JPH04191822A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH04191822A JPH04191822A JP32393290A JP32393290A JPH04191822A JP H04191822 A JPH04191822 A JP H04191822A JP 32393290 A JP32393290 A JP 32393290A JP 32393290 A JP32393290 A JP 32393290A JP H04191822 A JPH04191822 A JP H04191822A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- light
- mask
- saw
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 abstract description 6
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、透明電極付き基板上に短絡防止用の絶縁層を
有する液晶表示素子の製造方法、特にその絶縁層形成工
程の改良に関するものである。
有する液晶表示素子の製造方法、特にその絶縁層形成工
程の改良に関するものである。
透明電極付きのガラス基板を対向配置し、その間に液晶
を注入した液晶表示素子においては、対向基数との短絡
を防止するために、透明電極上に絶縁層を形成する場合
がある。その絶縁層形成工程の一例を説明する。 まず、第４図（Ａ）に示すようにガラス基板１】に形成
された透明電極１２上に絶縁材料１３′を塗布、仮乾燥
した後、第４図（Ｂ）に示すようにＵＶ光を均一に照射
し、続いて第４図ＣＣ’）に示すように本焼成を行って
絶縁膜１３を形成している。 この後、基板上に垂直配向用の配向膜を形成する工程に
移行する。 上述の工程Ｂにおいて絶縁材料】３′にＵＶ光を照射し
た場合、絶縁膜の厚みが照射強度に応じて減少する。こ
の膜厚の減少度合は、全面均一に照射しているため、同
一となり、絶８８１３の表面も平滑となる。
を注入した液晶表示素子においては、対向基数との短絡
を防止するために、透明電極上に絶縁層を形成する場合
がある。その絶縁層形成工程の一例を説明する。 まず、第４図（Ａ）に示すようにガラス基板１】に形成
された透明電極１２上に絶縁材料１３′を塗布、仮乾燥
した後、第４図（Ｂ）に示すようにＵＶ光を均一に照射
し、続いて第４図ＣＣ’）に示すように本焼成を行って
絶縁膜１３を形成している。 この後、基板上に垂直配向用の配向膜を形成する工程に
移行する。 上述の工程Ｂにおいて絶縁材料】３′にＵＶ光を照射し
た場合、絶縁膜の厚みが照射強度に応じて減少する。こ
の膜厚の減少度合は、全面均一に照射しているため、同
一となり、絶８８１３の表面も平滑となる。
しかし、このような方法では、絶縁膜１３の表面が平滑
となり、その後に形成する配向膜の表面も平滑となって
、垂直配向ではチルト角が略０度となるので、ラビング
などの処理を施してチルト角を制御する場合、その制御
がかなり難しくなる。 本発明の目的は、基板間短絡防止用絶縁膜を後工程のチ
ルト角制御に有利な形で形成できる液晶表示素子の製造
方法を提供することにある。
となり、その後に形成する配向膜の表面も平滑となって
、垂直配向ではチルト角が略０度となるので、ラビング
などの処理を施してチルト角を制御する場合、その制御
がかなり難しくなる。 本発明の目的は、基板間短絡防止用絶縁膜を後工程のチ
ルト角制御に有利な形で形成できる液晶表示素子の製造
方法を提供することにある。
本発明は、透明電極付き基板に対向電極との短絡を防止
するための絶縁膜を形成する際、絶縁膜の塗布、仮乾燥
後、可変幅のスリット、グレースケールなどのマスクを
用い照射量を部分的に変化させながらＵＶ光の照射を行
って、絶縁膜表面を鋸歯状とすることを特徴とするもの
である。
するための絶縁膜を形成する際、絶縁膜の塗布、仮乾燥
後、可変幅のスリット、グレースケールなどのマスクを
用い照射量を部分的に変化させながらＵＶ光の照射を行
って、絶縁膜表面を鋸歯状とすることを特徴とするもの
である。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。 第１図（Ａ）〜（Ｃ）、第２図及び第３図は本発明の一
実施例を示すもので、第１図（Ａ）のようにガラス基板
１に形成された透明電極２上に絶縁材料３′を塗装、仮
乾燥した後、第１図（Ｂ）のようにＵＶ光を照射する。 この時、可変幅のスリット板、微細ピッチのグレースケ
ールなとのマスク４（第１図（Ｂ）、第３図参照）を光
源と基板１の間に介在させる。この後、本焼成を行うと
、第１図（Ｃ）のように表面が鋸歯状の基板間短絡防止
用の絶縁膜３が形成される。 上記のＵ Ｖ光の照射に際し、可変幅のスリット板をマ
スク４として用いた場合には、ＵＶ光を照射しながらマ
スク４のスリット幅を徐々に拡大すると、ＵＶ光の照射
量が位置によって異なるようになり、それに伴って絶縁
膜３の厚みに相違が生しる。即ち、表面が鋸歯状となる
。 絶縁膜形成工程の後に配向膜形成工程に移行し、絶縁膜
３上に垂直配向用配向膜５を形成する（第２図）。この
場合、配向膜５は、その表面が絶縁膜３の表面と同様に
鋸歯状となる。このため、液晶を注入した場合、液晶が
傾斜の度合に対応して、ある角度で並ぶようになり、チ
