JPH04182991A - 電流源制御方式及び、それを使用したセレクタ回路及び、それを使用したメモリ回路を含む集積回路 - Google Patents

電流源制御方式及び、それを使用したセレクタ回路及び、それを使用したメモリ回路を含む集積回路

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JPH04182991A
JPH04182991A JP2311502A JP31150290A JPH04182991A JP H04182991 A JPH04182991 A JP H04182991A JP 2311502 A JP2311502 A JP 2311502A JP 31150290 A JP31150290 A JP 31150290A JP H04182991 A JPH04182991 A JP H04182991A
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隆志 秋岡
Masahiro Iwamura
将弘 岩村
Yutaka Kobayashi
裕 小林
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、半導体集積回路における電流源の制御方式及
び、この方式を用いた電流制御可能な定電流源回路及び
、これを用いたメモリ回路及び、このメモリ回路を含む
マイクロプロセッサ回路に関する。
[従来の技術] 従来技術の例として、SRAM (Static Ra
ndomAccess Memoty : スタティッ
クランダムアクセスメモリ)に用いられているセンスア
ンプ回路の選択回路に用いられている電流源回路を示す
。特開平2−64922号公報のFig、 4には、セ
ンスアンプを駆動する電流源が、デコーダ回路からの選
択信号によりゲート端子が制御されるNMOS トラン
ジスタで構成されていることが示されている。
従来の電流回路を表す第5図を用いてSRAMのセンス
アンプに用いられているメモリ列選択用の電流制御可能
な電流源の動作を説明する。
第2図において、1oは電流源を構成するMOSトラン
ジスタ、11はMOSトランジスタ10及びその駆動す
る回路を活性化する信号の入力端子、12はバイポーラ
トランジスタの差動センスアンプを構成するバイポーラ
トランジスタ、13゜14はメモリセルからの信号のレ
ベルを変換するためのレベルシフト用エミッタフォロワ
を構成するバイポーラトランジスタ、15はバイポーラ
トランジスタ12のコレクタが共通に接続されたデータ
バス線(以下コモンコレゲタ線と呼ぶ)、16はデータ
バスのレベル調整用のPMOSトランジスタ、I7は複
数のデータ線19からのデータのうち一つを選択してセ
ンスアンプに伝えるデータバス線(以下コモンデータ線
と呼ぶ)、18はコモンデータ線17に出力すべきデー
タを保持したメモリセルを含む一組のデータ線19を選
択するためのトランスファーMO3hランシスタ(以下
YスイッチMOSトランジスタと呼ぶ)、19はデータ
線、20は一組のデータ線に接続された複数のメモリセ
ルから一つのメモリセルを選択するための信号を入力す
るワード線、21はメモリセル(図では1つのみ表示し
であるが実際は例えば128個から1024個程度0メ
モリセルが同一のデータ線に接続されている)、22は
メモリセルへのデータ書き込み時のみオフさせる、デー
タ線負荷用PMOSトランジスタ、23は常時オンさせ
ておくデータ線負荷用PMO5トランジスタ、24は書
き込み時にこれをhighとすることにより、PMOS
トランジスタ22をオフさせる信号端子、25はYスイ
ッチMO3を選択するためのYスイッチ信号入力端子、
26はコモンデータ線17に接続された複数のデータ線
から最も右のYスイッチMOS27を選択するためのY
スイッチ端子、27はYスイッチMOSトランジスタ、
28はコモンデータ線17に接続されているが図では省
略されている他のYスイッチMO3への配線を表わす線
、29はコモンコレクタ線の振幅を小さくすることによ
りセンスに必要な時間を短縮し、高速化するためのバイ
ポーラトランジスタ、30はバイポーラトランジスタ2
9のエミッタにへのバイアス電流を供給する定電流源、
31はバイポーラトランジスタ29のベースにバイアス
電圧を印加するための定電流源、34はセンスアンプ段
の出力振幅を発生するための抵抗素子、35はバイポー
ラトランジスタ29のベースバイアスを供給するだめの
抵抗素子、36はこのセンスアンプ段の出力端子、37
は同じセンスアンプに接続したメモリセルの集まったメ
モリブロック、38は電源端子、39は接地端子である
以下にこの動作を説明する。メモリセルのデータを読み
出すには、データバス線(コモンコレクタ線15)に出
力すべきデータを保持したメモリセルを含むメモリ列を
選択することが必要である。
第5図の回路ではこれをメモリ列のデータをセンスアン
プを駆動する電流源を動作させることによって実現する
。すなわち、今の場合は電流源を構成するMOSトラン
ジスタをオンさせる事により、メモリ列を選択する。
[発明が解決しようとする課M] 上に述べた、従来のセンスアンプに用いられる電流源選
択方式の問題点はその特性の大きな電源電圧依存性であ
る。この例では〜10Sトランジスタ10がCMO5論
理回路によって駆動されるため、そのゲート端子11に
ほぼ電源電圧と同じだけの振幅(CMO5論理レベルの
振幅)の選択信号が印加されるため、この半導体装置に
印加される電源電圧が外部条件の変化によって上昇、下
降すると、これに伴ってMO3IOのゲート電圧か変動
し、電流源の発生する電流の大きさを変化させる。−般
にMOSトランジスタの電流はそのゲート電圧のほぼ二
乗に比例するからこの変動は大きく、回路性能の外部i
g@圧に対する安定性の観点からいって好ましくなかっ
た。
上記の例に示されるように、電気回路においては一般に
、オフのときは電流がほぼゼロとなり、オンのときには
装置の電源電圧、環境温度、素子特性のプロセスばらつ
きによる変動等の外部条件に依存せずに一定となる、電
流が必要な場合がある。本発明の目的は、この場合の制
御可能な定電流源の実現の手段を提供することにある。
本発明のもう一つの目的は、特に、半導体集積回路(メ
モリ、マイクロプロセッサ)におけるメモリ回路におい
て、そのセンスアンプのセレグタ回路を」−記の方式で
制御することにより、メモリ回路の上記の条件に依存し
ない安定な動作を得ることにある。
[課題を解決するための手段] 本発明は上記の電流源として定電流源及び、これと直列
に接続したフィールドエフェクトトランジスタを用いる
ことで、以上の問題点を解決する。
電流源を制御する信号はフィールドエフェクトトランジ
スタのゲート端子に印加する。これはCMO5論理回路
の出力信号等の電源電圧変動によりその振幅の絶対値が
変動する信号でも構わない。
定電流源とはその電流値の絶対値が常に厳密に一定であ
る電流源であるという意味ではない。全体の回路の性能
の、電源電圧や、環境温度や、プロセス条件等の外部条
件の変動に対する依存性が、無視できる様に、定電流源
とそれによって動作する回路の特性を設定する事を意味
する。
すなわち例えば、電流源を使用する回路がその負荷に抵
抗素子を用いたバイポーラトランジスタの差動アンプで
ある場合、抵抗素子の抵抗値のデバイスばらつきや、温
度変動による変化が存在するため、電流源の電流値を完
全に一定に保つと、差動アンプの出力電圧振幅はこれら
外部条件にあわせて変動する。ここでは、定電流源の電
流値を外部条件にあわせて変化するように設定すると、
すなわち抵抗値が大きくなった場合には電流値を小さく
、抵抗値が小さい場合には電流値が大きくなるように定
電流源を設定する。
[作用] 以上述べた手段により、これら外部条件に対する、本発
明の電流源を含む全体の回路の性能の依存性を無くすこ
とが可能になる。すなわち上に述べた例では、バイポー
ラトランジスタの差動アンプの出力電圧振幅をこれら外
部条件の変動によらず一定にでき、回路性能のこれらの
外部条件に対する依存性を無くすことができる。
[実施例] 本発明の第1の実施例を第1図により説明する。
第1図は本発明による電流源及びこれを使用する回路の
構成の例を示したものである。3で示される回路に供給
する電流料をNMOS 1で制御する。
NMOS 1がオンのときは定電流源2で規定される電
流が回路3に流れ、NMOS lがオフのときはこのパ
スを通って回路3に流れる電流はほぼ○になる。
この回路では電源電圧、温度、プロセス等の変動に対す
る回路3と定電流源2の特性の変動を合わせであるため
、これらの条件の変化による回路全体の性能の変化を無
くせるか、あるいは問題にならない程度に小さくできる
第2図に本実施例の他の実現例を示す。この例では回路
3が必要とするのが高電位側からの電流源であり、PM
O57を図のように用いることにより実現できる。
第3図を用いて本発明の第2の実施例を示す。
本実施例の特徴は、第1図に示した定電流源回路2がN
MOS 100及び、そのゲート電圧の制御する回路で
構成されている点にある。このNMOS 100のゲー
ト電極8を一定電位に保つことにより、NMOS I 
OOを定電流源とすることができる。NMOS100は
ソースが接地されているためNMOSのカレントミラー
を構成して定電流源とつなげることができる。
この構成の利点は、NMOS 100のソースが接地さ
れているために、定電流源を構成しやすい点にある。N
MOSのカレントミラーによる定電流源の一例は後述の
第6図に示す。
第4図に本発明の第3の実施例を示す。本実施例は実施
例2の回路を半導体記憶装置セレクタに用いた例である
。NMOS 121からNMOS 128までは、それ
ぞれ対応する回路101から、108までのどれを選択
するかを決定する。NMOS 111から118までは
ソースが接地されたNMOSであり、信号線7に与えら
れる電圧によって定電流源を構成する。これらは、他の
NMOS トランジスタと合わせた、NMOSのカレン
トミラー回路により、電流源を構成しすべての電流源の
オン電流を一定に保つこと容易にできる。
第6図に本発明の第4の実施例を示す。第6図はSRA
Mのデータの読み出し回路に適用された場合の回路構成
例である。構成は、第5図に示した従来回路の問題点で
あったセンスアンプの選択部の電流源に本発明による電
流源を適用したものである。
第5図と異なっているのは、センスアンプを制御するM
OSトランジスタ10の下に第1図で示した定電流源2
に相当する回路が接続されていることである。この例の
場合、定電流源2はMOSトランジスタ40及び、ゲー
ト電圧発生回路51から構成されている。
以下に本回路の動作を説明する。MOSトランジスタ4
8及びバイポーラトランジスタ46により、バイポーラ
トランジスタ47のベースの電位は接地電位から2Vb
eの電位に保たれる。ここでVbeとはバイポーラトラ
ンジスタ46のへ一ス、エミッタ間の電位差である。V
beは正確にはバイポーラトランジスタ46を流れる電
流によって変化するが、これは Vbe=kT/q  In(Ic/l5)(ただしIc
はバイポーラトランジスタ46を流れる電流)と表わさ
れ、VbeのIcに対する依存性は小さく抑えられてお
り、ここではこれを無視する。従ってバイポーラトラン
ジスタ47のベース電位は接地電位から2Vbeに保た
れ、バイポーラトランジスタ47のベース電流を無視す
ればバイポーラトランジスタ47と46のベース、エミ
ッタの順方向PN接合には同じ電流が流れるため、抵抗
素子50には正確にVbeの電圧が印加される。これに
よりPMO545に流れる電流■は抵抗素子50と〜’
beにより規定され、I=Vbe/R50 (ただしR50は抵抗素子50の抵抗値である。)で表
わされる。PMO545と44はカレントミラー回路を
構成しMOS43に、R50とVbeにより規定される
電流を流す。MOS42とMOS40.41も信号線4
2を通してカレントミラー回路を構成するため、これら
のMOSも同様の電流を流す。この電流値は電源電圧に
依存しないので、本回路の性能は電源電圧に依存しない
事が保証される。
また、バイポーラトランジスタ12と抵抗素子34で構
成されるバイポーラトランジスタの差動アンプの出力電
圧Vは、 R34*   (Vbe/R50) (ただしR34抵抗素子R34の抵抗値)に比例するか
ら、抵抗値R34と抵抗値R50のデバイスばらつきに
よる変動が一致させれば、これによるVの変動もキャン
セルされ、■がばらつきによらず一定になることも保証
される。
なお本実施例で説明した電流源回路は一例であって、限
定的な意味で理解されるべきでは無く、特に外部条件へ
の依存性を内部回路と合わせた定電圧源の構成について
は、他の回路構成も考えられる。
第7図を用いて本発明の第5の実施例を説明する。本実
施例の第4の実施例との相違は、その動作可能電圧の(
囲である。第6図の回路はバイポーラトランジスタ29
によってコモンコレクタ線15の電圧振幅を小さくして
いたが、そのためにバイポーラトランジスタ13によっ
て電位レベルを下げる必要かあり、動作可能な電源電圧
の最小値を大きくしていた。第7図の回路では、バイポ
ーラトランジスタ29を使用せず、従ってバイポーラト
ランジスタ13が必要無く、第6図に比べて動作可能電
源電圧の最小値か小さい。
第7図の回路のもう一つの相違点は、MOS52と定電
圧発生回路51で構成される定電流源を付加したことに
ある。MOS52の構成する定電流源が存在することに
より、MO3IOがオフの場合にも、バイポーラトラン
ジスタI2のベース電位を、MOS52を流れる電流と
バイポーラトランジスタ14によって規定される電圧に
保つことができる。これにより、MO3IOがオンとな
った時のバイポーラトランジスタ12の構成するセンス
アンプの応答時間を高速化すると言う利点が得られる。
第8図に本発明の第6の実施例を示す。第8図に示した
回路では第1図に示した定電流源2がバイポーラトラン
ジスタ56と、抵抗素子58及び、定電圧発生回路53
とで構成されている。
定電圧発生回路53に於いて、54は定電流発生回路、
55はこの電流から、2 V b eの電圧を発生する
ための2つのバイポーラトランジスタである。定電圧発
生回路53によって、2Vbeの電圧が信号線57に印
加されると、抵抗素子58にはVbeの電圧が印加され
、バイポーラトランジスタ56と抵抗素子58は定電流
源を構成する。
この定電流源かMOSトランジスタ10によって制御さ
れる。
本実施例独自の効果は、定電流源がバイポーラトランジ
スタで構成されているため、プロセスのばらつきによる
MOSトランジスタの特性の変動による影響を受けにく
い点にある。MOSトランジスタの特性変動による影響
を完全に排除するためには、PMO5トランジスタ44
.45を使用しない定電圧源を用いれば良い。
第9図に本発明の第7の実施例を示す。、二の図は一般
的なマイクロプロセッサの内部構成を示したものである
マイクロプロセッサは、周知のように、命令受は取り用
のC−キャッシュメモリ201、命令デコーダ部205
、デコーダ部の出力信号に基づいて演算処理を実行する
データストラフチャ(Dat、aStructure 
: DS)マグロセル206、演算結果を格納するD−
キャッシュメモリ202、演算後の次の命令をキャッシ
ュメモリ201がら読みだすためのアドレスを指定する
コード・トランスレーション・ルック・アサイド°バッ
ファ (丁ranslat、ion  Look−aside
  Buffer:  D−TLB)  204、演算
結果の論理アドレスをD−キャッシュ202の物理アド
レスに変換してデータ格納アドレスを指定するD−TL
B203によって構成されている。
マイクロプロセッサの高速化のためには、データキャッ
シュメモリ、命令キャッシュメモリの高性能化が不可欠
である。本発明による電流制御方式を用いた、メモリ構
成を採用することで、安定な性能を得ることができる。
本実施例による独自の効果は、上記の手段により、電源
電圧、環境温度、素子特性のプロセスばらつきに、その
性能が依存しない高性能なマイクロプロセッサが得られ
ることにある。
[発明の効果] 本発明によれば、オン、オフ等の制御の必要な定電流源
の電流値の電源電圧依存性、環境温度依存性、素子特性
のプロセスばらつき依存性を無くすことができるという
効果がある。
本発明のもう一つの効果は、メモリのセンスアンプに用
いられたバイポーラ差動アンプに本回路を適用すること
により、センスアンプの性能の電源電圧依存性、プロセ
スばらつき依存性、環境温度依存性を抑制することがで
きることにある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の電流源制御方式を用いた回路の構成図
、第2図は本発明の電流源制御方式を用いる回路の構成
図、第3図は本発明の電流源制御方式を用いた他の回路
の構成図、第4図は本発明の電流源制御回路を用いて半
導体記憶装置のセレクタを構成した回路図、第5図は従
来の電流源回路を用いたSRAMのセンスアンプの回路
図、第6図は本発明による電流源制御回路を用いたSR
AMのセンスアンプの回路図、第7図は第4図の回路に
比べてより低電源電圧で動作可能な、本発明の電流源制
御回路を用いたSRAM用センスアンプの回路図、第8
図は定電流源部にバイポーラトランジスタと抵抗素子を
使用した本発明による電流源制御回路で構成したSRA
M用センスアンプの回路図、第9図はマイクロプロセッ
サの内部メモリに本発明を適用する場合の実施例を示す
ブロック図である。 1・・・電流源の電流値を制御するためのMOSトラン
ジスタ、2・・・回路3とその特性を合わせである定電
流源、3・・・電流源の電流によって動作させる回路、
4・・・接地端子、5・・・電源端子、6・・・MOS
トランジスタ1を制御する信号の入力端子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、半導体集積回路における電流源回路において、第1
    のフィールドエフェクトトランジスタからなる電流源が
    定電流源に直列に接続され、前記フィールドエフェクト
    トランジスタにより定電流源の電流値を制御することを
    特徴とする電流源制御方式。 2、半導体集積回路における電流源回路において、第1
    のフィールドエフェクトトランジスタからなる電流源が
    定電流源に直列に接続され、上記定電流源が、第2のフ
    ィールドエフェクトトランジスタと、第2のフィールド
    エフェクトトランジスタのゲートに定電圧を供給するた
    めの定電圧源回路と、で構成され、第1のフィールドエ
    フェクトトランジスタがオンの時の、第2のフィールド
    エフェクトトランジスタの動作点が、MOSトランジス
    タの飽和領域にあるように制御された定電流源回路であ
    ることを特徴する、電流制御が可能な定電流源回路。 3、請求項1の定電流源がバイポーラトランジスタと、
    抵抗素子と、バイポーラトランジスタのベース端子に定
    電圧を供給するための定電圧源回路とで構成された定電
    流源回路であることを特徴とする、電流制御が可能な定
    電流源回路。 4、半導体集積回路に用いられる、差動入力アンプ、エ
    ミッタフォロワ、ソースフォロワ回路において、請求項
    2あるいは請求項3の定電流源回路をその電流源に用い
    たことを特徴とする回路。 5、請求項2あるいは請求項3の回路をセンスアンプに
    用いた事を特徴とする半導体メモリ回路、及びこの半導
    体メモリ回路をその中に含む事を特徴とする、マイクロ
    プロセッサ。 6、半導体集積回路において、ソースが接地された第1
    のMOSトランジスタと、電源電圧あるいは環境温度あ
    るいはプロセスばらつきによる素子特性の変動に対する
    、第1のMOSトランジスタのドレイン電流値の依存性
    を小さく抑えるために、第1のMOSトランジスタのゲ
    ート電圧を一定に保ち、第1のMOSトランジスタをM
    OSの飽和領域に保つための定電圧源回路と、で構成さ
    れた定電流源回路と、第1のMOSトランジスタのドレ
    インにソースが接続された第2のMOSトランジスタと
    、第2のMOSトランジスタのドレインに接続された回
    路と、からなり、第2のMOSトランジスタのゲートに
    与える電圧信号により、第2のMOSトランジスタのド
    レイン電流値を変化させ、第2のMOSトランジスタが
    オンの時には、第1のMOSトランジスタの動作領域を
    MOSの飽和領域に保つことにより第1のMOSトラン
    ジスタを定電流源として動作させ、第2のMOSトラン
    ジスタがオフの時には、第1のMOSトランジスタをオ
    フさせることにより、前記第2のMOSトランジスタの
    ドレインに接続された回路に供給される一定電流のオン
    、オフを制御する電流源制御回路方式。 7、請求項6において、第1及び、第2のMOSトラン
    ジスタがNMOSトランジスタであるような電流源制御
    回路方式。 8、半導体集積回路において、ソースが接地された第1
    のMOSトランジスタと、電源電圧あるいは環境温度あ
    るいはプロセスばらつきによる素子特性の変動に対する
    、第1のMOSトランジスタのドレイン電流値の依存性
    を小さく抑えるために、第1のMOSトランジスタのゲ
    ート電圧を一定に保ち、第1のMOSトランジスタをM
    OSの飽和領域に保つための定電圧源回路と、で構成さ
    れた定電流源回路と、第1のMOSトランジスタのドレ
    インにソースが接続された第2のMOSトランジスタと
    、からなり、第2のMOSトランジスタのドレインに接
    続されたバイポーラトランジスタの差動アンプと、から
    なり、第2のMOSトランジスタのゲートに与える電圧
    信号により、第2のMOSトランジスタのドレイン電流
    値を変化させ、第2のMOSトランジスタがオンの時に
    は、第1のMOSトランジスタの動作領域をMOSの飽
    和領域に保つことにより第1のMOSトランジスタを定
    電流源として動作させ、第2のMOSトランジスタがオ
    フの時には、第1のMOSトランジスタをオフさせるこ
    とにより、前記バイポーラトランジスタの差動アンプに
    供給する一定電流のオン、オフを制御する電流源制御回
    路方式。 9、請求項8において、第1及び、第2のMOSトラン
    ジスタがNMOSトランジスタであるような、電流源制
    御回路方式。 10、一対のデータバス信号線と、このデータバス信号
    線対にそれぞれのコレクタが接続され、2つのエミッタ
    同志が結合された複数のバイポーラトランジスタ対と、
    前記データバス信号線対に接続され、これらバイポーラ
    トランジスタ対が共有する一対の負荷素子と、で構成さ
    れた、出力端子を共有する複数のバイポーラ差動アンプ
    から、複数のバイポーラトランジスタ対のエミッタに一
    つずつ接続された複数の電流源回路のうち一つのみに電
    流を流すことによりメモリ列の選択をする、半導体集積
    回路中のメモリ装置のセンスアンプ回路において、前記
    の複数のバイポーラトランジスタ対のエミッタに一つず
    つ接続された複数の電流源回路が、ゲート電圧が一定に
    保たれることでその動作点がMOSトランジスタの飽和
    領域に保持され、定電流源回路を構成する、第1のMO
    Sトランジスタと、第1のMOSトランジスタのゲート
    電圧を一定保ち、第1のMOSトランジスタを定電流源
    として動作させるためのゲート電圧を発生するための定
    電圧源回路と、第1のMOSトランジスタのドレインに
    ソースが接続された第2のMOSトランジスタ、とで構
    成され、第2のMOSトランジスタのドレインに前記バ
    イポーラトランジスタのエミッタが接続され、第2のM
    OSトランジスタのゲートにメモリ装置のデコーダ回路
    からのメモリ列選択信号が入力され、これによりメモリ
    列の選択を行なう方式のセンスアンプ回路。 11、一対のデータバス信号線と、このデータバス信号
    線対にそれぞれのコレクタが接続され、2つのエミッタ
    同志が結合された、複数のバイポーラトランジスタ対と
    、前記データバス信号線対に流れる電流値の差により出
    力電圧を発生し、これらバイポーラトランジスタ対が共
    有する一対の負荷素子と、で構成された、出力端子を共
    有する複数のバイポーラ差動アンプから、複数のバイポ
    ーラトランジスタ対のエミッタに一つずつ接続された複
    数の電流源回路のうち一つのみに電流を流すことにより
    メモリ列の選択をする、半導体集積回路中のメモリ装置
    のセンスアンプ回路において、前記の複数のバイポーラ
    トランジスタ対のエミッタに一つずつ接続された複数の
    電流源回路が、MOSトランジスタによるカレントミラ
    ー回路で定電流源回路を構成する第1のMOSトランジ
    スタと、第1のMOSトランジスタのドレインにソース
    が接続された第2のMOSトランジスタ、とで構成され
    、第2のMOSトランジスタのドレインに前記バイポー
    ラトランジスタのエミッタが接続され、第2のMOSト
    ランジスタのゲートにメモリ装置のデコーダ回路からの
    メモリ列選択信号が入力され、これによりメモリ列の選
    択を行なう方式のセンスアンプ回路。 12、請求項10において、第1及び、第2のMOSト
    ランジスタがNMOSで構成された、センスアンプ回路
    。 13、請求項11において、第1及び、第2のMOSト
    ランジスタがNMOSで構成された、センスアンプ回路
    。 14、請求項6から請求項13で示された方式、あるい
    は回路を用いたメモリ。 15、請求項6から請求項13で示された方式、あるい
    は回路を用いたメモリをその内部に用いた、マイクロプ
    ロセッサ。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014194837A (ja) * 2013-02-28 2014-10-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置及び電子機器

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