JP2588794Y2 - 真空レギユレータ - Google Patents
真空レギユレータInfo
- Publication number
- JP2588794Y2 JP2588794Y2 JP1990038212U JP3821290U JP2588794Y2 JP 2588794 Y2 JP2588794 Y2 JP 2588794Y2 JP 1990038212 U JP1990038212 U JP 1990038212U JP 3821290 U JP3821290 U JP 3821290U JP 2588794 Y2 JP2588794 Y2 JP 2588794Y2
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- JP
- Japan
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- vacuum
- main valve
- pressure
- valve
- port
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- Safety Valves (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「技術分野」 本考案は、取出真空圧力を調整することができる真空
レギュレータに関する。
レギュレータに関する。
「従来技術およびその問題点」 真空機器の特性検査は、基本的には、被検サンプルを
真空源に接続し、被検サンプルを流れる空気の真空度を
設定し、その流量を測定して行なわれる。しかし従来の
検査方法では、真空度の設定が難しく、また被検サンプ
ル毎に真空ポンプを必要とするため、能率的な検査を行
なうことができなかった。
真空源に接続し、被検サンプルを流れる空気の真空度を
設定し、その流量を測定して行なわれる。しかし従来の
検査方法では、真空度の設定が難しく、また被検サンプ
ル毎に真空ポンプを必要とするため、能率的な検査を行
なうことができなかった。
「考案の目的」 本考案は、真空度の設定が容易で、一台の真空ポンプ
で複数の被検サンプル（真空機器）を同時に検査するこ
とができる真空レギュレータを得ることを目的とする。
で複数の被検サンプル（真空機器）を同時に検査するこ
とができる真空レギュレータを得ることを目的とする。
また本考案は、主弁が開いたときの平衡バランスが取
りやすく、安定した動作が得られる真空レギュレータを
目的とする。
りやすく、安定した動作が得られる真空レギュレータを
目的とする。
さらに本考案は、特別な配管を要することなく、真空
ポンプと被検サンプルの間に挿入するだけで使用可能な
真空レギュレータを得ることを目的とする。
ポンプと被検サンプルの間に挿入するだけで使用可能な
真空レギュレータを得ることを目的とする。
「考案の概要」 本考案の真空レギュレータは、真空源に接続される真
空ポートと；真空機器に接続される制御ポートと；この
真空ポートと制御ポートの間の連通路と；常時はこの連
通路を閉じる方向に移動付勢され、制御ポートの真空度
が低下したとき該連通路を開く主弁と；この主弁が制御
ポートの真空度の低下により開弁方向に移動するとき該
主弁によりその体積を減じる室であって、常時真空ポー
ト圧力が導かれ、主弁に常時真空ポート圧力と制御ポー
ト圧力の差圧を及ぼす主弁真空室と；制御ポートに連通
する負圧室と；この負圧室の真空度の高低に応じ、主弁
に対して離隔または接近移動するダイアフラムと；この
ダイアフラムが主弁から離れる方向に移動したとき負圧
室を大気に連通させる、該ダイアフラムに設けたリリー
フ弁と；ダイアフラムが主弁側に移動したとき、リリー
フ弁を閉じて、該主弁を開く方向に移動させる連動移動
手段と；を備えたことを特徴としている。
空ポートと；真空機器に接続される制御ポートと；この
真空ポートと制御ポートの間の連通路と；常時はこの連
通路を閉じる方向に移動付勢され、制御ポートの真空度
が低下したとき該連通路を開く主弁と；この主弁が制御
ポートの真空度の低下により開弁方向に移動するとき該
主弁によりその体積を減じる室であって、常時真空ポー
ト圧力が導かれ、主弁に常時真空ポート圧力と制御ポー
ト圧力の差圧を及ぼす主弁真空室と；制御ポートに連通
する負圧室と；この負圧室の真空度の高低に応じ、主弁
に対して離隔または接近移動するダイアフラムと；この
ダイアフラムが主弁から離れる方向に移動したとき負圧
室を大気に連通させる、該ダイアフラムに設けたリリー