ルト角の制御が容易となる。 【発明の効果〕 以上のように本発明によれば、絶縁材料の塗布、仮乾燥
後にＵＶ光を照射する際、可変幅のスリット板、グレー
スケールなどのマスクを光源と基板の間に介在させ、照
射量を徐々に変化させるため、絶縁膜表面が後工程の配
向膜形成工程てのチルト角制御に適した鋸歯状とするこ
とが可能となり、チルト角制御を容易に行うことができ
る。
する。 第１図（Ａ）〜（Ｃ）、第２図及び第３図は本発明の一
実施例を示すもので、第１図（Ａ）のようにガラス基板
１に形成された透明電極２上に絶縁材料３′を塗装、仮
乾燥した後、第１図（Ｂ）のようにＵＶ光を照射する。 この時、可変幅のスリット板、微細ピッチのグレースケ
ールなとのマスク４（第１図（Ｂ）、第３図参照）を光
源と基板１の間に介在させる。この後、本焼成を行うと
、第１図（Ｃ）のように表面が鋸歯状の基板間短絡防止
用の絶縁膜３が形成される。 上記のＵ Ｖ光の照射に際し、可変幅のスリット板をマ
スク４として用いた場合には、ＵＶ光を照射しながらマ
スク４のスリット幅を徐々に拡大すると、ＵＶ光の照射
量が位置によって異なるようになり、それに伴って絶縁
膜３の厚みに相違が生しる。即ち、表面が鋸歯状となる
。 絶縁膜形成工程の後に配向膜形成工程に移行し、絶縁膜
３上に垂直配向用配向膜５を形成する（第２図）。この
場合、配向膜５は、その表面が絶縁膜３の表面と同様に
鋸歯状となる。このため、液晶を注入した場合、液晶が
傾斜の度合に対応して、ある角度で並ぶようになり、チ
ルト角の制御が容易となる。 【発明の効果〕 以上のように本発明によれば、絶縁材料の塗布、仮乾燥
後にＵＶ光を照射する際、可変幅のスリット板、グレー
スケールなどのマスクを光源と基板の間に介在させ、照
射量を徐々に変化させるため、絶縁膜表面が後工程の配
向膜形成工程てのチルト角制御に適した鋸歯状とするこ
とが可能となり、チルト角制御を容易に行うことができ
る。
第１図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明に係る液晶セルの製造方
法の一実施例を示す基板間短絡防止用絶縁膜形成工程説
明用の断面図、第２図は同実施例の配向膜形成工程説明
用の断面図、第３図は絶縁膜形成用のマスク、第４図（
Ａ）〜（Ｃ）は従来の絶縁膜形成工程を説明するための
断面図である１・・・ガラス基板 ２・・・
透明電極３・・・絶縁膜 ３′・・・絶
縁材料４・・・マスク ５・・・配向膜
特許出願人 スタンレー電気株式会社第１図 ＵＶ丸 第２図 ら ノー
法の一実施例を示す基板間短絡防止用絶縁膜形成工程説
明用の断面図、第２図は同実施例の配向膜形成工程説明
用の断面図、第３図は絶縁膜形成用のマスク、第４図（
Ａ）〜（Ｃ）は従来の絶縁膜形成工程を説明するための
断面図である１・・・ガラス基板 ２・・・
透明電極３・・・絶縁膜 ３′・・・絶
縁材料４・・・マスク ５・・・配向膜
特許出願人 スタンレー電気株式会社第１図 ＵＶ丸 第２図 ら ノー
Claims (1)
- 透明電極付き基板に対向電極との短絡を防止するための
絶縁膜を形成する際、絶縁膜の塗布、仮乾燥後、可変幅
のスリット、グレースケールなどのマスクを用い照射量
を部分的に変化させながらＵＶ光の照射を行って、絶縁
膜表面を鋸歯状とすることを特徴とする液晶表示素子の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02323932A JP3083316B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 液晶表示素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02323932A JP3083316B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 液晶表示素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04191822A true JPH04191822A (ja) | 1992-07-10 |
| JP3083316B2 JP3083316B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=18160240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02323932A Expired - Fee Related JP3083316B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 液晶表示素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3083316B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01191016A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-08-01 | Sankei Seisakusho:Kk | 油圧検出装置 |
| WO2005084883A1 (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Seiko Epson Corporation | 微細構造素子の製造方法、この方法により製造された微細構造素子、空間光変調装置及びプロジェクタ |
| CN100463775C (zh) * | 2004-03-04 | 2009-02-25 | 精工爱普生株式会社 | 微细结构元件的制造方法及其应用 |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP02323932A patent/JP3083316B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01191016A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-08-01 | Sankei Seisakusho:Kk | 油圧検出装置 |
| WO2005084883A1 (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Seiko Epson Corporation | 微細構造素子の製造方法、この方法により製造された微細構造素子、空間光変調装置及びプロジェクタ |
| US7419271B2 (en) | 2004-03-04 | 2008-09-02 | Seiko Epson Corporation | Manufacturing method for fine structure element, fine structure element manufactured by the method, spatial light modulator, and projector |
| CN100463775C (zh) * | 2004-03-04 | 2009-02-25 | 精工爱普生株式会社 | 微细结构元件的制造方法及其应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3083316B2 (ja) | 2000-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20200096824A1 (en) | Method for manufacturing substrate, display panel and method for manufacturing display panel | |
| US6331381B1 (en) | Method for making a liquid crystal alignment layer | |
| JPH04191822A (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
| JP3583627B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| JPS61173221A (ja) | 液晶表示装置作成方法 | |
| JPS6327815A (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
| JP2000098387A (ja) | 液晶表示装置 | |
| EP0159850A3 (en) | Process for making polarizer | |
| JPH01189629A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| KR19990057123A (ko) | 이온빔을 이용한 액정배향막의 제조방법 | |
| JPH0720472A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
| JPH0497130A (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
| JPH0475025A (ja) | Ｌｃｄパネル | |
| US20020064895A1 (en) | Method for fabricating protrusion of liquid crystal display | |
| JP2696915B2 (ja) | 液晶表示パネル及びその製造方法 | |
| US20210055593A1 (en) | Liquid crystal cell assembly | |
| JPH07301803A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
| JP3058385B2 (ja) | 配向膜溶液転写版 | |
| JPH09185058A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| JPS6317430A (ja) | 液晶素子及びその製造方法 | |
| JPH10197872A (ja) | 液晶表示素子の配向膜の配向処理方法 | |
| JP3058383B2 (ja) | 配向膜溶液転写版 | |
| JPH03215829A (ja) | 液晶素子の製造方法 | |
| JPH02236527A (ja) | 液晶セルの製造方法および液晶セル | |
| JPH04107530A (ja) | 液晶パネルの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |