JPH04196334A - 分析データ表示方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体ウェハ上異物の分析結果を、その分布
にあわせて表示する方法に関する。

〔従来の技術〕

半導体製造においてはウェハに付着する異物が歩留り低
下の重大な要因になる。そこでウェハに付着した異物を
計数して、異物発生量管理したり、ウェハに付着した異
物を分析して異物発生源を解析したりしていた。

従来半導体ウェハに付着した異物を分析するとき、ウェ
ハの異物の付着している部分を切断して小道にして、分
析装置にかけていた。しかし、ウェハを切断する手間が
かかること、切断の際、ウェハの切り粉が表面に付着し
てしまう等の不都合があった。そこで、ウェハ上の異物
を検出する機能とそのままウェハを切断せずに付着異物
を分析する機能の２つの機能を合わせ持つ装置が開発さ
れた（特開昭６Ｏ−２１８８４５）。前記発明の装置で
は異物を検出し、その座標を記録し、該座標の異物を分
析していた。該装置により異物を切断する手間が省け、
切り粉が表面に付着しなくなったことにより、誤って切
り粉を分析することがなくなった。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来分析した異物は成分情報のみを利用して、
その位置情報を利用していなかったので、どんな成分の
異物がウェハ上でどのように分布していたか判らなかっ
た。

本発明の目的は、ウェハ上の異物のＩ！！データと分析
データを併せて利用することにより、どんな成分の異物
がウェハ上でどのように分布しているか明らかにするも
のである。該目的が達成されると、異物のウェハ付着状
況が一目瞭然に判るので、異物発生原因を解明すること
が容易になる。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題はウェハ上の異物の座標データと該座標の分
析データの２つを記録する手段と該２つのデータを付き
合わせる手段と該突き合わせた結果を表示する手段から
システムを構成することで解決される。

〔作用〕

ウェハ上の異物の座標データと該座標の分析データの２
つを付き合わせ、結果を表示することにより、。特定の
成分の異物分布を知ることができるようになる。成分ご
との分布の形状から、発塵の原因となった治具、装置等
が判明する。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面と共に説明する。

実施例１ 本実施例において本発明に必要な機器構成を説明する。

第１図を説明する。検査装置１はウェハ上の異物を検出
することが出来る異物検査装置であって、検出した異物
のウェハ上の座標を出力出来る装置であれば良い。該検
査装置として、日立電子エンジニアリング（株）社製ｌ
５−１０１０が利用できる。分析装置２はウェハを切断
せずに異物を分析できる分析装置であって、検査装置１
の座標データをもとに異物を分析できる装置であれば良
い。分析装置２では検査装Ｍ１で検圧した順に全て異物
を分析する。該分析装置としては多数の装置が市販され
ている。ワークステーション３は異物座襟データと異物
分析データを記録し、該２つのデータを突き合わせる機
能と突き合わせた結果を表示できる機能があれば良い。

データ転送手段４は異物座標データを検査装置１から分
析装置２に渡す手段であって、検査装置１でプリントア
ウトされたデータを作業者が分析装置２に入力しても良
いし、フロッピディスクやメモリカード等経可能な記憶
媒体で渡しても良いし、ネツ）〜ワークを介してデータ
を渡しても良い。データ転送手段５は分析装置２からワ
ークステーション３に異物座標データと異物分析データ
を渡す手段であって、実現方法はデータ転送手段４と同
じである。表示手段２００に異物座標データと異物分析
データを合わせたものを表示する。

実施例２ ここでは実施例１０代案を示す。第２図における異物解
析装置１００は異物を検出し、更に該異物を分析できる
機能を有した装置で、例えば先に述べた特開昭６０−２
１８８４５に記載した装置で実現できる。ワークステー
ション６はワークステーション３と同じ役割を果たす。

データ転送手段７はデータ転送手段５と同じ役割を果た
す。表示手段２００に異物座標データと異物分析データ
を合わせたものを表示する。

実施例３ ここでは実施例１の代案を示す。第３図における検査装
Ｗ１８は検査装置１と同じ機能を有するが異物の座標デ
ータを分析装置９とワークステーション１０に転送する
。分析装置９は分析装置２と同じ機能を有する。ワーク
ステーション１０はワークステーション３と同じ機能を
有する。データ転送手段１１はデータ転送手段４と同じ
ものである。データ転送手段１２は異物検査装置８から
ワークステーション１０に異物座標データを転送する手
段で実現方法はデータ転送手段４と同じものである。デ
ータ転送手段１４は分析装置９からワークステーション
１０に異物の分析データを転送する手段で実現手段はデ
ータ転送手段４と同じである。表示手段２００に異物座
標データと異物分析データを合わせたものを表示する。

実施例４ ワークステーション３の中の処理を説明する。

本実施例は実施例１と実施例２の機器構成に対応する。

第１図において分析装置からワークステーション３は異
物の座標データと分析データを受取り、データテーブル
１５を作成する。データテーブル１５のフォーマットを
第４図に示す。データテーブル１５は少なくとも異物座
標データ１６と異物分析データ１７からなる。必要に応
じて異物ごとの異物ＩＤ１８、付帯情報１９を持たせる
。

第４図では付帯情報１９の例として異物の大きさに関す
る情報を挙げている。ここでは異物の粒径を３つに分類
して大きい順にり、Ｍ、Ｓとして記述している。データ
テーブル１５は分析したウェハ毎に１つ作成し、それぞ
れにウェハの識別子２０を割り付けて区別する。異物Ｉ
Ｄの付は方としてウェハ識別子の後にデータが送られて
きた順に通し番号を付ける方法がある。ワークステーシ
ョン３は、作業者がウェハ識別子を入力すると該識別子
が一致するデータテーブル１５を検索し、該当するデー
タを表示手段２００に表示する。

実施例５ 実施例４の代案を説明する。本実施例は実施例３で説明
した機器構成に対応する。第３図においてワークステー
ション１０は検査装置８から異物の座標データを受取り
、座標データテーブル２１を作成する。座標データテー
ブルのフォーマットを第５図で示す。座標データテーブ
ル２１はウェハ識別子２２、異物ＴＤ２３、異物座標デ
ータ２４からなる。必要に応じて付帯情報２５を加えて
も良い。付帯情報２５は実施例４で示したように異物粒
径を示す情報等がある。またワークステーション１０は
分析装置９から異物分析データを受取り、分析データテ
ーブル２６を作成する。分析データテーブルのフォーマ
ットを第６図に示す。

分析データテーブル２６はウェハ識別子２７、異物ＩＤ
２８、異物分析データ２９からなる。

分析装置９においては検査装置８から送られてきた座標
データの順に全て異物を分析する。その結果を分析装置
９はワークステーション１０に送る。ワークステーショ
ンがウェハ毎にデータが送られてきた順にそれぞれ通し
番号を付けることによって異物ＩＤ２３、異物ＩＤ２８
は、一致する。

ワークステーション１０は座標データテーブル２１と分
析データテーブル２６から異物ＩＤを介して、実施例４
に示したデータテーブル１５を作成する。結果は表示手
段２００に表示する。

実施例６ 本実施例においてデータテーブル１５の内容の表示方法
の実施例を示す。まず、分析結果をいくつかのカテゴリ
に分ける。例を第７図に示す。カテゴリ１としてＮａお
よびＣｌを含むもの、カテゴリ２としてＦｅを含むもの
、カテゴリ３としてＳｉを含むもの、カテゴリ４として
Ｃを含むもの、カテゴリ５としてその他と分類する。も
し、複数のカテゴリに属するものがあればカテゴリ番号
の小さいものに優先的に属させる。

ワークステーションはＣＲＴに表示したウェハ上に異物
座櫻データに基づいて異物の検出部所にプロットを行う
（第８図、３０）。プロットする際の記号として、各異
物が属する前述のカテゴリ番号を用いる。例を第８図に
示す。ここではＮａＣで（塩分）とＣ（炭素化合物）が
右下すみに楕円上に付着しているのがわかる。これから
作業者が誤って指を触れてしまったものであることが判
る。

実施例７ 本実施例においては分析装置３または異物解析装置１０
０または分析装置９の分析能力に対して記載する。本発
明で用いる前記装置は、有機分析を行うものでも、無機
分析を行うものであっても良い。有機分析を行うものの
場合。実施例６に掲げた分類カテゴリを有機物質または
有機物質を構成する基にすれば良い。

［発明の効果］ 本発明の実施により、ウェハ上の異物の分布状況と各異
物の成分が一目で判る。異物の分布状況から治具、装置
等の形状が推定できる。また異物成分から発塵源となっ
ている治具、装置、プロセス等に用いている材料、材質
が容易に解析できるようになった。このため、従来に比
して格段に異物発生源を解析する作業が容易になり、製
造ラインの異物水準を引下げ、製品の歩留りを向上させ
ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の構成を示すブロック図、第２図、第３
図は第１図の代案を示す図、第４図はデータテーブル１
５のフォーマットを示す図、第５図は座標データテーブ
ル２１のフォーマットを示す図、第６図は分析データテ
ーブルのフォーマットを示す図、第７図は出力例を示す
図、第８図はウェハ上の異物検出箇所を示す図である。 ｌ・・検査装置　　　　　２・−・分析装置３・・ワー
クステーション ４・・・データ転送手段 ５　・データ転送手段　　６・ワークステーション７・
・データ転送手段　　８　・検査装置９・・分析装置　
　　　１０　・ワークステーション１１・・・データ転
送手段　１２・データ転送手段１４・データ転送手段 １５・データテーブル　１６　異物座標データ】７・・
・異物分析データ　１８・異物ＴＤ１９・・・付帯情報
　　　２０　ウェハ識別子２１・座標データテーブル ２２・　ウェハ識別子 ２３・異物ＩＤ　　　　２４　　異物座櫟データ２５・
付帯情報　　　２６　分析データテーブル２７　ウェハ
識別子　２７　異物ＩＤ ２９　異物分析データ ３０　・異物を示すブロン）・ ］００・異物解析装置 ２００・表示手段 躬　１０ 第　２国 第　３　ロ 躬　４区

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハ上の異物分布を表示する際に、異物の成分を
   表わす記号を用いて異物位置を示すことを特徴とする分
   析データ表示方法。 ２、異物の、ウェハ上の座標データと分析データを併せ
   て記録することを特徴とするデータ記録方法。 ３、異物を検出し、その座標データを出力する手段と、
   該座標の異物を分析し、分析データを出力する手段と、
   該座標データと該分析データを各異物毎に合わせる手段
   と、該合わせた結果を出力する手段を有することを特徴
   とする異物検査分析システム。