JPH04181169A - 加速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野Ｊ 本発明は、加速度センサに関し、特にセンサの横方向に
対する耐衝撃性を向上せしめたものである。

「従来の技術Ｊ 第２図に従来の圧電型加速度センサの一例を示す。

この加速度センサは、フッ素系の圧電性プラスチックフ
ィルムからなる圧電フィルムｌの両面に電極箔３　ａ、
　３　ｂを固着してセンサの感知部としている。さらに
この電極箔３　ａ、　３　ｂの外側に支持板４　ａ、　
４　ｂを固着し、一方の支持板４ａには荷重体５を固着
し、もう一方の支持板４ｂには台座６を固着している。

前記圧電フィルム１と電極箔３ａまたは３ｂ、電極箔３
ａと支持板４ａ、電極箔３ｂと支持板４ｂ、支持板４ａ
と荷重体５および支持板４ｂと台座６は、エポキシ系接
着剤（チバガイキー社製アラルタイト）によって固着さ
れている。

この加速度センサでは、圧電フィルム１の膜面に直交し
、荷重体５の中心を通る軸が加速度の感知軸Ｇとなって
いる。

このような加速度センサては、その台座６を被測定物に
取り付けることにより、被測定物の感知軸Ｇ方向の加速
度変化を検知することができる。

「発明が解決しようとする課題」 しかしながらこのような従来の加速度センサにあっては
、通常圧電フィルムｌにｐｖＤＦ（ポリフッ化ビニリチ
ン）等のフッ素樹脂を用いているため、圧電フィルム１
と電極箔３との間の接着力か他の部材間の接着力に比へ
て極めて弱い。このためセンサの横方向に対する耐衝撃
性か他方向に比べて極めて弱くなるという問題点があっ
た。

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、特にセンサ
の横方向に対する耐衝撃性を向上せしめた加速度センサ
を提供することを目的とする。

「課題を解決するための手段」 本発明の加速度センサでは、感知部中の接着層の厚さを
１０μｍ〜５０μｍにすることを課題解決の手段とした
。また感知部以外の接着層の厚さについては、特に規定
されないが、感知部中の接着層の厚さと同様に１０μｍ
〜５０μｍにすることが望ましい。接着層の厚さは接着
時に印加する圧力を変化させることによって調整できる
。

本発明の加速度センサの接着層をなす接着剤としては、
エポキシ系接着剤、アラルタイト接着剤等か好適である
。また、本発明の加速度センサを構成する他の部分の材
料については、特に規定されない。

「作用Ｊ 加速度センサの感知部中の接着層の厚さを１０μｍ〜５
０μｍにすることにより、センサの横方向に対する耐衝
撃性を向上させることかできる。

この理由については定かてはないか、本発明者は、以下
のように推定している。

一般に接着層か厚くなりすきると、接着層内部で凝集に
よる破壊か起こり易くなるため、厚さを抑える目的で通
常接着時に圧力がかけられる。この接着時にかけられる
圧力は、フィルムや支持板を変形させ、接着層に残留応
力や歪みを生じさせる。接着層の厚さが５０μｍ以上で
あると、この残留応力や歪みによる影響か顕著に現れる
ため、衝撃が加わった時に、これらの応力や歪みの解放
が起因となって、剥離を起こすと推定される。

また一方、接着層の厚さが１０μｍより小さくなりすぎ
ると、接着剤か極めて少量しか存在しない領域か発生し
、接着層としての役割を果たさなくなるため、耐衝撃性
か低下するものと考えられる。

「実施例」 以下、図面を参照して本発明の加速度センサを詳しく説
明する。なお前記従来例と同一構成部分には、同一符号
を付して説明を簡略化する。

第１図は、本発明の加速度センサの一例を示すものであ
る。

この加速度センサては、フッ素系の圧電性プラスチック
フィルムからなる圧電フィルム１の両面に接着層２　ａ
、　２　ｂを介して電極箔３　ａ、　３　ｂが固着され
、センサの感知部７をなしている。ここで、前記接着層
２　ａ、　２　ｂの厚さは３０１１ｍに設定されている
。さらにこの感知部７の外側には、それぞれ接着層８　
ｇ、　８　ｂを介して支持板４　ａ、　４　ｂが固着さ
れている。そして、一方の支持板４ａには、接着層９ａ
を介して荷重体５が固着され、もう一方の支持板４ｂに
は接着層９ｂを介して台座６に固着されている。前記接
着層８　ａ、　８　ｂ、　９　ａ、　９　ｂの厚さは１
５μｍ〜３０μｍの範囲に設定されている。

前述したようにこの加速度センサは、感知部７中の圧電
フィルムｌと電極箔３との間に介在する接着層２の厚さ
を３０μｍに設定している。このため、前記圧電フィル
ム１と電極箔３との間の接着強度か従来のものに比へて
向上している。

従ってこの加速度センサ′によれば、センサか横方向に
加振を受けても剥離等を起こさず、耐衝撃性を向上させ
ることかできる。

「試験例」 前記実施例において接着層２の厚さを３μｍから７０μ
ｍまで変化させた加速度センサを作成し、横方向の耐衝
撃性を比較した。

加速度センサを作成するにあたっては、まず５＋＋＋＋
ｎＸ５ｍｍの寸法のＰＶＤＦからなる圧電体フィルム１
を所定個数用意した。次いでこの圧電フィルム１の両面
に同寸法で厚さ３０μｍの銅箔からなる電極箔３を、ア
ラルダイト接着剤を用いて各種の圧力をかけて接着層２
の厚さが３μｍから７０μｍになるよう変化させて接着
した。次いで支持仮４として５ｍｍＸ５ｍｍの寸法で厚
さ１　、０　ｍｍのカラスｍ１人りエポキシ板を同しア
ラルフィト接着剤を用いて両面に固着させた。さらに一
方のエポキシ板に荷重体５として真ちゅうによりなる０
、８ｇの荷重を、他方のエポキシ板に台座６としてのア
ルミブロックを同じ接着剤を用いて固定した。

このようにして接着層２の厚さを変化させた加速度セン
サを各１０個づつ作成し、横方向から衝撃加速度を変え
て衝撃を加え、破壊したときの衝撃加速度Ｇと、その個
数を記録した。

結果を第１表に示す。ここで、＊印の付いたものは接着
層２の厚さが本発明で規定している範囲内の加速度セン
サであり、＊印のないものは比較例の加速度センサであ
る。

以下余白 第１表 α２　：　”Ｌ°′：岸：ＯＧ　＝Ｌ　ｌ　６０　：　
ＯＧ　＊”’７７４ご°　ｊ′遷 第１表の結果より、本発明の加速度センサによれば、横
方向の耐衝撃性か極めて向上することか判明した。

「発明の効果Ｊ 以上説明したように本発明の加速度センサは、感知部中
の接着層の厚さを１０μｍ〜５０μｍにすることによっ
て、感知部中の圧電フィルムと電極箔との間の接着強度
を向上させたものである。

従って本発明の加速度センサによれば、センサか横方向
に加振を受けても剥離等を起こし難く、耐衝撃性を向上
させることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の加速度センサの一例を示す概略構成図
、第２図は従来の加速度センサの一例を示す概略構成図
である。 １・・・圧電フィルム、２　ａ、　２　ｂ・・・・接着
層、３ａ。 ３ｂ・　・電極箔、５　・−荷重体、６・・・台座、７
・・・感知部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被測定物の剛に取り付けられる台座と、この台座の検知
   軸に垂直な測定面に固着された感知部と、この感知部上
   に固着され慣性質量部として作用する剛体からなる荷重
   体とを有し、前記感知部は膜状圧電体と、この両面に接
   着剤で固定された２枚の金属製電極箔から構成される加
   速度センサにおいて、 前記感知部中の接着層の厚さが１０μｍ〜５０μｍであ
   ることを特徴とする加速度センサ。