JPH04168286A - エッチング浴の管理方法 - Google Patents
エッチング浴の管理方法Info
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- JPH04168286A JPH04168286A JP29612990A JP29612990A JPH04168286A JP H04168286 A JPH04168286 A JP H04168286A JP 29612990 A JP29612990 A JP 29612990A JP 29612990 A JP29612990 A JP 29612990A JP H04168286 A JPH04168286 A JP H04168286A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、エツチング浴の管理方法に関し、特に安定剤
及びエツチングスピードの管理方法に関する。
及びエツチングスピードの管理方法に関する。
一般に、エツチング浴は基本的に過酸化水素、硫酸およ
び安定剤で構成されており、エツチング処理を行うこと
により過酸化水素および硫酸が消耗するとエツチング速
度が低下するのでこれらの濃度を一定に維持するため、
一定時間毎にサンプリングし過酸化水素を酸化還元滴定
法で分析し、又硫酸濃度を中和滴定法により分析して各
々の含有量を管理していたが、エツチング洛中の過酸化
水素はエツチング処理による洛中の金属イオン濃度の増
加に伴い、金属イオンとの接触により次のような自己分
解反応を起こす。
び安定剤で構成されており、エツチング処理を行うこと
により過酸化水素および硫酸が消耗するとエツチング速
度が低下するのでこれらの濃度を一定に維持するため、
一定時間毎にサンプリングし過酸化水素を酸化還元滴定
法で分析し、又硫酸濃度を中和滴定法により分析して各
々の含有量を管理していたが、エツチング洛中の過酸化
水素はエツチング処理による洛中の金属イオン濃度の増
加に伴い、金属イオンとの接触により次のような自己分
解反応を起こす。
Ｈ２０２→Ｈ２０＋ １ ／ ２０２
この自己分解反応は、安定剤濃度が低いほど急激に進行
する。また、自己分解反応を抑える為に、安定剤、濃度
を高くしすぎると、エツチング速度が大幅に低下する。
する。また、自己分解反応を抑える為に、安定剤、濃度
を高くしすぎると、エツチング速度が大幅に低下する。
従ってエツチング洛中の金属イオン濃度の増加に伴う安
定剤の濃度管理は重要であるが、エツチング浴が含有す
る安定剤量は極めて微量であり直接的な分析定量が困難
であるため、従来は、過酸化水素の添加量に合わせて所
定量の安定剤を添加していた。
定剤の濃度管理は重要であるが、エツチング浴が含有す
る安定剤量は極めて微量であり直接的な分析定量が困難
であるため、従来は、過酸化水素の添加量に合わせて所
定量の安定剤を添加していた。
また、エツチングスピードに関しては、エツチング槽か
らサンプリングし、あらかじめ荷重を測定した銅板を一
定時間浸漬し、その荷重変化によりエツチングスピード
を測定していた。
らサンプリングし、あらかじめ荷重を測定した銅板を一
定時間浸漬し、その荷重変化によりエツチングスピード
を測定していた。
従来の管理方法では安定剤の量を定期的に知ることがで
きず、適正な安定剤濃度の管理が困難となり、過酸化水
素の自己分解反応の抑制や一定のエツチング速度管理が
困難であること、サンプリングルエツチングスピード測
定という操作を行うことによるタイムラグにより、エツ
チング浴の混成電位が変化し、正確なスピードを測定す
ることが困難であるという課題があった。
きず、適正な安定剤濃度の管理が困難となり、過酸化水
素の自己分解反応の抑制や一定のエツチング速度管理が
困難であること、サンプリングルエツチングスピード測
定という操作を行うことによるタイムラグにより、エツ
チング浴の混成電位が変化し、正確なスピードを測定す
ることが困難であるという課題があった。
本発明の目的は、このような従来方法の欠点を解決した
エツチング浴を安定剤及びエツチングスピードも正確に
管理できるエツチング浴の管理方法を提供することにあ
る。
エツチング浴を安定剤及びエツチングスピードも正確に
管理できるエツチング浴の管理方法を提供することにあ
る。
本発明のエツチング浴の管理方法は、エツチング槽から
一定量のエツチング液をサンプリングする工程と、前記
サンプリング液に含有する過酸化水素量を酸素還元滴定
法により分析し過酸化水素の初期濃度を求める工程と、
更に前記サンプリング液の所定量に対し一定量の金属イ
オンを含有する溶液を添加してから一定時間経過後に酸
化還元滴定法により分析し過酸化水素の濃度を求める工
程と、前記の過酸化水素濃度の変化量に基づきエツチン
グ浴に含有する安定剤の濃度を求め安定剤の設定濃度に
対して不足する安定剤の量を演算し、安定剤の不足量を
エツチング浴に補充する工程と、エツチング液中に一定
面積の銅板を一定時間浸漬し、その重量変化によりエツ
