JPH04212735A - 光学情報の記録方法 - Google Patents

光学情報の記録方法

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JPH04212735A
JPH04212735A JP3049522A JP4952291A JPH04212735A JP H04212735 A JPH04212735 A JP H04212735A JP 3049522 A JP3049522 A JP 3049522A JP 4952291 A JP4952291 A JP 4952291A JP H04212735 A JPH04212735 A JP H04212735A
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鋭二 大野
Noboru Yamada
昇 山田
Kenichi Nishiuchi
健一 西内
Nobuo Akahira
信夫 赤平
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザー光線等を用い
て高密度に光学的な情報を記録再生する光ディスクおよ
び光ディスク上への光学情報の記録方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】レーザー光線を利用して高密度な情報の
再生あるいは記録を行う技術は公知であり、主に光ディ
スクとして実用化されている。光ディスクの一つの応用
例として音楽情報を記録したコンパクト・ディスク(以
下CDと記す)がある。これは光ディスク上にあらかじ
め信号が記録された再生専用型であり、ユーザーは音楽
情報を再生することはできるが、信号を記録・消去する
ことはできない。そこで近年、書換え型光ディスクによ
り記録・消去が可能なCDを実現する研究開発が盛んに
なされている。
【0003】書換え型光ディスクは光磁気ディスクと相
変化ディスクに大別できる。このうち相変化ディスクは
レーザー光の照射条件を変化させることにより記録膜を
アモルファスと結晶間で可逆的に状態変化させて信号を
記録し、アモルファスと結晶の反射率の違いを光学的に
検出して再生するものである。したがって光磁気ディス
クに比べ、CDと同様にレーザー光の反射率変化により
信号が再生できる、レーザーパワーの変調で1ビームオ
ーバーライトが容易に実現できる、といった大きなメリ
ットがある。
【0004】相変化ディスクによる書換え型CDの具体
的提案としては、記録膜材料として図16の斜線の組成
範囲のGeSbTe合金を用い、構造として図17のよ
うに記録膜を誘電体膜でサンドイッチした光ディスクが
ある(光メモリシンポジウム1988、論文集、P41
−P42)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記従来例で提案され
た記録膜組成および光ディスク構造で実際にCD信号の
記録を従来の1ビームオーバーライトで行ったところ、
再生波形の歪が非常に大きく実用的でないことが分かっ
た。これは記録マーク形状が前後対称でなく先端部で細
く終端部で太くなって涙滴状に歪むためである。原因は
図18の(a)のようなレーザー光の変調波形で記録し
た場合、記録膜の到達温度が蓄熱現象で(b)のように
先端で低く終端に近づくにつれて高くなることにあり、
結果として、(c)のような涙滴状の記録マークとなる
。蓄熱現象はレーザースポットと光ディスクの相対速度
、すなわち線速度が遅いほど大きくなるため、CDのよ
うに1.2〜1.4m/secと非常に遅い場合には記
録マークの形状歪も大きくなる。この記録マークの歪み
は再生波形歪みにつながり、ジッター増大の原因となる
。特にCD規格のEFM信号はパルス幅変調された信号
(PWM信号)であって、記録マークの長さと記録マー
クの間隔が情報を示すものであり、記録マークの歪はエ
ラー発生の大きな原因となる。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に詳細な検討、研究を重ねた結果、発明者らは光ディス
クの記録膜組成、構造を特定し、さらに記録方法を特定
することによって、書換え型光ディスクにおいても形状
歪が小さい記録マークを形成でき、CD並の再生信号が
得られることを見いだした。
【0007】すなわち光ディスクを、基板上に誘電体膜
、記録膜、誘電体膜、反射膜の順に積層した構造とし、
前記記録膜は、組成がGexSbyTez( 7≦x≦
17, 34≦y≦44, 44≦z≦54, x+y
+z=100 at%) で表され、かつ膜厚は10n
m以上35nm 以下であり、反射膜側の前記誘電体膜
の膜厚は5nm以上40nm以下であり、かつ前記反射
膜は少なくともAu,Al,Ti,Ni,Crの単体あ
るいは合金からなり、かつ膜厚は35nm以上とする。
【0008】さらにこの光ディスク上への信号の記録方
法として、パルス幅変調されたデジタル信号を一つのレ
ーザースポットを用いてオーバーライトする場合に、光
ディスクをレーザースポットとの相対速度が1.2〜1
.4m/secの間の一定速度となるように回転させる
ステップと、前記デジタル信号に含まれるそれぞれのパ
ルスを複数のパルスからなるパルス列に変換するステッ
プと、レーザーパワーを前記パルス列により消去レベル
と記録レベルの間で変調して、それぞれの前記パルス列
でそれぞれ一つの記録マークを光ディスク上に形成して
前記デジタル信号を記録するステップからなり、前記パ
ルス列は先頭パルスと後続パルス列からなり、前記先頭
パルスの幅は常に一定でかつ後続パルス列中の各パルス
の幅より大きく、前記後続パルス列中の各パルスの幅と
間隔はそれぞれ等しく、かつ長さがn番目の記録マーク
を形成する場合の前記後続パルス中のパルス数はn−1
個である光学情報の記録方法を採用する。
【0009】上記のようにレーザーパワーを変調して信
号を記録する前に、予めレーザーパワーを前記記録膜が
