JPH0419440B2

JPH0419440B2 -

Info

Publication number: JPH0419440B2
Application number: JP26981886A
Authority: JP
Inventors: Ryo Fukuda
Original assignee: Fukuda Co Ltd
Current assignee: Fukuda Co Ltd
Priority date: 1986-11-14
Filing date: 1986-11-14
Publication date: 1992-03-30
Also published as: JPS63125900A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、リークテスト方法に関する。

（従来の技術）一般に、容器に亀裂等が生じているか否かを検
査するために、リークテストが行なわれる。

このリークテストでは、容器の内部を加圧（以
下、加圧法と称する）あるいは減圧（以下、減圧
法と称する）して容器内をテスト圧力にした後、
容器を流体圧力源から閉鎖し、その後の容器内の
圧力変動を圧力計等で検出する。そして、加圧法
においては圧力が下がつていく場合には容器から
気体が漏洩しているものと判断し、減圧法におい
ては圧力が上がつていく場合には漏洩しているも
のと判断する。

第７図，第８図は、それぞれ上記従来の加圧法
によるリークテストと減圧法によるリークテスト
の場合の時間経過に伴う容器内の圧力変動を表し
たグラフであり、以下これらのグラフについて説
明する。

加圧法の場合（第７図）には、加圧開始からt₁
時間経過後にテスト圧力Ptに達する。この時、
容器内の気体の温度は加圧されたことにより外気
温度よりも上昇する。したがつて、上記t₁時間経
過直後すなわちテスト圧力Ptに達した直後に容
器を流体圧力源から閉鎖すると、容器から外気へ
放熱されて容器内の気体の温度が下がり、その結
果、容器内の圧力は、容器からの気体の漏れがな
くても第７図中実線Ａで示すように低下し、t₄時
間経過したところで安定する。又、容器内の圧力
がテスト圧力Ptに達した後、t₂時間又はt₃時間ま
で容器を圧力源に接続したまま容器内を上記テス
ト圧力Ptに維持してから容器を閉鎖すると、圧
力低下量は減るものの容器内の圧力はそれぞれ実
線Ｂ又は実線Ｃのように低下し、t₁時間で安定す
る。そして、容器内の圧力をt₄時間までテスト圧
力Ptに維持した後に容器を閉鎖した場合には、
容器内の気体温度は既に外気温と平衡状態に達し
ているため、圧力変動はなく圧力一定になる。

減圧法の場合（第８図）には上記加圧法の場合
と逆の現象を生ずる。即ち、減圧開始からt₁′時
間経過後にテスト圧力Pt′に達する。この時、容
器内の気体の温度は減圧されたことにより外気温
度よりも下がる。したがつて、上記t₁′時間経過
直後すなわちテスト圧力Pt′に達した直後に容器
を流体圧力源から閉鎖すると、容器は外気から熱
を奪い容器内の気体の温度が上がり、その結果、
容器内の圧力は第８図中実線A′で示すように上
昇し、t₄′時間経過したところで安定する。又、
容器内の圧力がテスト圧力Pt′に達した後、t₂′時
間又はt₃′時間まで容器を圧力源に接続したまま
容器内を上記テスト圧力Pt′に維持してから容器
を閉鎖すると、容器内の圧力はそれぞれ実線
B′又は実線C′のように上昇し、t₄′時間で安定す
る。そして、t₄′時間まで容器内の圧力をテスト
圧力Pt′に維持した後に容器を閉鎖した場合には、
容器内の気体温度は既に外気温と平衡状態に達し
ているため、圧力変動はなく圧力一定になる。

上記説明から明らかなように、t₄時間又はt₄′時
間前に容器を閉じてリークテストを行なつた場
合、容器内の気体の温度変化による自然な圧力変
動と、容器からのリークによる圧力変動とが一緒
に検出されるため、リークの有無を的確に判断す
るのが難しかつた。

