JPH04172191A - レーザーマーキング方法 - Google Patents
レーザーマーキング方法Info
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- JPH04172191A JPH04172191A JP2297586A JP29758690A JPH04172191A JP H04172191 A JPH04172191 A JP H04172191A JP 2297586 A JP2297586 A JP 2297586A JP 29758690 A JP29758690 A JP 29758690A JP H04172191 A JPH04172191 A JP H04172191A
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- Japan
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- wafer
- laser beam
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- fine powder
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Links
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
レーザーによるマーキング方法に関し、ドツト周囲への
微粉の付着を解消させて、マーキング後の基板面を清浄
に保つことを目的とし、基板を液体に浸し、該基板表面
にレーザービームを照射してドツト記号を描くようにし
たことを特徴とする。
微粉の付着を解消させて、マーキング後の基板面を清浄
に保つことを目的とし、基板を液体に浸し、該基板表面
にレーザービームを照射してドツト記号を描くようにし
たことを特徴とする。
本発明はレーザーによるマーキング方法に関し、例えば
、半導体装置の製造方法においてウェハーに識別記号を
記入する方法に関している。
、半導体装置の製造方法においてウェハーに識別記号を
記入する方法に関している。
例えば、IC,LSIなどの半導体デバイスは数十枚の
ウェハーで10ツト(Lot)を構成し、10ツトを製
造単位としてウェハー個りにロフト記号、ウェハ一番号
、更には製造工場記号1月や週の記号などの識別記号を
記入しており、その識別記号によって不良品の解析など
をおこなっている。
ウェハーで10ツト(Lot)を構成し、10ツトを製
造単位としてウェハー個りにロフト記号、ウェハ一番号
、更には製造工場記号1月や週の記号などの識別記号を
記入しており、その識別記号によって不良品の解析など
をおこなっている。
また、従来はウェハー試験で不良チップにインク・マー
キングをしていたが、最近ではウェハー試験の結果をマ
ツプに記録してマツプと照らし合わすマツプシステムが
採られており、その場合にもウェハーの識別記号が必要
になる。
キングをしていたが、最近ではウェハー試験の結果をマ
ツプに記録してマツプと照らし合わすマツプシステムが
採られており、その場合にもウェハーの識別記号が必要
になる。
そのようなウェハーに識別記号を記入することをマーキ
ング(marking) 、またはナンバリング(nu
mbering)と言い、その記号はウェハーの周辺部
の一定位置、例えば、OF(オリエンテーションフラッ
ト)ラインを基準にした定位置に記入されている。
ング(marking) 、またはナンバリング(nu
mbering)と言い、その記号はウェハーの周辺部
の一定位置、例えば、OF(オリエンテーションフラッ
ト)ラインを基準にした定位置に記入されている。
このようなウェハーの記号の記入方法は、レーザーマー
キング装置を用いておこなわれており、第3図にそのレ
ーザーマーキング装置の要部図を示している。図中の記
号1はウェハー、2は炭酸ガスレーザーなどを用いたレ
ーザー発振器、3゜4は反射ミラー、5はガルバノメー
タ駆動部、6はガルバノミラ−97は収束レンズ、Bは
レーザービームで、レーザー発振器2からレーザー光を
発射してガルバノミラ−6に入射させ、それを反射ミラ
ーで複数回反射させて収束レンズ7で収束して、収束し
た微細なレーザービームBでウェハー1を照射して食刻
している。その際、ガルバノメータ駆動部5によってガ
ルバノミラ−6から反射するビームをスキャンニングし
てドツト記号を描くわけである。即ち、数字やアルファ
ベット等の記号は多数のドツトの集合体で描いている。
キング装置を用いておこなわれており、第3図にそのレ
ーザーマーキング装置の要部図を示している。図中の記
号1はウェハー、2は炭酸ガスレーザーなどを用いたレ
ーザー発振器、3゜4は反射ミラー、5はガルバノメー
タ駆動部、6はガルバノミラ−97は収束レンズ、Bは
レーザービームで、レーザー発振器2からレーザー光を
発射してガルバノミラ−6に入射させ、それを反射ミラ
ーで複数回反射させて収束レンズ7で収束して、収束し
た微細なレーザービームBでウェハー1を照射して食刻
している。その際、ガルバノメータ駆動部5によってガ
ルバノミラ−6から反射するビームをスキャンニングし
てドツト記号を描くわけである。即ち、数字やアルファ
