JPH0415546A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH0415546A JPH0415546A JP2117603A JP11760390A JPH0415546A JP H0415546 A JPH0415546 A JP H0415546A JP 2117603 A JP2117603 A JP 2117603A JP 11760390 A JP11760390 A JP 11760390A JP H0415546 A JPH0415546 A JP H0415546A
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- Japan
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- illumination
- parts
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Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、製造ラインにおける組立後の外観検査を、現
在の目視検査より自動的に且つ精度良く検査することを
可能とした外観検査装置に関するものである。
在の目視検査より自動的に且つ精度良く検査することを
可能とした外観検査装置に関するものである。
従来の技術は、特開昭59−170976号のように行
われていた。以下にその方法を説明する。
われていた。以下にその方法を説明する。
■ 物体に対してX方向、Y方向、及び物体の真上であ
るX方向に対して、それぞれ複数個の照明器具を置く。
るX方向に対して、それぞれ複数個の照明器具を置く。
■ 画像のX方向の情報を得るために、X方向に配置し
である照明器具のみを点灯させ、画像を入力する。
である照明器具のみを点灯させ、画像を入力する。
■ 同様にY方向、X方向も行う。
■ 物体の画像が入力でき、以後の画像処理が簡単にな
ると共に、物体の3次元空間内の位置を知ることができ
る。
ると共に、物体の3次元空間内の位置を知ることができ
る。
上記従来技術は、面の画像は得られるが、本当に識別し
たい画像を得られるようには配慮されておらす、又、た
だ無闇に照明器具の本数を増やしているにすぎないこと
に問題があった。
たい画像を得られるようには配慮されておらす、又、た
だ無闇に照明器具の本数を増やしているにすぎないこと
に問題があった。
】
本発明の一つの目的は、照明系は固定とせず3次元にお
いて自由に可変できるものとすれば、部品に応じて最適
な照明角度を設定することが可能となり、多々の部品に
おいて識別し易い認識画像を得られるようにしたことを
特徴とする外観検査装置である。
いて自由に可変できるものとすれば、部品に応じて最適
な照明角度を設定することが可能となり、多々の部品に
おいて識別し易い認識画像を得られるようにしたことを
特徴とする外観検査装置である。
本発明の他の目的は、照明系を固定とせず3次元におい
て自由に可変できるものとすれば汎用性が向上するため
、不必要な照明を削減することか可能となり、システム
全体の信頼性の向」二及び稼動率の向」二を特徴とする
外観検査装置である。
て自由に可変できるものとすれば汎用性が向上するため
、不必要な照明を削減することか可能となり、システム
全体の信頼性の向」二及び稼動率の向」二を特徴とする
外観検査装置である。
照明系を固定せず3次元において自由に可変できるもの
とするために、照明を移動させるための駆動装置とそれ
をコントロールする制御装置髪設ける。
とするために、照明を移動させるための駆動装置とそれ
をコントロールする制御装置髪設ける。
ユーザは、部品に対して任意の角度から照明することが
可能となるため、その部品特有の認識画像が得易くなり
、処理方法の簡略化、並びに評価結果の高精度化を図る
ことがl+J能となる。
可能となるため、その部品特有の認識画像が得易くなり
、処理方法の簡略化、並びに評価結果の高精度化を図る
ことがl+J能となる。
本発明の実施例である部品の外観検査装置の構成を第1
図に示す。検査は以下の手順て行う。
図に示す。検査は以下の手順て行う。
コンl−ローラ9がプリント板1が設置されたステージ
8を移動し、部品2を照明系3とレンズ4と′r■カメ
ラ5で構成された検出位置へ運ぶ。そして、レンズ4と
′r■カメラ5で構成された撮像系6によって取り込ま
れた映像をA/D変換回路7を通して画像メモリ11へ
記憶させ、CPTJ]、0との演算・処理により極性及
び方向などを検査し、その結果をD/A変換回路]2を
通して出力系」3に送り結果を知らせる。
8を移動し、部品2を照明系3とレンズ4と′r■カメ
ラ5で構成された検出位置へ運ぶ。そして、レンズ4と
′r■カメラ5で構成された撮像系6によって取り込ま
れた映像をA/D変換回路7を通して画像メモリ11へ
記憶させ、CPTJ]、0との演算・処理により極性及
び方向などを検査し、その結果をD/A変換回路]2を
通して出力系」3に送り結果を知らせる。
又、結果をコントローラ9に送り、コン1〜ローラ9は
ステージ8を次の部品へ移動させ、以上の動作を繰り返
す。
ステージ8を次の部品へ移動させ、以上の動作を繰り返
す。
次に照明系3の移動方向の概略を第2図に示す。
照明系3とは、縦方向ス1ヘレー1−ゲージ]4゜横方
向ストレートゲージ15.支柱16及び照明17で構成
されたものである。
向ストレートゲージ15.支柱16及び照明17で構成
されたものである。
支柱16及び照明17が一体となって縦方向スI〜レー
トゲージ14を」二下方向に動くことによって、照明1
7は部品2に対して任意の高さに設定することができる
。
トゲージ14を」二下方向に動くことによって、照明1
7は部品2に対して任意の高さに設定することができる
。
又、支柱16及び照明17が一体となって横方向ス1へ
レートゲージ15を左右に動くことも可能である。
レートゲージ15を左右に動くことも可能である。
又、支柱16が右回転及び左回転という旋回運動を行う
ことにより、支柱16に連結されている照明17も同時
に右回転及び左回転を行うことになる。これにより照明
17は、部品2に対して任意の角度を作り出すことが可
能となる。
ことにより、支柱16に連結されている照明17も同時
に右回転及び左回転を行うことになる。これにより照明
17は、部品2に対して任意の角度を作り出すことが可
能となる。
以上の様に上下方向、左右方向及び左右回転の3つの形
態を組み合わせることにより、照明17を3次元におい
て自由に可変するものである。
態を組み合わせることにより、照明17を3次元におい
て自由に可変するものである。
次に撮像系6は固定としておき、照明17のみを移動さ
せ、照明位置及び角度を変えた具体例を第3図から第7
図に示す。
せ、照明位置及び角度を変えた具体例を第3図から第7
図に示す。
まず第3図について以下に説明する。
照明17を水平にすると部品2の真上の部分は明るいが
側面は暗くなるため照度不足となり、又、撮像系6と光
軸を合わすような位置及び角度にすると、部品2の側面
が必要以」二に明るくなり、適度な照度が得られないた
めに認識画像が潰れ易くなり、識別不可能となる。よっ
て照明17は部品2に対して1一方で右側に中心をずら
し、左回転で角度的には右下りの状態にすることにより
、部品2の右側側面の画像を正確に認識することが可能
となる。
側面は暗くなるため照度不足となり、又、撮像系6と光
軸を合わすような位置及び角度にすると、部品2の側面
が必要以」二に明るくなり、適度な照度が得られないた
めに認識画像が潰れ易くなり、識別不可能となる。よっ
て照明17は部品2に対して1一方で右側に中心をずら
し、左回転で角度的には右下りの状態にすることにより
、部品2の右側側面の画像を正確に認識することが可能
となる。
次に第4図について1以下に説明する。
撮像系6と光軸を合わせた斜方から照明することにより
、突起部19の陰を発生させた認識画像を得ることがで
きる。又、部品1−8が逆付けされている場合は、突起
部19は右端ではなく左端に位置することになり陰は発
生しなくなり、認識画像も異なることになる。これによ
り部品18の方向を正確に判断することが可能となる。
、突起部19の陰を発生させた認識画像を得ることがで
きる。又、部品1−8が逆付けされている場合は、突起
部19は右端ではなく左端に位置することになり陰は発
生しなくなり、認識画像も異なることになる。これによ
り部品18の方向を正確に判断することが可能となる。
よって照明17は撮像系6と光軸を合わせた角度にし、
部品18に対して右側で」二方に動かすものとなる。
部品18に対して右側で」二方に動かすものとなる。
次に第5図から第7図について以下に説明する。
矢印が示す面Xは、第5図及び第6図(a)。
(b)及び第7図(a)、(b)ともに同一面である。
第6図の(a)においてはX面から見て右側の側面の
欠落部21があり、(b)においてはX面から見て左側
の側面には欠落部21がないため、第5図の部品20が
第6図の(a)の様に実装されている場合、光が欠落部
21から漏れた認識画像が得られ、逆付けされている場
合、つまり第6図の(b)における左側の側面が撮像系
6の方を向いている様に実装されている場合は、光が漏
れないために異なる認識画像が得られることになる。こ
れにより部品20の方向を正確に判断することが可能と
なる。
欠落部21があり、(b)においてはX面から見て左側
の側面には欠落部21がないため、第5図の部品20が
第6図の(a)の様に実装されている場合、光が欠落部
21から漏れた認識画像が得られ、逆付けされている場
合、つまり第6図の(b)における左側の側面が撮像系
6の方を向いている様に実装されている場合は、光が漏
れないために異なる認識画像が得られることになる。こ
れにより部品20の方向を正確に判断することが可能と
なる。
よって照明17は第5図の様に、部品20に対して」二
方で左側に中心をずらし、左回転で角度的には右下りの
状態に動かすものとなる。
方で左側に中心をずらし、左回転で角度的には右下りの
状態に動かすものとなる。
又、第7図において(a)の様に欠落部21が完全な長
方形の場合と、(b)の様に欠落部22が長方形と異な
る場合は、(a)と(b)の認識画像は当然異なったも
のとなる。これにより部品20における欠けを正確に認
識することができ、<a> を正常晶だとすると、(b
)は欠陥品だと高精度に判断することが可能となる。
方形の場合と、(b)の様に欠落部22が長方形と異な
る場合は、(a)と(b)の認識画像は当然異なったも
のとなる。これにより部品20における欠けを正確に認
識することができ、<a> を正常晶だとすると、(b
)は欠陥品だと高精度に判断することが可能となる。
照明系の汎用性を向−1〕させることにより、不必要な
照明系を削減することが可能となり、システム全体の信
頼性の向上及び稼働率の向」−が図れる。
照明系を削減することが可能となり、システム全体の信
頼性の向上及び稼働率の向」−が図れる。
ユーザは照明系を3次元において自由に可変できるため
に部品に対して任意の角度から照射することが可能とな
り、部品特有の認識画像が得易くなり、処理方法の簡略
化、並びに評価結果の高精度化となる。
に部品に対して任意の角度から照射することが可能とな
り、部品特有の認識画像が得易くなり、処理方法の簡略
化、並びに評価結果の高精度化となる。
照明系を3次元に可変することにより、部品面上での照
度も自由に変えることができ、撮像系に対応した照度を
作り出すことが可能となるため、撮像系の汎用性が向」
ニし、不必要な撮像系を削減することによりシステム全
体の信頼性の向」二を図れる。
度も自由に変えることができ、撮像系に対応した照度を
作り出すことが可能となるため、撮像系の汎用性が向」
ニし、不必要な撮像系を削減することによりシステム全
体の信頼性の向」二を図れる。
第1図は本発明の一実施例の概略構成及びシステム構成
を示す図、第2図は照明系の移動方向を示す図、第3図
から第7図は各種部品に対する具体例を示す図である。 3・・・照明系、4 ・レンズ、5・・TVカメラ、1
4・縦方向ストレートゲージ、15・・・横方向スlヘ
レー1〜ゲージ、16・支柱、]−7・・照明。
を示す図、第2図は照明系の移動方向を示す図、第3図
から第7図は各種部品に対する具体例を示す図である。 3・・・照明系、4 ・レンズ、5・・TVカメラ、1
4・縦方向ストレートゲージ、15・・・横方向スlヘ
レー1〜ゲージ、16・支柱、]−7・・照明。
Claims (1)
- 1、プリント基板に実装された部品を撮像する系と、読
み込まれた画像情報を記憶しておく画像メモリと、それ
を処理し判断するCPUと、プリント板が設置されたス
テージの駆動を制御するコントローラと、処理結果を表
示する出力装置と、評価対象部品(以下、部品とする)
を照射する照明系を装備している外観検査装置において
、照明系は固定とせず、3次元において自由に可変でき
るものとすることにより、各々の部品の形状に起因する
コントラストを明確にし、識別し易い認識画像を得られ
るようにしたことを特徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2117603A JPH0415546A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2117603A JPH0415546A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0415546A true JPH0415546A (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14715878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2117603A Pending JPH0415546A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0415546A (ja) |
-
1990
- 1990-05-09 JP JP2117603A patent/JPH0415546A/ja active Pending
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