JPH04177716A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は定期的に装置内のＸＹスデーシや感光基板の移
送手段等の可動部にグリースを自動供給することを可能
としノこ露光装置に関するものである。

［従来の技術］ 所定の駆動信号に従って、ウニへ等の感光基板をＸＹス
デーシの所定箇所にｊ『１次移送し、ＸＹステージ上に
移送された感光基板上の極小領域を位置決めし、そのＸ
Ｙステーシ上の感光基板の領域にマスクに形成されたパ
ターンを露光する露光装置では、極小領域の位置決めに
数７１０μｍ以下の高い精度を要求される。

そのため、露光装置のＸＹステーシの所定箇所に移送す
る移送手段では駆動の安定性を、またＸＹステーシの位
置決め手段では高い制御＋１１を要求ざれるものである
。

特に、ＸＹステージの位置決め手段では、高い精度を要
求されるため、該手段の可動部に供給されるグリースの
疲労、酸化１コミや塵の混入等による劣化さえも高い精
度を達成するための制御側に景三響を与える。

このため、露光装置の移送手段や位置決め手段等の可動
部の定期的なメンテナンスが必要と？７っている。

露光装置の×Ｙステージ送りネジ部等に必要なグリース
供給作業・目、の流体であり、従来、このような高粘度
のグリースを必要部分にイ共給する場合には、人手によ
り汗射器（グリースカン）、手動ポンプ等でメンテナン
スを行うしかなかった。そのメンテナンスの際には、人
手による作業であり、装置全体を開放するため、露光装
置の運転は停止する必要かあった。

［発明か解決しようとする課題］ このような方法においては、その都度装置を一定期間停
止させなりれはグリース補充を行うことかできず、また
人手による作業であるために、頻繁（例えは１〜２日に
１回）にグリース供給作業を行うことかてきノ１かった
。

更に、定期的なメンテナンスを行えは直に安定した制御
性を得らねることに７７６す、結果的にメンテナンス終
了後の立ら１−げ時には、新しいグリースに馴染ませる
時間を必要とし、グリースイ」１給作業間隔か長くなり
、生産料を低下させる原因ともなフていた。

また、人手による不安定な作業に頼らざるを行ないため
、逆にＸＹスデーシの安定な制御性を妨げる原因となる
こともあった。

本発明は、装置本体の運転を停止にすることｔｔ　Ｌに
効果的なグリース供給作業を行うこと及びそれによって
、特に高い精度を供給されるＸＹスデーシの精度及び制
御性等を安定化した露光装置を得ること目的とする。

［課題を解決するだめの手段］ 本発明に係る露光装置では、所定の駆動信号に従って可
動部を駆動してマスクに形成されたパターンを感光基板
に露光する露光装置において、前記可動部の摺面部分に
グリースを補充するための注入孔が設けられ。

該注入孔を介して前記可動部に対して所定量のグリース
を供給するグリース供給手段と。

前記露光装置の所定の動作に関連してグリース供給指令
信号を前記グリース供給手段に与える制御手段とを備え
たものである。

本発明てはＸＹステージの送りネジ部に設りだグリース
補充用の穴部と、露光装置の内部或いは外部に設置した
グリース供給手段との間を常時グリース注入用のチュー
ブで接続するようにした。

更に具体的には、前述の可動部は感光基板を載置して水
平面内で移動可能なステージてあり、前述の制御手段は
、所定時間、前記露光装置の積算稼動時間、前記感光基
板の処理枚数、及び前記ステージの積算移動距離のうち
の少なくとも１つに基ついて前記グリース供給指令信号
を与えるものである。

［作用］ 本発明においては、所定の駆動信号に従って可動部を駆
動してマスクに形成されたパターンな感光基板に露光す
る露光装置において、前記可動部の摺面部分にグリース
を補充するための注入孔か設けられ、該注入孔を介して
前記可動部に対して所定量のグリースを供給するグリー
ス供給手段　　　−と１前記露光装置の所定の動作に関
連してグリ−ス供給指令信号を前記グリース供給手段に
与える制御手段とを備えたものであるため、グリース供
給手段か作動ずれは、露光装置木杯の運転を停止するこ
となしに、露光装置の可動部例えは感光基板を移送する
移送手段の滑りネジやＸＹステージの送りネジ部等に自
動的にグリースの補充を行うことかてぎるようになる。