したがつて、実際にはt₄時間又はt₄′時間まで、
すなわち容器内の温度が外気温と平衡状態になる
まで、容器と圧力源とを連通させてテスト圧力
Pt，Pt′を維持し続けた後に、容器を閉鎖して圧
力変動を検出し、リークテストに正確を期してい
る。

（発明が解決しようとする問題点）上記のように、容器内の温度が自然に外気温と
平衡になるまで待つてリークテストを行なうた
め、リークテストに長時間を要するようになり、
能率が悪かつた。

（問題点を解決するための手段）この発明は上記問題点を解決するためになされ
たもので、その要旨は、次の二つのリークテスト
方法にある。

(A) 検査対象内部に正圧のテスト圧力を付与し
て、その後の検査対象内部の圧力変動から検査
対象の密閉性の良否を判断するリークテスト方
法において、一端が正圧源に接続されセツト圧
力を上記テスト圧力よりも大きな初期圧力に設
定したレギユレータが途中に配された第一流路
と、一端が正圧源に接続されセツト圧力を上記
テスト圧力に設定したリリーフ式レギユレータ
が途中に配された第二流路と、一端が検査対象
が接続された主流路と、上記主流路の他端を上
記第一流路の他端と第二流路の他端のいずれか
一方に選択的に接続可能にする弁とを具備する
装置を用い、初めに主流路を第一流路に接続し
上記検査対象内部に上記初期圧力を付与し、次
に上記弁を切り替えて主流路を第二流路に接続
し、検査対象内部の圧力を検査対象の外に逃が
して検査対象内部を上記テスト圧力まで減圧す
ることにより検査対象内部の温度を外気温にほ
ぼ一致させ、そして、この後の検査対象内部の
圧力変動から検査対象の密閉性の良否を判断す
るようにしたことを特徴とするリークテスト方
法。

(B) 検査対象内部に負圧のテスト圧力を付与し
て、その後の検査対象内部の圧力変動から検査
対象の密閉性の良否を判断するリークテスト方
法において、一端が負圧源に接続されセツト圧
力を上記テスト圧力よりも小さな初期圧力に設
定したレギユレータが途中に配された第一流路
と、一端が負圧源に接続されセツト圧力を上記
テスト圧力に設定したリリーフ式レギユレータ
が途中に配された第二流路と、一端に検査対象
が接続された主流路と、上記主流路の他端を上
記第一流路の他端と第二流路の他端のいずれか
一方に選択的に接続可能にする弁とを具備する
装置を用い、初めに主流路を第一流路に接続し
上記検査対象内部に上記初期圧力を付与し、次
に上記弁を切り替えて主流路を第二流路に接続
し、検査対象内部に流体を導入して検査対象内
部を上記テスト圧力まで昇圧することにより検
査対象内部の温度を外気温にほぼ一致させ、そ
して、この後の検査対象内部の圧力変動から検
査対象の密閉性の良否を判断するようにしたこ
とを特徴とするリークテスト方法。

（作用）加圧法によるリークテストの場合には、初めに
テスト圧力よりも大きな初期圧力を検査対象内部
に付与し、次に検査対象内部の圧力を検査対象の
外に逃がしてテスト圧力まで減圧するようにした
ことにより、また、減圧法によるリークテストの
場合には、初めにテスト圧力よりも小さな初期圧
力を検査対象内部に付与し、次に検査対象内部に
流体を導入してテスト圧力まで昇圧するようにし
たことにより、それぞれ、検査対象内部の温度が
自然的推移以上の速さで外気温と平衡状態に達す
るようになり、検査対象内部を短時間で安定した
テスト圧力にすることができる。

