JPH04170071A - Tftの配線方法 - Google Patents

Tftの配線方法

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Publication number
JPH04170071A
JPH04170071A JP2296238A JP29623890A JPH04170071A JP H04170071 A JPH04170071 A JP H04170071A JP 2296238 A JP2296238 A JP 2296238A JP 29623890 A JP29623890 A JP 29623890A JP H04170071 A JPH04170071 A JP H04170071A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tft
active element
plzt
electrode
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2296238A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Nakama
仲間 隆男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu General Ltd
Original Assignee
Fujitsu General Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu General Ltd filed Critical Fujitsu General Ltd
Priority to JP2296238A priority Critical patent/JPH04170071A/ja
Publication of JPH04170071A publication Critical patent/JPH04170071A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明はPLZT (透明なセラミック)による光シ
ヤツタアレーをアクティブマトリックス方式で駆動可能
とするT F T (Thin Files Tran
sisitor)の能動素子の配線方法に関するもので
ある。
[従 来 例] 近年、PZTにLaを添加した透明なセラミックのPL
ZT(PbO,LaO,ZrO,、Tie)が光シャッ
タやデイスプレィに用いられようとしている。
そのPLZTを用いて光シヤツタアレーを作製する場合
、 PLZτ基板に形成した複数の光シャッタを駆動す
る方法としては、そのPLZTの性質から単純マトリッ
クスで行なうことができないことから1例えば各光シャ
ッタをマトリックス状に形成し、かつ、その光シャッタ
を駆動する能動素子(電界効果トランジスタ)にTFT
を用い、これら能動素子にて光シャッタを駆動するアク
ティブマトリックス方式が考えられる。
そのアクティブマトリックス方式の場合、例えば第3図
に示されるように、TFTの各能動素子1のソース電極
Sをデータライン2にそれぞれ接続し、各TFTの能動
素子1のゲート電極Gを走査ライン3にそれぞれ接続し
、各能動素子1のドレイン電極りをマトリックス状の形
成された各光シャッタ(各画素)4の一方の電極にそれ
ぞれ接続し、その光シャッタ4の他方の電極をそれぞれ
接地する。そして、各能動素子1のソース電極Sおよび
ゲート電極Gにはそれぞれ異なるタイミングで所定電圧
(パルス電圧)がデータライン2および走査ライン3を
介して印加されると、その所定電圧が印加されたTFT
の能動素子1のソース電極Sとドレイン電極り間の抵抗
値が下げられ、その能動素子1はオン状態にされる。す
なわち、その信号電圧が能動素子1を介して光シャッタ
4の電極に印加されるため、光シャッタ4の電極間には
電界が生じ、光がその光シャッタ4を透過するようにな
る。
このように、所定能動索子1を選択的に駆動することが
できることから、マトリックス状に形成された複数の光
シャッタ4をアクティブマトリックス方式で駆動するこ
とが可能となる。
[発明が解決しようとする課題] ところで、上記アクティブマトリックス方式で駆動する
場合、 PLZT基板にはTFTの能動素子1、データ
ライン2および走査ライン3を形成することができない
ことから、例えば透明部材(絶縁性基板)にそのTFT
の能動素子1、データライン2および走査ライン3を形
成し、この透明部材をそのPLZT基板に対向して取付
けることになる。この場合、第4図に示されるように、
各能動素子1のソース電極Sおよびドレイン電極りが絶
縁性基板5の片面に形成されることから、データライン
2および走査ライン3の配線パターンをその絶縁性基板
の同面に形成することになり、それら走査ライン3とデ
ータライン2が交差することから、そのクロス点に絶縁
膜6を形成することになる。
しかし、上記PLZT基板をバックライト方式によるデ
イスプレィ装置に用いようとした場合、そのPLZT基
板を複数枚並べる必要があるが、各PLZT基板の光シ
ャッタを駆動するTFTの各能動素子1の電極が各絶縁
性基板5の同一端部から引き出すことができないことか
ら、そのバックライト方式ができないという問題点があ
った。
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、その目
的はソース電極およびゲート電極を引き出す配線パター
ン(データラインおよび走査ライン)を交差することな
く形成することができ、PLZT基板をバックライト方
式に用いることができるようにしたTFTの配線方法を
提供することにある。
−[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、この発明のTFTの配線方
法はPLZT基板の各画素をアクティブマトリックス方
式で駆動するTFTの能動素子の各電極を絶縁性基板に
形成するとともに、それら能動素子の各電極を引き出す
配線パターンをそれぞれその絶縁性基板の両面に分けて
互いに平行に形成し、かつ、そのTFT形成の裏面に形
