JPH0418765B2 - - Google Patents
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- JPH0418765B2 JPH0418765B2 JP60119309A JP11930985A JPH0418765B2 JP H0418765 B2 JPH0418765 B2 JP H0418765B2 JP 60119309 A JP60119309 A JP 60119309A JP 11930985 A JP11930985 A JP 11930985A JP H0418765 B2 JPH0418765 B2 JP H0418765B2
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- chip component
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- inspected
- pattern
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、チツプ部品の実装状態を判定するチ
ツプ部品の実装検査装置に関する。
ツプ部品の実装検査装置に関する。
[従来の技術]
従来、チツプ部品と印刷配線基板で構成される
電子回路が多用されつつある。それに従つて、印
刷配線基板にチツプ部品を実装した被検査基板
に、チツプ部品が正常に実装されているかを検査
するチツプ部品の実装検査装置が必要とされる。
前記チツプ部品の実装検査装置は、少なくとも実
装されたチツプ部品の種別、位置、方向等を検査
する必要がある。ところで、前述した様なチツプ
部品の実装検査装置は、既によく知られている。
例えば、特開昭59−61705によれば、印刷配線基
板に正常にチツプ部を実装したモデル基板を、
TVカメラで撮影し、記憶装置に記憶する。そし
て、記憶された像と、前記被検査基板を撮影して
得られた像を、照合し比較するものである。
電子回路が多用されつつある。それに従つて、印
刷配線基板にチツプ部品を実装した被検査基板
に、チツプ部品が正常に実装されているかを検査
するチツプ部品の実装検査装置が必要とされる。
前記チツプ部品の実装検査装置は、少なくとも実
装されたチツプ部品の種別、位置、方向等を検査
する必要がある。ところで、前述した様なチツプ
部品の実装検査装置は、既によく知られている。
例えば、特開昭59−61705によれば、印刷配線基
板に正常にチツプ部を実装したモデル基板を、
TVカメラで撮影し、記憶装置に記憶する。そし
て、記憶された像と、前記被検査基板を撮影して
得られた像を、照合し比較するものである。
[発明の解決しようとする問題点]
この従来の方式によれば、2つの像の位置合せ
の作業が必ず必要であり、該作業を高速かつ高精
度に行なうことは、処理装置が大きくなる等の理
由により非常に困難である。
の作業が必ず必要であり、該作業を高速かつ高精
度に行なうことは、処理装置が大きくなる等の理
由により非常に困難である。
本発明は、モデル基板を使用することなく、簡
単に、チツプ部品の実装状態を判定する事ができ
るチツプ部品の実装検査装置を提供することを目
的とする。
単に、チツプ部品の実装状態を判定する事ができ
るチツプ部品の実装検査装置を提供することを目
的とする。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、配線パターンをもつ基板にチツプ部
品を実装した被検査基板を保持する保持装置と、
該保持装置に保持された被検査基板のチツプ部品
が実装された面へ光を照射する第1投光器と、前
記保持装置に保持された被検査基板のチツプ部品
が実装された面の反対面へ光を照射する第2投光
器と、前記第1投光器又は第2投光器の光の照射
により得られる被査基板面の画像パターンを入力
するパターン読取り装置と、該パターン読取り装
置からの入力に基づいて、前記チツプ部品の実装
位置の適否を判定する判定装置とから構成され、
前記判定装置は、被検査基板に照射された第2投
光器の光の透過光による陰影画像パターンに基づ
いて予め決められた配線パターンを含む基準領域
を検出して基準位置を決定する基準演算部と、被
検査基板に照射された第1投光器の光の反射光に
よる画像パターンに基づいて予め決められたチツ
プ部品に関する検査領域を検出する検査演算部
と、前記基準領域と検査領域とに基づいて、予め
記憶されているチツプ部品の設計上の取付け位置
に対する実装位置の相対的な距離偏差を求める距
離演算部と、該距離演算部で求めた距離偏差の大
小に基づいてチツプ部品の実装位置の適否を判別
する判定部とを具備するものである。