（実施例）以下、この発明の一実施例を第１図，第２図の
図面に従つて説明する。

第１図は、この発明の加圧法によるリークテス
トを実施する場合の概略フローダイアグラムを示
している。

加圧空気源１（正圧源）には配管ライン１１を
介して二つの配管ライン１２（第一流路），配管
ライン１３（第二流路）の一端が接続される。こ
れら配管ライン１２，１３にはそれぞれレギユレ
ータ２、レギユレータ３設けられている。尚、レ
ギユレータ３にはリリーフ式レギユレータが用い
られている。レギユレータ３のセツト圧力はテス
ト圧力Ptに設定されており、レギユレータ２の
セツト圧力はテスト圧力Ptよりも大きな初期圧
力P₀に設定されている。上記配管ライン１２の
他端は切替用三方電磁弁SV₁の第一ポートに接続
され、配管ライン１３の他端はオリフイス２１を
介して上記三方電磁弁SV₁の第二ポートに接続さ
れている。

上記配管ライン１３のオリフイス２１より下流
から分岐された配管ライン１４は絞り弁４及び逃
し弁５を介して外気に接続されている。逃し弁５
は、配管ライン１４内の圧力がテスト圧力Ptよ
り所定値以上大きい弁開セツト圧力に達した時に
開き、配管ライン１４内が減圧されて弁開セツト
圧力になつた時に閉じる。尚、この弁閉セツト圧
力はテスト圧力Ptよりも若干大きい圧力値にさ
れている。

上記三方電磁弁SV₁の第三ポートは圧力計６が
配された配管ライン１５を介して排気用三方電磁
弁SV₂の第一ポートに接続されている。この三方
電磁弁SV₂の第二ポートは外気に接続されてい
る。

上記三方電磁弁SV₂の第三ポートは配管ライン
１６及び二方電磁弁SV₃を介して配管ライン１７
の一端に接続されている。これら配管ライン１
５，１６，１７により主流路が構成されている。

上記配管ライン１７の途中から分岐された配管
ライン１８は圧力センサ７に接続されている。こ
の圧力センサ７は、ダイヤフラム（図示しない）
を内蔵し、このダイヤフラムの変形を電磁的に検
出するものであり、ダイヤフラムの一側のポート
が上記配管ライン１８に接続され、他側のポート
が大気に開放されている。上記各電磁弁SV₁，
SV₂，SV₃はシーケンス制御されている。

上記装置において、配管ライン１７の他端に容
器１００（検査対象）を接続した状態でリークテ
ストを行う。尚、加圧前においては、容器１００
内の圧力は外気圧に等しい。

次に、第２図に示す容器１００内の圧力推移グ
ラフにしたがつて、時間を追つてリークテスト手
順を説明する。

リークテストの１サイクルは、加圧工程、減圧
工程、第一平衡工程、第二平衡工程、検出工程、
排気工程からなつており、加圧工程時間T₁、減
圧工程と第一平衡工程とを合わせた所要時間T₂、
第二平衡工程時間T₃、検出工程時間T₄、排気工
程時間T₅はタイマーにより設定されている。

加圧工程において、三方電磁弁SV₁は配管ライ
ン１２と配管ライン１５を連通するとともに配管
ライン１３を閉鎖し、三方電磁弁SV₂は配管ライ
ン１５と配管ライン１６を連通するとともに外気
と遮断し、二方電磁弁SV₃は開状態となつて配管
ライン１６と配管ライン１７を連通する。

その結果、加圧空気源１から加圧空気が、配管
ライン１１，１２を通りレギユレータ２によつて
その初期圧力P₀に減圧され、容器１００に供給
される。容器１００内の圧力は徐々に上昇してテ
スト圧力Ptを越え、加圧開始よりTa時間経過後
に初期圧力P₀に達する。そして加圧工程の残り
の時間Tbにおいて、容器１００内の圧力は初期
圧力P₀に維持される。

上記加圧工程の終了後、減圧工程に移行する。
減圧工程においては、三方電磁弁SV₂及び二方電
磁弁SV₃は上記加圧工程の状態を維持したまま、
三方電磁弁SV₁だけが切替わる。即ち、三方電磁
弁SV₁は配管ライン１３と配管ライン１５を連通
するとともに配管ライン１２を閉鎖する。その結
果、容器１００及び配管ライン１５，１６，１
７，１８内に付与されていた圧力、即ち初期圧力
P₀が三方電磁弁SV₁を介して配管ライン１３，１
４内に伝達される。この初期圧力P₀は逃し弁５
の弁開セツト圧力よりも高いので、逃し弁５が開
き、配管ライン１４内の加圧空気を外へ逃がす。
そして、配管ライン１４内の圧力、即ち容器１０
０内の圧力が徐々に下がつてきて逃し弁５の弁閉
セツト圧力に達すると、逃し弁５が閉じる。逃し
弁５の弁閉セツト圧力はテスト圧力Ptよりも若
干大きいので、この差圧分に相当する加圧空気は
更にレギユレータ３のリリーフ孔から大気へ放出
され、配管ライン１４内の圧力はテスト圧力Pt
となる。

この後、レギユレータ３によつてテスト圧力
Ptに減圧された流体圧力が配管ライン１３，１
５，１６，１７を介して容器１００に付与され
る。

上記逃し弁５が閉じた後は第一平衡状態となつ
て、容器１００内はテスト圧力Ptに確実に維持
される。

そして第一平衡工程の終了とともに二方電磁弁
SV₃も閉状態となり、第二平衡工程に移行する。
上記第一平衡工程及び第二平衡工程において容器
２内の圧力は安定しており、テスト圧力Ptが維
持される。

上記安定したテスト圧力Ptを得るまでの時間、
すなわち上記加圧工程時間と減圧工程時間の合計
時間は、従来方法における安定したテスト圧力
Ptを得るまでの時間t₄に比べて非常に短くて済
む。その理由は次のように推定される。

容器１００内の空気温度は、加圧開始直後から
初期圧力P₀になるまで上昇し、初期圧力P₀を維
持している時間Tbでは下がる。しかし、この時
間Tbは短いので外気温と平衡になるまでは下が
らない。次の減圧工程では、両レギユレータ２，
３のセツト圧力の差圧分、換言すれば初期圧力
P₀とテスト圧力Ptとの差圧分に相当する加圧空
気の放出がなされ、容器１００内の空気温度がこ
の放出により低下させられて外気温度と平衡にな
る。このように、自然放熱を待たずに強制的に容
器１００内の温度を外気温と平衡にしているの
で、短時間で安定したテスト圧力Ptとなる。

上記第二平衡工程の後に、検出工程に移行す
る。即ち、容器１００内の圧力は配管ライン１８
により圧力センサ７に導かれ、外気圧に対するゲ
ージ圧として検出される。なお、圧力センサ７か
らの検出圧力の電気信号は増幅されて圧力計に送
られ、この圧力計で上記ゲージ圧が表示される。
そしてこのゲージ圧に偏動がなければ容器１００
の密封性が確認され、ゲージ圧が減少していくの
であれば容器１００から空気が漏れているのであ
り、密封性不良が確認される。

上記検出工程終了後、排気工程に移行する。排
気工程では、二方電磁弁SV₃が開状態になり、三
方電磁弁SV₂が配管ライン１６を外気に連通する
とともに、配管ライン１５を閉鎖する。その結
果、容器１００内の空気は三方電磁弁SV₂から放
出される。

以上でリークテストの１サイクルが終了する
が、１サイクルの所要時間を前述した従来方法に
比べて約1/3にすることができる。

尚、上記実施例における減圧工程直後に、容器
１００内の空気圧力を安定させるためには、初期
圧力P₀とテスト圧力Ptとの差ΔP、及び初期圧力
P₀の維持時間Tbを、所定範囲内で設定しなけれ
ばならない。

上記差圧ΔPが所定範囲の上限値より大きいと、
減圧による容器２内の温度低下が大きくなり過ぎ
て一時的に外気温以下になるため、減圧終了後す
なわち容器１００を閉じた後に容器１００内の空
気温度が外気温と平衡になるまで圧力が上昇して
しまい、圧力が安定するまで検出工程を実行でき
ない。また、差圧ΔPが所定範囲の下限値より小
さいと、減圧による容器１００内の温度低下が不
充分で外気温まで下がりきらないため、減圧終了
後すなわち容器１００を閉じた後に容器１００内
の空気温度が外気温と平衡になるまで圧力が下降
してしまい、圧力が安定するまで検出工程を実行
できない。

同様に、上記維持時間Tbが所定範囲の上限値
より長いと、この維持時間Tbにおける容器１０
０内の空気温度の低下が大きくて外気温に近付く
ため、次の減圧工程で容器１００内の温度が外気
温以下まで低下してしまう。このため減圧終了後
すなわち容器１００を閉じた後に容器１００内の
空気温度が外気温と平衡になるまで圧力が上昇し
てしまい、圧力が安定するまで検出工程を実行で
きない。また、維持時間Tbが所定範囲の下限値
より短いと、この維持時間Tbでの容器１００内
の温度低下が微少であり、次の減圧による容器１
００内の温度低下では外気温まで下がりきらない
ため、減圧終了後すなわち容器１００を閉じた後
に容器１００内の空気温度が外気温と平衡になる
まで圧力が下降してしまい、圧力が安定するまで
検出工程を実行できない。

差圧ΔPと維持時間Tbとは、相関関係を有して
いる。すなわち、差圧ΔPを大きくすれば維持時
間Tbを短くすることができ、差圧ΔPが小さけれ
ば維持時間Tbを長くする必要がある。初期圧力
P₀を大きくし差圧ΔPを大きくして、テスト時間
を短縮することが好ましいが、これらP₀，ΔPは、
容器１００の強度等に応じて決定される。

なお、上記ΔP，維持時間Tbは多少上記範囲か
ら外れていてもよく、この場合でも、テスト時間
は理想的な場合より長くなるが、従来方法よりも
短縮できる。

又、第３図は他の実施例のフローダイアグラム
を示すものであり、第一実施例と同一態様部分に
ついては同一符号を付して説明を省略し、第一実
施例と相違する点を以下に説明する。

配管ライン１６はその下流において二つに分岐
され、それぞれ二方電磁弁SV₃が配置されてい
る。この二つの電磁弁SV₃は共に第一実施例の電
磁弁SV₃と同様に開閉される。そして、一方の二
方電磁弁SV₃は配管ライン１７ａを介して容器１
００に接続されており、他方の二方電磁弁SV₃は
配管ライン１７ｂを介して、上記容器１００と同
寸法、同材質の容器であつて、予め漏れのないこ
とが確認された基準容器１００′が接続されてい
る。又、各配管ライン１７ａ，１７ｂは配管ライ
ン１８ａ，１８ｂを介して圧力センサ７の両入力
ポートにそれぞれ接続されており、この圧力セン
サ７は差動増幅器８を介して差圧計９に接続され
ている。

上記第二実施例の場合の容器１００内の圧力推
移グラフは、第一実施例と同様である。ただし、
検出工程において容器１００及び配管ライン１７
ａ，１８ａ内の圧力は、基準容器１００′及び配
管ライン１７ｂ，１８ｂの圧力との差圧として圧
力センサ７で検出され、差圧計９で表示される。
上記のように差圧検出であるので、高感度で検出
できる。なお、上記基準容器１００′は容器１０
０と同一寸法であり、外部要因による圧力変動を
相殺することができるが、この外部要因が小さい
時には上記基準容器１００′は省くことができる。

第４図は本発明の第三実施例を示す。この実施
例では、配管ライン１５はオリフイス２０を介し
て配管ライン１６に接続され、更に排気用三方電
磁弁SV₂、配管ライン１７を介して容器１００に
接続されている。上記オリフイス２０の両側の圧
力差は配管ライン１８ａ，１８ｂを介してセンサ
７により検出され、センサ７の出力は差動増幅器
８で増幅され、差圧計９で表示されるようになつ
ている。

また、配管ライン１５，１６にはオリフイス２
０と並列にバイパスライン１９が接続されてお
り、このバイパスライン１９には二方電磁弁SV₃
が配置されている。

上記第三実施例の場合には、二方電磁弁SV₃を
開けた状態で前記実施例と同様に加圧、減圧工程
を行ない、容器１００内を短時間で安定したテス
ト圧力Ptとする。この後、電磁弁SV₃を開から閉
に切り換えてバイパスライン１９を閉じ、検出工
程を開始する。容器１００にひび割れ等がなく加
圧空気の漏れがない場合には、オリフイス２０に
は空気が流れず、その両端間に圧力差が生じない
から、差圧計９はゼロを表示する。容器１００か
らの漏れがある場合には、漏れによる圧力低下を
補うべく、加圧空気がオリフイス２０を通つて容
器１００に供給されるため、オリフイス２０での
圧力損失分だけその両端間に圧力差が生じる。こ
れを差圧計９で表示し、漏れを知らせる。

上記検出後、電磁弁SV₂を切り換えて、容器内
の加圧空気を外部へ排出する。

尚、上述第一，第二，第三実施例ともに加圧法
によるリークテストで説明したが、減圧法による
リークテストにおいても同様な思想の基に行うこ
とができる。減圧法の場合には、第１図，第３
図，第４図において加圧空気源１の代わりに負圧
空気源負圧源を用いるが、他の構成および作動は
加圧方法と同様である。詳述すると、容器を第一
流路に接続して容器内を一旦テスト圧力以下の初
期圧力にセツトし、この状態を一定時間維持した
後、容器と第一流路を遮断するとともに容器と第
二流路を接続し、外気を容器内に導入しテスト圧
力まで昇圧せしめ、一定時間経過後に、負圧の容
器内への流体の流入の有無を検出すればよい。こ
の方法では、上記昇圧時に容器内の流体の温度が
上昇して短時間で外気温と平衡になり安定したテ
スト圧力が得られる。この減圧法における容器内
の圧力の変化は、第２図において、縦軸を負圧と
することにより表わすことができる。

上記各実施例において、初期圧力P₀からテス
ト圧力Ptにする際の手段は逃し弁５に限るもの
ではない。

例えば、第５図に示すように逃し弁５の代わり
に二方電磁弁SV₄を配置したり、あるいは、第６
図に示すように、絞り弁４と逃し弁５の代わり
に、ピストン２２を内蔵したシリンダ２３を配管
ライン１４の末端に接続してもよい。これらの場
合には、第１図，第３図，第４図において想像線
で示すように、配管ライン１６に圧力スイツチ２
５を配置しておき、この圧力スイツチ２５によ
り、二方電磁弁SV₄及びロツド２４を作動させ
る。

即ち、二方電磁弁SV₄を用いる場合には、加圧
法では、減圧工程の開始とともに二方電磁弁SV₄
が開き、配管ライン１６内の圧力が圧力スイツチ
２５の下限設定値（テスト圧力Ptより若干大き
い）に至ると二方電磁弁SV₄は閉じ、減圧法では
昇圧工程の開始とともに二方電磁弁SV₄が開き、
配管ライン１６内の圧力が圧力スイツチ２５の上
限設定値（テスト圧力Ptより若干小さい）に至
ると二方電磁弁SV₄が閉じる。

又、シリンダ２３を用いる場合には、加圧法で
は、減圧工程の開始とともにロツド２４が引か
れ、配管ライン１６内の圧力が圧力スイツチ２５
の下限設定値（テスト圧力Ptよりも若干大きい）
に至るとロツド２４は停止し、減圧法では昇圧工
程の開始とともにロツド２４が押され、配管ライ
ン１６内の圧力が圧力スイツチ２５の上限設定値
（テスト圧力Ptより若干小さい）に至るとロツド
２４は停止する。

又、容器１００の容量が小さくて、初期圧力
P₀からテスト圧力Dtにする際に給排気する空気
量が少ない場合には、レギユレータ３から直接給
排気するようにしてもよい、その場合には、オリ
フイス２１，配管ライン１４，絞り弁４，及び逃
し弁５等が不要となる。

更に、上記各実施例において三方電磁弁SV₁の
代わりに各配管ライン１２，１３にそれぞれ二方
電磁弁を設けて切換えるようにしてもよい。

又、各配管ライン１２，１３はそれぞれ別々の
圧力源が接続されていてもよい。

この発明は上記実施例に制約されず種々の態様
が可能である。例えば、流体は空気に限らず、チ
ツソガスでもよいし、水や油等の液体であつても
よい。

（発明の効果）以上説明したように、この発明によれば、検査
対象内部を速やかに安定したテスト圧力にするこ
とができ、したがつて、リークテストの迅速化を
図ることができるという優れた効果が奏される。

【図面の簡単な説明】

第１図，第２図の図面はこの発明によるリーク
テスト方法の一実施例を示すものであり、第１図
は概略フローダイアグラム、第２図は容器内圧力
推移グラフである。又、第３図，第４図は互いに
異なる他の実施例の概略フローダイアグラムであ
り、第５図，第６図は容器内圧力を逃がすための
他の手段の部分フローダイアグラムである。更
に、第７図，第８図は従来の加圧法及び減圧法に
よるリークテスト方法の際のそれぞれの容器内圧
力推移グラフである。１…加圧空気源（正圧源）、２…レギユレータ、
３…リリーフ式レギユレータ、１２…第一流路
（配管ライン）、１３…第二流路（配管ライン）、
１５，１６，１７…主流路、１００…検査対象
（容器）、Pt…テスト圧力、P₀…初期圧力、SV₁…
弁。

Claims

【特許請求の範囲】１検査対象内部に正圧のテスト圧力を付与し
て、その後の検査対象内部の圧力変動から検査対
象の密閉性の良否を判断するリークテスト方法に
おいて、一端が正圧源に接続されセツト圧力を上記テス
ト圧力よりも大きな初期圧力に設定したレギユレ
ータが途中に配された第一流路と、一端が正圧源
に接続されセツト圧力を上記テスト圧力に設定し
たリリーフ式レギユレータが途中に配された第二
流路と、一端に検査対象が接続された主流路と、
上記主流路の他端を上記第一流路の他端と第二流
路の他端のいずれか一方に選択的に接続可能にす
る弁とを具備する装置を用い、初めに主流路を第
一流路に接続し上記検査対象内部に上記初期圧力
を付与し、次に上記弁を切り替えて主流路を第二
流路に接続し、検査対象内部の圧力を検査対象の
外に逃がして検査対象内部を上記テスト圧力まで
減圧することにより検査対象内部の温度を外気温
にほぼ一致させ、そして、この後の検査対象内部
の圧力変動から検査対象の密閉性の良否を判断す
るようにしたことを特徴とするリークテスト方
法。２検査対象内部に負圧のテスト圧力を付与し
て、その後の検査対象内部の圧力変動から検査対
象の密閉性の良否を判断するリークテスト方法に
おいて、一端が負圧源に接続されセツト圧力を上記テス
ト圧力よりも小さな初期圧力に設定したレギユレ
ータが途中に配された第一流路と、一端が負圧源
に接続されセツト圧力を上記テスト圧力に設定し
たリリーフ式レギユレータが途中に配された第二
流路と、一端に検査対象が接続された主流路と、
上記主流路の他端を上記第一流路の他端と第二流
路の他端のいずれか一方に選択的に接続可能にす
る弁とを具備する装置を用い、初めに主流路を第
一流路に接続し上記検査対象内部に上記初期圧力
を付与し、次に上記弁を切り替えて主流路を第二
流路に接続し、検査対象内部に流体を導入して検
査対象内部を上記テスト圧力まで昇圧することに
より検査対象内部の温度を外気温にほぼ一致さ
せ、そして、この後の検査対象内部の圧力変動か
ら検査対象の密閉性の良否を判断するようにした
ことを特徴とするリークテスト方法。