溶融するパワーレベル以上で一定に保って連続的に照射
して古い信号を消去するステップを設ける。
【0010】
【作用】本発明の光ディスクおよび光学情報の記録方法
は共に前記蓄熱現象を低減するのに大きな効果がある。
【0011】本発明による光ディスクは、膜厚の薄い記
録膜が金属の反射膜に非常に近接して設けられているた
め放熱効果が大きく、記録膜は昇温した後速やかに冷却
される。したがって蓄熱現象が低減され記録マークの終
端部が必要以上に昇温するのが抑えられる。
【0012】さらに本発明で限定した記録膜組成は、上
記構造のときに良好な消去速度、記録感度、熱的安定性
を実現することができる。
【0013】また本発明による光学情報の記録方法も、
パルス幅の広い先頭パルスで照射して記録膜を十分に昇
温した後、パルス幅の狭い後続パルスで断続的に照射す
るため、記録マークの終端部での蓄熱現象を低減するこ
とができる。なお、記録信号は消去パワーと記録パワー
の間で変調されるため、古い信号の記録マークは新しい
信号を記録する時に同時に消去されるが、さらに記録ビ
ームが通過する前に予めレーザーパワーを記録膜が溶融
するパワーレベル以上で一定に保って連続的に照射すれ
ば古い信号はほぼ完全に消去される。
【0014】上記光ディスクと光学情報の記録方法はそ
れぞれ単独でも記録マークの形状歪を低減する効果は十
分に認められるが、双方を同時に採用することで相乗効
果により、1.2〜1.4m/secという低線速度に
おいてもCDと同じ程度の再生信号品質を実現すること
ができる。
【0015】
【実施例】以下本発明を図面を参照しながら詳細に説明
する。
【0016】上述のように低線速度においてPWM記録
を実現するには記録時における蓄熱現象を抑えて記録マ
ークの形状歪を低減する必要がある。発明者らは記録マ
ークの形状歪を低減するために光ディスク構造および記
録膜組成の検討と、記録方法の検討を行った。その結果
、線速度が1.2〜1.4m/secにおいて記録マー
クの形状歪を小さくできる最適な光ディスクと記録方法
をそれぞれ見いだした。そしてこの光ディスクと記録方
法を同時に採用することにより形状歪は飛躍的に小さく
なり、CD規格のEFM(8−14変調)信号を記録・
再生する場合に非常に有効な手段であることが分かった
【0017】最初に光ディスクについて説明する。図1
にその構造を示す。基板1上に誘電体膜2、記録膜3、
誘電体膜4、反射膜5の順に積層してある。基板1とし
ては金属、ガラス、樹脂等が使用可能であるが、一般的
にレーザー光線は基板側から入射されるため、透明なガ
ラス、石英、ポリカーボネート、ポリメチルメタアクリ
レート等を用いる。本発明による光ディスクの特徴は、
記録膜組成を図2のABCDEFの各点で囲まれた領域
に特定し、記録膜厚は10nm以上35nm 以下であ
り、かつ、誘電体膜4の膜厚は5nm以上40nm以下
とし、反射膜5は少なくともAu,Al,Ti,Ni,
Crの単体あるいは合金で構成し、かつ膜厚を35nm
以上と特定したことにある。なおABCDEFの各点の
座標を以下に示す。
【0018】( Ge,  Sb,  Te )A  
( 17,  34,  49 ) at%B  ( 
17,  39,  44 )C  ( 12,  4
4,  44 )D  (  7,  44,  49
 )E  (  7,  39,  54 )F  (
 12,  34,  54 )このような光ディスク
では薄い記録膜が金属の反射膜に非常に近接して設けら
れているため放熱効果が大きく、記録膜は昇温した後速
やかに冷却され、したがって蓄熱現象が低減されて、1
.2〜1.4m/secの低線速度においても記録マー
クの形状歪が抑えられると同時に、記録膜の組成を限定
することにより、良好な記録感度、消去率、熱的安定性
を得ることができる。
【0019】ここで光ディスクの各構成要素を上述のよ
うに限定した理由について説明する。
【0020】記録膜組成は図2のABCDEFの各点で
囲まれた領域に限定したが、これは以下の理由による。 上記光ディスク構造を保ちながら組成を変化させたとき
、直線AFよりSbの少ない領域では結晶化速度が速す
ぎるため記録膜が溶融した後も結晶化しやすくなり、ア
モルファスの記録マークの形状が歪み、逆に直線CDよ
りSbの多い領域では結晶化速度が遅すぎてアモルファ
ス部分が十分に結晶化されず大きな消し残りが生じた。 また、直線DEよりGeの少ない領域では結晶化温度が
低いために記録信号の熱的安定性が悪く、直線ABより
Geの多い領域では融点が高いために記録感度が悪くな
った。 さらに直線EFよりTeの多い領域では結晶化速度が速
くかつ結晶化温度が低いため記録マークの形状が歪みか
つ記録信号の熱的安定性が悪くなり、逆に直線BCより
Teの少ない領域では結晶化速度が遅すぎてアモルファ
ス部分が十分に結晶化されず大きな消し残りが生じた。 したがって、蓄熱現象を小さく抑えた光ディスク構造に
おいては、記録膜組成は図2のABCDEFの各点で囲
まれた領域がよい。
【0021】また上記構造を保ったまま記録膜厚のみを
変化させたところ、記録膜厚が10nm未満では記録膜
によるレーザー光の吸収が悪くかつ放熱効果が大きいた
めに記録感度が悪くなり、35nmを越えると記録膜の
熱容量が大きくなり蓄熱現象による記録マークの形状歪
が大きくなった。したがって、記録膜厚は10nm以上
35nm以下がよい。
【0022】同様に反射膜側の誘電体膜4の膜厚を検討
したところ、5nm未満では記録膜が反射膜に近接しす
ぎて放熱効果が大きくなりすぎ記録感度が悪くなり、4
0nmを越えると反射膜への放熱が小さくなり蓄熱現象
による記録マークの形状歪が大きくなった。したがって
、誘電体膜4の膜厚は5nm以上40nm以下がよい。 なお、誘電体2および4の材質としては、たとえばSi
O2,SiO,Al2O3,GeO2,TeO2,Mo
O3,WO3,Si3N4,AlN,BN,TiN,Z
nS,ZnSe,ZnTe,SiCの単体あるいはこれ
