JPH0613480Y2 - 顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置 - Google Patents
顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置Info
- Publication number
- JPH0613480Y2 JPH0613480Y2 JP9316888U JP9316888U JPH0613480Y2 JP H0613480 Y2 JPH0613480 Y2 JP H0613480Y2 JP 9316888 U JP9316888 U JP 9316888U JP 9316888 U JP9316888 U JP 9316888U JP H0613480 Y2 JPH0613480 Y2 JP H0613480Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- absorption spectrum
- reflection absorption
- infrared
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は固体表面に付着した物質、例えば金属被膜の分
子構造を調べるのに用いられ、顕微鏡のステージに保持
された試料の測定面に赤外光を収束させて照射し、その
反射光強度を該顕微鏡を介して検知し、反射吸収スペク
トルを測定する顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置に
関する。
子構造を調べるのに用いられ、顕微鏡のステージに保持
された試料の測定面に赤外光を収束させて照射し、その
反射光強度を該顕微鏡を介して検知し、反射吸収スペク
トルを測定する顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置に
関する。
［従来の技術］ 従来の顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置では、第４
図に示す如く、ステージ１０上に試料１２を、その測定
面をステージ１０の上面に平行にして載置し、顕微鏡の
光軸Ａに近設された反射鏡１４により赤外光を光軸Ａに
沿って下方へ反射させ、次いで集光鏡としてのカセグレ
ン副鏡１６及びカセグレン主鏡１８の左半分によりこの
赤外光を試料１２上に収束させ、その反射光を対物鏡と
してのカセグレン主鏡１８及びカセグレン副鏡１６の右
半分を通し、検出器（不図示）に導いて赤外反射吸収ス
ペクトルを測定していた。
図に示す如く、ステージ１０上に試料１２を、その測定
面をステージ１０の上面に平行にして載置し、顕微鏡の
光軸Ａに近設された反射鏡１４により赤外光を光軸Ａに
沿って下方へ反射させ、次いで集光鏡としてのカセグレ
ン副鏡１６及びカセグレン主鏡１８の左半分によりこの
赤外光を試料１２上に収束させ、その反射光を対物鏡と
してのカセグレン主鏡１８及びカセグレン副鏡１６の右
半分を通し、検出器（不図示）に導いて赤外反射吸収ス
ペクトルを測定していた。
［考案が解決しようとする課題］ しかし、この装置では、数十μｍ厚の膜の分子構造を調
べるのには適しているが、感度が低いため、数百Å程度
の膜厚の酸化膜、窒化膜又はLB膜等の分子構造を調べる
ことができなかった。
べるのには適しているが、感度が低いため、数百Å程度
の膜厚の酸化膜、窒化膜又はLB膜等の分子構造を調べる
ことができなかった。
本考案の目的は、数百Å程度の膜厚であっても、その膜
の分子構造を調べることができる顕微赤外反射吸収スペ
クトル測定装置を提供することにある。
の分子構造を調べることができる顕微赤外反射吸収スペ
クトル測定装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成するために、本考案では、顕微鏡のステ
ージに保持された試料の測定面に赤外光を収束させて照
射し、その反射光強度を該顕微鏡を介して検知し、反射
吸収スペクトルを測定する顕微赤外反射吸収スペクトル
測定装置において、該試料の該測定面内に該顕微鏡の光
軸が存在するように該試料を該ステージに保持する試料
ホルダと、該試料の該測定面へ赤外ｐ偏光をステージ下
方から高入射角で横断面直径１mm以下に収束照射させる
集光鏡とを備えている。
ージに保持された試料の測定面に赤外光を収束させて照
射し、その反射光強度を該顕微鏡を介して検知し、反射
吸収スペクトルを測定する顕微赤外反射吸収スペクトル
測定装置において、該試料の該測定面内に該顕微鏡の光
軸が存在するように該試料を該ステージに保持する試料
ホルダと、該試料の該測定面へ赤外ｐ偏光をステージ下
方から高入射角で横断面直径１mm以下に収束照射させる
集光鏡とを備えている。
［実施例］ 図面に基づいて本考案の一実施例を説明する。
第１図は顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置の要部を
拡大して示し、第２図は試料及び試料ホルダを除いた状
態の該装置の全体構成を示す。
拡大して示し、第２図は試料及び試料ホルダを除いた状
態の該装置の全体構成を示す。
第１図において、板状の試料１２、例えばSiウエーハの
測定面１２ａには、被測定物としての数十Å程度の厚さ
の膜、例えば酸化膜又は窒化膜等が被着されている。試
料１２は、測定面１２ａ上に顕微鏡の光軸Ａが存在する
ように試料ホルダ１３に保持されている。試料ホルダ１
３はステージ１０上に固定されている。このステージ１
０は、X-Y-Zステージであり、光軸Ａに垂直な面内及び
光軸Ａ方向に移動可能となっている。
測定面１２ａには、被測定物としての数十Å程度の厚さ
の膜、例えば酸化膜又は窒化膜等が被着されている。試
料１２は、測定面１２ａ上に顕微鏡の光軸Ａが存在する
ように試料ホルダ１３に保持されている。試料ホルダ１