チングスピードを測定する工程と、エツチングスピード
が一定の管理範囲から外れたアラームを発する工程とを
含むことを特徴として構成される。
一定量のエツチング液をサンプリングする工程と、前記
サンプリング液に含有する過酸化水素量を酸素還元滴定
法により分析し過酸化水素の初期濃度を求める工程と、
更に前記サンプリング液の所定量に対し一定量の金属イ
オンを含有する溶液を添加してから一定時間経過後に酸
化還元滴定法により分析し過酸化水素の濃度を求める工
程と、前記の過酸化水素濃度の変化量に基づきエツチン
グ浴に含有する安定剤の濃度を求め安定剤の設定濃度に
対して不足する安定剤の量を演算し、安定剤の不足量を
エツチング浴に補充する工程と、エツチング液中に一定
面積の銅板を一定時間浸漬し、その重量変化によりエツ
チングスピードを測定する工程と、エツチングスピード
が一定の管理範囲から外れたアラームを発する工程とを
含むことを特徴として構成される。
すなわち本発明によれば、安定剤濃度を推定し、不足す
る安定剤の量をエツチング浴に補充するもと及び正確な
エツチングスピードを測定できるという効果が得られる
。
る安定剤の量をエツチング浴に補充するもと及び正確な
エツチングスピードを測定できるという効果が得られる
。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例を説明するためのエツチング浴の構
成を示すブロック図である。
は本発明の一実施例を説明するためのエツチング浴の構
成を示すブロック図である。
一定時間毎にエツチング槽１よりサンプリングしたエツ
チング液中の金属イオン濃度、過酸化水素濃度、硫酸濃
度を自動分析装置５にて分析し、分析した値をコントロ
ーラー６にて演算し、過酸化水素濃度、硫酸濃度を標準
値に合わせる為の補充量を定量ポンプ８，９に伝送し、
各薬液タンクより循環槽４へ補充する。更に、一定時間
毎にエツチング浴を反応セルフにサンプリングし、スタ
ーラ−１０で攪拌しながら一定量の金属溶液（例；銅１
００〜１００００ ＰＰＭ、鉄１０〜１１０００ＰＰ
）をポンプ１１で送液し一定時間経過後に、自動分析装
置５で過酸化水素濃度を分析し、金属イオン添加前の濃
度からの変化量よりエツチング洛中の安定剤濃度をコン
トローラー６にて演算し、不足安定剤添加量を定量ポン
プ１２へ伝送し、循環槽４へ補充する。循環槽４へ補充
された薬液は、循環ポンプ２にて、エツチング槽１へ送
り込まれる。
チング液中の金属イオン濃度、過酸化水素濃度、硫酸濃
度を自動分析装置５にて分析し、分析した値をコントロ
ーラー６にて演算し、過酸化水素濃度、硫酸濃度を標準
値に合わせる為の補充量を定量ポンプ８，９に伝送し、
各薬液タンクより循環槽４へ補充する。更に、一定時間
毎にエツチング浴を反応セルフにサンプリングし、スタ
ーラ−１０で攪拌しながら一定量の金属溶液（例；銅１
００〜１００００ ＰＰＭ、鉄１０〜１１０００ＰＰ
）をポンプ１１で送液し一定時間経過後に、自動分析装
置５で過酸化水素濃度を分析し、金属イオン添加前の濃
度からの変化量よりエツチング洛中の安定剤濃度をコン
トローラー６にて演算し、不足安定剤添加量を定量ポン
プ１２へ伝送し、循環槽４へ補充する。循環槽４へ補充
された薬液は、循環ポンプ２にて、エツチング槽１へ送
り込まれる。
上述した方法により、一定時間毎の分析値に基づき安定
剤の補充を繰り返しながら、エツチング洛中の安定剤濃
度の管理を行う。
剤の補充を繰り返しながら、エツチング洛中の安定剤濃
度の管理を行う。
また、循環ポンプ２より、常時フローセル１３にエツチ
ング液を送液しており、銅板１４を吊したデジタル重量
計１５を下降させ、銅板をエツチング液に一定時間浸漬
させ、エッチングスピードを重量変化量よりコントロー
ラー６にて演算し、管理範囲内を外れる場合は、アラー
ムを発する。
ング液を送液しており、銅板１４を吊したデジタル重量
計１５を下降させ、銅板をエツチング液に一定時間浸漬
させ、エッチングスピードを重量変化量よりコントロー
ラー６にて演算し、管理範囲内を外れる場合は、アラー
ムを発する。
尚、デジタル重量計１５での重量変化量が所定量となる
時間を測定し、管理範囲を外れる場合は、アラームを発
することもできる。
時間を測定し、管理範囲を外れる場合は、アラームを発
することもできる。
前述したように、本発明は、エツチング液中の適正な安
定剤濃度の維持管理及びエツチングスピード管理を可能
にすることにより、 （１）過酸化水素の分解反応を抑制し、過酸化水素の使
用量を低減できる。
定剤濃度の維持管理及びエツチングスピード管理を可能
にすることにより、 （１）過酸化水素の分解反応を抑制し、過酸化水素の使
用量を低減できる。
（２）過酸化水素濃度を一定範囲に維持できることによ
り、安定なエツチングスピードを得ることができる。
り、安定なエツチングスピードを得ることができる。
（３〉エツチングスピードが管理範囲を外れた場合は、
アラームにより検知でき、不具合品発生を防止できる。
アラームにより検知でき、不具合品発生を防止できる。
という効果がある。
第１図は本発明の一実施例を説明するためのエツチング
浴の構成を示すブロック図である。 １・・・エツチング槽、２・・・循環ポンプ、３・・・
熱交換器、４・・・循環槽、５・・・自動分析装置、６
・・・コントローラー（アラーム付き）、７・・・反応
セル、８・・・硫酸用定量ポンプ、９・・・過酸化水素
用定量ポンプ、１０・・・スターラー、１１・・・金属
溶液添加用ポンプ、１２・・・安定剤用定量ポンプ、１
３・・・フローセル、１４・・・銅板、１５・・・デジ
タル重量計、２１・・・過酸化水素タンク、２２・・・
硫酸タンク、２３・・・安定剤タンク、２４・・・金属
溶液タンク。
浴の構成を示すブロック図である。 １・・・エツチング槽、２・・・循環ポンプ、３・・・
熱交換器、４・・・循環槽、５・・・自動分析装置、６
・・・コントローラー（アラーム付き）、７・・・反応
セル、８・・・硫酸用定量ポンプ、９・・・過酸化水素
用定量ポンプ、１０・・・スターラー、１１・・・金属
溶液添加用ポンプ、１２・・・安定剤用定量ポンプ、１
３・・・フローセル、１４・・・銅板、１５・・・デジ
タル重量計、２１・・・過酸化水素タンク、２２・・・
硫酸タンク、２３・・・安定剤タンク、２４・・・金属
溶液タンク。
Claims (1)
- エッチング槽から一定量のエッチング液をサンプリン
グする工程と、前記サンプリング液に含有する過酸化水
素量を酸化還元滴定法により分析し過酸化水素の初期濃
度を求める工程と、更に前記サンプリング液の所定量に
対し一定量の金属イオンを含有する溶液を添加してから
一定時間経過後に酸化還元滴定法により分析し過酸化水
素の濃度を求める工程と、前記の過酸化水素濃度からの
変化量に基づきエッチング浴に含有する安定剤の濃度を
求め安定剤の設定濃度に対して不足する安定剤の量を演
算し安定剤の不足量をエッチング槽に補充する工程と、
エッチング液中に一定面積の銅板を一定時間浸漬し、そ
の重量変化によりエッチングスピードを測定する工程と
、エッチングスピードが一定の管理範囲から外れたらア
ラームを発する工程とを含むことを特徴とするエッチン
グ浴の管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29612990A JPH04168286A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | エッチング浴の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29612990A JPH04168286A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | エッチング浴の管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04168286A true JPH04168286A (ja) | 1992-06-16 |
Family
ID=17829519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29612990A Pending JPH04168286A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | エッチング浴の管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04168286A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009191312A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Nippon Aqua Kk | エッチング制御装置 |
| JP2010243200A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Adeka Corp | 過酸化水素含有水溶液中の過酸化水素濃度の測定方法 |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP29612990A patent/JPH04168286A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009191312A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Nippon Aqua Kk | エッチング制御装置 |
| JP2010243200A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Adeka Corp | 過酸化水素含有水溶液中の過酸化水素濃度の測定方法 |
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