らの混合物が使用できるが、熱的安定性に優れ、成膜が
容易なものがよく特にZnS,SiO2,Si3N4,
AlN,TiN,ZnSとSiO2の混合物,ZnSe
とSiO2の混合物がよい。
【0023】さらに、反射膜5の膜厚を検討したところ
、35nm未満では反射膜の放熱効果が小さくなり蓄熱
現象による記録マークの形状歪が大きくなった。したが
って、反射膜5の膜厚は35nm以上がよい。なお反射
膜の組成は反射率が大きいこと、熱伝導が大きいこと、
成膜が容易であることを考慮すれば、少なくともAu,
Al,Ti,Ni,Crの単体あるいは合金で構成する
のが良い。
【0024】次に、記録方法について説明する。CD規
格のEFM信号は、3T〜11T(Tはクロック周期)
の9種類のパルス幅の異なるパルスで構成されており、
従来の1ビームオーバーライトによる記録方法は、レー
ザーパワーを消去レベルと記録レベルの間で、EFM信
号により直接変調して光ディスク上に信号を記録してい
た。しかしながら、この記録方法では記録マークは涙滴
状に大きく歪むため、発明者らはこれを低減する方法を
考案した(特願平1−323369)。これは、1ビー
ムオーバーライトする際に一つの記録マークを形成する
記録パルスを特定形状の複数の短パルスからなるパルス
列に変換して信号を記録するものである(この記録方法
は以後マルチパルス記録方法あるいはMP記録方法と記
す)。本発明の記録方法はMP記録方法のうち本発明の
光ディスクに特に有効な要素を抽出し限定したものであ
る。
【0025】すなわち、デジタル信号に含まれるそれぞ
れのパルスを複数のパルスからなるパルス列に変換した
後、レーザーパワーをパルス列により消去レベルと記録
レベルの間で変調して、それぞれのパルス列でそれぞれ
一つの記録マークを光ディスク上に形成して前記デジタ
ル信号を記録するときに、パルス列は先頭パルスと後続
パルス列で構成し、先頭パルスの幅は常に一定でかつ後
続パルス列中の各パルスの幅より大きく、後続パルス列
中の各パルスの幅と間隔はそれぞれ等しく、そして長さ
がn番目の記録マークを形成する場合の後続パルス中の
パルス数はn−1個とするものである。
【0026】図3のように、EFM信号に含まれる3T
〜11Tの幅の異なる9種類のパルスのうち、3Tのパ
ルスは幅の広い先頭パルスに変換され、4Tのパルスに
は幅の狭い後続パルスが先頭パルスに一つ追加され、そ
の後パルス幅が広くなるにつれて幅の等しいパルスが一
つずつ追加されたパルス列に変換される。そしてこのパ
ルス列によりレーザーパワーを記録レベルと消去レベル
の間で変調して信号を記録するため、例えば、図4aの
様な入力波形はbのようなレーザー出力により光ディス
ク上に照射されて、予め記録されている信号を消去しな
がら新しい信号が記録される。なお、レーザーパワーの
変調方法としてはさらにcのようにパルス列の期間だけ
記録レベルPpと再生レベルPrまたはオフレベルの間
で変調してもよい。
【0027】また1ビームオーバーライトで信号を記録
する場合には古い信号の消し残りが生じる場合があり、
消し残りが大きいとジッター増大の原因となる。消し残
りの原因は信号トラック上における結晶状態の差による
ものと考えられるため、上記方法によりレーザーパワー
を変調して信号を記録する前に、予めレーザーパワーを
記録膜が溶融するパワーレベル以上で一定に保って連続
的に照射する。信号トラック上の結晶は全て溶融される
ため、結晶状態の差はなくなり古い信号は十分に消去さ
れる。このとき記録膜は溶融後アモルファス状態になっ
てもあるいは結晶状態になってもよい。その後に照射さ
れる記録レーザー光によりアモルファスと結晶の両方の
状態が実現できるからである。
【0028】なおこの溶融消去は記録レーザースポット
により連続照射して行い、その後改めて記録レーザース
ポットで新しい信号を記録してもよいし、あるいは記録
レーザースポットに先行する他のレーザースポットを設
けて行ってもよい。
【0029】次に本発明のさらに具体的実施例を示す。 実施例1 最初に本発明による光ディスクおよび光学情報の記録方
法の有効性を従来例と比較した例を示す。ここでは本発
明による光ディスクと従来例による光ディスクの2種類
を用意し、それぞれの光ディスクに対して本発明による
記録方法と従来例による記録方法でEFM信号を記録し
たのち、再生して信号のジッターの大きさを比較した。
【0030】本発明による光ディスクAは図1の構造と
同じであり、基板1は信号トラックを予め設けた120
mmφのポリカーボネート基板、記録膜3の組成はGe
12Sb39Te49で膜厚は20nm、誘電体膜の組
成は20mol%のSiO2を含むZnSとSiO2の
混合物で膜厚は誘電体膜2が150nm、誘電体膜4が
12nm、反射膜5の組成はAuで膜厚は50nmとし
た。なおこれらの薄膜層を保護するためにさらにポリカ
ーボネート製の保護カバーを接着した。なお信号トラッ
クは、光ディスク上のどの場所においても1.25m/
secの一定の線速度で回転するため、1.25m/s
ecで回転したときに22.05kHzが得られるよう
に変調したいわゆるウォブリング溝とした。
【0031】従来例の光ディスクBは図17の構造と同
じであり、基板、記録膜、誘電体の組成は光ディスクA
と同じとした。膜厚は基板側の誘電体膜が100nm、
反対側が200nm、記録膜厚が100nmである。光
ディスクBも薄膜層を保護するためにさらにポリカーボ
ネート製の保護カバーを接着した。
【0032】記録方法は、EFM信号で直接レーザー光
を記録レベルと消去レベルの間でパワー変調する従来の
方法と、EFM信号を本発明によるパルス列に変換して
からレーザー光を変調するMP記録方法を採用した。M
P記録方法における3Tから11Tの入力パルスは一定
の規則にしたがってパルス列化されるため、先頭パルス
の幅t1、後続パルスの幅t2を指定すれば全てのパル
ス列を知ることができる。すなわち、図5aの11Tの
波形をbの様にパルス列化したとき、先頭パルスの幅t
1、後続パルスの幅t2を指定すれば3T〜11Tに対
する全てのパルス列が分かる(t3=T−t2である)
【0033】図6に図4bの波形を得るために本実施例
で用いた記録装置を示す。まず光ディスク6をスピンド
ルモータ7により光学ヘッド8からのレーザースポット
と光ディスク6の相対速度、すなわち線速度が1.25
m/secで一定になるように回転する。線速度を光デ
ィスク上の全ての点で一定に保つためには、ウォブリン
グ溝の変調信号を光学的に再生して、この信号が常に2
2.05kHzとなるように回転速度を制御すればよい
【0034】信号を記録するときには、信号発生器9か
らのEFM信号s1をMP回路10でパルス列信号s4
に変換する。MP回路10はパルス幅が最も長い11T
のパルスに対応するパルス列のパターンを予め設定して
おくパターン設定器11と、s1中のパルス幅を検知し
、その長さに応じてパターン設定器11の設定パターン
の先頭から必要な長さを切り出してパルス列を発生して
出力する変調器12で構成した。なお信号発生器からの
入力信号のエッジ位置がパルス列に変調されることによ
って変動しないように、入力信号の発生器、変調器、パ
ターン設定器を同一のクロックC1で同期させて記録信
号のジッタを抑えた。また、光学ヘッド8中の半導体レ
ーザーは信号再生時には再生レベルPrを得るために電
流Irが流れているが、信号の記録期間中、すなわち記
録ゲート信号Wgが入力されるときには消去レベルPb
を得るためのバイアス電流Ibが流れ、かつs4のパル
ス列信号でスイッチ13が作動したときにはさらに記録
レベルPpを得るための電流Iaが重畳される。したが
って信号記録時にはレーザーパワーは図4bの様に消去
レベルPbと記録レベルPpの間で、パルス列波形に基
づいて変調される。なお基準電圧設定回路14は電流I
r,Ia,Ibを得るのに必要な電圧を発生させるもの
でる。また、光学ヘッド8中の半導体レーザーの波長は
830nm,対物レンズの開口数(numerical
 aperture;NA)は0.5である。
【0035】本実施例におけるパルス列の構成は図5に
おいてt1=348nsec,t2=116nsec,
T=232nsecである。
【0036】また従来の記録方法による場合はEFM信
号s1でスイッチ13を直接動作して、レーザーパワー
を変調した。
【0037】以上の様な光ディスクと記録方法の組合せ
によって、同じトラック上に10回オーバーライトした
信号を再生して、そのジッターの大きさを測定した。ジ
ッター測定には目黒電機(株)製のCDジッターメータ
ー MJM−631 を用いた。
【0038】(表1)に測定結果を示す。ここで示した
ジッターの値は、それぞれの組合せにおいてレーザーパ
ワーPbとPpを変化させ、最小のジッターを求めたも
のであり、そのときPbとPpも同時に記した。なおレ
ーザーパワーは光ディスクの盤面上での値である。(表
1)から分かるように従来の光ディスクBと従来の記録
方法の組合せではジッターが非常に大きいが、従来の光
ディスクBとMP記録方法の組合せ、または本発明によ
る光ディスクAと従来の記録方法の組合せでジッターは
大きく改善される。さらに、本発明による光ディスクA
とMP記録方法の組合せによるジッター低減効果は非常
に大きくなっている。したがってジッターの低減には本
発明による光ディスクAに対して本発明により限定され
たMP記録方法を同時に採用することに大きな意義があ
る。
【0039】
【表1】
【0040】以下に光ディスクの構成要因を限定した詳
細な実施例について述べるが、実施例1から分かるよう
に記録方法はMP記録方法の方がジッターが小さくなる
ため、以下の実施例2〜8では全て実施例1と同じ波形
のMP記録方法を用いた。
【0041】最初に記録膜組成を図2のABCDEFで
囲まれた領域に限定した実施例を示す。 実施例2 発明者らは JJAP,Vol.26(1987) S
uppl.26−4,P61−P66 においてGeS
bTe合金のうちGeTeとSb2Te3を結ぶライン
上に、アモルファスから高速で結晶化する3種類の化合
物GeSb4Te7,GeSb2Te4,Ge2Sb2
Te5が存在し、これらの化合物は記録消去特性、繰り
返し特性が優れていることを示し、かつGeTe−Sb
2Te3ラインから離れるにつれて結晶化速度が遅くな
ることを示した。CDの線速度ではGeTe−Sb2T
e3ライン上での結晶化速度は速すぎてアモルファス化
が困難なため、化合物のうちGeSb4Te7より結晶
化温度が高くて熱的に安定であり、Ge2Sb2Te5
よりは融点が低く記録感度が高いGeSb2Te4にS
bを添加して結晶化速度を遅くすることを試みた。光デ
ィスク構造を実施例1における光ディスクAと同様にし
て記録膜組成のみGeSb2Te4とSbを結ぶライン
上で変化させた。作成した光ディスクは実施例1と同様
の方法でジッターを測定した。また光ディスクに要求さ
れる特性としては熱的安定性と記録感度がある。熱的安
定性は信号記録後80℃中に10日間放置して再びジッ
タ−を測定してその変化を調べた。記録感度はジッター
が最小になる記録レベルPpで表した。測定結果を図7
に示す。記録直後のジッターJ0はSb量が39at%
(図2におけるG点)付近において極小値を示した。 G点よりSb量が減少すると結晶化速度が速くなりすぎ
て記録マーク形状が歪み、増加すると結晶化速度が遅く
なって消去率が悪くなり以前に記録されていた信号の影
響を受けるものと考えられる。ジッターの大きさはCD
の規格を考慮すれば30nsec以下がよい。また80
℃10日間後のジッターJ10はこの組成範囲では記録
直後とほとんど変わらなかった。記録感度は現在入手で
きる安価な半導体レーザーは出力が20mw程度以下で
あることを考えたとき、光ディスクの盤面上で10mW
以下であるのがよいと考えられるが、この組成範囲では
これを満たしている。
【0042】以上より本発明による放熱構造と記録方法
に適したGeSb2Te4−Sbライン上の組成は、S
b量が34at%〜44at%の範囲である。
【0043】実施例3 次に実施例2におけるG点を中心にGeの添加効果を示
す。光ディスク構造は実施例2と同じとし、記録膜組成
をGeとGe12Sb39Te49(G点)を結ぶ直線
上で変化させて、実施例2と同様の記録方法で信号を記
録し、そのジッターを測定した。また熱的安定性、記録
感度も測定した。結果を図8に示す。記録時のジッター
J0はGeが3at%以上において30nsec以下と
なり結晶化速度としては本発明による光ディスクおよび
記録方法に適している。しかし80℃10日間後のジッ
ターJ10はGe量が7at%より少なくなると記録時
のジッターJ0より大きくなる。これは結晶化温度が下
がり、熱的に不安定になるためと考えられる。逆にGe
が増加すると記録感度が悪くなって大きな記録パワーが
必要になり、17at%をこえると記録パワーPpは1
0mWを越えてしまう。これは記録膜の融点が高くなる
ことに起因するものと考えられる。
【0044】以上より本発明による放熱構造と記録方法
に適したGe−Ge12Sb39Te49ライン上の組
成は、Ge量が7at%〜17at%の範囲である。
【0045】実施例4 次に実施例2におけるG点を中心にTeの添加効果を示
す。光ディスク構造は実施例2と同じとし、記録膜組成
をTeとGe12Sb39Te49(G点)を結ぶ直線
上で変化させて、実施例2と同様の記録方法で信号を記
録し、そのジッターを測定した。また熱的安定性、記録
感度も測定した。結果を図9に示す。記録時のジッター
J0はTeが50at%付近において極小値を示した。 50at%よりTe量が増加すると結晶化速度が速くな
りすぎて記録マーク形状が歪み、減少すると結晶化速度
が遅くなって消去率が悪くなり以前に記録されていた信
号の影響を受けるものと考えられる。また80℃10日
間後のジッターJ10はTe量が55at%より多くな
ると記録時のジッターJ0より大きくなる。これは結晶
化温度が下がり、熱的に不安定になるためと考えられる
。記録感度はこの組成範囲ではTe量にあまり依存しな
かった。
【0046】以上より本発明による放熱構造と記録方法
に適したTe−Ge12Sb39Te49ライン上の組
成は、Te量が44at%〜54at%の範囲である。
【0047】実施例2〜4より本発明による放熱構造と
記録方法に適したGeSbTe合金の組成範囲は、Ge
12Sb39Te49(G点)を中心にして、7≦Ge
≦17at%,34≦Sb≦44at%,44≦Te≦
54at%で囲まれた範囲、すなわち図2のABCDE
Fで囲まれた範囲である。
【0048】実施例5 次に記録膜の膜厚範囲を決定するための実施例を示す。 光ディスク構造と記録膜組成は実施例1における光ディ
スクAと同様にして記録膜の膜厚のみ変化させて作成し
、実施例2と同様の記録方法で信号を記録し、そのジッ
ターと記録感度を測定した。結果を図10に示す。ジッ
ターJ0は膜厚が25nm以下では20nsec程度と
非常に小さく一定であるが、25nmを越えると大きく
なり35nm以上では30nsecを越えてしまう。こ
れは記録膜の熱容量が大きくなり蓄熱現象が現れ、記録
マークの形状歪が大きくなったためと考えられる。また
記録感度は逆に記録膜が15nmより薄くなると悪くな
り、10nm未満では記録パワーは10mWを越えてし
まう。これは記録膜厚が10nm未満では記録膜による
レーザー光の吸収が悪くかつ放熱効果が大きくなるため
と考えられる。
【0049】すなわち本発明による放熱構造と記録方法
に適したGeSbTe記録膜の膜厚はジッター、記録感
度の両方の観点から10nm以上35nm以下がよく、
特に15nm以上25nm以下が優れている。
【0050】実施例6 さらに反射膜側の誘電体膜4の膜厚範囲を決定するため
の実施例を示す。光ディスク構造と記録膜組成は実施例
1における光ディスクAと同様にして誘電体膜4の膜厚
のみ変化させて作成し、実施例2と同様の記録方法で信
号を記録し、そのジッターと記録感度を測定した。結果
を図11に示す。ジッターJ0は誘電体4の膜厚が25
nm以下では20nsec程度と非常に小さく一定であ
るが、25nmを越えると大きくなり40nmより厚く
なると30nsecを越えてしまう。これは記録膜から
反射膜への放熱が小さくなり蓄熱現象が現れ、記録マー
クの形状歪が大きくなったためと考えられる。また記録
感度は逆に誘電体膜4が10nmより薄くなると悪くな
り、5nm未満では記録パワーは10mWを越えてしま
う。これは記録膜が反射膜に接近しすぎて放熱効果が大
きくなりすぎたためと考えられる。
【0051】すなわち本発明による放熱構造と記録方法
に適した誘電体膜4の膜厚はジッター、記録感度の両方
の観点から5nm以上40nm以下がよく、特に10n
m以上25nm以下が優れている。
【0052】実施例7 さらに反射膜5の膜厚範囲を決定するための実施例を示
す。光ディスク構造と記録膜組成は実施例1における光
ディスクAと同様にして反射膜5の膜厚のみ変化させて
作成し、実施例2と同様の記録方法で信号を記録し、そ
のジッターと記録感度を測定した。結果を図12に示す
。ジッターJ0は反射膜5の膜厚が45nm以上では2
0nsec程度と非常に小さく一定であるが、45nm
より薄くなると大きくなり35nm未満では30nse
cを越えてしまう。これは反射膜の放熱効果が小さくな
り蓄熱現象が現れ、記録マークの形状歪が大きくなった
ためと考えられる。また記録感度は反射膜厚が大きくな
るにつれて悪くなるものの、記録パワーは45nm以上
ではほぼ飽和する。
【0053】すなわち本発明による放熱構造と記録方法
に適した反射膜5の膜厚はジッター、記録感度の両方の
観点から35nm以上がよく、特に45nm以上が優れ
ている。
【0054】実施例8 次に基板膜側の誘電体膜2の膜厚範囲を決定するための
実施例を示す。誘電体膜2の膜厚は光ディスクの放熱特
性そのものに大きな影響を与えるものではないが、光デ
ィスクの光学的特性、例えば反射率やCNRに影響を及
ぼすものである。光ディスク構造と記録膜組成は実施例
1における光ディスクAと同様にして誘電体膜2の膜厚
のみ変化させて作成し、実施例2と同様の記録方法で信
号を記録し、そのジッターと記録感度を測定した。結果
を図13(a)に示す。ジッターJ0は誘電体2の膜厚
にあまり依存せず、かなり広い範囲で良好な値を示した
。また記録パワーは100nm未満あるいは180nm
を越える膜厚で10mWを越えてしまい、記録感度が悪
い。これは光ディスクの反射率が100nm未満あるい
は180nmを越える膜厚において大きくなってしまい
、照射されたレーザーパワーの記録膜における吸収率が
悪くなったためと考えられる。
【0055】すなわち本発明による放熱構造と記録方法
に適した誘電体膜2の膜厚は、反射膜がAuの場合、ジ
ッター、記録感度の両方の観点から100nm以上18
0nm以下がよい。
【0056】しかしながら、反射膜の材質を替えると誘
電体膜2の最適膜厚はAuの場合とは異なった。以下に
反射膜がAlの場合の実施例を示す。
【0057】Al反射膜の場合における誘電体膜2の膜
厚範囲を決定する実験を上記実施例と同様の方法で行っ
た。反射膜はAu:50nmからAl:250nmに置
換した。その他の光ディスク構造と記録膜組成は上記実
施例と同様である。誘電体膜2の膜厚のみ変化させて作
成し、実施例8と同様の記録方法で信号を記録し、その
ジッターと記録感度を測定した。結果を図13(b)に
示す。ジッターJ0は誘電体2の膜厚にあまり依存せず
、かなり広い範囲で良好な値を示した。また記録パワー
は130nmを超えて180nm未満の膜厚で10mW
を越えてしまい、記録感度が悪い。 これは反射膜をAlにした場合、光ディスクの反射率が
誘電体膜2の膜厚が130nmを超えて180nm未満
の膜厚において大きくなってしまい、照射されたレーザ
ーパワーの記録膜における吸収率が悪くなったためと考
えられる。すなわち本発明による放熱構造と記録方法に
適した誘電体膜2の膜厚は、反射膜がAlの場合、ジッ
ター、記録感度の両方の観点から、実験を行った50n
mから300nmの範囲においては130nm以下ある
いは180nm以上がよい。
【0058】以上の実施例2〜8において光ディスクの
構成要素を決定してきたが、次に本発明による光学情報
の記録方法が最も特徴とする図5におけるパルス列の構
成を決定するt1,t2の範囲を実施例にて示す。
【0059】実施例9 図5のパルス構成においてt2=116nsec,T=
232nsecに保ったまま先頭パルスの幅であるt1
を変化させて信号を光ディスク上に記録し、再生信号の
ジッターと記録感度を測定した。光ディスクは実施例1
の光ディスクAをもちいた。結果を図14(a)に示す
。ジッターJ0は先頭パルスの幅t1が約350nse
cすなわち後続パルスの幅t2の3倍のときに最小とな
り、それよりもt1が小さくても大きくてもジッターは
大きくなる。t1がt2の3倍より小さくなると記録マ
ークの先頭において十分な昇温が得られず、先端部分が
小さくなってマーク形状が歪み、逆に3倍より大きくな
ると先端部分が大きくなってマーク形状が歪むためと考
えられる。図14(a)からジッターが30nsecよ
り小さくなるのはt1の値がt2の2倍以上3.5倍以
下のときであり、特に3倍のとき最小になる。また記録
感度はt1の値が小さくなるにつれて悪くなるものの特
に問題とはならない。
【0060】しかしながら先頭パルスの幅の最適値は光
学ヘッド8中の半導体レーザーの波長および対物レンズ
のNAによって変わることが分かった。これは半導体レ
ーザーの波長および対物レンズのNAによって光ディス
ク上でのレーザースポットの直径が変わることに起因す
るものと思われるが詳細は不明である。以下に光学ヘッ
ド8中の半導体レーザーの波長を780nm、対物レン
ズのNAを0.55とした場合の結果について示す。
【0061】この場合も上記実施例と同様に、図5のパ
ルス構成においてt2=116nsec,T=232n
secに保ったまま先頭パルスの幅であるt1を変化さ
せて信号を光ディスク上に記録し、再生信号のジッター
と記録感度を測定した。 光ディスクは実施例1の光ディスクAをもちいた。結果
を図14(b)に示す。ジッターJ0は先頭パルスの幅
t1が約460nsecすなわち後続パルスの幅t2の
4倍のときに最小となり、それよりもt1が小さくても
大きくてもジッターは大きくなる。すなわち図14(a
)に比べて先頭パルス幅t1の最適値は長い方へシフト
しているのが分かる。 図14(b)からジッターが30nsecより小さくな
るのはt1の値がt2の3倍以上4.5倍以下のときで
あり特に4倍のとき最小になる。また記録感度はt1の
値が小さくなるにつれて悪くなるものの特に問題とはな
らない。
【0062】本実施例から、先頭のパルス幅t1は後続
パルスの幅t2の2倍以上4.5倍以下がよいことがわ
かる。
【0063】なお本実施例では先頭パルスは常に一つと
した場合について記したが、これは先頭パルスを2つ以
上に分割するとジッターが大きく増大したためであり、
本発明による放熱構造の光ディスクには先頭パルスは一
つであるMP記録方法が適している。
【0064】実施例10 図5のパルス構成においてT=232nsecとし、ま
た実施例9の結果に基づきt1=3×t2の関係を保っ
て後続パルスの幅であるt2を変化させて信号を光ディ
スク上に記録し、再生信号のジッターと記録感度を測定
した。光学ヘッド8中の半導体レーザーの波長は830
nm,対物レンズのNAは0.5である。光ディスクは
実施例1の光ディスクAをもちいた。結果を図15に示
す。ジッターJ0は後続パルスの幅t2が広くなるにつ
れて大きくなるが、これは後続パルスの間隔が狭くなり
蓄熱現象が現れるためと考えられる。t2が約175n
sec以下のとき、すなわち後続パルスの繰り返し周期
T=232nsecの3/4以下のときにはジッターは
30nsec以下となった。なお記録感度はt2の値が
小さくなるにつれて急激に悪くなったが、これはパルス
幅が短くなるにつれて記録膜を融点以上に昇温させるた
めのエネルギーを瞬時に与える必要があるからである。 t2が約85nsec以上のとき、すなわち後続パルス
の繰り返し周期T=232nsecの3/8以上のとき
には記録パワーは10mW以下である。
【0065】すなわち本発明による放熱構造の光ディス
クの場合には後続パルスの幅t2は後続パルスの繰り返
し周期Tの3/8以上3/4以下がよく、特にジッター
が小さく記録パワーも小さいのはt2がTの1/2のと
きである。
【0066】以上の実施例1〜10では1ビームオーバ
ーライトにより信号を記録している。1ビームオーバー
ライトで信号を記録する場合には古い信号の消し残りが
生じる場合があり、消し残りが大きいとジッター増大の
原因となる。次の実施例では1ビームオーバーライトで
信号を記録する前に、予めレーザーパワーを記録膜が溶
融するパワーレベル以上で一定に保って連続的に照射し
た場合についてのべる。
【0067】実施例11 実施例1における光ディスクA,BとMP記録方式をそ
のまま採用して1ビームオーバーライトを9回行った後
に、レーザーパワーを記録パワーPpと同じレベルにし
て信号トラック上を照射したのち、再び1ビームオーバ
ーライトにより信号を記録して、再生信号のジッターを
測定した。測定結果は光ディスクAが15nsec, 
光ディスクBが37nsecとなり、ともに(表1)の
結果より改善されている。したがって信号を記録する前
に予めレーザーパワーを記録膜が溶融するパワーレベル
以上で一定に保って連続的に照射することがジッター低
減に効果的であることが分かる。
【0068】
【発明の効果】本発明の光ディスクは蓄熱現象を低減す
るのに大きな効果があると共に、良好な消去速度、記録
感度、熱的安定性を実現することができる。
【0069】また本発明による光学情報の記録方法も、
記録マークの終端部での蓄熱現象を低減することができ
る。
【0070】さらに、記録ビームが通過する前に予めレ
ーザーパワーを記録膜が溶融するパワーレベル以上で一
定に保って連続的に照射すれば古い信号はほぼ完全に消
去され、ジッターを低減できる。
【0071】上記光ディスクと光学情報の記録方法はそ
れぞれ単独でも記録マークの形状歪を低減する効果は十
分に認められるが、双方を同時に採用することで相乗効
果により、1.2〜1.4m/secという低線速度に
おいてもCDと同じ程度の再生信号品質を実現すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ディスクの断面図である。
【図2】本発明による光ディスクの記録膜の組成範囲図
である。
【図3】本発明による光学情報の記録方法における信号
波形の変換例を示す図である。
【図4】本発明による光学情報の記録方法における出力
レーザー波形を示す図である。
【図5】本発明による光学情報の記録方法における変換
波形を説明する図である。
【図6】本発明による光学情報の記録方法を実現する記
録装置の一例を示す図である。
【図7】記録膜組成(Sb量をパラメータ)と記録特性
の関係を示す図である。
【図8】記録膜組成(Ge量をパラメータ)と記録特性
の関係を示す図である。
【図9】記録膜組成(Te量をパラメータ)と記録特性
の関係を示す図である。
【図10】記録膜厚と記録特性の関係を示す図である。
【図11】反射膜側の誘電体4の膜厚と記録特性の関係
を示す図である。
【図12】反射膜厚と記録特性の関係を示す図である。
【図13】基板側の誘電体2と記録特性の関係を示す図
である。
【図14】マルチパルスの先頭パルスの幅と記録特性の
関係を示す図である。
【図15】マルチパルスの後続パルスの幅と記録特性の
関係を示す図である。
【図16】従来例の光ディスクの記録膜の組成を示す図
である。
【図17】従来例の光ディスクの構造を示す図である。
【図18】記録マークの形状歪の原因を説明する図であ
る。 1  基板 2  誘電体膜 3  記録膜 4  誘電体膜 5  反射膜 6  光ディスク 7  スピンドルモータ 8  光学ヘッド 10  マルチパルス回路

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  基板上に誘電体膜、記録膜、誘電体膜
    、反射膜の順に積層した光ディスクにおいて、前記記録
    膜は、組成がGexSbyTez(7≦x≦17, 3
    4≦y≦44, 44≦z≦54, x+y+z=10
    0 at%) で表され、かつ膜厚は10nm以上35
    nm 以下であり、反射膜側の前記誘電体膜の膜厚は5
    nm以上40nm以下であり、かつ前記反射膜は少なく
    ともAu,Al,Ti,Ni,Crの単体あるいは合金
    からなり、かつ膜厚は35nm以上であることを特徴と
    する光ディスク。
  2. 【請求項2】  記録膜の組成が化合物GeSb2Te
    4とSbを結ぶライン上の組成であることを特徴とする
    請求項1記載の光ディスク。
  3. 【請求項3】  記録膜の組成がGe12Sb39Te
    49で表されることを特徴とする請求項2記載の光ディ
    スク。
  4. 【請求項4】  記録膜の膜厚が15nm以上25nm
     以下であることを特徴とする請求項1記載の光ディス
    ク。
  5. 【請求項5】  誘電体膜がZnS,SiO2,Si3
    N4,AlN,TiN,ZnSとSiO2の混合物,Z
    nSeとSiO2の混合物の少なくとも一種類からなる
    ことを特徴とする請求項1記載の光ディスク。
  6. 【請求項6】  反射膜側の誘電体膜の膜厚が10nm
    以上25nm以下であることを特徴とする請求項1記載
    の光ディスク。
  7. 【請求項7】  反射膜の膜厚が45nm以上であるこ
    とを特徴とする請求項1記載の光ディスク。
  8. 【請求項8】  基板上に誘電体膜、記録膜、誘電体膜
    、反射膜の順に積層し、前記記録膜は、組成がGexS
    byTez( 7≦x≦17, 34≦y≦44, 4
    4≦z≦54, x+y+z=100 at%) で表
    され、かつ膜厚は10nm以上35nm 以下であり、
    反射膜側の前記誘電体膜の膜厚は5nm以上40nm以
    下であり、かつ前記反射膜は少なくともAu,Al,T
    i,Ni,Crの単体あるいは合金からなり、かつ膜厚
    は35nm以上であることを特徴とする光ディスク上に
    、パルス幅変調されたデジタル信号を一つのレーザース
    ポットを用いてオーバーライトする光学情報の記録方法
    において、光ディスクをレーザースポットとの相対速度
    が1.2〜1.4m/secの間の一定速度となるよう
    に回転させるステップと、前記デジタル信号に含まれる
    それぞれのパルスを複数のパルスからなるパルス列に変
    換するステップと、レーザーパワーを前記パルス列によ
    り消去レベルと記録レベルの間で変調して、それぞれの
    前記パルス列でそれぞれ一つの記録マークを光ディスク
    上に形成して前記デジタル信号を記録するステップから
    なり、前記パルス列は先頭パルスと後続パルス列からな
    り、前記先頭パルスの幅は常に一定でかつ後続パルス列
    中の各パルスの幅より大きく、前記後続パルス列中の各
    パルスの幅と間隔はそれぞれ等しく、かつ長さがn番目
    の記録マークを形成する場合の前記後続パルス中のパル
    ス数はn−1個であることを特徴とする光学情報の記録
    方法。
  9. 【請求項9】  基板上に誘電体膜、記録膜、誘電体膜
    、反射膜の順に積層し、前記記録膜は、組成がGexS
    byTez( 7≦x≦17, 34≦y≦44, 4
    4≦z≦54, x+y+z=100 at%) で表
    され、かつ膜厚は10nm以上35nm 以下であり、
    反射膜側の前記誘電体膜の膜厚は5nm以上40nm以
    下であり、かつ前記反射膜は少なくともAu,Al,T
    i,Ni,Crの単体あるいは合金からなり、かつ膜厚
    は35nm以上であることを特徴とする光ディスク上に
    、パルス幅変調されたデジタル信号を記録する光学情報
    の記録方法において、光ディスクをレーザースポットと
    の相対速度が1.2〜1.4m/secの間の一定速度
    となるように回転させるステップと、古い記録マークの
    消去はレーザーパワーを前記記録膜が溶融するパワーレ
    ベル以上で一定に保って連続的に照射して行うステップ
    と、前記デジタル信号に含まれるそれぞれのパルスを複
    数のパルスからなるパルス列に変換するステップと、レ
    ーザーパワーを前記パルス列により消去レベルと記録レ
    ベルの間で変調して、それぞれの前記パルス列でそれぞ
    れ一つの記録マークを光ディスク上に形成して前記デジ
    タル信号を記録するステップからなり、前記パルス列は
    先頭パルスと後続パルス列からなり、前記先頭パルスの
    幅は常に一定でかつ後続パルス列中の各パルスの幅より
    大きく、前記後続パルス列中の各パルスの幅と間隔はそ
    れぞれ等しく、かつ長さがn番目の記録マークを形成す
    る場合の前記後続パルス中のパルス数はn−1個である
    ことを特徴とする光学情報の記録方法。
  10. 【請求項10】  レーザーパワーの変調はパルス列の
    対応する変換前のパルス幅の期間だけ記録レベルと再生
    レベルまたはオフレベルとの間で行われることを特徴と
    する請求項8または9記載の光学情報の記録方法。
  11. 【請求項11】  先頭パルスの幅は後続パルス列の各
    パルスの幅の2倍以上4.5倍以下であることを特徴と
    する請求項8または9記載の光学情報の記録方法。
  12. 【請求項12】  後続パルス列中の各パルスの幅は後
    続パルスの繰り返し周期の3/8以上3/4以下である
    ことを特徴とする請求項8または9記載の光学情報の記
    録方法。
  13. 【請求項13】  後続パルス列中の各パルスの幅は後
    続パルスの繰り返し周期の1/2であることを特徴とす
    る請求項12記載の光学情報の記録方法。
  14. 【請求項14】  デジタル信号がCD規格のEFM信
    号であることを特徴とする請求項8または9記載の光学
    情報の記録方法。
  15. 【請求項15】  記録膜の組成が化合物GeSb2T
    e4とSbを結ぶライン上の組成であることを特徴とす
    る請求項8または9記載の光学情報の記録方法。
  16. 【請求項16】  記録膜の組成がGe12Sb39T
    e49で表されることを特徴とする請求項15記載の光
    学情報の記録方法。
  17. 【請求項17】  記録膜の膜厚が15nm以上25n
    m 以下であることを特徴とする請求項8または9記載
    の光学情報の記録方法。
  18. 【請求項18】  誘電体膜がZnS,SiO2,Si
    3N4,AlN,TiN,ZnSとSiO2の混合物,
    ZnSeとSiO2の混合物の少なくとも一種類からな
    ることを特徴とする請求項8または9記載の光学情報の
    記録方法。
  19. 【請求項19】  反射膜側の前記誘電体膜の膜厚が1
    0nm以上25nm以下であることを特徴とする請求項
    8または9記載の光学情報の記録方法。
  20. 【請求項20】  反射膜の膜厚が45nm以上である
    ことを特徴とする請求項8または9記載の光学情報の記
    録方法。
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