JPH04180961A - 感光材料用樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、感光材料用樹脂組成物に関する。

〔従来の技術〕

これまでに、プリント配線板用、金属微細加工の防食レ
ジスト用、あるいは種々の刷版用に用いる感光材料とし
て様々なものが提案され実用化されている。

近年、解像度や感光性を向上させる目的で、化学増幅効
果を利用した酸触媒型感光材料の開発が活発に行われて
いる（第５８回日本化学会春季年会予稿集、　ｐ、２２
１６）。

酸触媒型感光材料に用いられる樹脂組成物は基本的には
、基材となるポリマー、感光酸触媒、および悪政物質と
からなる三成分系である。樹脂組成物中の感光酸触媒が
光により酸を発生して悪政物質と反応し、ポリマーの溶
解性、分解性等が変化してポジ型、あるいはネガ型レジ
スト材料となり、光照射後の加熱プロセスにより酸触媒
反応が促進され高感度化されるため、化学増幅と呼ばれ
ているものである。

しかしながら、現在までに試みられた酸触媒型感光材料
用の樹脂組成物は、基材となるポリマーとしてノボラッ
ク樹脂、ポリアセトアルデヒド、ポリカーボネート等の
樹脂が用いられており、従ってこれらの材料で感光膜を
作成する際、あるいは現像の際には、特殊な溶剤や現像
液を必要とするという欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的は、種々の汎用性溶媒に可溶で、成膜性が
良好であり、かつ特殊な現像液を必要としない感光材料
用の樹脂組成物の提供にある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者らは、上記課題について鋭意検討を行った結果
、ポリ乳酸等のポリマーに感光酸触媒をブレンドして得
られる樹脂組成物は感光材料用途として極めて好適であ
ることを見出し本発明に到達した。

すなわち本発明は、ポリマー分子構造中に少なくともグ
リコール酸単位および／または乳酸単位をもつ重合体と
感光性触媒とのブレンドからなる感光材料用樹脂組成物
である。

本発明にがかる感光材料用樹脂組成物を構成する基材ポ
リマーは、ポリマー分子構造中に少なくともグリコール
酸単位および／または乳酸単位をもつポリマーであり、
乳酸単位はＤ一体、Ｌ一体のいずれでもよい。このポリ
マーは、乳酸単位および／またはグリコール酸単位のみ
から構成される必要は必ずしもなく、他の構成単位との
共重合体であってもよい。

ポリマー中の乳酸単位またはグリコール酸単位以外の構
成単位としては例えば、ヒドロキシカプロン酸、ヒドロ
キシ酪酸、ヒドロキシ吉草酸等に代表されるヒドロキシ
脂肪酸単位、アルキレングリコール単位、二塩基酸単位
等が挙げられる。ポリマー中の乳酸単位またはグリコー
ル酸単位以外の構成単位のモル分率は５０％以下が好ま
しい。

基材ポリマーを例示するならば、ポリ乳酸、乳酸−グリ
コール酸共重合体、乳酸−ヒドロキシカプロン酸共重合
体、ｐ−ジオキサノン重合体、トリメチレンカーボネー
ト−乳酸共重合体等が挙げられる。好ましくはポリＤＬ
−乳酸、乳酸−グリコール酸共重合体である。

これらのポリマーは、公知の方法すなわち、オクタン酸
スズ等の触媒の存在下で、乳酸、グリコール酸の無水環
状二量体であるラクチド、グリコリドを開環重合させる
方法により合成される。この時、他のラクトン類、例え
ばブチロラクトン、プロピオラクトン、カプロラクトン
等のラクトン類をラクチド、グリコリドに対して等モル
以下の割合で共存させて重合させることもできる。

また、乳酸やグリコール酸を脱水縮合させることによっ
ても合成することができる。

上記ポリマーの分子量は特に規定されないが、材料の軟
化点や成膜性等の観点から、およそ２．０００以上が好
ましい、さらに好ましくは１０．０００以上である。

本発明にかかる感光材料用樹脂組成物は、上記ポリマー
に感光酸触媒をブレンドさせて調製される。感光酸触媒
とは光によって酸を発生する触媒であり、例えば、ジフ
ェニルヨードニウムクロライド、トリフェニルホスホニ
ウム６フッ化アンチモネート、ｐ−ニトロベンジルホス
ホネート等が挙げられ、中でもトリフェニルホスホニウ
ム６７フ化アンチモネートが特に好ましい、感光酸触媒
の量は、基材となるポリマーに対しておよそ０．１〜３
０重量部であることが好ましく、さらに好ましくはおよ
そ１０重量部である。

ポリマーと感光酸触媒とのブレンドは、両者をを溶剤に
溶解させて混合させることにより行う。

好ましい溶媒はクロロホルム、ジクロロメタン、１．２
−ジクロロエタン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、
Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド
、メタノール、エタノール、アセトン、トルエン、フェ
ノール／トリクロロフェノール混合溶媒、ヘキサフルオ
ロイソプロパツール、トリクロロ酢酸等である。好まし
くはクロロホルム、ジクロロメタン、１．２−ジクロロ
エタン、テトラヒドロフランであり、特に好ましくは１
．２−ジクロロエタンである。

本発明の樹脂組成物を用いて作られる感光材料の形状は
特に規定されないが、通常はプリント配線用銅板等の平
板上へ上記樹脂組成物が塗布された形で提供され、それ
は例えば上記樹脂組成物の溶液を平板上へ薄く塗布し、
その後溶剤を乾燥除去することにより調製される。

〔実施例〕

実施例１ グリコール酸単位と乳酸単位のモル分率が５：５である
重量平均分子量的４５．０００のＤＬ−乳酸−グリコー
ル酸共重合体２．５ｇ、およびトリフェニルホスホニウ
ム６フソ化アンチモネート０．２５ｇを、１．２−ジク
ロロエタン１００ｄに溶解させ、ガラス板上に塗布した
。真空乾燥後、板上の樹脂組成物感光膜の厚みは２μＭ
であった。この板を１００°Ｃで３０分間ブレベーク処
理した。得られた感光板にクロムブラウンマスク（ＩＣ
用テストチャート）を密着させた後、製版用メタルハラ
イドランプを光源に使用して、７０ｃｍの距離から７分
間露光した。

１００°Ｃで３０分間ポストベーク処理を行い、１０％
の水酸化ナトリウム水溶液（２５’Ｃ）にて２．５分間
現像処理、および１０％ホルマリン（２５°Ｃ）にて２
分間硬膜処理を行った。

処理後の感光板を顕微鏡で観察したところ、３μ麟のＬ
／Ｓパターンの解像がされていた。

実施例２ グリコール酸単位と乳酸単位のモル分率が５＝５である
重量平均分子量的４５．０００のＤＬ−乳酸−グリコー
ル酸共重合体２．５ｇ、およびトリフェニルホスホニウ
ム６フノ化アンチモ’ｊＡ　−ト０．２５ｇヲ、１．２
−ジクロロエタン１００ｄに？８解させ、プリント配線
用銅板上へ塗布した。真空乾燥後、板上の樹脂組成物感
光膜の厚みは２．５μｍであった。

この板を実施例１と同様に、ブレベーク処理した後、高
圧水銀ランプを光源に用いて、１０ｃｍの距離から段階
露光法により露光した。ボストヘーク処理は１２０″Ｃ
３０分間行い、現像はｔｅｔｒａ−ｎ−ｂｕｔｙｌａｍ
ｍｏｎｉｕｍ　ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ水溶液（１０％）を
用いて２５°Ｃで４分間行った。

銅基板の腐食によりポリマー残膜の評価を行っ　　　゛
たところ、最低露光時間は１０分であった。これはポリ
エステル系樹脂を使用した感光材料としては著しく高い
感光性であった。

実施例３ Ｌ−乳酸単位９０モル％、Ｄ−乳酸単位１０モル％であ
るポリ乳酸（重量平均分子量的４２．０００）２．５ｇ
、およびトリフェニルホスホニウム６フ・ン化アンチモ
ネート０．２５ｇを、クロロホルム１００ｄに？８解さ
せ、ガラス板上に塗布した。真空乾燥後、板上の樹脂組
成物感光膜の厚みは２μ蒙であった。この板ヲ１００°
Ｃで３０分間プレベーク処理した。

得られた感光板を実施例１と同様に露光、現像処理を行
った。

処理後の感光板を顕微鏡で観察したところ、３μ蒙のＬ
／Ｓパターンの解像がされていた。

〔発明の効果］ 本発明により新規の感光材料用樹脂組成物が提供される
。この樹脂組成物は多くの汎用性溶剤に可溶であり、従
って感光材料の作成時、あるいは得られた感光材料の後
処理時に特殊な溶剤を使用する必要がない。

本発明の樹脂組成物を用いて作られた感光材料は、弱ア
ルカリ水溶液での現像が可能であり、しかも高感度、高
解像度である。また、プレベークおよびポストベーク工
程において比較的低温（１００°Ｃ）で処理が可能であ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ポリマー分子構造中に少なくともグリコール酸単位
   および／または乳酸単位をもつ重合体と感光性触媒との
   ブレンドからなる、感光材料用樹脂組成物。 ２、重合体が乳酸とグリコール酸の共重合体またはポリ
   乳酸である、請求項１記載の感光材料用樹脂組成物。 ３、感光性触媒がトリフェニルホスホニウム６フッ化ア
   ンチモネートである請求項１記載の感光材料用樹脂組成
   物。