JPH04150979A

JPH04150979A - 有機溶剤を用いた洗浄方法及びその装置

Info

Publication number: JPH04150979A
Application number: JP27321190A
Authority: JP
Inventors: Yosuke Yamada; 要輔山田
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1990-10-15
Filing date: 1990-10-15
Publication date: 1992-05-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は有機溶剤を用いた洗浄方法及びその装置に関し
、アルコール系溶剤等を用いても安全に洗浄できるよう
企図したものである。

〈従来の技術〉半導体製品やメツキ製品などを洗浄するのに、第３図に
示すような、洗浄装置が用いられる。

この洗浄装置では、洗浄槽１内に有機溶剤２を貯留し、
この有機溶剤２をと一夕３により加熱して有機溶剤ガス
４を発生させている。

上記有機溶剤２としては通常、トリクロルエチレン、ト
リクロルエタン、パークロルエチレンメチレンクロライ
ド、フロンＲ−１１３等の塩素系やフッ素系の有機溶剤
を用いる。

被洗浄物は、有機溶剤２中に浸漬して、その後、有機溶
剤ガス４にさらすことにより洗浄される。

一方、洗浄槽１内に充満した有機溶剤ガス４は、冷却管
５に触れて凝縮し、液となって回収Ｉ！６を通って回収
される。

ところで、冷却管５で回収されなかった有機溶剤ガス４
は、洗浄槽１の上面開口から外部に出ていく。一般に、
有機溶剤ガス４は有毒である。そこで作業者がこのガス
を吸うことを防ぐためにファン７及び排気ダクト８を設
けている。つま＾、ファン７により、洗浄槽１外に出た
有機溶剤ガス４を吸引し排気ダクト８を通して大気中に
放出している。

〈発明が解決しようとする課題〉上記洗浄装置では、有毒な有機溶剤ガス４を大気中に放
出しているので大気汚染の原因となる。

ところで、オゾン層破壊防止のため、フロン１１３．１
・１・１トリクロルエタン等の溶剤の使用が将来的に禁
止されることになった。また、トリクロルエチレン等の
溶剤は地下に浸透して地下水を汚染するという問題があ
る。したがって大気汚染や地下水汚染を生ずるここのな
い溶剤の開発が行なわれているが、なかなか代替となる
溶剤は完成していない。

一方、イソプロピルアルコール等のアルコール系溶剤や
エチルシクロヘキサンは、大気汚染や地下水汚染の心配
は無く、洗浄力もあるが、引火点が低（引火や爆発の危
険があるので、洗浄用溶剤としては今まで使用されてい
なかった。ちなみにイソプロピルアルコール（０３Ｈ，
Ｏ）の引火点は１℃、エチルシクロヘキサン（Ｃ，Ｉ（
、、）の引火点は１９℃である。

本発明は、上記実状に艦み、大気汚染や地下水汚染の心
配の無いアルコール系溶剤等を用いて洗浄ができ、しか
も安全な有機溶剤洗浄方法及びその装置を提供すること
を目的とする。

く課題を解決するための手段〉上記目的を達成する本発明は、洗浄槽内の空間のうち上
部空間に炭酸ガスを充満させ、この炭酸ガスをシールド
層として機能させ有機溶剤と大気とを遮断したことを、
その特徴とする。

く実　施　例〉以下に本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。

第１図は本発明の第１の実施例を示す。同図に示すよう
に洗浄槽１０は、ヒータ１１、冷却管１２及び回収機１
３を備えている。この洗浄槽１０には、洗浄用溶剤とし
てイソプロピルアルコール（分子量６０．６）２０が貯
留されており、イソプロピルアルコール２０のガス２１
が立ち昇っている。

炭酸ガスボンベ３０から導出きれたパイプ３１は洗浄槽
１０の上部空間に達しており、洗浄槽１０の上部空間に
炭酸ガス（分子量４８）３２が供給されるようになって
いる。

洗浄槽１０の上部には槽内上部空間における炭酸ガス３
２の濃度を検出するためのセンサ４０が設電されている
。このセンサ４０としては０２センサやＣ０２センサが
採用される。