後述する実施例のグリース供給手段は、具体的にはグリ
ースポンプ、定量弁７供給デユープから構成され、この
グリースポンプと定月１弁の開閉とをシーケンサか制御
しＣいる。グリースポンプは常時グリース供給に充分な
圧力（１０〜＋５Ｊｆ／ｃ＋ｎ２）て定量弁に対してグ
リースの送出を行う。

定量弁はシーケンサから１回指令が来るごとに任意の一
定微小量だけグリースを通過させる機能を持つ。シーケ
ンサは制御手段から一すえられるグリース供給指令信号
を受り、グリースポンプ、定量弁の作動コントロールを
行う。

また、制御手段の具体的な例としては、Ｊｌ富露光装置
本体のメインコントローラは被露光物の感光基板（例え
ばウェハ）の処理枚数を苓にモニターしており、処理枚
数か一定数に達した［１１点てグリース供給手段内のシ
ーケンサに作動化ちを発するように設定してもよく、−
口の処理枚数かある程度法まっている場合には、稼動時
間を積算する積算タイマーで行ってもよい。

更により簡単に、露光装置本体のメインコントローラを
接続するようなシステムを取らす、シーケンサに外部ス
イッチ（露光装置外部、あるいはクリーンルーム外部に
設置する）をイｑけて、決まった時間に人手にｊ：って
スイッチを押すことににってグリース供給指令を与える
ような簡ｉ１ｊ　７ｊシステムを組んてもよい。

また、個々のグリース供給箇所へのグリースの供給量や
供給時期もシーケンサによって、個々に制御を行っても
にい。この■ｉ’７、露光装置本体のメインコントロー
ラには、各可動部の移動Ｗト１加か予め設定されている
ので、この移動距離を積算することにより、最適なグリ
ース供給量や供給［１，１１期を判断て各る。

こうい−）た作用ににって、ＸＹステージは當に安定し
たグリースイｊ（給を受りることかてぎるようになり、
グリースの劣化もなく、結果的に安疋した制御性を示す
ことかできるようになる。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例の構成を示す説明図である。

図において、グリース供給手段（ｌＯ）はグリースポン
プ（１１）、定量弁（１２）、及び供給チューブ（１７
ａ）　（１７ｂ）　（１８）から構成され、これらグリ
ースポンプ（１１）の駆動と定量弁（１２）の開閉とを
シーケンサ（１３）が制御している。グリースポンプ（
１１）と定量弁（１２）はグリース注入用の供給デユー
プ（１８）で接続されており、更に定量弁（１２）とＸ
Ｙステージ（１９）のｘＩｌｌｌ送りネジ（１５）のグ
リース汀人孔か供給チューブ（１７ａ）　、同しくＹ軸
送りネジ（１６）のクリースン主入子しかｆ共給デユー
プ（１７ｂ）　で接糸光されている。グリースポンプ（
ｉｌｌは餡時グリースの供給に充分な圧力（Ｉ　Ｏ〜Ｉ
　５　ｋｇｆ／ｃｍ２）て定量弁（１２）によってグリ
ースの送出を行う。

ここて、露光装置本体のメインコントローラ（１４）に
おいてカウントしているウェハの処理枚数か設定枚数に
達すると、グリース供給手段（１０）内のシーケンサ（
１３）に指令が与えられ、定量弁（１２）を数回たり作
動し、ＸＹステージ（１９）のＸ軸の送りネジ部（１５
）、Ｘ軸の送りネジ部（１６）に所定量のグリースか供
給されることになる。

第２図は本発明の別の実施例の構成を示す説明図である
。図に示す通り、グリース供給手段（２０）はグリース
ポンプ（２１）、　Ｘ軸足量弁（２２ａ）　、　Ｙ軸足
量弁（２２ｂ）　、及び供給デユープ（２８ａ）　（２
８ｂ）（２７ａ）　（２７ｂ）から構成され、これらグ
リースポンプ（２１）と各定量弁（２２ａ）　（２２ｂ
）とをシーケンサ（２３）か制御している。グリースポ
ンプ（２１）とＸ軸足量弁、Ｙ軸足量弁はグリース注入
用の供給チューブ（２８ａ）　（２８ｂ）で接続されて
おり、Ｘ軸足量弁（２２ａ）とＸＹステージのＸ軸送り
ネジ（２５）、Ｙ軸足量弁（２２ｂ）　とＹ軸送りネジ
（２６）かやはり供給チｊ、−ブ（２７ａ）　（２７ｂ
）て接続されている。ここて、露光装置本体のメインコ
ン１−ローラ（２４）においてカウントしているウェハ
の処理枚数か設定枚数に達すると、グリース供給手段内
のシーケンサ（２３）に指令かりえられ、各定４１１介
（２２ａ）（２２ｂ）が所定回たけ作動し、ｘＹスプー
ンのＸ軸の送りネジ部（２５）、Ｘ軸の送りネジ部（２
１ｉ）にグリースが供給さＪすることにｔ２る。第３図
は第２図の実施例の制御−１−程の流れの一実施例を示
したフロー図である。

第４図は本発明の更に別の実施例の構成を示す説明図で
ある。グリース供給手段はグリースポンプ（４１）、定
量弁（４２ａ）　（４２ｈ）　、及び供給デユープから
構成され、これらグリースポンプ（４１）ど各定量弁（
４２ａ）　（４２ｂ）とを各シーケン”）（４３ａ）　
（４３ｂ）か制御している。第２図に示した実施例と相
違するところは、シーケンサ（４３ａ）　（４３ｂ）が
ｘＹスデーシ（図示せず）のＸＹ各輔の送りネジ（４５
）　（４６）に対して独立に存在することである。

通常、本露光装置に使用しているようなＸＹステージに
ついていは、Ｘ軸、Ｙ軸の送りネジ（４５）（４６）の
使用頻度・走行距離は互いに相違している。各送りネジ
（４５）　（４６）の安定した走行に必要なグリース供
給量は当然各送りネジの使用頻度・走行距離に応じて変
わるへきものである。本実施例及び前述の実施例で示し
た定量弁は、シーケンサからの指令１回あたり一定量の
グリースを通過させるだけでなく、その通過量をもある
程度任意に設定てぎる。しかし、ＸＹ各軸の送りネジに
対しより効率の高い潤滑を行なうためには、Ｘ−Ｙ各軸
の定量弁に対しそれぞれ個別に動作指令回数を与えられ
るように個別のシーケンサ（４３ａ）　（４３ｂ）をＸ
−Ｙ各軸に独立に用意した。

このような構成をとることによって、Ｙ軸には全くグリ
ース供給を行なわすｘ！ｌ１ＩＩＩのみに供給すること
も可能となり、その逆も可能となる。第５図は第４図の
実施例の制御工程の流れの一実施例を示したフロー図で
ある。

前述までの実施例では、ウェハの処理枚数に応して、グ
リース併給を行なう方法を示したか、他の制御手段とし
ては、メインコントローラで予め設定されている各可動
部の移動距離を積算して最適なグリース供給量や供給時
期を判断することもできる。また、ｌ　１］当りの感光
基板の処理枚数かある程度法まっている場合には、露光
装置本体のメインコントローラで予め設定されている露
光装置の積算稼動時間てもグリースイ１＋、給時期を同
断可能であり、より簡便には、露光装置本体の運転時間
に応じて（例えば、１２時間に１回、２日に１回等）グ
リースイノ（給を行なっても良い。

第６図は更に別の実施例の構成を示す説明図である。本
実施例の場合は、各シーケンサ（６３ａ）（６３ｂ）　
　と露光装置本体のメインコントローラを接続するよう
なシステムを取らず、各シーケンサ（６３ａ）　（５３
ｂ）に外部スイッチ（７０）　（露光装置外部、あるい
はクリーンルーム外部に設置する）をイ」けて、決まっ
た時間に人手によって外部スイッチ（７０）を押すこと
によってグリース供給指令を与えるような簡単なシステ
ムを組んでもよい。

更にこの場合には、各送りネジ（６５）　（６６）とｘ
Ｙ軸との摺面部分や送りネジのグリース溜りに溜った古
いグリースを取り除くときには、外部スイッチ（７０）
を多数回作動させることにより、古いグリースを押出す
ような使い方も可能となる。

また、前述の各実施例ではグリースは開放系の場合を示
したが、送りネジ部を密閉式として、供給されたグリー
スによって押し出される古いグリースの逃げを設けた密
閉式の場合も同様に作用することは言うまでもない。尚
、以上の各実施例ではＸＹステージを例に挙げて説明を
行ったが、本発明は露光装置の全ての可動部に対して全
く同様に適用できることは言うまでもない。この際、グ
リース供給のタイミングは各可動部の使用状態、必要な
移動頻度等に応じて適宜定めてやれば良い。

［発明の効果］ 本発明は以上説明したとおり、所定の駆動信号に従って
可動部を駆動してマスクに形成されたパターンを感光基
板に露光する露光装置において；前記可動部の摺面部分
にグリースを補充するための注入孔が設けられ、該注入
孔を介して前記可動部に対して所定量のグリースを供給
するグリース供給手段と：前記露光装置の所定の動作に
関連してグリース供給指令信号を前記グリース供給手段
に与える制御手段とを備えたものであるため、グリース
供給手段が作動すれは、露光装置本体の運転を停止する
ことなしに、露光装置の可動部例えば感光基板を移送す
る移送手段の滑りネジやＸＹステージの送りネジ部等に
自動的にグリースの補充を行うことかできるようになり
、結果的に露光ノ 装置のＸＹステージや感光基板の移送手段等の可動部等
の安定性や制御性が保証できるようになり、高い精度が
達成されることとなる。また、グリース交換に伴う装置
内への異物の混入までも大幅に低減でき、例えば感光基
板上への異物のイ」着による歩留りの低下を防止できる
。更に、本発明では可動部のグリースを一度に全部交換
するのではなく、一定時間毎に所定量ずつグリースを供
給しているため、特にグリース供給後に可動部を新しい
グリースに馴染ませる時間を必要とせず、従ってスルー
ブツトの低下を［防止することか−Ｃきる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成を示す説明図、第２図
は本発明の別の実施例の構成を示−・ｊ−説明図、第３
図は第２図の実施例の制御丁イ？の流れを示したフロー
図、第４図は本発明の更に別の実施例の構成を示す説明
図、第５図は第４図の実施例の制御工程の流れを示した
フロー図、第６図は更に別の実施例の構成を示す説明図
である。 ［主要部分の符号の説明］ （ＩＩ）　（２１）　（４＋）　（６１）　　グリース
ポンプ（１２）　（２２ａ）　（２２ｂ）　（４２ａ）
　（４２ｂ）　（５２ａ）　（６２ｂ）　：定量弁（１
３）　（２３）　（４３ａ）　（４３ｂ）　（６３ａ）
　（５３ｂ）　　シーケンサ（１４）　（Ｎ）　（Ｎ）
　　装置本体のメインコントローラ（１５）　（２５）
　（４５）　（６５）　　ステージＸ軸送りネジ部（１
６）　（２６）　（４６）　（６６）　　ステージＹＩ
Ｎｌ送りネジ部（１７ａ）（１７ｂ）（２７ａ）（２７
ｂ）（ｉａ）（４７ｂ）（６７ａ）（６７ｂ）イノ支給
チューブ（送りネジ・定量弁間） （１８ａ）　（１８ｂ）（２８ａ）（２８ｂ）（４８ａ
）　（４８ｂ）（ｆｉ８ａ）　（６８ｂ）供給チーＩ２
−ブ（定量弁・ポンプ間） （１９）　：　Ｘ　Ｙスデーシ （１０）　（２０）　（４０）　（ｕ）　　グリース供
給下段（７０）　　外部スイッチ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定の駆動信号に従って可動部を駆動してマスク
   に形成されたパターンを感光基板に露光する露光装置に
   おいて、 前記可動部の摺面部分にグリースを補充するための注入
   孔が設けられ； 該注入孔を介して前記可動部に対して所定量のグリース
   を供給するグリース供給手段と；前記露光装置の所定の
   動作に関連してグリース供給指令信号を前記グリース供
   給手段に与える制御手段とを備えたことを特徴とする露
   光装置。
2. （２）前記可動部は、前記感光基板を載置して水平面内
   で移動可能なステージであり、 前記制御手段は、所定時間、前記露光装置の積算稼動時
   間、前記感光基板の処理枚数、及び前記ステージの積算
   移動距離のうちの少なくとも１つに基づいて前記グリー
   ス供給指令信号を与えることを特徴とする前記請求項１
   に記載の露光装置。