フ弁と；ダイアフラムが主弁側に移動したとき、リリー
フ弁を閉じて、該主弁を開く方向に移動させる連動移動
手段と；を備えたことを特徴としている。
この真空レギュレータによると、制御ポートの真空度
に変化が生じると、その真空度変動に応じてダイアフラ
ムとリリーフ弁が移動し、真空度が高い（圧力が低い）
ときは真空を大気に逃がして制御ポートの真空度を下
げ、真空度が低い（圧力が高い）ときは真空ポートと制
御ポートを連通させて制御ポートの真空度を上げること
ができる。
に変化が生じると、その真空度変動に応じてダイアフラ
ムとリリーフ弁が移動し、真空度が高い（圧力が低い）
ときは真空を大気に逃がして制御ポートの真空度を下
げ、真空度が低い（圧力が高い）ときは真空ポートと制
御ポートを連通させて制御ポートの真空度を上げること
ができる。
そして、主弁真空室には、常時真空ポートの真空圧が
導かれているため、主弁は制御ポート圧力と真空ポート
圧力との差圧が作用する。真空ポート圧力の圧力変動は
一般的に小さいため、開弁時の主弁の平衡バランスが取
りやすく、動作が安定する。
導かれているため、主弁は制御ポート圧力と真空ポート
圧力との差圧が作用する。真空ポート圧力の圧力変動は
一般的に小さいため、開弁時の主弁の平衡バランスが取
りやすく、動作が安定する。
真空度の調整は、リリーフ弁が移動を開始する負圧力
の調整、例えばばね力の調節によって簡単に行なうこと
ができる。
の調整、例えばばね力の調節によって簡単に行なうこと
ができる。
本考案の真空レギュレータの構成要素は、一体のハウ
ジング内に設けるのが実際的であり、このハウジング内
に、制御ポートと真空ポートを連通させる連通路を形成
することにより、特別な配管を必要としない真空レギュ
レータが得られる。
ジング内に設けるのが実際的であり、このハウジング内
に、制御ポートと真空ポートを連通させる連通路を形成
することにより、特別な配管を必要としない真空レギュ
レータが得られる。
「考案の実施例」 以下図示実施例について本考案を説明する。本考案の
真空レギュレータＲのハウジング11は、第１図に示すよ
うに、アッパハウジング11aとロワハウジング11bからな
っている。ロワハウジング11bには、図の右方に真空ポ
ート12、左方に制御ポート13がそれぞれ開口し、この真
空ポート12と制御ポート13は連通路14によって連通して
いる。真空ポート12は真空ポンプＶに接続され、制御ポ
ート13は被検サンプル（真空機器）Ｓに接続される。連
通路14には主弁15が配設されている。この主弁15は、圧
縮ばね16により、常時はバルブシート17に弾接して、こ
の連通路14を閉じる。
真空レギュレータＲのハウジング11は、第１図に示すよ
うに、アッパハウジング11aとロワハウジング11bからな
っている。ロワハウジング11bには、図の右方に真空ポ
ート12、左方に制御ポート13がそれぞれ開口し、この真
空ポート12と制御ポート13は連通路14によって連通して
いる。真空ポート12は真空ポンプＶに接続され、制御ポ
ート13は被検サンプル（真空機器）Ｓに接続される。連
通路14には主弁15が配設されている。この主弁15は、圧
縮ばね16により、常時はバルブシート17に弾接して、こ
の連通路14を閉じる。
アッパとロワのハウジング11aと11bの間には、リリー
フ弁21のダイアフラム21aの周縁が挟着されている。こ
のリリーフ弁21のダイアフラム21aは、アッパハウジン
グ11a内に負圧室18を画成し、ロワハウジング11b内に設
けた画成板19との間に大気室20を画成する。大気室20
は、ロワハウジング11bに穿けた大気孔22によって大気
と連通している。
フ弁21のダイアフラム21aの周縁が挟着されている。こ
のリリーフ弁21のダイアフラム21aは、アッパハウジン
グ11a内に負圧室18を画成し、ロワハウジング11b内に設
けた画成板19との間に大気室20を画成する。大気室20
は、ロワハウジング11bに穿けた大気孔22によって大気
と連通している。
リリーフ弁21は、ダイアフラム21aの中心部にバルブ
ボディ21bを有し、このバルブボディ21bに、負圧室18を
大気室20に連通させる大気孔21cが穿設されている。こ
の大気孔21cは、連動弁軸23の上端に形成したテーパ弁
部23aにより開閉される。連動弁軸23は、主弁15と一体
に設けられ、かつ画成板19を気密に摺動自在に貫通して
いる。これらの大気孔21c、連動弁軸23、主弁15および
連通路14は、同一軸線上に位置している。
ボディ21bを有し、このバルブボディ21bに、負圧室18を
大気室20に連通させる大気孔21cが穿設されている。こ
の大気孔21cは、連動弁軸23の上端に形成したテーパ弁
部23aにより開閉される。連動弁軸23は、主弁15と一体
に設けられ、かつ画成板19を気密に摺動自在に貫通して
いる。これらの大気孔21c、連動弁軸23、主弁15および
連通路14は、同一軸線上に位置している。
アッパとロワのハウジング11aと11b内には、制御ポー
ト13と負圧室18を連通させる連通路24が穿設されてい
る。負圧室18内には、リリーフ弁21を下方に、つまり連
動弁軸23側に移動付勢する圧縮ばね25が配設されてい
る。この圧縮ばね25は、その下端がリリーフ弁21に当接
し、その上端がばね受プレート26に当接している。ばね
受プレート26には、アッパハウジング11aに螺合させた
真空調圧ボルト27の先端が当接しており、調整ノブ27a
を介して真空調圧ボルト27を回動させると、ばね受プレ
ート26が上下に移動し、リリーフ弁21に加わる下方への
付勢力が変化する。
ト13と負圧室18を連通させる連通路24が穿設されてい
る。負圧室18内には、リリーフ弁21を下方に、つまり連
動弁軸23側に移動付勢する圧縮ばね25が配設されてい
る。この圧縮ばね25は、その下端がリリーフ弁21に当接
し、その上端がばね受プレート26に当接している。ばね
受プレート26には、アッパハウジング11aに螺合させた
真空調圧ボルト27の先端が当接しており、調整ノブ27a
を介して真空調圧ボルト27を回動させると、ばね受プレ
ート26が上下に移動し、リリーフ弁21に加わる下方への
付勢力が変化する。
また、ロワハウジング11bには、主弁15の図の下方
に、主弁真空室15aが形成されている。この主弁真空室1
5aは、主弁15が開弁方向に移動すると、その体積を減じ
る室である。この主弁真空室15aには、連動弁軸23に穿
けた通路23bにより、常時真空ポート12の真空圧力が導
かれている。
に、主弁真空室15aが形成されている。この主弁真空室1
5aは、主弁15が開弁方向に移動すると、その体積を減じ
る室である。この主弁真空室15aには、連動弁軸23に穿
けた通路23bにより、常時真空ポート12の真空圧力が導
かれている。
上記構成の本真空レギュレータＲは、例えば第２図の
ように用いられる。真空ポンプＶに対して並列に複数の
本真空レギュレータＲの真空ポート12を接続し、各真空
レギュレータＲの制御ポート13を被検サンプルＳに接続
する。各被検サンプルＳには、流量計Ｆおよび流量調整
バルブＣを接続する。Ｍは真空圧力計である。
ように用いられる。真空ポンプＶに対して並列に複数の
本真空レギュレータＲの真空ポート12を接続し、各真空
レギュレータＲの制御ポート13を被検サンプルＳに接続
する。各被検サンプルＳには、流量計Ｆおよび流量調整
バルブＣを接続する。Ｍは真空圧力計である。
各真空レギュレータＲにおいて、まず調整ノブ27aに
より真空調圧ボルト27を締め（螺入させ）、ばね受プレ
ート26および圧縮ばね25を介して、リリーフ弁21を下降
させる。すると、大気孔21cが連動弁軸23を押し、主弁1
5をバルブシート17から離座させて連通路14を開く。よ
って真空ポンプＶの真空圧力が直接被検サンプルＳに及
ぼされる。同時に負圧室18内も真空ポンプＶの真空圧力
になる。このとき流量調整バルブＣは閉じておく。
より真空調圧ボルト27を締め（螺入させ）、ばね受プレ
ート26および圧縮ばね25を介して、リリーフ弁21を下降
させる。すると、大気孔21cが連動弁軸23を押し、主弁1
5をバルブシート17から離座させて連通路14を開く。よ
って真空ポンプＶの真空圧力が直接被検サンプルＳに及
ぼされる。同時に負圧室18内も真空ポンプＶの真空圧力
になる。このとき流量調整バルブＣは閉じておく。
次に、真空調圧ボルト27を緩めていくと、圧縮ばね16
により上方に付勢されている主弁15およびリリーフ弁21
が上昇し、連通路14が閉じる。ある時点で、真空調圧ボ
ルト27の回動を止め、流量調整バルブＣを開いて制御ポ
ート13側の真空圧力を消費すると、制御ポート13および
負圧室18の真空度は低下していく。そして真空度が圧縮
ばね25の力に対応する圧力より低下すると、負圧室18と
大気室20との圧力差により、リリーフ弁21は再び下降
し、連動弁軸23を介して主弁15を押し下げ、連通路14を
開く。よって制御ポート13側に再び真空ポンプＶの真空
圧力が供給される。この主弁15の開弁状態では、主弁15
には主弁真空室15a（真空ポート12）の真空圧と制御ポ
ート13の圧力との差圧が作用する。真空ポート12の圧力
は、開弁状態でも殆ど変化しないため、主弁開弁時の圧
力平衡バランスが取りやすく、安定した動作が得られ
る。そしてその結果、制御ポート13側、つまり被検サン
プルＳにおける真空度が高まると、負圧室18と大気室20
の圧力差によりリリーフ弁21が上昇し、大気孔21cがテ
ーパ弁部23aから瞬間的に離れる。よって、負圧室18の
真空圧力が大気室20および大気孔22を介して抜け、その
結果負圧室18の真空度が下がり、リリーフ弁21は再び下
降して連動弁軸23により大気孔21cを閉じる。被検サン
プルＳ側で真空圧力がさらに消費されれば、上述のよう
にリリーフ弁21はさらに下降し、主弁15を開く。以上の
動作が連続して行なわれる結果、制御ポート13側の真空
圧力はほぼ一定に保たれる。
により上方に付勢されている主弁15およびリリーフ弁21
が上昇し、連通路14が閉じる。ある時点で、真空調圧ボ
ルト27の回動を止め、流量調整バルブＣを開いて制御ポ
ート13側の真空圧力を消費すると、制御ポート13および
負圧室18の真空度は低下していく。そして真空度が圧縮
ばね25の力に対応する圧力より低下すると、負圧室18と
大気室20との圧力差により、リリーフ弁21は再び下降
し、連動弁軸23を介して主弁15を押し下げ、連通路14を
開く。よって制御ポート13側に再び真空ポンプＶの真空
圧力が供給される。この主弁15の開弁状態では、主弁15
には主弁真空室15a（真空ポート12）の真空圧と制御ポ
ート13の圧力との差圧が作用する。真空ポート12の圧力
は、開弁状態でも殆ど変化しないため、主弁開弁時の圧
力平衡バランスが取りやすく、安定した動作が得られ
る。そしてその結果、制御ポート13側、つまり被検サン
プルＳにおける真空度が高まると、負圧室18と大気室20
の圧力差によりリリーフ弁21が上昇し、大気孔21cがテ
ーパ弁部23aから瞬間的に離れる。よって、負圧室18の
真空圧力が大気室20および大気孔22を介して抜け、その
結果負圧室18の真空度が下がり、リリーフ弁21は再び下
降して連動弁軸23により大気孔21cを閉じる。被検サン
プルＳ側で真空圧力がさらに消費されれば、上述のよう
にリリーフ弁21はさらに下降し、主弁15を開く。以上の
動作が連続して行なわれる結果、制御ポート13側の真空
圧力はほぼ一定に保たれる。
リリーフ弁21が上昇を開始する負圧室18内の真空圧力
は、明らかに真空調圧ボルト27によって調節される圧縮
ばね25の力によって変化するから、真空調圧ボルト27に
より、制御ポート13側の取出真空圧力を調整することが
できる。この取出真空圧力の調整は、真空圧力計Ｍを見
ながら行なうことができる。この取出真空圧力は、各真
空レギュレータＲ毎に任意に設定できることは明らかで
ある。そして、その設定真空圧力と、流量計Ｆで検出さ
れる流量とにより、被検サンプルＳの検査を行なうこと
ができる。
は、明らかに真空調圧ボルト27によって調節される圧縮
ばね25の力によって変化するから、真空調圧ボルト27に
より、制御ポート13側の取出真空圧力を調整することが
できる。この取出真空圧力の調整は、真空圧力計Ｍを見
ながら行なうことができる。この取出真空圧力は、各真
空レギュレータＲ毎に任意に設定できることは明らかで
ある。そして、その設定真空圧力と、流量計Ｆで検出さ
れる流量とにより、被検サンプルＳの検査を行なうこと
ができる。
また以上の真空レギュレータＲは、第２図のように、
一つの真空ポンプＶに対して並列に複数接続して用いる
ことができるから、複数の被検サンプルＳを同時に検査
することができる。
一つの真空ポンプＶに対して並列に複数接続して用いる
ことができるから、複数の被検サンプルＳを同時に検査
することができる。
なお以上は、被検サンプルＳの検査ラインに本考案を
適用した実施例であるが、仕事をする真空機器のライン
にも勿論本考案は適用できる。
適用した実施例であるが、仕事をする真空機器のライン
にも勿論本考案は適用できる。
「考案の効果」 以上のように本考案の真空レギュレータは、取出真空
圧力を調整できるので、一台の真空ポンプを複数の真空
機器に同時に接続することができ、例えば、被検サンプ
ルを同時に検査することができる。そして、主弁真空室
には、常時真空ポートの真空圧が導かれているため、主
弁が開いた状態では、主弁に制御ポート圧力と真空ポー
ト圧力との差圧が作用する。真空ポート圧力の圧力変動
は一般的に小さいため、開弁時の主弁の平衡バランスが