センサ４０で検出した信号はコントローラ４１に送られ
る。一方、パイプ３１にはコントローラ４１により開閉
制御されるバルブ４２が介装されている。

上記構成となっている第１の実施例では、イソプロピル
アルコールガス２１は炭酸ガス３２よりも重く、炭酸ガ
ス３２は空気（分子量約１２）よりも重いため、洗浄槽
１０の下部空間にはイソプロピルアルコールガス２１が
充満し、上部空間には炭酸ガス３２が充満することにな
る。したがって炭酸ガス３２によりイソプロピルアルコ
ール２０・やそのガス２１と大気とがシールドされ、イ
ソプロピルアルコール２０やガス２１が引火することを
防止できる。

歯洗浄物を洗浄するときには、被洗浄物を槽内の炭酸ガ
ス３２の層を通してイソプロピルアルコール２０に浸漬
したりガス２１にさらし、洗浄が終了したら炭酸ガス３
２の層を通して引き上げる。

更に、槽内上部空間における炭酸ガス濃度が低下したこ
とをセンサ４０が検出したら、コントローラ４１はバル
ブ４２を開き、これにより炭酸ガスボンベ３０からパイ
プ３１を通って炭酸ガス３２が槽１０内に追加供給され
る。そして槽内の炭酸ガス濃度が設定値に達したことを
センサ４０が検出したら、コントローラ４１はバルブ４
２を閉じる。

また、洗浄をしないときには槽１０の上面を蓋で塞ぐよ
うにしている。

第２図は本発明の第２の実施例を示す。この実施例では
、炭酸ガス槽５０内に通常の洗浄槽１０を設置している
。そして炭酸ガス槽５０内に炭酸ガスボンベ３０から炭
酸ガスを供給し、炭酸ガス槽５０内の炭酸ガス濃度をセ
ンサ４０で検査している。他の構成は、第１図に示す第
１実施例と同一であり、同一機能を果す部材には同一符
号を付し、重複する説明は省略する。

この第２の実施例でも、炭酸ガス３２によりイソプロピ
ルアルコール２０やそのガス２１と空気とがシールドさ
れ、イソプロピルアルコール２０やそのガス２１が引火
することを防止できる。

なお、上記実施例では洗浄溶剤としてイソプロピルアル
コールを用いたが他のアルコール系溶剤や、エチルシク
ロヘキサンを用いることができる。つま９炭酸ガスより
も分子量の多い有機溶剤を用いることができる。例えば
ブタノール、ヘキサノール、ヘキシルエーテル、オクタ
ツール等を用いることができる。

〈発明の効果〉以上実施例とともに具体的に説明したように本発明によ
れば、炭酸ガスよりも分子量の多い有機溶剤でありさえ
すれば、たとえ引火点の低い溶剤であっても、引火のお
それなく安全に洗浄を行うことができる。更に、炭酸ガ
スよりも分子量の多い有機溶剤の中には、大気汚染や地
下水汚染のおそれの無いものがあり、そのようなものを
選択して用いれば、環境汚染も防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す構成図、第３図は従来技術
を示す構成図である。図　　面　　中、１０は洗浄槽、２０はイソプロピルアルコール、２１はイソプロピルアルコールガス、３０は炭酸ガスボンベ、３１はパイプ、３２は炭酸ガス、４０はセンサ、４１はコントローラ、４２はバルブ、５０は炭酸ガス槽である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）洗浄槽に貯留して被洗浄物を洗浄する溶剤として
、炭酸ガスよりも分子量の多い有機溶剤を用い、洗浄槽内の空間のうち上部空間に炭酸ガスを充満させた
ことを特徴とする有機溶剤を用いた洗浄方法。
（２）炭酸ガスよりも分子量の多い有機溶剤を貯留した
洗浄槽と、洗浄槽内に炭酸ガスを供給する炭酸ガス供給源と、洗浄槽内の空間のうち上部空間における炭酸ガスの濃度
を検出するセンサと、このセンサにより炭酸ガス濃度があらかじめ決めた設定
濃度よりも低くなったことが検出されたら、前記炭酸ガ
ス供給源から前記洗浄槽に炭酸ガスを送るように制御す
る制御装置と、を有することを特徴とする有機溶剤を用いた洗浄方法。