成した配線パターンと各能動素子の電極をスルー・ホー
ルを介して接続するようにしたことを要旨とする。
[作  用] 上記方法としたので、PLZτ基板の各光シャッタをア
クティブマトリックス方式で駆動する場合。
各光シャッタを駆動する’I’FTの能動素子の各電極
をそのTFTの一端部(つまりPLZT基板の一端方向
)から外部に引き出すことができる。したがって、その
PLZT基板を複数枚並べてデイスプレィ装置を傅成し
ようにした場合、その複数枚並べたデイスプレィ装置の
端部から外部に引き出すことができるため、そのデイプ
レイ装置をバックライト方式とし、しかもアクティブマ
トリックス方式で駆動することが可能となる。
[実 施 例] 以下、この発明の実施例を第1図および第2図に基づい
て説明する。なお1図中、第3図および第4図と同一部
分およびそれらに相当する部分には同一符号を付し重複
説明を省略する。また。
PLZTを用いた光シヤツタアレー装置の概略的回路は
第3図を参照されたい。
第1図および第2図において、絶縁性基板5の一方の面
、つまりT P T (Thin Film Tran
sistor)の形成面の裏面にはソース電極Sを引き
出す配線パターン(データライン2)が走査ライン3と
同方向に形成されており、このデータライン2の配線パ
ターンとTFTの各能動素子1のソース電極Sがその絶
縁性基板5に形成したスルー・ホール7でそれぞれ接続
されている。なお、TFTの能動素子lのドレイン電極
りを引き出し配線パターン(走査ライン3)は従来同様
に形成されている。
次に、上記配線パターンの形成について説明すると、ま
ずTFTの能動素子1を形成した絶縁性基板5にスルー
・ホール7を形成するが、このスルー・ホール7はTF
Tの各能動素子1のソース電極Sに対向する位置に形成
する必要がある。なお、第1図に示されているように、
TFTの各能動素子1のソース電極Sに接続して凸部を
形成し。
この凸部に対向する位置にそのスルー・ホール7を形成
してもよい、また、上記データライン2の配線パターン
は、その形成されたスルー・ホール7に接続するように
形成する必要がある。
続いて、上記TFTの能動素子1.データライン2、走
査ライン3およびスルー・ホール7を形成した絶縁性基
板5をPLZT基板上に1例えば透明接着剤で固定する
が、このとき光シャッタ4の電極と該当するTFTの能
動素子1のドレイン電極り、Sはバンブを介して接続さ
れる。
このように、データライン2および走査ライン3の配線
パターンがそれぞれ絶縁性基板5の両面に、かつ、平行
に形成するようにしたので、それら配線パターンが交差
することもなく、しかもその絶縁性基板5の同一端部(
PLZT基板の一端部方向)に引き出される。したがっ
て、上記PLZT基板をバックライト方式のデイスプレ
ィ装置に用いるため、そのPLZT基板を複数枚並べた
場合、その複数枚のPLZT基板全体の端部から配線パ
ターンを外部に引き出すことができることから、バック
ライト方式のデイスプレィ装置製実現することができる
なお、上記実施例では、TFTの能動素子1のソース電
極Sをスルー・ホール7を介してM縁基板5の反対面に
引き出し、その反対面にデータライン2の配線パターン
を形成するようにしているが、その能動素子1のドレイ
ン電極りの方をスルー・ホール7を介して絶縁性基板5
の反対面に引き出すようにしても、同様の効果を得るこ
とができる。
[発明の効果〕 以上説明したように、この発明のTFTの配線方法によ
れば、 PLZT基板の各画素をアクティブマトリック
ス方式で駆動するTFTの能動素子の各電極を絶縁性基
板に形成するとともに、各電極を外部に引き出す配線パ
ターンが交差しないように、それら配線パターンを絶縁
性基板の両面に分けて形成し、かつ、その両面に形成す
る配線パターンを同一方向としたので、その配線パター
ンを絶縁性基板の一端から引き出すことができ、PLZ
T基板を複数枚並べた場合、その全体の端部からその配
線パターンを引き出すことができ、例えばバックライト
方式のデイスプレィ装置に用いることができるという効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はこの発明の一実施例を示し、TF
Tの配線方法が適用されるTFT形成の絶縁性基板の概
略的部分斜視図、第3図はPLZT光シャッタアレー装
置の概略的部分回路図、第4図は従来のTFTの配線方
法を説明する図である。 図中、1は能動素子(T P Tの)、2はデータライ
ン(配線パターン)、3は走査ライン(配線パターン)
、4は光シャッタ(画素)、5は絶縁性基板(透明部材
)、7はスルー・ホールである。 特許出願人  株式会社 富士通ゼネラル代理人 弁理
士  −大 原 拓 也 第1図 第2図 第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)PLZT基板の各画素をアクティブマトリックス
    方式で駆動するTFTの能動素子の各電極を絶縁性基板
    に形成するとともに、それら能動素子の各電極を引き出
    す配線パターンをそれぞれその絶縁性基板の両面に分け
    て互いに平行に形成し、かつ、そのTFTの形成の裏面
    に形成した配線パターンと各能動素子の電極をスルー・
    ホールを介して接続するようにしたTFTの配線方法。
JP2296238A 1990-11-01 1990-11-01 Tftの配線方法 Pending JPH04170071A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008186024A (ja) * 2002-04-15 2008-08-14 Seiko Epson Corp 電気泳動装置、電気泳動装置の製造方法および電子機器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008186024A (ja) * 2002-04-15 2008-08-14 Seiko Epson Corp 電気泳動装置、電気泳動装置の製造方法および電子機器

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