JPH0415U - - Google Patents

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JPH0415U
JPH0415U JP3821290U JP3821290U JPH0415U JP H0415 U JPH0415 U JP H0415U JP 3821290 U JP3821290 U JP 3821290U JP 3821290 U JP3821290 U JP 3821290U JP H0415 U JPH0415 U JP H0415U
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JP
Japan
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vacuum
main valve
control port
negative pressure
pressure chamber
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  • Safety Valves (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の真空レギユレータの実施例を
示す縦断面図、第２図は第１図の真空レギユレー
タを組み込んだ、被検サンプルの検査ラインの構
成例を示す接続図である。 Ｒ……真空レギユレータ、Ｖ……真空ポンプ、
Ｓ……被検サンプル（真空機器）、Ｆ……流量計
、Ｃ……流量調整バルブ、Ｍ……真空圧力計、１
１……ハウジング、１２……真空ポート、１３…
…制御ポート、１４……連通路、１５……主弁、
１６……圧縮ばね、１７……バルブシート、１８
……負圧室、１９……画成板、２０……大気室、
２１……リリーフ弁、２１ａ……ダイアフラム、
２１ｂ……バルブボデイ、２１ｃ……リリーフ孔
、２２……大気孔、２３……連動弁軸、２４……
連通路、２５……圧縮ばね、２６……ばね受プレ
ート、２７……真空調圧ボルト、２７ａ……ノブ
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空源に接続される真空ポートと； 真空機器に接続される制御ポートと； この真空ポートと制御ポートの間の連通路を開
    閉する、常時は該連通路を閉じる方向に移動付勢
    された主弁と； 上記制御ポートに連通する負圧室と； この負圧室の真空度の高低に応じ、上記主弁に
    対して離隔または接近移動するリリーフ弁と； このリリーフ弁が主弁から離れる方向に移動し
    たとき負圧室を大気に連通させるリリーフ手段と
    ； このリリーフ弁が主弁側に移動したとき該主弁
    を開く方向に移動させる連動移動手段と； を備えたことを特徴とする真空レギユレータ。 (2) 請求項１において、上記各要素は、一体の
    ハウジング内に設けられていて、このハウジング
    内に、上記制御ポートと真空ポートを連通させる
    連通路が形成されている真空レギユレータ。
JP1990038212U 1990-04-10 1990-04-10 真空レギユレータ Expired - Lifetime JP2588794Y2 (ja)

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JPH0415U true JPH0415U (ja) 1992-01-06
JP2588794Y2 JP2588794Y2 (ja) 1999-01-13

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002312037A (ja) * 2001-04-17 2002-10-25 Smc Corp ゲージハンドル型真空減圧弁

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JP2588794Y2 (ja) 1999-01-13

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