ベット等の記号は多数のドツトの集合体で描いている。
第4図はそのドツト記号と従来の問題点を説明する図で
、同図(a)は例として°OF’字のドツト記号をウェ
ハー1の周縁部分に描いたウェハーの部分平面図、同図
(b)は1つのドツトdの平面図で、同図(C)は1つ
のドツトdの断面図である。
、同図(a)は例として°OF’字のドツト記号をウェ
ハー1の周縁部分に描いたウェハーの部分平面図、同図
(b)は1つのドツトdの平面図で、同図(C)は1つ
のドツトdの断面図である。
このようなドツト記号は数字やアルファベットなどの所
定記号を5×7ドツトや7×9ドツトで予め作成してお
き、キー人力すれば制御系(図示せず)によって自動的
に所望のドツト記号が描かれるのであるが、第4図(b
)、 (C)に図示しているように、レーザー照射して
ドツトを食刻すると、溶融して跳ね上がった微粉がドソ
)dの周囲に被着する欠点がある。ドツトdの直径50
〜100 μmφ程度の窪みであるから微粉はそれより
小さくて、多数個が白濁状に観察される程度であるが、
レーザー照射時に蒸気になって舞い上がったウェハー材
料(シリコンなど)が静電気を帯びたウェハーに引き寄
せられると推考され、このような微粉はエツチングして
も除き難く、その後は次第に剥がれて拡散して、ウェハ
ーの品質・製造歩留を低下させる原因になる。
定記号を5×7ドツトや7×9ドツトで予め作成してお
き、キー人力すれば制御系(図示せず)によって自動的
に所望のドツト記号が描かれるのであるが、第4図(b
)、 (C)に図示しているように、レーザー照射して
ドツトを食刻すると、溶融して跳ね上がった微粉がドソ
)dの周囲に被着する欠点がある。ドツトdの直径50
〜100 μmφ程度の窪みであるから微粉はそれより
小さくて、多数個が白濁状に観察される程度であるが、
レーザー照射時に蒸気になって舞い上がったウェハー材
料(シリコンなど)が静電気を帯びたウェハーに引き寄
せられると推考され、このような微粉はエツチングして
も除き難く、その後は次第に剥がれて拡散して、ウェハ
ーの品質・製造歩留を低下させる原因になる。
本発明はそのようなドツト周囲への微粉の付着を解消さ
せて、マーキング後のウェハー面を清浄に保つことを目
的としたレーザーマーキング方法を提案するものである
。
せて、マーキング後のウェハー面を清浄に保つことを目
的としたレーザーマーキング方法を提案するものである
。
その課題は、基板を液体に浸し、該基板にレーザービー
ムを照射してドツト記号を描くようにしたマーキング方
法によって解決される。
ムを照射してドツト記号を描くようにしたマーキング方
法によって解決される。
即ち、本発明は、ドツト記号を描く基板を液体中に配置
して、上からレーザービームを照射してドツト記号を記
入する。そうすると、微粉が被着しない。
して、上からレーザービームを照射してドツト記号を記
入する。そうすると、微粉が被着しない。
その際、基板を浸たす液体で汚染されないように、清浄
で、且つ、反応しない液体を使用する必要がある。
で、且つ、反応しない液体を使用する必要がある。
以下に図面を参照して実施例によって詳細に説明する。
第1図は本発明にかかるマーキング方法を示す図で、記
号1はウェハー(基板)、10は純水、11は容器、B
はレーザービームである。容器11に入れた純水10に
、例えば口径8インチφのウェハー1を浸し、その上か
らレーザービームBを照射してドツト記号を描く。且つ
、ウェハーIを覆う純水10の厚さは1〜2mmにして
、ドツト記号が描けるようにレーザー出力を調整する。
号1はウェハー(基板)、10は純水、11は容器、B
はレーザービームである。容器11に入れた純水10に
、例えば口径8インチφのウェハー1を浸し、その上か
らレーザービームBを照射してドツト記号を描く。且つ
、ウェハーIを覆う純水10の厚さは1〜2mmにして
、ドツト記号が描けるようにレーザー出力を調整する。
そのように、純水10中のウェハー1にレーザービーム
Bを照射してドツト記号を記入すれば、瞬時のドツト照
射による溶融によって発生した蒸気(微粉)は純水中で
遊離した微粉になり、ウェハー面に付着することがない
。第2図は本発明にかかるマーキングによるドツトを示
す図で、同図(a)はドツトDの平面図、同図(b)は
ドツトDの断面図、図のように微粉が付着することなく
極めて清浄に窪みが作成される。
Bを照射してドツト記号を記入すれば、瞬時のドツト照
射による溶融によって発生した蒸気(微粉)は純水中で
遊離した微粉になり、ウェハー面に付着することがない
。第2図は本発明にかかるマーキングによるドツトを示
す図で、同図(a)はドツトDの平面図、同図(b)は
ドツトDの断面図、図のように微粉が付着することなく
極めて清浄に窪みが作成される。
従って、本発明にかかるレーザーマーキング方法はウェ
ハーを清浄に保持するために極めて有効な方法である。
ハーを清浄に保持するために極めて有効な方法である。
なお、上記実施例はウェハーを純水に浸した例であるが
、純水以外の清浄な液体を使用してもよい。その際、そ
の液体はウェハーに化学反応を起こしたり、ウェハーを
汚染したり、また、レーザー照射によって着火したりし
ないものを選択する必要がある。
、純水以外の清浄な液体を使用してもよい。その際、そ
の液体はウェハーに化学反応を起こしたり、ウェハーを
汚染したり、また、レーザー照射によって着火したりし
ないものを選択する必要がある。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば基板(
ウェハー)に微粉を付着させることなく、レーザーマー
キングをおこなうことができ、ウェハーの製造歩留・品
質の向上に大きく役立つものである。
ウェハー)に微粉を付着させることなく、レーザーマー
キングをおこなうことができ、ウェハーの製造歩留・品
質の向上に大きく役立つものである。
且つ、本発明にかかるレーザーマーキング方法は半導体
のウェハーに限るものではなく、他の基板にも適用でき
ることは当然である。
のウェハーに限るものではなく、他の基板にも適用でき
ることは当然である。
第1図は本発明にかかるマーキング方法を示す図、
第2図は本発明にかかるマーキングによるドツトを示す
図、 第3図はレーザーマーキング装置の要部図、第4図はド
ツト記号と従来の問題点を説明する図である。 図において、 1はウェハー(基板)、 lOは純水、 11は容器、 Bはレーザービーム、 d、Dはドツト を示している。 第4図
図、 第3図はレーザーマーキング装置の要部図、第4図はド
ツト記号と従来の問題点を説明する図である。 図において、 1はウェハー(基板)、 lOは純水、 11は容器、 Bはレーザービーム、 d、Dはドツト を示している。 第4図
Claims (1)
- 基板を液体に浸し、該基板表面にレーザービームを照射
してドット記号を描くようにしたことを特徴とするレー
ザーマーキング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2297586A JPH04172191A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | レーザーマーキング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2297586A JPH04172191A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | レーザーマーキング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04172191A true JPH04172191A (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=17848475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2297586A Pending JPH04172191A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | レーザーマーキング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04172191A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008229722A (ja) * | 2008-03-07 | 2008-10-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザーマーキング方法、レーザーマーキング装置 |
US8256530B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-09-04 | Japan Drilling Co., Ltd. | Method of processing rock with laser and apparatus for the same |
US8449806B2 (en) | 2002-09-05 | 2013-05-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP2297586A patent/JPH04172191A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8449806B2 (en) | 2002-09-05 | 2013-05-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
US8256530B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-09-04 | Japan Drilling Co., Ltd. | Method of processing rock with laser and apparatus for the same |
JP2008229722A (ja) * | 2008-03-07 | 2008-10-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザーマーキング方法、レーザーマーキング装置 |
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