３はステージ１０上に固定されている。このステージ１
０は、X-Y-Zステージであり、光軸Ａに垂直な面内及び
光軸Ａ方向に移動可能となっている。
第２図において、フーリエ分光光度計２０に内設された
マイケルソン干渉計（不図示）からの赤外干渉光が、フ
ーリエ分光光度計２０から射出されて顕微鏡内へ導か
れ、偏光子２２により電気ベクトルが第２図上下方向の
直線偏光にされ、次いで光軸Ａの下方に配置された反射
鏡２４によりステージ１０側へ反射され、カセグレン副
鏡２６及びカセグレン主鏡２８からなる集光鏡の左半分
により試料１２の測定面１２ａにｐ偏光が収束される。
収束点の光束直径は１mm以下であることが好ましい。次
いで測定面１２ａで反射吸収され、カセグレン主鏡１８
及びカセグレン副鏡１６からなる対物鏡の左半分を通
り、アパーチャ３０の位置に収束され、調整可能なアパ
ーチャ３０の開口、半透鏡３２及びベルトランレンズ３
４を通って接眼レンズ３６に入射され、操作者により測
定面１２ａ上の測定点が視認される。
マイケルソン干渉計（不図示）からの赤外干渉光が、フ
ーリエ分光光度計２０から射出されて顕微鏡内へ導か
れ、偏光子２２により電気ベクトルが第２図上下方向の
直線偏光にされ、次いで光軸Ａの下方に配置された反射
鏡２４によりステージ１０側へ反射され、カセグレン副
鏡２６及びカセグレン主鏡２８からなる集光鏡の左半分
により試料１２の測定面１２ａにｐ偏光が収束される。
収束点の光束直径は１mm以下であることが好ましい。次
いで測定面１２ａで反射吸収され、カセグレン主鏡１８
及びカセグレン副鏡１６からなる対物鏡の左半分を通
り、アパーチャ３０の位置に収束され、調整可能なアパ
ーチャ３０の開口、半透鏡３２及びベルトランレンズ３
４を通って接眼レンズ３６に入射され、操作者により測
定面１２ａ上の測定点が視認される。
また、半透鏡３２により反射された赤外光は、光検出器
３８により光電変換され、データ処理装置４０に供給さ
れる。データ処理装置４０は、フーリエ分光光度計２０
から供給されるサンプリング信号のタイミングで光検出
器３８からの信号を読み取り、そのインターフェログラ
ムをフーリエ変換して赤外スペクトルを得る。
３８により光電変換され、データ処理装置４０に供給さ
れる。データ処理装置４０は、フーリエ分光光度計２０
から供給されるサンプリング信号のタイミングで光検出
器３８からの信号を読み取り、そのインターフェログラ
ムをフーリエ変換して赤外スペクトルを得る。
試料１２の測定面１２ａに対する赤外光の入射角及び反
射角の好ましい範囲は８５〜８９°程度である。この角
度及びｐ偏光により、測定面１２ａ上の入射点とカセグ
レン主鏡１８との間に赤外光の定常波が生じ、測定感度
が向上する。
射角の好ましい範囲は８５〜８９°程度である。この角
度及びｐ偏光により、測定面１２ａ上の入射点とカセグ
レン主鏡１８との間に赤外光の定常波が生じ、測定感度
が向上する。
第３図は本実施例装置を用いて測定した赤外光の反射吸
収スペクトルであり、横軸は波数（cm−１）、縦軸は透
過率（％）である。
収スペクトルであり、横軸は波数（cm−１）、縦軸は透
過率（％）である。
測定条件は次の通りである。
試料１２：アルミニウム板上に形成された厚さ数百Åの
ＳｉＯ２薄膜 測定面１２ａに対する赤外光の入射角及び反射角 ：
８６° フーリエ分光光度計２０：型式 FT/IR-8000 日本分光工業株式会社製 偏光顕微鏡：型式 MICRO-10 日本分光工業株式会社製 第３図は、従来装置では得られなかったＳｉ−Ｏ−Ｓｉ
の原子間伸縮による吸収Ａが測定できることを示す。図
中、点線は第４図に示すように試料１２を配置して上記
装置を用いた場合の透過率を示す。
ＳｉＯ２薄膜 測定面１２ａに対する赤外光の入射角及び反射角 ：
８６° フーリエ分光光度計２０：型式 FT/IR-8000 日本分光工業株式会社製 偏光顕微鏡：型式 MICRO-10 日本分光工業株式会社製 第３図は、従来装置では得られなかったＳｉ−Ｏ−Ｓｉ
の原子間伸縮による吸収Ａが測定できることを示す。図
中、点線は第４図に示すように試料１２を配置して上記
装置を用いた場合の透過率を示す。
［考案の効果］ 以上説明した如く、本考案に係る顕微赤外反射吸収スペ
クトル測定装置では、試料の測定面内に顕微鏡の光軸が
存在するように試料ホルダで試料をステージに保持し、
集光鏡により赤外ｐ偏光をステージ下方から試料の測定
面へ高入射角で横断面直径１mm以下に収束照射するの
で、反射光に定常波が生じて検出感度が高くなり、固体
試料の表面に形成された数百Å程度の厚さの薄膜物質の
反射吸収スペクトルを得ることができ、その分子構造を
調べることが可能になるという優れた効果を奏する。
クトル測定装置では、試料の測定面内に顕微鏡の光軸が
存在するように試料ホルダで試料をステージに保持し、
集光鏡により赤外ｐ偏光をステージ下方から試料の測定
面へ高入射角で横断面直径１mm以下に収束照射するの
で、反射光に定常波が生じて検出感度が高くなり、固体
試料の表面に形成された数百Å程度の厚さの薄膜物質の
反射吸収スペクトルを得ることができ、その分子構造を
調べることが可能になるという優れた効果を奏する。
第１図乃至第３図は本考案の一実施例に係り、 第１図は顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置の要部構
成図、 第２図は試料及び試料ホルダを除いた状態の顕微赤外反
射吸収スペクトル測定装置の全体構成図、 第３図は本実施例装置及び従来装置を用いて測定した反
射吸収スペクトル図である。 第４図は従来例の顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置
の要部構成図である。 図中、 １０はステージ １２は試料 １６、２６はカセグレン副鏡 １８、２８はカセグレン主鏡 ２０はフーリエ分光光度計 ２２は偏光子 ２４は反射鏡 ３０はアパーチャ ３２は半透鏡 ３８は光検出器
