JPH04145948A - シリンダーボックス - Google Patents
シリンダーボックスInfo
- Publication number
- JPH04145948A JPH04145948A JP27009090A JP27009090A JPH04145948A JP H04145948 A JPH04145948 A JP H04145948A JP 27009090 A JP27009090 A JP 27009090A JP 27009090 A JP27009090 A JP 27009090A JP H04145948 A JPH04145948 A JP H04145948A
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- Japan
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- cylinder
- high pressure
- pressure
- box
- gas
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、高圧ガスボンベを収容するシリンダーボック
スの改良に関するものである。
スの改良に関するものである。
[発明の概要]
本発明は、シリンダーボックス内の配管のリーグチエツ
ク(漏れ検査)を実際の使用圧力のもとで行なうことが
できるようにしたものである。
ク(漏れ検査)を実際の使用圧力のもとで行なうことが
できるようにしたものである。
[従来の技術]
100 kg / cn+以]二の高圧ボンベを収容す
るシリンダーボックスは通常、第2図の如く構成されて
いる。
るシリンダーボックスは通常、第2図の如く構成されて
いる。
同図において、Aはシリンダーボックス、B〜B4は有
毒ガスボンベ等の一般高圧ホンベ、V〜v4はボンベガ
ス吐出用バルブ、■6〜■8は減圧器(レキュレータ)
、■、〜v1.はホンペパーシラインバルブ、■14〜
V1.はバルブ、C1〜C6は逆止弁(チャツキバルブ
)であって、各ボンベから用途先への配管と、ガス使用
後に配管内に残っているガスをパージ(排出)するパー
ジ配管が設けられている。しかし、これらの配管のリー
クをチエツクする機構が設けられることはない。
毒ガスボンベ等の一般高圧ホンベ、V〜v4はボンベガ
ス吐出用バルブ、■6〜■8は減圧器(レキュレータ)
、■、〜v1.はホンペパーシラインバルブ、■14〜
V1.はバルブ、C1〜C6は逆止弁(チャツキバルブ
)であって、各ボンベから用途先への配管と、ガス使用
後に配管内に残っているガスをパージ(排出)するパー
ジ配管が設けられている。しかし、これらの配管のリー
クをチエツクする機構が設けられることはない。
[発明が解決しようとする課題]
水素ガスや不活性カスをベースとして希釈した有毒ガス
の使用が盛んな半導体産業等の先端産業にあっては、非
常に危険なカスを取り扱うにも拘わらず、そのような有
毒ガスを含んだ高圧ボンベを収容するシリンダーボック
スの構造は、依然として上記のような構造が主流となっ
ている。
の使用が盛んな半導体産業等の先端産業にあっては、非
常に危険なカスを取り扱うにも拘わらず、そのような有
毒ガスを含んだ高圧ボンベを収容するシリンダーボック
スの構造は、依然として上記のような構造が主流となっ
ている。
シリンダーボックス内でのガス被爆の危険性は、特にボ
ンベ交換後、ボンベと減圧器との間(二二に100kg
/cnT以上の圧力がかかる)で起こる可能性が高く、
この時のリーク圧力はボンベの一次圧であるので、10
0kg/cn+以上あり、深刻な被害を受けることにな
る。通常、ボンベ交換後のり−クチニックはパージ用の
パージラインを閉じて、パージガス(通常は窒素ガス)
を行なうが、この時の圧力は、仮に窒素ボンベを使用し
ても、減圧器の二次圧力を用いるので、せいぜい5 k
g/cnT程度であって、実際の使用圧力とかけ離れて
いる。
ンベ交換後、ボンベと減圧器との間(二二に100kg
/cnT以上の圧力がかかる)で起こる可能性が高く、
この時のリーク圧力はボンベの一次圧であるので、10
0kg/cn+以上あり、深刻な被害を受けることにな
る。通常、ボンベ交換後のり−クチニックはパージ用の
パージラインを閉じて、パージガス(通常は窒素ガス)
を行なうが、この時の圧力は、仮に窒素ボンベを使用し
ても、減圧器の二次圧力を用いるので、せいぜい5 k
g/cnT程度であって、実際の使用圧力とかけ離れて
いる。
また、地震や衝撃等の突発的な負荷がシリンダーボック
スに加わった時、随時、配管の高圧り−クチニックがで
きないと、安全性を確保できない。
スに加わった時、随時、配管の高圧り−クチニックがで
きないと、安全性を確保できない。
[発明の目的]
本発明の目的は、シリンダーボックス内の配管のリーク
チエツクを実際の使用圧力で行なうことができるシリン
ダーボックスを提供することにある。
チエツクを実際の使用圧力で行なうことができるシリン
ダーボックスを提供することにある。
[課題を解決するための手段]
本発明は、複数の一般高圧ボンベを収容するシリンダー
ボックスにおいて、前記一般高圧ボンベとは別に透過性
の高いガスを詰めた加圧用高圧ボンベをが内設し、この
加圧用高圧ボンベから前記各一般の高圧ボンベに配管し
た構成により、上述した問題点の解決を図ったものであ
る。
ボックスにおいて、前記一般高圧ボンベとは別に透過性
の高いガスを詰めた加圧用高圧ボンベをが内設し、この
加圧用高圧ボンベから前記各一般の高圧ボンベに配管し
た構成により、上述した問題点の解決を図ったものであ
る。
[作用コ
上記構成のシリンダーボックスにおいては、別に設けた
加圧用高圧ボンベの一次圧が各ボンベの減圧器に供給さ
れる。したがって各ボンベの継手に対して石鹸水法やガ
ス検知法によるリークチエツクを行なえば、随時、高圧
リークチエツクが完了する。
加圧用高圧ボンベの一次圧が各ボンベの減圧器に供給さ
れる。したがって各ボンベの継手に対して石鹸水法やガ
ス検知法によるリークチエツクを行なえば、随時、高圧
リークチエツクが完了する。
[実施例]
第1図は、本発明の一実施例を示すものであって、第1
図と同じ部材には、同一符号が付されている。
図と同じ部材には、同一符号が付されている。
同図において、シリンダーボックスA内に、リークチエ
ツク専用の分子量の小さい透過性の強いガス、例えばヘ
リウムガスを充填した高圧ヘリウムボンベB6が設置さ
れ、各ボンベB、〜B4にヘリウムガスの一次圧(充填
時圧力)が供給できるようになっている。前記ヘリウム
ボンベB、自身には減圧器は取り付けず、主配管との隔
離用のバルブV1.が付くのみである。また、ヘリウム
ガスが主配管の元側へ逆流しないように、元側に逆止弁
が取り付けられている。
ツク専用の分子量の小さい透過性の強いガス、例えばヘ
リウムガスを充填した高圧ヘリウムボンベB6が設置さ
れ、各ボンベB、〜B4にヘリウムガスの一次圧(充填
時圧力)が供給できるようになっている。前記ヘリウム
ボンベB、自身には減圧器は取り付けず、主配管との隔
離用のバルブV1.が付くのみである。また、ヘリウム
ガスが主配管の元側へ逆流しないように、元側に逆止弁
が取り付けられている。
上記構成によれば、リークチエツク用のヘリウムボンベ
B、の一次圧が各ボンベに供給できるようになっている
から、各ボンベB、〜B4の継手に対して石鹸水法やガ
ス検知法によるリークチエツクを行なえば、随時、高圧
リークチエツクが可能となる。
B、の一次圧が各ボンベに供給できるようになっている
から、各ボンベB、〜B4の継手に対して石鹸水法やガ
ス検知法によるリークチエツクを行なえば、随時、高圧
リークチエツクが可能となる。
使用する有毒ガスを含んだボンベを交換したあと、12
0 kg/cfのヘリウムでリークチエツクを行なった
ところ、わずかなリークでも100kg/cn!程度の
高化がかかると、石鹸水法で容易にリークによる泡の発
生が確認され、リーク発見にかなりの効果があった。ま
た、こうしたリークチエツク後は安心して有毒カスのボ
ンベを開栓できるので、心理的にもかなりの効果があっ
た。
0 kg/cfのヘリウムでリークチエツクを行なった
ところ、わずかなリークでも100kg/cn!程度の
高化がかかると、石鹸水法で容易にリークによる泡の発
生が確認され、リーク発見にかなりの効果があった。ま
た、こうしたリークチエツク後は安心して有毒カスのボ
ンベを開栓できるので、心理的にもかなりの効果があっ
た。
また、上記の高圧リークチエツクは、ボンベ交換時だけ
でなく、地震やその他シリンダーボックス内配管に損傷
があったときなどに、随時、行なえる利点がある。
でなく、地震やその他シリンダーボックス内配管に損傷
があったときなどに、随時、行なえる利点がある。
1回のリークチエツクに要するヘリウムガスの量は単に
圧力を加えるだけであるので、はとんど消費しない。例
えば、リークチエツクをしたい配管の容積をvc+iV
、充填時圧力P okg / cfでVリットルのヘリ
ウムボンベを使うと、n回のチエツク後、圧力はpox
(V/ V+ O,OOI X v) nとなる。
圧力を加えるだけであるので、はとんど消費しない。例
えば、リークチエツクをしたい配管の容積をvc+iV
、充填時圧力P okg / cfでVリットルのヘリ
ウムボンベを使うと、n回のチエツク後、圧力はpox
(V/ V+ O,OOI X v) nとなる。
例えば、充填時圧力120kg/cn!、容量10リツ
トルのヘリウムボンベは、リークチエツクを要する配管
容積が30c+iT(これは174インチのステンレス
チューブ配管で2mとなる)とすると、50回のリーク
チエツク後のボンベ内圧力は103 kg / cuf
fとなり、l\ツリウムンベのガス消費量は極めて少な
い。100kg/cn!でのリークチエツクを高圧リー
クチエツク用ボンベ交換時期と考えても、充分な回数の
リーグチエツクが行なえる。更に90kg/cffl程
度の交換を目安とすると、100回近くのり一りチェッ
クを行なえることになり、コスト的にもかなり安上がり
となる。50ワツトルのガスホ゛ンベを使用するシリン
ダーボックスでは、更にチエツク回数は増大する。
トルのヘリウムボンベは、リークチエツクを要する配管
容積が30c+iT(これは174インチのステンレス
チューブ配管で2mとなる)とすると、50回のリーク
チエツク後のボンベ内圧力は103 kg / cuf
fとなり、l\ツリウムンベのガス消費量は極めて少な
い。100kg/cn!でのリークチエツクを高圧リー
クチエツク用ボンベ交換時期と考えても、充分な回数の
リーグチエツクが行なえる。更に90kg/cffl程
度の交換を目安とすると、100回近くのり一りチェッ
クを行なえることになり、コスト的にもかなり安上がり
となる。50ワツトルのガスホ゛ンベを使用するシリン
ダーボックスでは、更にチエツク回数は増大する。
なお、前記実施例では、リーグチエツク専用の分子量の
小さい透過性の強いガスとして、ヘリウムを用いている
が、この透過性のガスは水素でもよい。
小さい透過性の強いガスとして、ヘリウムを用いている
が、この透過性のガスは水素でもよい。
[発明の効果]
以上に述べたように、本発明によれば、シリンダーボッ
クス内の配管のリークチエツクを、実際の使用圧力のも
とて随時行なえるので、有毒ガスを安全に扱えるシリン
ダーボックスの実現が可能であり、半導体産業等の先端
産業の発展に大いに寄与できる。
クス内の配管のリークチエツクを、実際の使用圧力のも
とて随時行なえるので、有毒ガスを安全に扱えるシリン
ダーボックスの実現が可能であり、半導体産業等の先端
産業の発展に大いに寄与できる。
第1図は本発明の一実施例を示すシリンダーボックスの
構成図、第2図は従来のシリンダーボックスの構成図で
ある。 A・・・・・・・・・シリンダーボックス、B〜B4・
・・・・・・一般高圧ボンベ、■1〜v4・・・・・・
カスボンベ吐出用バルブ、■6〜V8・・・・・・・・
減圧器、■、〜V1.・・・・・ボンベパージラインバ
ルブ、■、4〜V1.・・・・・バルブ、C1〜C,・
・・・・・・逆止弁、B6・・・・・・加圧用高圧ボン
ベ、V13・・・・・・・加圧用高圧ボンベラインバル
ブ。
構成図、第2図は従来のシリンダーボックスの構成図で
ある。 A・・・・・・・・・シリンダーボックス、B〜B4・
・・・・・・一般高圧ボンベ、■1〜v4・・・・・・
カスボンベ吐出用バルブ、■6〜V8・・・・・・・・
減圧器、■、〜V1.・・・・・ボンベパージラインバ
ルブ、■、4〜V1.・・・・・バルブ、C1〜C,・
・・・・・・逆止弁、B6・・・・・・加圧用高圧ボン
ベ、V13・・・・・・・加圧用高圧ボンベラインバル
ブ。
Claims (1)
- 複数の一般高圧ボンベを収容するシリンダーボックスに
おいて、前記一般高圧ボンベとは別に透過性の高いガス
を詰めた加圧用高圧ボンベが内設され、この加圧用高圧
ボンベが前記各一般の高圧ボンベに配管されていること
を特徴とするシリンダーボックス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27009090A JPH04145948A (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | シリンダーボックス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27009090A JPH04145948A (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | シリンダーボックス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04145948A true JPH04145948A (ja) | 1992-05-19 |
Family
ID=17481391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27009090A Pending JPH04145948A (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | シリンダーボックス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04145948A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002372197A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Toyota Motor Corp | 気体貯蔵システム |
-
1990
- 1990-10-08 JP JP27009090A patent/JPH04145948A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002372197A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Toyota Motor Corp | 気体貯蔵システム |
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