JPH0416748A - 全反射吸収スペクトル測定装置 - Google Patents
全反射吸収スペクトル測定装置Info
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- JPH0416748A JPH0416748A JP2122292A JP12229290A JPH0416748A JP H0416748 A JPH0416748 A JP H0416748A JP 2122292 A JP2122292 A JP 2122292A JP 12229290 A JP12229290 A JP 12229290A JP H0416748 A JPH0416748 A JP H0416748A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 6
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- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 2
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- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、赤外顕微鏡システムを利用した全反射吸収ス
ペクトル測定装置に間する。
ペクトル測定装置に間する。
（従来の技術）
赤外分光分析法の持つ高い物質同定能力を、より微細な
試料の測定に利用するために顕微鏡システムに赤外分光
光度計を組込んだ赤外分光分析装置か実用化されている
。
試料の測定に利用するために顕微鏡システムに赤外分光
光度計を組込んだ赤外分光分析装置か実用化されている
。
このような装置によれば、赤外顕微鏡システムにあける
小さなビームを利用して試料の微小部分についての分析
が可能になる。
小さなビームを利用して試料の微小部分についての分析
が可能になる。
一方、赤外分光分析法の−っである全反射吸収スペクト
ル測定法は、試料の表面の性状を測定するには極めて有
用な手法であるが、これは全反射を利用する関係上、並
行平板プリズムや、三角プリズムに試料を９着させ、臨
界角以上で平行な赤外光を試料面に入射させることか必
要である。
ル測定法は、試料の表面の性状を測定するには極めて有
用な手法であるが、これは全反射を利用する関係上、並
行平板プリズムや、三角プリズムに試料を９着させ、臨
界角以上で平行な赤外光を試料面に入射させることか必
要である。
（発明か解決しようとする課題）
しかしながら、赤外顕ｇ！Ｉ鏡は、対物光学系にカセグ
レンミラーを使用するとともに、顕微鏡システムを構成
する禮眼レンズ系と赤外分析システムの赤外検出系とに
試料からの反射光を分割するように構成されている。
レンミラーを使用するとともに、顕微鏡システムを構成
する禮眼レンズ系と赤外分析システムの赤外検出系とに
試料からの反射光を分割するように構成されている。
このため、平行平板プリズムや三角プリズムを利用する
従来の全反射吸光分析法では、試料表面に対して臨界角
以上で赤外線を入射させることかできず、赤外顕微鏡シ
ステムを利用した全反射スペクトル測定が不可能であっ
た。
従来の全反射吸光分析法では、試料表面に対して臨界角
以上で赤外線を入射させることかできず、赤外顕微鏡シ
ステムを利用した全反射スペクトル測定が不可能であっ
た。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって
、その目的とするところは赤外顕微鏡システムを利用し
て全反射級数スペクトルの測定を行なうことかでき、し
かも極めて微小な領域についての測定結果を得ることが
できる新規な全反射吸収スペクトル測定袋Ｍを提供する
ことある。
、その目的とするところは赤外顕微鏡システムを利用し
て全反射級数スペクトルの測定を行なうことかでき、し
かも極めて微小な領域についての測定結果を得ることが
できる新規な全反射吸収スペクトル測定袋Ｍを提供する
ことある。
（課題を解決するための手段）
このような問題を解消するために本発明においては、顕
微鏡の対物レンズ系を構成するカセグレンミラーと、該
カセグレンミラーと試料の間に配置され、前記カセグレ
ンミラー、及び試料に対向する２つの面が並行で、かつ
周囲か球面の一部をなすブ１ノズムと、前記カセグレン
ミラーからの反射光を受ける受光手段を備えるようにし
た。
微鏡の対物レンズ系を構成するカセグレンミラーと、該
カセグレンミラーと試料の間に配置され、前記カセグレ
ンミラー、及び試料に対向する２つの面が並行で、かつ
周囲か球面の一部をなすブ１ノズムと、前記カセグレン
ミラーからの反射光を受ける受光手段を備えるようにし
た。
（作用）
カセグレンミラーからの光をプリズムの周面により臨界
角以上で試料に入射させる一方、試料からの反射光を平
行な２面によりカセグレンミラにより収束させて受光手
段に反射きせる。
角以上で試料に入射させる一方、試料からの反射光を平
行な２面によりカセグレンミラにより収束させて受光手
段に反射きせる。
この時、試料に照射される赤外光はカセグレンミラーに
より絞り込まれているため、極めて微小となっているか
ら、試料の微小な面積についての全反射吸光情報を得る
ことができる。
より絞り込まれているため、極めて微小となっているか
ら、試料の微小な面積についての全反射吸光情報を得る
ことができる。
（実施例）
そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すものであって、図中符
号１は、顕微鏡システムの対物光学系を構成するカセグ
レンミラーで、凹面鏡２と凸面鏡３により構成され、凹
面鏡２に形成されたアパーチャ４に対向して配置された
ハーフミラ−５を介して試料からの反射光を分析系の赤
外検出器６と、顕微鏡の接眼光学系７の二つの光路に分
割する一方、赤外光源８からの光をアパーチャ４を介し
て試料に照射するように構成されている。
号１は、顕微鏡システムの対物光学系を構成するカセグ
レンミラーで、凹面鏡２と凸面鏡３により構成され、凹
面鏡２に形成されたアパーチャ４に対向して配置された
ハーフミラ−５を介して試料からの反射光を分析系の赤
外検出器６と、顕微鏡の接眼光学系７の二つの光路に分
割する一方、赤外光源８からの光をアパーチャ４を介し
て試料に照射するように構成されている。
９は、本発明か特徴とする全反射吸光システムを構成す
るプリズムであって、第２．３図に示したように試料Ｓ
とカセグレンミラー１に対向する面は互に並行な平面１
０．１１か、また周囲をカセグレンミラー光学系からの
光か試料平面に対しで臨界角８以上、例えば４０度以上
となるような球面］２が構成されている。なお、図中符
号１３は分光器を示す。
るプリズムであって、第２．３図に示したように試料Ｓ
とカセグレンミラー１に対向する面は互に並行な平面１
０．１１か、また周囲をカセグレンミラー光学系からの
光か試料平面に対しで臨界角８以上、例えば４０度以上
となるような球面］２が構成されている。なお、図中符
号１３は分光器を示す。
この実施例において、試料の全反射吸光を測定すべく、
試料Ｓの表面に接してプリズム９を配置し、赤外光源８
からの赤外光を照射すると、赤外光は、ハーフミラ−５
によりカセグレンミラーの方向に反射される。カセグレ
ンミラー１のアパチャ４から入射した赤外光Ｌ１は、凸
面鏡３により凹面鏡２側に反射され（Ｌ２）、凹面鏡２
に収束されて（Ｌ３）プリズム９の周面から臨界角以上
の角度でもっで試料に入射する（Ｌ４）。
試料Ｓの表面に接してプリズム９を配置し、赤外光源８
からの赤外光を照射すると、赤外光は、ハーフミラ−５
によりカセグレンミラーの方向に反射される。カセグレ
ンミラー１のアパチャ４から入射した赤外光Ｌ１は、凸
面鏡３により凹面鏡２側に反射され（Ｌ２）、凹面鏡２
に収束されて（Ｌ３）プリズム９の周面から臨界角以上
の角度でもっで試料に入射する（Ｌ４）。
試料Ｓに到達した赤外光は、試料Ｓの成分等により吸１
８ヲ受けた債、反射されてプリズム９に入射し、平面］
１．１０からカセグレンミラー１の凹面鏡２に入射する
（Ｌ５）。凹面鏡２て反射された赤外光は凸面鏡３によ
り反射されて（Ｌ６）アパーチャ４からハーフミラ−５
を介して分光器］３に入射し、赤外検出器６によりスペ
クトル解析が行なわれる。これにより試料の性質により
決る吸光スペクトルか測定されることになる。
８ヲ受けた債、反射されてプリズム９に入射し、平面］
１．１０からカセグレンミラー１の凹面鏡２に入射する
（Ｌ５）。凹面鏡２て反射された赤外光は凸面鏡３によ
り反射されて（Ｌ６）アパーチャ４からハーフミラ−５
を介して分光器］３に入射し、赤外検出器６によりスペ
クトル解析が行なわれる。これにより試料の性質により
決る吸光スペクトルか測定されることになる。
ところで、プリズム９に入射する段階での赤外光は、カ
セグレンミラーにより収束されているためにビーム径か
極めて小さくし、たがってプリズム９はサイズか極めて
小さいもので十分に機能するばかりでなく、全反射吸光
測定の対象領域も極めて小きく絞られること１こなる。
セグレンミラーにより収束されているためにビーム径か
極めて小さくし、たがってプリズム９はサイズか極めて
小さいもので十分に機能するばかりでなく、全反射吸光
測定の対象領域も極めて小きく絞られること１こなる。
（発明の効果）
以上説明したように本発明においでは、顕微鏡の対物レ