成図、 第２図は試料及び試料ホルダを除いた状態の顕微赤外反
射吸収スペクトル測定装置の全体構成図、 第３図は本実施例装置及び従来装置を用いて測定した反
射吸収スペクトル図である。 第４図は従来例の顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置
の要部構成図である。 図中、 １０はステージ １２は試料 １６、２６はカセグレン副鏡 １８、２８はカセグレン主鏡 ２０はフーリエ分光光度計 ２２は偏光子 ２４は反射鏡 ３０はアパーチャ ３２は半透鏡 ３８は光検出器
Claims (1)
- 【請求項１】顕微鏡のステージ(10)に保持された試料(1
2)の測定面に赤外光を収束させて照射し、その反射光強
度を該顕微鏡を介して検知し、反射吸収スペクトルを測
定する顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置において、 該試料(12)の該測定面内に該顕微鏡の光軸が存在するよ
うに該試料(12)を該ステージ(10)に保持する試料ホルダ
(13)と、 該試料(12)の該測定面へ赤外ｐ偏光を該ステージ下方か
ら高入射角で横断面直径１mm以下に収束照射させる集光
鏡と、 を有することを特徴とする顕微赤外反射吸収スペクトル
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9316888U JPH0613480Y2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9316888U JPH0613480Y2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214057U JPH0214057U (ja) | 1990-01-29 |
| JPH0613480Y2 true JPH0613480Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=31317617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9316888U Expired - Lifetime JPH0613480Y2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613480Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3637192B2 (ja) * | 1997-01-22 | 2005-04-13 | 新日本製鐵株式会社 | 電磁鋼脱炭焼鈍板の分光分析装置および分光分析方法 |
-
1988
- 1988-07-14 JP JP9316888U patent/JPH0613480Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0214057U (ja) | 1990-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5042951A (en) | High resolution ellipsometric apparatus | |
| CN102269623B (zh) | 垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统 | |
| EP0652415B1 (en) | A device for measuring the thickness of thin films | |
| EP0396409B1 (en) | High resolution ellipsometric apparatus | |
| JP2004504590A (ja) | コンパクトな分光エリプソメータ | |
| US20230184706A1 (en) | Optical device and measurement method for measuring in-plane thermal conductivity of sub-millimeter-scale sample | |
| JP4399126B2 (ja) | 分光エリプソメータ | |
| JP4909480B2 (ja) | 層および表面特性の光学測定方法およびその装置 | |
| JP2000065536A (ja) | 膜厚及び光学定数の測定方法及び装置 | |
| JP3137404B2 (ja) | 全反射測定装置 | |
| USRE38153E1 (en) | Two-dimensional beam deflector | |
| JP2005530152A (ja) | 空間分解能の高い色消し分光偏光解析器 | |
| JPH0613480Y2 (ja) | 顕微赤外反射吸収スペクトル測定装置 | |
| JPS62266439A (ja) | 分光偏光測定装置 | |
| JPS5979104A (ja) | 光学装置 | |
| KR102016452B1 (ko) | 타원해석기 | |
| JPH0541407Y2 (ja) | ||
| Mainguy et al. | Description and calibration of a fully automated infrared scatterometer | |
| JPH11101739A (ja) | エリプソメトリ装置 | |
| JPH0510872A (ja) | 顕微赤外ａｔｒ測定装置 | |
| JP2943236B2 (ja) | 全反射吸収スペクトル測定装置 | |
| JPH03285147A (ja) | 顕微赤外測定装置 | |
| JP3519605B2 (ja) | エリプソメトリ装置 | |
| JPH053538B2 (ja) | ||
| JPH01217240A (ja) | フーリエ変換反射吸収赤外分光用偏光装置 |