取りやすく、安定した動作が得られる。
圧力を調整できるので、一台の真空ポンプを複数の真空
機器に同時に接続することができ、例えば、被検サンプ
ルを同時に検査することができる。そして、主弁真空室
には、常時真空ポートの真空圧が導かれているため、主
弁が開いた状態では、主弁に制御ポート圧力と真空ポー
ト圧力との差圧が作用する。真空ポート圧力の圧力変動
は一般的に小さいため、開弁時の主弁の平衡バランスが
取りやすく、安定した動作が得られる。
また請求項２に記載の考案によれば、特別な配管を要
することなく、真空ポンプと真空機器の間に挿入するだ
けで使用可能な真空レギュレータが得られる。
することなく、真空ポンプと真空機器の間に挿入するだ
けで使用可能な真空レギュレータが得られる。
第１図は本考案の真空レギュレータの実施例を示す縦断
面図、第２図は第１図の真空レギュレータを組み込ん
だ、被検サンプルの検査ラインの構成例を示す接続図で
ある。 Ｒ……真空レギュレータ、Ｖ……真空ポンプ、Ｓ……被
検サンプル（真空機器）、Ｆ……流量計、Ｃ……流量調
整バルブ、Ｍ……真空圧力計、11……ハウジング、12…
…真空ポート、13……制御ポート、14……連通路、15…
…主弁、16……圧縮ばね、17……バルブシート、18……
負圧室、19……画成板、20……大気室、21……リリーフ
弁、21a……ダイアフラム、21b……バルブボディ、21c
……リリーフ孔、22……大気孔、23……連動弁軸、24…
…連通路、25……圧縮ばね、26……ばね受プレート、27
……真空調圧ボルト、27a……ノブ。
面図、第２図は第１図の真空レギュレータを組み込ん
だ、被検サンプルの検査ラインの構成例を示す接続図で
ある。 Ｒ……真空レギュレータ、Ｖ……真空ポンプ、Ｓ……被
検サンプル（真空機器）、Ｆ……流量計、Ｃ……流量調
整バルブ、Ｍ……真空圧力計、11……ハウジング、12…
…真空ポート、13……制御ポート、14……連通路、15…
…主弁、16……圧縮ばね、17……バルブシート、18……
負圧室、19……画成板、20……大気室、21……リリーフ
弁、21a……ダイアフラム、21b……バルブボディ、21c
……リリーフ孔、22……大気孔、23……連動弁軸、24…
…連通路、25……圧縮ばね、26……ばね受プレート、27
……真空調圧ボルト、27a……ノブ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 星 光昇 埼玉県大宮市三橋１―840 藤倉ゴム工 業株式会社大宮工場内 (72)考案者 染谷 久雄 埼玉県大宮市三橋１―840 藤倉ゴム工 業株式会社大宮工場内 (72)考案者 江尻 隆 東京都中野区中野３―13―16 (56)参考文献 実開 平２−67407（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−109435（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−15326（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−57816（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−197365（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭47−34430（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−148337（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−50328（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭50−9835（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−23308（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−108915（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】真空源に接続される真空ポートと； 真空機器に接続される制御ポートと； この真空ポートと制御ポートの間を連通させる連通路
と； 常時はこの連通路を閉じる方向に移動付勢され、制御ポ
ートの真空度が低下したとき該連通路を開く主弁と； この主弁が制御ポートの真空度の低下により開弁方向に
移動するとき該主弁によりその体積を減じる室であっ
て、常時真空ポート圧力が導かれ、主弁に常時真空ポー
ト圧力と制御ポート圧力の差圧を及ぼす主弁真空室と； 上記制御ポートに連通する負圧室と； この負圧室の真空度の高低に応じ、上記主弁に対して離
隔または接近移動するダイアフラムと； このダイアフラムが主弁から離れる方向に移動したとき
負圧室を大気に連通させる、該ダイアフラムに設けたリ
リーフ弁と； 上記ダイアフラムが主弁側に移動したとき、上記リリー
フ弁を閉じて、該主弁を開く方向に移動させる連動移動
手段と； を備えたことを特徴とする真空レギュレータ。 - 【請求項２】請求項１において、上記各要素は、一体の
ハウジング内に設けられていて、このハウジング内に、
上記制御ポートと真空ポートを連通させる連通路が形成
されている真空レギュレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990038212U JP2588794Y2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | 真空レギユレータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990038212U JP2588794Y2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | 真空レギユレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415U JPH0415U (ja) | 1992-01-06 |
| JP2588794Y2 true JP2588794Y2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=31546015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990038212U Expired - Lifetime JP2588794Y2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | 真空レギユレータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588794Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002312037A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-25 | Smc Corp | ゲージハンドル型真空減圧弁 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS509835U (ja) * | 1973-05-24 | 1975-01-31 | ||
| JPS5612650Y2 (ja) * | 1975-03-01 | 1981-03-24 | ||
| JPS5250328U (ja) * | 1975-10-09 | 1977-04-09 | ||
| JPS53148337U (ja) * | 1977-04-27 | 1978-11-22 | ||
| JPS5415326U (ja) * | 1977-07-01 | 1979-01-31 | ||
| JPS5557816U (ja) * | 1978-10-09 | 1980-04-19 | ||
| JPS61197365U (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-09 | ||
| JPS6223308U (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-12 | ||
| JPH0620166Y2 (ja) * | 1988-11-10 | 1994-05-25 | 太陽鉄工株式会社 | 真空レギュレータ |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP1990038212U patent/JP2588794Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0415U (ja) | 1992-01-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |