粉末を傾斜積層する。第３の工程７３では
、第２の工程７２で得られたＷ圧延材とＷ粉末を焼結接
合し、第４の工程７４では、第３の工程７３と同時に、
２次再結晶を利用してＷ、Ｍｏ の最小表面ドープＷ、
Ｍｏ 圧延材部を巨大結晶粒育成を行い、ＷまたはＭ０
のスケルトンを作製する。この場合、受熱面側を単結
晶とする。その後、第５の工程７５では、第４の工程７
４で傾斜した気孔中にＣｕ を溶浸し、第６の工程７６
で機械加工により仕上げる。
【００７６】このような工程によりできた受熱材料７７
を図２０に示している。この場合、非定常的に受ける大
きな熱応力は、受熱面７８の延性の優れた単結晶Ｗ，ま
たはＭｏ が受け持ち、定常的な熱応力は、その下部の
Ｗ／Ｃｕ 傾斜組成により緩和される。粒界脆化を生じ
やすいＷ、Ｍｏ の粒界をなくすことで、極めて延性が
優れたＷ，Ｍｏ が加熱面側に配設された受熱材料を得
ることができ、加熱性に優れると共に、急加熱による熱
衝撃特性が向上する。
を図２０に示している。この場合、非定常的に受ける大
きな熱応力は、受熱面７８の延性の優れた単結晶Ｗ，ま
たはＭｏ が受け持ち、定常的な熱応力は、その下部の
Ｗ／Ｃｕ 傾斜組成により緩和される。粒界脆化を生じ
やすいＷ、Ｍｏ の粒界をなくすことで、極めて延性が
優れたＷ，Ｍｏ が加熱面側に配設された受熱材料を得
ることができ、加熱性に優れると共に、急加熱による熱
衝撃特性が向上する。
【００７７】以上述べた受熱材料を製造する実施例は、
次の点も回避している。すなわち、Ｗ，Ｍｏ のスケル
トンの作製と、巨大結晶粒育成において、Ｗ，Ｍｏ 粉
末の焼結が進み過ぎて気孔率の傾斜した領域が十分に製
作が出来ないことがある。このため、本実施例では１０
ミクロン程度の大きさの粒子を使うことで、それを回避
している。その他、減圧プラズマ溶射により、単結晶板
の裏面に、Ｗ，Ｍｏ の傾斜組成領域８０を形成するこ
とが可能となる。さらに、巨大単結晶成長を先に実施し
、単結晶化した材料の表面にＷ粉末を傾斜積層し、焼結
結合Ｃｕ を溶浸させることによっても同様な受熱板の
製造が可能である。
次の点も回避している。すなわち、Ｗ，Ｍｏ のスケル
トンの作製と、巨大結晶粒育成において、Ｗ，Ｍｏ 粉
末の焼結が進み過ぎて気孔率の傾斜した領域が十分に製
作が出来ないことがある。このため、本実施例では１０
ミクロン程度の大きさの粒子を使うことで、それを回避
している。その他、減圧プラズマ溶射により、単結晶板
の裏面に、Ｗ，Ｍｏ の傾斜組成領域８０を形成するこ
とが可能となる。さらに、巨大単結晶成長を先に実施し
、単結晶化した材料の表面にＷ粉末を傾斜積層し、焼結
結合Ｃｕ を溶浸させることによっても同様な受熱板の
製造が可能である。
【００７８】受熱材料７７を製造する第８の実施例では
、受熱面７８がＷ，またはＭｏ の受熱材料をあげたが
、受熱面をＲｅ 、Ｖのいずれか、あるいはＷ，Ｍｏ
，Ｒｅ ，Ｖを主とした合金からなるものであっても良
い。 また、図２０の受熱面７８と反対側の面（例えば水冷却
する面）７９に、高熱伝導材料としてＣｕ ，Ａｇ ，
Ｆｅ あるいはこれらを主成分とする合金で形成し、受
熱面７８からこれと反対側の面まで、組成を傾斜化させ
るようにしても良い。
、受熱面７８がＷ，またはＭｏ の受熱材料をあげたが
、受熱面をＲｅ 、Ｖのいずれか、あるいはＷ，Ｍｏ
，Ｒｅ ，Ｖを主とした合金からなるものであっても良
い。 また、図２０の受熱面７８と反対側の面（例えば水冷却
する面）７９に、高熱伝導材料としてＣｕ ，Ａｇ ，
Ｆｅ あるいはこれらを主成分とする合金で形成し、受
熱面７８からこれと反対側の面まで、組成を傾斜化させ
るようにしても良い。
【００７９】前述の実施例では、高融点材料または低熱
伝導性材料に気孔を形成するのに、焼結方法、減圧プラ
ズマ溶射方法のいずれかを使用したが、これに限らず化
学蒸着方法、物理蒸着方法等を使用しても良い。
伝導性材料に気孔を形成するのに、焼結方法、減圧プラ
ズマ溶射方法のいずれかを使用したが、これに限らず化
学蒸着方法、物理蒸着方法等を使用しても良い。
【００８０】
【発明の効果】本発明によれば、二つの材料の接合強度
（密着性）および熱伝導性が優れる複合化材料の製造方
法ならびに受熱材料の製造方法および受熱材料の製造方
法を提供できる。
（密着性）および熱伝導性が優れる複合化材料の製造方
法ならびに受熱材料の製造方法および受熱材料の製造方
法を提供できる。
【図１】本発明による複合化材料の製造方法の第１の実
施例を示す工程図。
施例を示す工程図。
【図２】図１のＷとＣｕ の界面での組成が傾斜化した
複合化金属材料の模式図。
複合化金属材料の模式図。
【図３】図１のＷとＣｕ の界面で発生する応力の模式
図。
図。
【図４】図１の組成傾斜部のＷとＣｕ の混合層での熱
伝導率を示す図。
伝導率を示す図。
【図５】図１の実施例により得られた材料を活性金属溶
解用るつぼの断面図およびＡ部の微細組織を模式的に示
す図。
解用るつぼの断面図およびＡ部の微細組織を模式的に示
す図。
【図６】本発明による複合化材料の製造方法の第２の実
施例を示す工程図。
施例を示す工程図。
【図７】第２の実施例におけるＷの粉末粒度や成形圧が
焼結体の相対密度に与える影響を説明するための図。
焼結体の相対密度に与える影響を説明するための図。
【図８】本発明による複合化材料の製造方法の第３，第
４の実施例を示す工程図。
４の実施例を示す工程図。
【図９】第３の実施例により得られた材料の機械的強度
を説明するための図。
を説明するための図。
【図１０】第３の実施例の分散強化材料の候補例とその
主な特性を示す図。
主な特性を示す図。
【図１１】第３の実施例でできた材料を電子ビームター
ゲットとして適用した例を説明するための図。
ゲットとして適用した例を説明するための図。
【図１２】図１１の電子ビームターゲット材を製造する
際のＣｕ の溶浸方法を説明するための図。
際のＣｕ の溶浸方法を説明するための図。
【図１３】図１１に示す電子ビームターゲットに電子ビ
ームをあてた時の温度分布と機械的応力分布の解析結果
を図。
ームをあてた時の温度分布と機械的応力分布の解析結果
を図。
【図１４】図１１に示す電子ビームターゲットに電子ビ
ームをあてた時の電子ビームの入熱密度と最大主応力（
熱応力）や最高到達温度の関係を示す図。
ームをあてた時の電子ビームの入熱密度と最大主応力（
熱応力）や最高到達温度の関係を示す図。
【図１５】本発明による複合化材料の製造方法の第５の
実施例を示す工程図。
実施例を示す工程図。
【図１６】第５の実施例により得られた材料の概略断面
図。
図。
【図１７】本発明による複合化材料の製造方法の第６の
実施例を示す工程図。
実施例を示す工程図。
【図１８】本発明による複合化材料の製造方法の第７の
実施例を示す工程図。
実施例を示す工程図。
【図１９】本発明による複合化材料の製造方法の第８の
実施例を示す工程図。
実施例を示す工程図。
【図２０】第８の実施例により得られた材料の概略断面
図。
図。
１１…るつぼ本体、１２…水冷用穴、１３…水冷ハース
、１４…ＷとＣｕ の界面、１６…リニア電子ビーム、
１７…水冷パイプ、１８…Ｗ合金焼結体、１９…Ｃｕ
、２０…黒鉛るつぼ、２１…ビームターゲット。
、１４…ＷとＣｕ の界面、１６…リニア電子ビーム、
１７…水冷パイプ、１８…Ｗ合金焼結体、１９…Ｃｕ
、２０…黒鉛るつぼ、２１…ビームターゲット。
Claims (11)
- 【請求項１】 高融点材料と低融点材料とを複合化し
た複合化材料の製造方法において、高融点材料に気孔を
形成すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一部分
で大きく、またその部分に向かって次第に気孔率が大き
くなるように気孔率分布をもった材料を得る第１の工程
と、この第１の工程で得られた材料の気孔率の大きい部
分から前記低融点側材料を溶浸する第２の工程を含み、
前記高融点材料と低融点材料の組成比率が傾斜分布する
ようにしたことを特徴とする複合化材料の製造方法。 - 【請求項２】 第１の工程は、高融点材料を焼結工程
、物理蒸着工程、化学蒸着工程のいずれか一つであるこ
とを特徴とする請求項１記載の複合化材料の製造方法。 - 【請求項３】 高融点材料と低融点材料とを複合化し
た複合化材料の製造方法において、前記高融点材料の粉
末と、この粉末に固溶する第２元素の粉末を添加混合す
る第１の工程と、この第１の工程で得られた混合物を成
形して固溶強化した成形体を得る第２の工程と、この第
２の工程で得た成形体を焼結して気孔を形成すると共に
、その気孔率が少なくとも表面の一部分で大きく、また
その部分に向かって次第に気孔率が大きくなるように気
孔率分布をもった焼結体を得る第３の工程と、この第３
の工程で得られた焼結体の気孔に前記低融点材料を溶浸
する第４の工程を含み、前記高融点材料と低融点材料の
組成比率が傾斜分布するようにしたことを特徴とする複
合化材料の製造方法。 - 【請求項４】 高融点材料と低融点材料とを複合化し
た複合化材料の製造方法において、前記高融点材料の粉
末と、この粉末に反応しない第２元素または化合物の粉
末を添加混合する第１の工程と、この第１の工程で得ら
れた混合物を成形して分散強化した成形体を得る第２の
工程と、この第２の工程で得た成形体を焼結して気孔を
形成すると共に、その気孔率が少なくとも表面の一部分
で大きく、またその部分に向かって次第に気孔率が大き
くなるように気孔率分布をもった焼結体を得る第３の工
程と、この第３の工程で得られた焼結体の気孔に前記低
融点材料を溶浸する第４の工程を含み、前記高融点材料
と低融点材料の組成比率が傾斜分布するようにしたこと
を特徴とする複合化材料の製造方法。 - 【請求項５】 高融点材料と低融点材料とを複合化し
た複合化材料の製造方法において、前記高融点材料を圧
延、鍛造等の塑性加工、又は、合金化により機械的強度
を強化した基材を得る第１の工程と、この第１の工程で
得られた基材に、減圧プラズマ溶射手段により共材を溶
射させる事により、気孔を形成すると共に、その気孔率
が少なくとも表面の一部分で大きく、またその部分に向
かって次第に気孔率が大きくなるように気孔率分布をも
った溶射皮膜を形成する第２の工程と、この第２の工程
で得られた溶射皮膜の気孔に前記低融点材料を溶浸する
第３の工程とを含み、前記高融点材料と低融点材料の組
成比率が傾斜分布するようにしたことを特徴とする複合
化材料の製造方法。 - 【請求項６】 第１の工程は、基材に、これと同一種
類の材料を溶射手段により溶射させることにより、気孔
を形成することを特徴とする請求項１記載の複合化材料
の製造方法。 - 【請求項７】 第１の工程は、基材に、これと同一種
類の材料を溶射手段により溶射させることにより気孔を
有する材料を得、この第１の工程で得られた材料を熱間
等方性加圧した後、第２の工程を行うことを特徴とする
請求項１記載の複合化材料の製造方法。 - 【請求項８】 熱間等方性加圧処理は、材料をカプセ
ルに入れないで処理するカプセルフリー熱間等方性加圧
処理であることを特徴とする請求項７記載の複合化材料
の製造方法。 - 【請求項９】 超高温場において使用され、受熱面と
反受熱面を有し、前記受熱面側に融点が高く単結晶化が
可能な材料層を形成し、前記受熱面側から反受熱面側ま
で組成比率が傾斜分布するようにしたことを特徴とする
受熱材料。 - 【請求項１０】 低熱伝導材料と高熱伝導材料を複合
化して受熱材料を製造する場合、前記低熱伝導材料とし
てドープ剤添加圧延材、鍛造材等の塑性材からなる基材
を用い、この基材の片面に、この基材と同種類の材料粉
末を積層して積層体を得る第１の工程と、この第１の工
程で得られた積層体を加熱焼結して受熱面となる面を単
結晶化し、この受熱面とは反対側の面に気孔を形成する
と共に、その気孔率が少なくとも表面の一部分で大きく
、またその部分に向かって次第に気孔率が大きくなるよ
うに気孔率分布をもった焼結体を得る第２工程と、この
第２工程で得られた焼結体の気孔に前記高熱伝導材料を
溶浸する第３の工程を含み、前記低熱伝導材料と高熱伝
導材料の組成比率が傾斜分布するようにしたことを特徴
とする受熱材料の製造方法。 - 【請求項１１】 第１の工程は、低熱伝導材料として
ドープ剤添加圧延材、鍛造材等の塑性材からなる基材を
用い、この基材の片面に、この基材と同種類の材料粉末
を減圧プラズマ溶射手段により積層して積層体を得るこ
とを特徴とする請求項１０記載の受熱材料の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3059545A JP2950436B2 (ja) | 1990-03-15 | 1991-02-28 | 複合化材料の製造方法 |
| EP91103974A EP0446934B1 (en) | 1990-03-15 | 1991-03-14 | Method of fabricating a composite material |
| DE69130237T DE69130237T2 (de) | 1990-03-15 | 1991-03-14 | Verfahren zur Herstellung von Kompositmaterial |
| KR1019910004112A KR940008937B1 (ko) | 1990-03-15 | 1991-03-15 | 복합화 재료의 제조방법 및 수열재료(受熱材料)와 수열재료의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6519790 | 1990-03-15 | ||
| JP2-65197 | 1990-03-15 | ||
| JP3059545A JP2950436B2 (ja) | 1990-03-15 | 1991-02-28 | 複合化材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04214826A true JPH04214826A (ja) | 1992-08-05 |
| JP2950436B2 JP2950436B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=26400588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3059545A Expired - Fee Related JP2950436B2 (ja) | 1990-03-15 | 1991-02-28 | 複合化材料の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0446934B1 (ja) |
| JP (1) | JP2950436B2 (ja) |
| KR (1) | KR940008937B1 (ja) |
| DE (1) | DE69130237T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006513320A (ja) * | 2003-01-08 | 2006-04-20 | インコ、リミテッド | 粉末冶金により製造または処理された部品およびその製造方法 |
| JP2017226865A (ja) * | 2016-06-20 | 2017-12-28 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 溶射膜を有する基材 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5204055A (en) * | 1989-12-08 | 1993-04-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Three-dimensional printing techniques |
| US5814161A (en) * | 1992-11-30 | 1998-09-29 | Massachusetts Institute Of Technology | Ceramic mold finishing techniques for removing powder |
| US5775402A (en) * | 1995-10-31 | 1998-07-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Enhancement of thermal properties of tooling made by solid free form fabrication techniques |
| US6146567A (en) * | 1993-02-18 | 2000-11-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Three dimensional printing methods |
| GB9320150D0 (en) * | 1993-09-30 | 1993-11-17 | Automotive Products Plc | Metal matrix composite components |
| GB2287038A (en) * | 1993-09-30 | 1995-09-06 | Automotive Products Plc | Metal matrix composites |
| US5660621A (en) * | 1995-12-29 | 1997-08-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Binder composition for use in three dimensional printing |
| AT13536U1 (de) * | 2013-05-07 | 2014-02-15 | Plansee Se | Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers und damit herstellbarer Formkörper |
| DE102015207602A1 (de) * | 2015-04-24 | 2016-10-27 | Gfe Metalle Und Materialien Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Rohrkathode zum Einsatz in PVD-ARC-Beschichtungsanlagen |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS515211A (ja) * | 1974-06-03 | 1976-01-16 | Westinghouse Electric Corp |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3929424A (en) * | 1973-10-23 | 1975-12-30 | Mallory & Co Inc P R | Infiltration of refractory metal base materials |
| US4718941A (en) * | 1986-06-17 | 1988-01-12 | The Regents Of The University Of California | Infiltration processing of boron carbide-, boron-, and boride-reactive metal cermets |
| DE3627775A1 (de) * | 1986-08-16 | 1988-02-18 | Demetron | Verfahren zur herstellung von targets |
| DE3724995A1 (de) * | 1987-02-26 | 1988-09-08 | Radex Heraklith | Verfahren zur herstellung eines verbundkoerpers und verbundkoerper selbst |
| US4917722A (en) * | 1988-05-18 | 1990-04-17 | Tosoh Corporation | Single crystals of chromium and method for producing the same |
| DE3907625C1 (ja) * | 1989-03-09 | 1990-02-15 | Mtu Muenchen Gmbh |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3059545A patent/JP2950436B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-14 DE DE69130237T patent/DE69130237T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-14 EP EP91103974A patent/EP0446934B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-15 KR KR1019910004112A patent/KR940008937B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS515211A (ja) * | 1974-06-03 | 1976-01-16 | Westinghouse Electric Corp |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006513320A (ja) * | 2003-01-08 | 2006-04-20 | インコ、リミテッド | 粉末冶金により製造または処理された部品およびその製造方法 |
| JP2017226865A (ja) * | 2016-06-20 | 2017-12-28 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 溶射膜を有する基材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940008937B1 (ko) | 1994-09-28 |
| JP2950436B2 (ja) | 1999-09-20 |
| DE69130237D1 (de) | 1998-10-29 |
| KR910016950A (ko) | 1991-11-05 |
| EP0446934B1 (en) | 1998-09-23 |
| EP0446934A2 (en) | 1991-09-18 |
| DE69130237T2 (de) | 1999-03-25 |
| EP0446934A3 (en) | 1993-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5126102A (en) | Fabricating method of composite material | |
| JP5376952B2 (ja) | モリブデン−チタンスパッタリングプレートおよびターゲットの製造法 | |
| CA2462491C (en) | Laminated component for fusion reactors | |
| US11247268B2 (en) | Methods of making metal matrix composite and alloy articles | |
| JP7358034B2 (ja) | 予備焼結プリフォームを作製する方法 | |
| KR101200578B1 (ko) | 복합 소재 | |
| US20160273074A1 (en) | Method for producing a component from a composite material comprising a metal matrix and incorporated intermetallic phases | |
| KR20090031499A (ko) | 냉간 압축 성형된 스퍼터 타겟 | |
| JPH04214826A (ja) | 複合化材料の製造方法 | |
| US7762448B2 (en) | Process for producing a composite body | |
| US5963773A (en) | Tungsten skeleton structure fabrication method employed in application of copper infiltration and tungsten-copper composite material fabrication method thereof | |
| JP2021046610A (ja) | コーティング源 | |
| JPH11314974A (ja) | 接合体の製造方法 | |
| US8575625B2 (en) | Semiconductor element mounting member, method of producing the same, and semiconductor device | |
| US6821313B2 (en) | Reduced temperature and pressure powder metallurgy process for consolidating rhenium alloys | |
| TW200829702A (en) | Full density Co-W magnetic sputter targets | |
| KR100453518B1 (ko) | 반도체 소자용 박스형 구조재용 Si-Al 합금의 제조방법 | |
| US7270782B2 (en) | Reduced temperature and pressure powder metallurgy process for consolidating rhenium alloys | |
| Li et al. | Joining reaction-bonded silicon carbide using Inconel 600 superalloy. | |
| CN1032194C (zh) | 复合材料的制造方法 | |
| JPS6230804A (ja) | 粉末ホットプレス法による超硬質材料粉末と鉄系金属粉末の多層焼結方法 | |
| Nicholls et al. | Applications of coating technology and HIP to advanced materials processing | |
| JPS60203436A (ja) | 耐高熱負荷複合構造体 | |
| KR100576417B1 (ko) | 이종접합 소재의 제작방법 | |
| JPS6256502A (ja) | 鉄系金属板の表面に超硬質層を一体的に形成するハ−ドフエ−シング法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |