JPH04179150A - 半導体封止用容器 - Google Patents
半導体封止用容器Info
- Publication number
- JPH04179150A JPH04179150A JP30426290A JP30426290A JPH04179150A JP H04179150 A JPH04179150 A JP H04179150A JP 30426290 A JP30426290 A JP 30426290A JP 30426290 A JP30426290 A JP 30426290A JP H04179150 A JPH04179150 A JP H04179150A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- case
- radiation
- sealing
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 10
- -1 gallium arsenide compound Chemical class 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 abstract description 3
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 101150110330 CRAT gene Proteins 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体封止用容器に関し、特にα線等放射線
量の多い環境の中で用いる半導体封止用容器に関する。
量の多い環境の中で用いる半導体封止用容器に関する。
従来の半導体装置は、気密性保持するなめ半導体封止用
金属容器または半導体封止用セラミック容器で外部から
保護されているものの、宇宙空間では放射線量は地上と
比較にならないくらい多い。また、原子炉に於けるα線
の放射量は炉内。
金属容器または半導体封止用セラミック容器で外部から
保護されているものの、宇宙空間では放射線量は地上と
比較にならないくらい多い。また、原子炉に於けるα線
の放射量は炉内。
炉建屋内ても]万う1〜以上あり搭載された半導体装置
には一般には厚い遮蔽壁て外部の放射線から保持しなけ
ればならないのか現状である。
には一般には厚い遮蔽壁て外部の放射線から保持しなけ
ればならないのか現状である。
また、宇宙機器に於いては、許容搭載物の軽減が最大の
課題とされていることから、遮蔽なして使用できる半導
体装置の要求は大きい。通信衛星の将来としては、地上
局アンテナの小型軽量化。
課題とされていることから、遮蔽なして使用できる半導
体装置の要求は大きい。通信衛星の将来としては、地上
局アンテナの小型軽量化。
情報量の増大、搭載燃料の長期化、充電可能なバッテリ
ー等により、大型化せさるを得ない方向にある。
ー等により、大型化せさるを得ない方向にある。
ケイ素及びガリウムひ素化合物半導体を基板とする半導
体装置では、宇宙機器の場合、許容搭載物の軽減が最大
の課題であり遮蔽壁の型巣を軽減することが課題とされ
ており、また原子炉分野では、炉内等α線の放射量の多
く人間か入り込めない箇所での保守・点検・管理に使用
される半導体装置の耐放射線性が強く要求され遮蔽なし
て使用できる半導体装置開発か大きな課題となっていた
。
体装置では、宇宙機器の場合、許容搭載物の軽減が最大
の課題であり遮蔽壁の型巣を軽減することが課題とされ
ており、また原子炉分野では、炉内等α線の放射量の多
く人間か入り込めない箇所での保守・点検・管理に使用
される半導体装置の耐放射線性が強く要求され遮蔽なし
て使用できる半導体装置開発か大きな課題となっていた
。
従来の半導体封止用金属容器または半導体封止用セラミ
ック容器には放射線を遮蔽する効果はなか−)/S0 本発明の[」的は、放射線に対して誤動作のない半導体
封止用容器を提供することにある。
ック容器には放射線を遮蔽する効果はなか−)/S0 本発明の[」的は、放射線に対して誤動作のない半導体
封止用容器を提供することにある。
1]課題を解決するための手段〕
本発明の半導体装置は、ケイ素及びガリウムひ素化合物
を基板とする半導体の気密性を保持する半導体封止用金
属容器及び゛半導体封止用セラミック容器に鉛層を多層
構造することにより、外部から侵入するα線または放射
線を遮蔽する構造となっている。半導体封止用金属容器
の場合は釦の蒸気圧か悪影響しなけれは従来使用されて
いる鉄・ニッケル・コバル暑・合金を使用せずに釦たけ
で半導体封止用金属容器を構成してもよい。
を基板とする半導体の気密性を保持する半導体封止用金
属容器及び゛半導体封止用セラミック容器に鉛層を多層
構造することにより、外部から侵入するα線または放射
線を遮蔽する構造となっている。半導体封止用金属容器
の場合は釦の蒸気圧か悪影響しなけれは従来使用されて
いる鉄・ニッケル・コバル暑・合金を使用せずに釦たけ
で半導体封止用金属容器を構成してもよい。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の半導体封止用金属容器の断
面図である。金属容器の表面には鉛か鍍金金またはクラ
ラI・方式により2層化されている。
面図である。金属容器の表面には鉛か鍍金金またはクラ
ラI・方式により2層化されている。
第2図は半導体封止用セラミック容器の断面図である。
セラミックの表面及び放熱板の裏面には鉛が鍍金または
クラット方式またはスパッタにより鉛層が形成されてい
る。尚、釦は蒸気圧か低いのて半導体チップのある半導
体封止用容器内側には層を形成しない方か好ましい。同
時にセラミックー鉛構造を用途によりセラミックー釦−
セラミック構造にすることも有効である。
クラット方式またはスパッタにより鉛層が形成されてい
る。尚、釦は蒸気圧か低いのて半導体チップのある半導
体封止用容器内側には層を形成しない方か好ましい。同
時にセラミックー鉛構造を用途によりセラミックー釦−
セラミック構造にすることも有効である。
以」−説明したように本発明は、半導体封止用容器表面
に放射線またはα線を遮蔽する鉛層を形成したので、放
射線またはα線に対して誤動作のない半導体装置を提供
することかできる。また宇宙機器用途については鉛の遮
蔽枚か不要になったことにより許容搭載物の重量を増す
ことも可能となる。同時に原子炉分野では装置が鉛の遮
蔽板が不要になったことによりより軽量化、小型化する
ことができる。
に放射線またはα線を遮蔽する鉛層を形成したので、放
射線またはα線に対して誤動作のない半導体装置を提供
することかできる。また宇宙機器用途については鉛の遮
蔽枚か不要になったことにより許容搭載物の重量を増す
ことも可能となる。同時に原子炉分野では装置が鉛の遮
蔽板が不要になったことによりより軽量化、小型化する
ことができる。
第1図は本発明の一実施例の半導体封止用金属容器の断
面図、第2図は本発明の半導体封止用セラミック容器の
断面図、第3図は従来の半導体封止用セラミック容器の
断面図である。 ]・・・釦鉛層2・・・鉄・ニッケル・コバルト合金、
3・・半導体チップ、4・・・外部リード端子、5・・
・コバーカラス、6・・セラミック、7・・放熱板。
面図、第2図は本発明の半導体封止用セラミック容器の
断面図、第3図は従来の半導体封止用セラミック容器の
断面図である。 ]・・・釦鉛層2・・・鉄・ニッケル・コバルト合金、
3・・半導体チップ、4・・・外部リード端子、5・・
・コバーカラス、6・・セラミック、7・・放熱板。
Claims (1)
- 表面あるいは、多層構造の一層に鉛層を有することを
特徴とする半導体封止用容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30426290A JPH04179150A (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | 半導体封止用容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30426290A JPH04179150A (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | 半導体封止用容器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04179150A true JPH04179150A (ja) | 1992-06-25 |
Family
ID=17930937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30426290A Pending JPH04179150A (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | 半導体封止用容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04179150A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108091637A (zh) * | 2016-11-23 | 2018-05-29 | 南方电网科学研究院有限责任公司 | 一种igbt模块管壳及其制作方法 |
TWI692067B (zh) * | 2018-03-15 | 2020-04-21 | 日商東芝記憶體股份有限公司 | 半導體裝置 |
-
1990
- 1990-11-09 JP JP30426290A patent/JPH04179150A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108091637A (zh) * | 2016-11-23 | 2018-05-29 | 南方电网科学研究院有限责任公司 | 一种igbt模块管壳及其制作方法 |
TWI692067B (zh) * | 2018-03-15 | 2020-04-21 | 日商東芝記憶體股份有限公司 | 半導體裝置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7148084B2 (en) | Radiation shielding of integrated circuits and multi-chip modules in ceramic and metal packages | |
US5889316A (en) | Radiation shielding of plastic integrated circuits | |
EP0803174B1 (en) | Radiation shielding of integrated circuits and multi-chip modules in ceramic and metal packages | |
Stark et al. | Band structure and Fermi surface of zinc and cadmium | |
US6262362B1 (en) | Radiation shielding of three dimensional multi-chip modules | |
US5998867A (en) | Radiation enhanced chip encapsulant | |
KR20040020948A (ko) | 전자 패키지 및 이의 제조 방법 | |
CA1298700C (en) | Protective box for electronic circuits hardened with respect to x-rays | |
US6858795B2 (en) | Radiation shielding of three dimensional multi-chip modules | |
WO1996021930A9 (en) | Radiation shielding of plastic integrated circuits | |
US6261508B1 (en) | Method for making a shielding composition | |
JP2007509345A5 (ja) | ||
JPS614250A (ja) | 半導体装置用パツケ−ジ | |
JPS60106150A (ja) | 耐放射線パツケ−ジ | |
US20220392656A1 (en) | Cable feedthrough for radioactive environments | |
EP0029858B1 (en) | Semiconductor device | |
JPS62125651A (ja) | 耐放射線パツケ−ジ | |
US6239479B1 (en) | Thermal neutron shielded integrated circuits | |
JPH04179150A (ja) | 半導体封止用容器 | |
CN1781189B (zh) | 电子元件及其制造方法 | |
US6605818B1 (en) | Method for protecting against ionizing radiation using a sprayed protective coating, and a protected structure | |
US6121672A (en) | Raised pedestal radiation shield for sensitive electronics | |
JPS614249A (ja) | 半導体装置用パツケ−ジ | |
JPH0324785B2 (ja) | ||
CN210837742U (zh) | 一种抗辐射封装结构 |