ンズ系を構成するカセグレンミラーと、該カセグレンミ
ラーと試料の間に配置され、前記カセグレンミラー、及
び試料に対向する２つの面か並行で、かつ周囲が球面の
一部をなすプリズムと、前記カセグレンミラーからの反
射光を受ける受光手段を備えるようにしたので、赤外顕
微鏡システムを利用して全反射吸光分析を実現すること
かでき、また測定領域がカセグレンミラーにより規制さ
れで極めて小さいため、試料の極く狭い領域についての
分析か可能となり、カセグレンミラー光学系に対して試
料を相対的に移Ｉ７１させることにより２次元的な測定
結果を得ることができるばかりでなく、試料の表面に極
〈小さな平坦部が存在すれば測定が可能となる。
ンズ系を構成するカセグレンミラーと、該カセグレンミ
ラーと試料の間に配置され、前記カセグレンミラー、及
び試料に対向する２つの面か並行で、かつ周囲が球面の
一部をなすプリズムと、前記カセグレンミラーからの反
射光を受ける受光手段を備えるようにしたので、赤外顕
微鏡システムを利用して全反射吸光分析を実現すること
かでき、また測定領域がカセグレンミラーにより規制さ
れで極めて小さいため、試料の極く狭い領域についての
分析か可能となり、カセグレンミラー光学系に対して試
料を相対的に移Ｉ７１させることにより２次元的な測定
結果を得ることができるばかりでなく、試料の表面に極
〈小さな平坦部が存在すれば測定が可能となる。
第１図は本発明の一案施例を示す装置の構成図、第２図
は同上装置の要部の光学系を示す図、第３図（イ）（ロ
）は、それぞれ同上装置のプリズムを示す側面図と上面
図ある。
は同上装置の要部の光学系を示す図、第３図（イ）（ロ
）は、それぞれ同上装置のプリズムを示す側面図と上面
図ある。
Claims (1)
- 顕微鏡の対物レンズ系を構成するカセグレンミラーと、
該カセグレンミラーと試料の間に配置され、前記カセグ
レンミラー、及び試料に対向する２つの面が並行で、か
つ周囲が球面の一部をなすプリズムと、前記カセグレン
ミラーからの反射光を受ける受光手段を備えてなる全反
射吸収スペクトル測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12229290A JP2943236B2 (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 全反射吸収スペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12229290A JP2943236B2 (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 全反射吸収スペクトル測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0416748A true JPH0416748A (ja) | 1992-01-21 |
| JP2943236B2 JP2943236B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=14832347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12229290A Expired - Fee Related JP2943236B2 (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 全反射吸収スペクトル測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2943236B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7798484B2 (en) | 2004-05-14 | 2010-09-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Sheet feeder |
-
1990
- 1990-05-11 JP JP12229290A patent/JP2943236B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7798484B2 (en) | 2004-05-14 | 2010-09-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Sheet feeder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2943236B2 (ja) | 1999-08-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |