JPH04203385A - スクリュー真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置等に用いられるドライ真空ポン
プのメインケーシングの分割手段に関する。

〔従来の技術〕

従来の横形ドライスクリュー真空ポンプは、特願昭６１
−２５１７８７号明細書に記載のように、メインケーシ
ングは吸込側ロータ端面部分で分割された構造となって
おり、吸込側の軸受収納ケースを取りはずしただけでは
ロータの清掃点検メンテナンスは不可能であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は作動室内に反応生成物等が堆積した場合
の生成物除去の容易さ等については考慮されておらず、
メンテナンスがやりにくいという問題があった。

本発明の目的は真空ポンプのメンテナンスやオーバーホ
ール時の作動室内のクリーニングを容易にすることにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明はケーシングの分割
面をロータの吐出側近傍に設け、作動室のクリーニング
時にはその分割面よりケーシングを取りはずすことがで
きるようにした。

〔作用〕

ロータの吐出側端面近傍からケーシングを抜きとること
ができるので、作動室内に収納されているロータ部は全
て外部に露出され、ロータ表面を、直接、クリーニング
することができる。また、抜きとったケーシングについ
ても簡単にクリーニングすることができる。

〔実施例〕

以下１本発明の一実施例を第１図および第２図により説
明する。第１図は本発明の一実施例を示したスクリュー
式ドライ真空ポンプの縦断面図、第２図は本体の水平断
面図である。雄ロータ２ａと雌ロータ２ｂはＩＡ、１Ｂ
により構成されるケーシングに収納され吐出側組合せア
ンギュラ−玉軸受３と吸込側円筒コロ軸受４により回転
支持されている。ケーシングＩＡとケーシングＩＢは吐
出口１ｂ側のロータ端面部Ｃ−Ｃで分割、取りはずし可
能な構造となっている。また、雌ロータ２ｂの吸込側軸
端面にはスリンガ１１が取りつけられ吸込側軸受４には
ねかけ式給油を行っている。

ギヤケーシング８はモータ軸１０の軸に直結された増速
ギヤ９と雄ロータ、雌ロータに直結されたタイミングギ
ヤ７ａ、７ｂより構成される増速機構を収納している。

モータ１０を駆動すると増速機構を介して、雄ロータ２
ａ、４０−タ２ｂが非接触同期回転し吸込口１ａより気
体を吸込み吐出口１ｂより排気する。半導体製造装置な
どのような活性なガスを用いるプロセスの排気に用いら
れる真空ポンプは、活性ガスの反応生成物が作動室内等
に堆積するため定期的にロータ部をクリーニングする必
要がある。クリーニングを実施する場合、吸込カバー１
２をケーシング１Ａよりとりはずした後、スリンガ１］
をロータよりとりはずす。

さらに雄ロータ２ａ、＠ロータ２ｂをケーシング１Ｂに
組付けたまま、Ｃ−０部でケーシングＩＡをロータ軸に
沿って抜きとることができる。これによりロータ表面が
全て外部に露出することになりロータの堆積物等を、直
接、クリーニングすることができる。

このように本実施例によれば真空ポンプのロータ表面及
び作動室内を簡単にクリーニングすることができメンテ
ナンス性が非常に良くなる。さらに、真空ポンプ本体を
ギヤケーシングに取りつけたままメンテナンスができる
ため、現地でメンテナンス可能となり、費用や納期の低
減が図れる。

−３＝ 〔発明の効果〕 本発明によれば、スクリュー真空ポンプのロータ、作動
室のメンテナンスが容易にできるので、メンテナンス費
用の低減や、納期の短縮に多大の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すスクリュー式ドライ真
空ポンプの縦断面図、第２図はポンプ本体の水平断面図
である。 ＬＡ、ＩＢ−・ケーシング、２ａ、２ｂ　　雄ロータ。 雌ロータ、３・・吐出側軸受、４・・・吸込側軸受、７
ａ、７ｂ　　タイミングギヤ、８・・ギヤケーシング、
９・・増速ギヤ、１０・モータ、１トスリンウ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、雄ロータ、雌ロータ及びそれらを収納するケーシン
   グより成るスクリュー真空ポンプにおいて、 前記ケーシングの分割面をロータの吐出側近傍に設けた
   ことを特徴とするスクリュー真空ポンプ。