JPH04209725A - バーナ装置 - Google Patents

バーナ装置

Info

Publication number
JPH04209725A
JPH04209725A JP34021690A JP34021690A JPH04209725A JP H04209725 A JPH04209725 A JP H04209725A JP 34021690 A JP34021690 A JP 34021690A JP 34021690 A JP34021690 A JP 34021690A JP H04209725 A JPH04209725 A JP H04209725A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hydrogen gas
gas
raw material
hydrogen
nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP34021690A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiki Kimura
木村 総樹
Hironori Ito
伊藤 弘則
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Coorstek KK
Original Assignee
Toshiba Ceramics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Ceramics Co Ltd filed Critical Toshiba Ceramics Co Ltd
Priority to JP34021690A priority Critical patent/JPH04209725A/ja
Publication of JPH04209725A publication Critical patent/JPH04209725A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/14Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
    • C03B19/1415Reactant delivery systems
    • C03B19/1423Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
    • C03B2207/06Concentric circular ports
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
    • C03B2207/12Nozzle or orifice plates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
    • C03B2207/14Tapered or flared nozzles or ports angled to central burner axis
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/20Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/36Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/42Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
(1)発明の目的 [産業上の利用分野] 本発明は、石英ガラスの製造もしくは加工などに利用さ
れているバーナ装置に関し、特に、原料ガスノズルおよ
び複数の酸素ガスノズルの周囲に対し水素ガスを放出す
るための複数の水素ガス放出孔が形成された邪魔板を水
素ガスノズルの内部に配設することにより原料ガスおよ
び酸素ガスに対し水素ガスを均一に供給してなるバーナ
装置に関するものである。
【従来の技術〕
従来、この種のバーナ装置としては、原料ガスノズルを
水素ガスノズルの内部に開口せしめ、かつ原料ガスノズ
ルを包囲するよう複数の酸素ガスノズルを水素ガスノズ
ルの内部に開口せしめてなるものが提案されていた。 [解決すべき問題点] しかしながら、従来のバーナ装置では、水素ガスノズル
の内部に対して原料ガスノズルおよび複数の酸素ガスノ
ズルが開口されているに過ぎなかったので、(i)原料
ガスおよび酸素ガスに対し水素ガスが一括供給されてし
まう欠点があり、ひいては(ii)水素ガスが原料ガス
および酸素ガスに対し均一に混合されない欠点があり、
結果的に(iiil火炎の状態が不安定となって高温を
達成することが困難となり原料ガスを十分に加熱できな
い欠点があった。 そこで、本発明は、これらの欠点を除去すべく、原料ガ
スノズルおよび複数の酸素ガスノズルの周囲に対し水素
ガスを放出するための複数の水素ガス放出孔が形成され
た邪魔板を水素ガスノズルの内部に配置することにより
原料ガスおよび酸素ガスに対し水素ガスを均一に供給し
てなるバーナ装置を提供せんとするものである。 (2)発明の構成 E問題点の解決手段] 本発明により提供される問題点の解決手段は、「水素ガ
スを放出するための水素ガスノズルと水素ガスノズルの
内部に配置されており原料ガスを放出するための原料ガ
スノズルと原料ガスノズルを包囲して水素ガスノズルの
内部に配置されており酸素ガスを放出するための複数の
酸素ガスノズルとを備えたバーナ装置において、原料ガ
スノズルおよび複数の酸素ガスノズルの周囲に対し水素
ガスを放出するための複数の水素ガス放出孔が形成され
た邪魔板を水素ガスノズルの内部に配置してなることを
特徴とするバーナ装置J である。 [作用] 本発明にかかるバーナ装置では、上述の[問題点の解決
手段]に明示したごとく、原料ガスノズルおよび複数の
酸素ガスノズルの周囲に対して水素ガスを放出するため
の複数の水素ガス放出孔が形成された邪魔板を水素ガス
ノズルの内部に配置してなるので、 fil原料ガスおよび酸素ガスに対し水素ガスを均一に
供給する作用 をなし、ひいては (11)火炎の状態を安定化して高温を達成し原料ガス
を十分に加熱する作用 をなす。 [実施例] 次に、本発明にかかるバーナ装置について、その好まし
い実施例を挙げ、添付図面を′J3照しつつ、具体的に
説明する。 1の  の まず、第1図を参照しつつ、本発明にかがるバーナ装置
の第1の実施例について、その構成を詳細に説明する。 ■は、本発明にかかるバーナ装置であって、原料ガス(
たとえばSt(:1.5iH4などの珪素化合物など)
を適宜の原料ガス供給源(図示せず)から供給し先端部
に形成された原料ガスノズルIIAから燃焼空間に放出
するための原料ガス供給管11と、原料ガス供給管11
の周囲に配設されており酸素ガス供給管12を介して酸
素ガス供給源(図示せず)から酸素ガスが内部空間に供
給される内筒部材13と、内筒部材13の端部に配設さ
れており適宜の角度間隔(好ましくは等角度間隔)をお
いて複数(たとえば4つ一以下この場合について説明す
るがこれに限定する意図はない)の酸素ガスノズル14
A、〜、 140の一端部が開口された隔壁部材15と
、内筒部材13および複数の酸素ガスノズル14A。 〜、14Dを包囲しており基部に対し水素ガス供給管1
6を介して水素ガス供給源(図示せず)から水素ガスが
供給されかつ先端部が水素ガスノズル17Aとされてな
る外筒部材17とを備えている。 本発明にかかるバーナ装置用は、更に、外筒部材17の
内周面に配設されており複数の酸素ガスノズル14A、
〜、 140および原料ガスノズルlIAがそれぞれ挿
通されかつ水素ガスを複数の酸素ガスノズル14A、〜
、140および原料ガスノズルIIAの周囲に放出する
ための複数(ここでは5つ)の水素ガス放出孔18A、
〜、 18Eが形成された邪魔板19を備えている。 1の  の 更に、第1図を参照しつつ、本発明にかかるバーナ装置
の第1の実施例について、その作用を詳細に説明する。 本発明にかかるバーナ装置■では、原料ガス供給管11
を介して原料ガス供給源から矢印A、で示すごとく供給
された適宜の原料ガスが、矢印A。 で示すごとく案内されたのち、その先端部に形成された
原料ガスノズルIIAから燃焼空間に向けて矢印A3で
示すごとく放出されている。 本発明にかかるバーナ装置■では、また、酸素ガスが、
酸素ガス供給源から矢印B、で示すごとく酸素ガス供給
管12を介し内筒部材13の内部空間に供給されている
。内筒部材13の内部空間に供給された酸素ガスは、矢
印B2で示すごと(隔壁部材15に開口された複数の酸
素ガスノズル14A、〜、14Dに与えられたのち、矢
印B、で示すごとく案内され、原料ガスノズル11Aか
ら放出された原料ガスを包囲するよう燃焼空間に向けて
矢印B4で示すごとく放出されている。 本発明にかかるバーナ装置圧では、加えて、水素ガスが
、水素ガス供給管16を介し矢印C3で示すごとく水素
ガス供給源から外筒部材17の内部空間に供給されてい
る。外筒部材17の内部空間に供給された水素ガスは、
矢印C8で示すごとく拡散されたのち、矢印C3で示す
ごとく邪魔板19に形成された水素ガス放出孔18A、
〜、18Eから放出され、原料ガスノズルllAならび
に複数の酸素ガスノズル14A、〜、14Dの周囲を矢
印C4で示すごとく燃焼空間に向けて移動する。これに
より、水素ガスは、燃焼空間において酸素ガスに対して
均一に供給されており、安定して燃焼され高温状態を達
成できる。このため、原料ガスは、十分に加熱される。 2の  の 併せて、第2図を参照しつつ、本発明にかかるバーナ装
置の第2の実施例について、その構成を詳細に説明する
。 銭は、本発明にかかるバーナ装置であって、原料ガス(
たとえば5iC14,SiH4などの珪素化合物など)
を適宜の原料ガス供給源(図示せず)から供給し先端部
に形成された原料ガスノズル21Aから燃焼空間に放出
するための原料ガス供給管21と、原料ガス供給管21
の周囲に配設されており酸素ガス供給管22を介して酸
素ガス供給源(図示せず)から酸素ガスが内部空間に供
給される内筒部材23と、内筒部材23の端部に配設さ
れており適宜の角度間隔 (好ましくは等角度間隔)を
おいて複数(たとλば4っ;以下この場合について説明
するがこれに限定する意図はない)の酸素ガスノズル2
4A、〜、24Dの一端部が開口された隔壁部材25と
、内筒部材23および複数の酸素ガスノズル24A。 〜、24Dを包囲しており基部に対し水素ガス供給管2
6を介して水素ガス供給源(図示せず)から水素ガスが
供給されかつ先端部が水素ガスノズル27Aとされてな
る外筒部材27と、内筒部材23および外筒部材27の
間に配設されており基部に対し水素ガス供給管268を
介して水素ガス供給源(図示せず)から水素ガスが供給
される中筒部材27°とを備えている。 本発明にかかるバーナ装置翻は、更に、外筒部材27の
内周面に配設されており複数の酸素ガスノズル24A、
〜、24Dおよび原料ガスノズル21Aが挿通される中
心孔をもちがっ水素ガスを複数の酸素ガスノズル24A
、〜、24Dおよび原料ガスノズル21Aの周囲に放出
するための複数の水素ガス放出孔28Aが形成された板
状邪魔板29Aと、1複数の酸素ガスノズル24A、〜
、24Dおよび原料ガスノズル21Aを包囲しかつ一端
部が内筒部材23に連設されかっ他端部が板状邪魔板2
9Aの内周部に連設されており周面に対し内筒部材23
と中筒部材27°との間の空間から水素ガスを複数の酸
素ガスノズル24A、〜、24Dおよび原料ガスノズル
21Aの周囲に放出するための複数の水素ガス放出孔2
8Bが形成された筒状邪魔板29Bと備えている。 2の  の 更に、第2図を参照しつつ、本発明にががるバーナ装置
の第2の実施例について、その作用を詳細に説明する。 本発明にかかるバーナ装置翻では、原料ガス供給管21
を介して原料ガス供給源から矢印A、で示すごとく供給
された適宜の原料ガスが、矢印A2で示すごとく案内さ
れたのち、その先端部に形成された原料ガスノズル21
Aがら燃焼空間に向けて矢印Asで示すごとく放出され
ている。 本発明にかかるバーナ装置輩では、また、酸素ガスが、
酸素ガス供給源から矢印B1で示すごとく酸素ガス供給
管22を介し内筒部材23の内部空間に供給されている
。内筒部材23の内部空間に供給された酸素ガスは、矢
印B冨で示すごと(隔壁部材25に開口された複数の酸
素ガスノズル24A、〜、24Dに与^られなのち、原
料ガスノズル21Aから放出された原料ガスを包囲する
よう燃焼空間に向けて矢印B、で示すごとく放出されて
いる。 本発明にかかるバーナ装置録では、加えて、水素ガスが
、水素ガス供給管26を介し矢印C1で示すごとく水素
ガス供給源から外筒部材27の内部空間に供給されてい
る。外筒部材27の内部空間に供給された水素ガスは、
矢印C2で示すごとく拡散されたのち、矢印Cmで示す
ごとく板状邪魔板29Aに形成された水素ガス放出孔2
8Aから放出され、原料ガスノズル21Aならびに複数
の酸素ガスノズル24A、〜、24Dの周囲を矢印C4
で示すごとく燃焼空間に向けて移動する。 本発明にかかるバーナ装M20では、併せて、水素ガス
が、水素ガス供給管26°を介し矢印り、で示すごと(
水素ガス供給源から中筒部材27°の内部空間に供給さ
れている。中筒部材27°の内部空間に供給された水素
ガスは、矢印D2で示すごとく拡散されたのち、矢印り
葛で示すごとく筒状邪魔板29Bに形成された水素ガス
放出孔28Bから放出され、原料ガスノズル21Aなら
びに複数の酸素ガスノズル24A、〜、24Dの周囲を
矢印D4で示すごとく燃焼空間に向けて移動する。 以上により、本発明によれば、水素ガスは、燃焼空間に
おいて酸素ガスに対して均一に供給されており、安定し
て燃焼され高温状態を達成できる。このため、原料ガス
は、十分に加熱される。 (3)発明の効果 上述より明らかなように、本発明にかかるバーナ装置で
は、上述のc問題点の解決手段】に明示したごとく、原
料ガスノズルおよび複数の酸素ガスノズルの周囲に対し
て水素ガスを放出するための複数の水素ガス放出孔が形
成された邪魔板を水素ガスノズルの内部に配置してなる
ので、(il原料ガスおよび酸素ガスに対し水素ガスを
均一に供給できる効果 を有し、ひいては fiil火炎の状態を安定化して高温を達成でき原料ガ
スを十分に加熱できる効果 を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にかかるバーナ装置の第1の実施例を示
すための部分断面斜視図、第2図は本発明にかかるバー
ナ装置の第2の実施例を示すための部分断面斜視図であ
る。 10・・・・・・・・・・・・・・・・・・バーナ装置
11・・・・・・・・・・・・・・・・原料ガス供給管
lIA・・・・・・・・・・・・原料ガス12・・・・
・・・・・・・・・・・・酸素ガス供給管13・・・・
・・・・・・・・・・・・内筒部材14A、〜、14D
・・・・・・・・酸素ガスノズル15・・・・・・・・
・・・・・・・・隔壁部材16・・・・・・・・・・・
・・・・・水素ガス供給管17・・・・・・・・・・・
・・・・・外筒部材17A・・・・・・・・・・・水素
ガスノズル18A、〜18E・・・・・・・・・水素ガ
ス案内孔19・・・・・・・・・・・・・・・・邪魔板
20・・・・・・・・・・・・・・・・・・バーナ装置
2工・・・・・・・・・・・・・・・・原料ガス供給管
21A・・・・・・・・・・・・原料ガス22・・・・
・・・・・・・・・・・酸素ガス供給管23・・・・・
・・・・・・・・・・・内筒部材24A、〜、24D・
・・・・・・・酸素ガスノズル25・・・・・・・・・
・・・・・・・隔壁部材26.26°・・・・・・・・
・・・水素ガス供給管27・・・・・・・・・・・・・
・・・外筒部材27@・・・・・・・・・・・・・・中
筒部材27A・・・・・・・・・・・・水素ガスノズル
28A、 18B・・・・・・・・・・・水素ガス案内
孔29A・・・・・・・・・・・・・・・板状邪魔板2
9B・・・・・・・・・・・・・・・筒状邪魔板特許出
願人東芝セラミックス株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 水素ガスを放出するための水素ガスノズルと水素ガスノ
    ズルの内部に配置されており原料ガスを放出するための
    原料ガスノズルと原料ガスノズルを包囲して水素ガスノ
    ズルの内部に配置されており酸素ガスを放出するための
    複数の酸素ガスノズルとを備えたバーナ装置において、
    原料ガスノズルおよび複数の酸素ガスノズルの周囲に対
    し水素ガスを放出するための複数の水素ガス放出孔が形
    成された邪魔板を水素ガスノズルの内部に配置してなる
    ことを特徴とするバーナ装置。
JP34021690A 1990-11-30 1990-11-30 バーナ装置 Pending JPH04209725A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34021690A JPH04209725A (ja) 1990-11-30 1990-11-30 バーナ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34021690A JPH04209725A (ja) 1990-11-30 1990-11-30 バーナ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04209725A true JPH04209725A (ja) 1992-07-31

Family

ID=18334807

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34021690A Pending JPH04209725A (ja) 1990-11-30 1990-11-30 バーナ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04209725A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1160209A2 (en) * 2000-05-30 2001-12-05 Tosoh Quartz Corporation Method and apparatus for manufacturing quartz glass ingot
KR20030034574A (ko) * 2001-10-26 2003-05-09 주식회사 머큐리 광섬유 모재 오버 클래딩용 버너
EP2006256A1 (en) * 2006-02-28 2008-12-24 Shin-Etsu Chemical Company, Ltd. Quartz glass made burner

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1160209A2 (en) * 2000-05-30 2001-12-05 Tosoh Quartz Corporation Method and apparatus for manufacturing quartz glass ingot
EP1160209A3 (en) * 2000-05-30 2002-07-03 Tosoh Quartz Corporation Method and apparatus for manufacturing quartz glass ingot
KR20030034574A (ko) * 2001-10-26 2003-05-09 주식회사 머큐리 광섬유 모재 오버 클래딩용 버너
EP2006256A1 (en) * 2006-02-28 2008-12-24 Shin-Etsu Chemical Company, Ltd. Quartz glass made burner
EP2006256A4 (en) * 2006-02-28 2012-07-11 Shinetsu Chemical Co GLASS BURNER OF QUARTZ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5509483B2 (ja) 有害物質の燃焼破壊
CA1094802A (en) Fluidised bed
CN108291717A (zh) 瓷砖组之间具有间隙的穿孔火焰保持器
JPH03255807A (ja) 焼成物の表面還元処理用バーナ
JPH04209725A (ja) バーナ装置
JPH0816527B2 (ja) 酸素を除去した有毒気体溶出物の燃焼のための方法および装置
US4746286A (en) Burner for a gaseous fuel
JPH03203227A (ja) 光照射型気相処理装置
JPH02272294A (ja) ロータリーキルン
JPH1167750A (ja) 外部燃焼装置、外部燃焼方法、外部燃焼装置を備える処理装置および外部燃焼装置を用いた処理方法
SU1654273A1 (ru) Устройство дл термообработки микропорошков
JPS6115372Y2 (ja)
JPS5892703A (ja) 燃焼装置
JP2664970B2 (ja) 燃焼装置
JP2000220810A (ja) 光ファイバ母材加工用バーナ
JPS624324A (ja) 処理装置
JP2517976Y2 (ja) 賦活炉
JP3580325B2 (ja) 表面燃焼バーナ
JPH051070Y2 (ja)
SU616489A1 (ru) Циклонна печь дл огневого обезвреживани отходов
JPH10185160A (ja) 循環型蓄熱式脱臭装置
JP2001099406A (ja) 表面燃焼バーナ
JPH03194924A (ja) 縦型処理装置
JPS6222363B2 (ja)
JPS599152Y2 (ja) ノズルミツクスガスバ−ナ