品を実装した被検査基板を保持する保持装置と、
該保持装置に保持された被検査基板のチツプ部品
が実装された面へ光を照射する第1投光器と、前
記保持装置に保持された被検査基板のチツプ部品
が実装された面の反対面へ光を照射する第2投光
器と、前記第1投光器又は第2投光器の光の照射
により得られる被査基板面の画像パターンを入力
するパターン読取り装置と、該パターン読取り装
置からの入力に基づいて、前記チツプ部品の実装
位置の適否を判定する判定装置とから構成され、
前記判定装置は、被検査基板に照射された第2投
光器の光の透過光による陰影画像パターンに基づ
いて予め決められた配線パターンを含む基準領域
を検出して基準位置を決定する基準演算部と、被
検査基板に照射された第1投光器の光の反射光に
よる画像パターンに基づいて予め決められたチツ
プ部品に関する検査領域を検出する検査演算部
と、前記基準領域と検査領域とに基づいて、予め
記憶されているチツプ部品の設計上の取付け位置
に対する実装位置の相対的な距離偏差を求める距
離演算部と、該距離演算部で求めた距離偏差の大
小に基づいてチツプ部品の実装位置の適否を判別
する判定部とを具備するものである。
本発明のチツプ部品の実装検査装置の概略を第
1図にブロツク図で示す。このチツプ部品の実装
検査装置は保持装置10、投光器20、パターン
読取装置30、判定装置40で構成されている。
1図にブロツク図で示す。このチツプ部品の実装
検査装置は保持装置10、投光器20、パターン
読取装置30、判定装置40で構成されている。
保持装置10は、被検査基板90を略位置決め
する装置である。この保持装置10は、略位置決
めされた前記被検査基板を固定するロツク機構を
有する事が望ましい。略位置決めの精度は、本発
明装置の他の要素の構成にもよるが、数mmの位置
決め誤差でもチツプ部品の実装検査装置としての
機能は充分果せる。保持装置に載置された被検査
基板の一面に光を照射し、その反対側の面に配線
パターンの陰影を形成する必要がある。このた
め、保持装置は光を透過できる必要があり、ガラ
ス等で形成するのが好ましい。
する装置である。この保持装置10は、略位置決
めされた前記被検査基板を固定するロツク機構を
有する事が望ましい。略位置決めの精度は、本発
明装置の他の要素の構成にもよるが、数mmの位置
決め誤差でもチツプ部品の実装検査装置としての
機能は充分果せる。保持装置に載置された被検査
基板の一面に光を照射し、その反対側の面に配線
パターンの陰影を形成する必要がある。このた
め、保持装置は光を透過できる必要があり、ガラ
ス等で形成するのが好ましい。
投光器20は、保持装置10に保持された被検
査基板90のチツプ部品が実装された面へ光を照
射する第1投光器と、チツプ部品が実装された面
の反対面へ光を照射する第2投光器とを有してい
る。第1投光器は、チツプ部品の輪郭を明瞭にす
るため、被検査基板90のチツプ部品が実装され
た面へ斜めに光を照射する位置に配置するのが好
ましい。
査基板90のチツプ部品が実装された面へ光を照
射する第1投光器と、チツプ部品が実装された面
の反対面へ光を照射する第2投光器とを有してい
る。第1投光器は、チツプ部品の輪郭を明瞭にす
るため、被検査基板90のチツプ部品が実装され
た面へ斜めに光を照射する位置に配置するのが好
ましい。
また、前記パターンの読み取り領域を任意に設
定できるように、該パターン読取装置30は読取
りの尺度変更機能を有する事が望ましい。前記パ
ターン読取り30装置としては、例えば、CCD
素子、又はテレビジヨンカメラ等が利用できる。
定できるように、該パターン読取装置30は読取
りの尺度変更機能を有する事が望ましい。前記パ
ターン読取り30装置としては、例えば、CCD
素子、又はテレビジヨンカメラ等が利用できる。
判定装置40は、基準演算部41、検査演算部
43、距離演算部45、判定部47とから成り、
被検査基板90に於けるチツプ部品の実装状態を
判定する装置である。
43、距離演算部45、判定部47とから成り、
被検査基板90に於けるチツプ部品の実装状態を
判定する装置である。
基準演算部41によつてり検出される基準領域
としては、例えば、配線パターン上の点(スルー
ホールの角部等)、線(特定の直線部等)、面(特
定形状の部分等)の何れかまたはこれらを複合し
た部位等の特定部位を含む領域であり、この基準
領域に基づいて基準位置を決定する。又、該基準
領域は、該基準演算部41自身が記憶しているの
が望ましいが、外部記憶装置から入力されてもよ
い。
としては、例えば、配線パターン上の点(スルー
ホールの角部等)、線(特定の直線部等)、面(特
定形状の部分等)の何れかまたはこれらを複合し
た部位等の特定部位を含む領域であり、この基準
領域に基づいて基準位置を決定する。又、該基準
領域は、該基準演算部41自身が記憶しているの
が望ましいが、外部記憶装置から入力されてもよ
い。
検査演算部43によつて検出される該検査領域
としては、例えば、チツプ部品のエツジ部、特色
づけられた影等の点、線、面等が利用できる。
としては、例えば、チツプ部品のエツジ部、特色
づけられた影等の点、線、面等が利用できる。
距離演算部45は、例えば、前記基準領域内の
特定部位の座標と検査領域内のチツプ部品のエツ
ジ部の座標との距離を求めて、これと予め記憶さ
れている同部分の設計上の距離との偏差を求め、
これを距離偏差とする。
特定部位の座標と検査領域内のチツプ部品のエツ
ジ部の座標との距離を求めて、これと予め記憶さ
れている同部分の設計上の距離との偏差を求め、
これを距離偏差とする。
判定部47は、例えば、前記距離偏差が、予め
設定した許容偏差を超える場合には、チツプ部品
の実装位置が設計上の取付け位置からずれている
と判定し、その旨の信号を出力する。
設定した許容偏差を超える場合には、チツプ部品
の実装位置が設計上の取付け位置からずれている
と判定し、その旨の信号を出力する。
前記判定装置40又はそのそれぞれの構成要素
としては、例えば、コンパレータ、マイクロコン
ピユータ等が利用できる。
としては、例えば、コンパレータ、マイクロコン
ピユータ等が利用できる。
[作用]
基準演算部41は、被検査基板90に対し、投
光器20からチツプ部品の実装面の反対面に光を
照射したとき得られる配線パターンの陰影画像に
基づいて基準位置を決定する。本発明は、前記従
来例のようなモデル基板の画像を比較対象に用い
ず、被検査基板90自体により基準位置を決定す
る。これは、配線パターンを基板に印刷する場合
に、印刷位置の誤差が生じるため、保持装置10
に被検査基板90を保持した場合に、保持位置が
一定であつても、配線パターンの位置が基板毎に
異なるため、配線パターンから基準位置を決定す
る必要があるからである。また、配線パターン
は、極めて薄い層であり、かつその表面が絶縁膜
で被覆されているため、配線パターンの印刷され
た側の基板面に光を照射して、その反射光により
配線パターンを撮像することが困難な場合があ
る。
光器20からチツプ部品の実装面の反対面に光を
照射したとき得られる配線パターンの陰影画像に
基づいて基準位置を決定する。本発明は、前記従
来例のようなモデル基板の画像を比較対象に用い
ず、被検査基板90自体により基準位置を決定す
る。これは、配線パターンを基板に印刷する場合
に、印刷位置の誤差が生じるため、保持装置10
に被検査基板90を保持した場合に、保持位置が
一定であつても、配線パターンの位置が基板毎に
異なるため、配線パターンから基準位置を決定す
る必要があるからである。また、配線パターン
は、極めて薄い層であり、かつその表面が絶縁膜
で被覆されているため、配線パターンの印刷され
た側の基板面に光を照射して、その反射光により
配線パターンを撮像することが困難な場合があ
る。
そこで、本発明は、配線パターンの印刷された
基板面(チツプ部品は、配線パターン上にハンダ
付けされているから、チツプ部品が実装された面
である)の反対側から光を照射して、配線パター
ンの陰影画像を撮像する構成とした。これによつ
て、配線パターンを明確に読取ることができ、基
準位置を正確に決定することができる。
基板面(チツプ部品は、配線パターン上にハンダ
付けされているから、チツプ部品が実装された面
である)の反対側から光を照射して、配線パター
ンの陰影画像を撮像する構成とした。これによつ
て、配線パターンを明確に読取ることができ、基
準位置を正確に決定することができる。
そして、検査演算部43により検出された検査
領域と前記基準領域とに基づいてチツプ部品の実
装位置の適正な取付け位置に対する距離偏差を求
め、この大小によつてチツプ部品の実装位置の適
否を判断することによつて、従来例のようにモデ
ル基板を使用することなく、正確かつ迅速にチツ
プ部品の実装検査を行うことができる。
領域と前記基準領域とに基づいてチツプ部品の実
装位置の適正な取付け位置に対する距離偏差を求
め、この大小によつてチツプ部品の実装位置の適
否を判断することによつて、従来例のようにモデ
ル基板を使用することなく、正確かつ迅速にチツ
プ部品の実装検査を行うことができる。
[実施例]
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて、詳
しく説明する。第2図は、本発明の具体的な実施
例に係るチツプ部品の実装検査装置を説明するブ
ロツクダイアグラムである。被検査基板90は、
印刷配線基板にチツプ部品が実装された基板であ
る。
しく説明する。第2図は、本発明の具体的な実施
例に係るチツプ部品の実装検査装置を説明するブ
ロツクダイアグラムである。被検査基板90は、
印刷配線基板にチツプ部品が実装された基板であ
る。
保持装置10は、U字溝を有し、被検査基板9
0、を案内するガイド板11,12と、該ガイド
板11,12を結合するガラスの接続板13と、
で構成する。
0、を案内するガイド板11,12と、該ガイド
板11,12を結合するガラスの接続板13と、
で構成する。
投光器は、前記保持装置10に保持される被検
査基板のチツプ部品の実装面の斜め上方から光を
照射する第1のランプ21と、被検査基板のチツ
プ部品の実装面とは反対の面に下方から光を照射
する第2のランプ23とで構成する。
査基板のチツプ部品の実装面の斜め上方から光を
照射する第1のランプ21と、被検査基板のチツ
プ部品の実装面とは反対の面に下方から光を照射
する第2のランプ23とで構成する。
パターン読取り装置は前記保持装置10で保持
された被検査基板を撮影するテレビジヨンカメラ
31で構成する。
された被検査基板を撮影するテレビジヨンカメラ
31で構成する。
基準演算部、検査演算部、距離演算部、判定部
は、入力インタフエース51、マイクロコンピユ
ータ53、出力インタフエース55、各種基準デ
ータを記憶するバツクアツプ可能なメモリ
(RAM)57とから成る判定装置50で構成す
る。
は、入力インタフエース51、マイクロコンピユ
ータ53、出力インタフエース55、各種基準デ
ータを記憶するバツクアツプ可能なメモリ
(RAM)57とから成る判定装置50で構成す
る。
以下、マイクロコンピユータ(以下コンピユー
タと略す)53が処理する第5図のフローチヤー
トに基づいて、本実施例装置の作用を説明する。
タと略す)53が処理する第5図のフローチヤー
トに基づいて、本実施例装置の作用を説明する。
コンピユータ53は、本実施例装置の起動スイ
ツチが投入されるとステツプ100より実行を開始
する。ステツプ100は、演算に用いる変数の初期
化、検査回数を数えるカウンタの初期化、デイプ
スイツチで設定された撮影処理の尺度等を初期設
定するステツプである。その後、ステツプ102に
移行し、保持装置10に略位置決めされた被検査
基板から読み込まれた配線パターン影、チツプ部
品影から求めるための基準領域、検査領域を示す
それぞれの基準データを、メモリ57からリード
するステツプである。具体的には、前記基準領域
は、第3図に示すような配線パターン94の陰影
画像中の特定部位、例えば、スルーホールが形成
されている点P210,P212を含む一点鎖線
で囲まれた領域210である。また、検査領域
は、第4図に示すようなチツプ部品300,30
1,302の特定部位を含む領域である。例え
ば、チツプ部品300のエツジ部P224,P2
26を含む一点鎖線で囲まれた領域220であ
る。他のチツプ部品301,302に関しても同
様にエツジ部を含む領域を設けて、これを検査領
域としている。この基準領域210と検査領域2
20は、その画像パターンが2値化データとして
予めROM57内に記憶されている。
ツチが投入されるとステツプ100より実行を開始
する。ステツプ100は、演算に用いる変数の初期
化、検査回数を数えるカウンタの初期化、デイプ
スイツチで設定された撮影処理の尺度等を初期設
定するステツプである。その後、ステツプ102に
移行し、保持装置10に略位置決めされた被検査
基板から読み込まれた配線パターン影、チツプ部
品影から求めるための基準領域、検査領域を示す
それぞれの基準データを、メモリ57からリード
するステツプである。具体的には、前記基準領域
は、第3図に示すような配線パターン94の陰影
画像中の特定部位、例えば、スルーホールが形成
されている点P210,P212を含む一点鎖線
で囲まれた領域210である。また、検査領域
は、第4図に示すようなチツプ部品300,30
1,302の特定部位を含む領域である。例え
ば、チツプ部品300のエツジ部P224,P2
26を含む一点鎖線で囲まれた領域220であ
る。他のチツプ部品301,302に関しても同
様にエツジ部を含む領域を設けて、これを検査領
域としている。この基準領域210と検査領域2
20は、その画像パターンが2値化データとして
予めROM57内に記憶されている。
ステツプ104でコンピユータ53が保持装置1
0に被検査基板が交換された事(初回の場合は設
定された事)を確認すると、ステツプ106に移行
する。被検査基板90の印刷面からランプ23で
照射された透過光により、チツプ部品実装面にで
きる配線パターン影の画像を撮像したテレビジヨ
ンカメラ31からその画像を入力する。その後ス
テツプ108に移行する。ステツプ108では該画像か
ら、ROM57に記憶されている基準領域210
のパターンと同一のパターンを有する部分を検索
する。そして、同一パターンの部分が検索された
ときに、この部分に含まれる点P210,P21
2の位置を記憶する。この点P210,P212
の位置は、予め決められた基準位置に対する相対
位置である。これは、ROM57内に基板面上に
仮想されたx−y座標の原点に対する座標であ
る。この仮想された原点は、設計上の原点である
から、配線パターン94の印刷位置が基板90の
設計上の位置からズレている場合には、点P21
0,P212の座標は、設計上の座標からズレて
いることになる。そして、この点P210,P2
12の座標を基準位置として記憶しておく。
0に被検査基板が交換された事(初回の場合は設
定された事)を確認すると、ステツプ106に移行
する。被検査基板90の印刷面からランプ23で
照射された透過光により、チツプ部品実装面にで
きる配線パターン影の画像を撮像したテレビジヨ
ンカメラ31からその画像を入力する。その後ス
テツプ108に移行する。ステツプ108では該画像か
ら、ROM57に記憶されている基準領域210
のパターンと同一のパターンを有する部分を検索
する。そして、同一パターンの部分が検索された
ときに、この部分に含まれる点P210,P21
2の位置を記憶する。この点P210,P212
の位置は、予め決められた基準位置に対する相対
位置である。これは、ROM57内に基板面上に
仮想されたx−y座標の原点に対する座標であ
る。この仮想された原点は、設計上の原点である
から、配線パターン94の印刷位置が基板90の
設計上の位置からズレている場合には、点P21
0,P212の座標は、設計上の座標からズレて
いることになる。そして、この点P210,P2
12の座標を基準位置として記憶しておく。
ステツプ110,112では、ランプ23,21をそ
れぞれ消灯、点灯し、ROM57に記憶されてい
る検査領域220のパターンと同一のパターンを
有する部分を検索する。そして、同一パターンの
部分が検索されたときに、この部分に含まれる点
P224,P226の位置を前記仮想されたx−
y座標上の座標として記憶する。
れぞれ消灯、点灯し、ROM57に記憶されてい
る検査領域220のパターンと同一のパターンを
有する部分を検索する。そして、同一パターンの
部分が検索されたときに、この部分に含まれる点
P224,P226の位置を前記仮想されたx−
y座標上の座標として記憶する。
ステツプ120では、ステツプ108,112で求めた
結果により、点P210,P212を結ぶ直線か
ら線分P224,P226の距離、つまりチツプ
部品の基準位置からの距離(以下、実測距離とす
る)Lを求める。
結果により、点P210,P212を結ぶ直線か
ら線分P224,P226の距離、つまりチツプ
部品の基準位置からの距離(以下、実測距離とす
る)Lを求める。
ステツプ122では、予めROM57に記憶され
た基準距離L0と前記実測距離Lとの差の絶対値
|L−L0|を求める。基準距離L0は、チツプ
部品が設計上の正しい位置に実装されているとき
の基準位置からの距離である。従つて、前記絶対
値は、チツプ部品の設計上の取付け位置に対する
実装位置の相対的な距離偏差に相当する。
た基準距離L0と前記実測距離Lとの差の絶対値
|L−L0|を求める。基準距離L0は、チツプ
部品が設計上の正しい位置に実装されているとき
の基準位置からの距離である。従つて、前記絶対
値は、チツプ部品の設計上の取付け位置に対する
実装位置の相対的な距離偏差に相当する。
そして、ステツプ124で、この絶対値が予め記
憶されている許容偏差δより大きいか否かによつ
て、チツプ部品が設計上定められた適正な位置に
所定誤差の範囲内で実装されているか否かを判定
する。そして、該判定の結果により、作業の継続
を判定するか(ステツプ126)、不良品処理の指令
(ステツプ140)を実行する。ステツプ140を実行
した時は、ステツプ142で所定の処理がされるま
でプログラムはストツプし、その後ステツプ126
にジヤンプする。ステツプ126で実行され、本体
制御装置から作業の継続が指令されていると判定
した時は、ステツプ104にジヤンプし前述した作
業を繰り返す。
憶されている許容偏差δより大きいか否かによつ
て、チツプ部品が設計上定められた適正な位置に
所定誤差の範囲内で実装されているか否かを判定
する。そして、該判定の結果により、作業の継続
を判定するか(ステツプ126)、不良品処理の指令
(ステツプ140)を実行する。ステツプ140を実行
した時は、ステツプ142で所定の処理がされるま
でプログラムはストツプし、その後ステツプ126
にジヤンプする。ステツプ126で実行され、本体
制御装置から作業の継続が指令されていると判定
した時は、ステツプ104にジヤンプし前述した作
業を繰り返す。
本実施例によれば、パターン読取り装置として
テレビジヨンカメラ、投光器として被検査基板の
表裏からそれぞれ照射する2個のランプ、マイク
ロコンピユータ使用による判定装置、及び保持装
置を用いた事で、被検査基板から入力した配線パ
ターン影、チツプ部品影から高速にチツプ部品の
実測距離が求まる。そして、予め設定された基準
距離と実測距離から、チツプ部品の実装の良否が
高速に判定できる。従つて、性能の良好なチツプ
部品の実装検査装置が実現できる。又、寸法が規
格化されてない配線基板を検査する時は、例えば
基板コードを入力し撮影の尺度を変える事でチツ
プ部品の実装検査装置の機能が向上する。
テレビジヨンカメラ、投光器として被検査基板の
表裏からそれぞれ照射する2個のランプ、マイク
ロコンピユータ使用による判定装置、及び保持装
置を用いた事で、被検査基板から入力した配線パ
ターン影、チツプ部品影から高速にチツプ部品の
実測距離が求まる。そして、予め設定された基準
距離と実測距離から、チツプ部品の実装の良否が
高速に判定できる。従つて、性能の良好なチツプ
部品の実装検査装置が実現できる。又、寸法が規
格化されてない配線基板を検査する時は、例えば
基板コードを入力し撮影の尺度を変える事でチツ
プ部品の実装検査装置の機能が向上する。
更には、テレビジヨンカメラを数値制御で移動
させるパターン読取り装置も利用できる。
させるパターン読取り装置も利用できる。
[発明の効果]
本発明は、被検査基板自体の配線パターンの陰
影画像から基準位置を決めて、この基準位置に基
づいてチツプ部品の実装位置の適否を判断する構
成としたことによつて、従来のようにモデル基板
の画像と被検査基板の画像を比較する大掛かりな
装置を不要とし、簡潔な構成で、迅速かつ正確に
チツプ部品の実装位置の良否を判断することがで
きる。
影画像から基準位置を決めて、この基準位置に基
づいてチツプ部品の実装位置の適否を判断する構
成としたことによつて、従来のようにモデル基板
の画像と被検査基板の画像を比較する大掛かりな
装置を不要とし、簡潔な構成で、迅速かつ正確に
チツプ部品の実装位置の良否を判断することがで
きる。
第1図は本発明の概念を説明するブロツクダイ
アグラムである。第2図は本発明の具体的な実施
例に係るチツプ部品の実装検査装置を説明するブ
ロツクダイアグラムである。第3図,第4図はそ
れぞれ同実施例に於いて用いた配線パターン影の
説明図、チツプ部品影の説明図である。第5図
は、同実施例に於いて使用したコンピユータの処
理するプログラムを示したフローチヤートであ
る。 10…保持装置、20…投光器、30…パター
ン読取装置、40…判定装置、41…基準演算
部、43…検査演算部、45…距離演算部、47
…判定部。
アグラムである。第2図は本発明の具体的な実施
例に係るチツプ部品の実装検査装置を説明するブ
ロツクダイアグラムである。第3図,第4図はそ
れぞれ同実施例に於いて用いた配線パターン影の
説明図、チツプ部品影の説明図である。第5図
は、同実施例に於いて使用したコンピユータの処
理するプログラムを示したフローチヤートであ
る。 10…保持装置、20…投光器、30…パター
ン読取装置、40…判定装置、41…基準演算
部、43…検査演算部、45…距離演算部、47
…判定部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 配線パターンをもつ基板にチツプ部品を実装
した被検査基板を保持する保持装置と、 該保持装置に保持された被検査基板のチツプ部
品が実装された面へ光を照射する第1投光器と、 前記保持装置に保持された被検査基板のチツプ
部品が実装された面の反対面へ光を照射する第2
投光器と、 前記第1投光器又は第2投光器の光の照射によ
り得られる被査基板面の画像パターンを入力する
パターン読取り装置と、 該パターン読取り装置からの入力に基づいて、
前記チツプ部品の実装位置の適否を判定する判定
装置とから構成され、 前記判定装置は、 被検査基板に照射された第2投光器の光の透過
光による陰影画像パターンに基づいて予め決めら
れた配線パターンを含む基準領域を検出して基準
位置を決定する基準演算部と、 被検査基板に照射された第1投光器の光の反射
光による画像パターンに基づいて予め決められた
チツプ部品に関する検査領域を検出する検査演算
部と、 前記基準領域と検査領域とに基づいて、予め記
憶されているチツプ部品の設計上の取付け位置に
対する実装位置の相対的な距離偏差を求める距離
演算部と、 該距離演算部で求めた距離偏差の大小に基づい
てチツプ部品の実装位置の適否を判別する判定部
とを具備することを特徴とするチツプ部品の実装
検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60119309A JPS61277005A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | チップ部品の実装検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60119309A JPS61277005A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | チップ部品の実装検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61277005A JPS61277005A (ja) | 1986-12-08 |
JPH0418765B2 true JPH0418765B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=14758238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60119309A Granted JPS61277005A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | チップ部品の実装検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61277005A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54150088A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-24 | Nec Corp | Test device for ic lead bend |
JPS57168105A (en) * | 1981-03-11 | 1982-10-16 | Fujitsu Ltd | Pattern checking device |
JPS5961705A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チツプ部品の実装検査装置 |
JPS59208405A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-11-26 | Hitachi Denshi Ltd | パタ−ン認識装置 |
JPS608706A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Fujitsu Ltd | ボンディングワイヤ形状検査装置 |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP60119309A patent/JPS61277005A/ja active Granted
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54150088A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-24 | Nec Corp | Test device for ic lead bend |
JPS57168105A (en) * | 1981-03-11 | 1982-10-16 | Fujitsu Ltd | Pattern checking device |
JPS5961705A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チツプ部品の実装検査装置 |
JPS59208405A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-11-26 | Hitachi Denshi Ltd | パタ−ン認識装置 |
JPS608706A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Fujitsu Ltd | ボンディングワイヤ形状検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61277005A (ja) | 1986-12-08 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |