JPH04145948A - シリンダーボックス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高圧ガスボンベを収容するシリンダーボック
スの改良に関するものである。

［発明の概要］ 本発明は、シリンダーボックス内の配管のリーグチエツ
ク（漏れ検査）を実際の使用圧力のもとで行なうことが
できるようにしたものである。

［従来の技術］ １００　ｋｇ　／　ｃｎ＋以］二の高圧ボンベを収容す
るシリンダーボックスは通常、第２図の如く構成されて
いる。

同図において、Ａはシリンダーボックス、Ｂ〜Ｂ４は有
毒ガスボンベ等の一般高圧ホンベ、Ｖ〜ｖ４はボンベガ
ス吐出用バルブ、■６〜■８は減圧器（レキュレータ）
、■、〜ｖ１．はホンペパーシラインバルブ、■１４〜
Ｖ１．はバルブ、Ｃ１〜Ｃ６は逆止弁（チャツキバルブ
）であって、各ボンベから用途先への配管と、ガス使用
後に配管内に残っているガスをパージ（排出）するパー
ジ配管が設けられている。しかし、これらの配管のリー
クをチエツクする機構が設けられることはない。

［発明が解決しようとする課題］ 水素ガスや不活性カスをベースとして希釈した有毒ガス
の使用が盛んな半導体産業等の先端産業にあっては、非
常に危険なカスを取り扱うにも拘わらず、そのような有
毒ガスを含んだ高圧ボンベを収容するシリンダーボック
スの構造は、依然として上記のような構造が主流となっ
ている。

シリンダーボックス内でのガス被爆の危険性は、特にボ
ンベ交換後、ボンベと減圧器との間（二二に１００ｋｇ
／ｃｎＴ以上の圧力がかかる）で起こる可能性が高く、
この時のリーク圧力はボンベの一次圧であるので、１０
０ｋｇ／ｃｎ＋以上あり、深刻な被害を受けることにな
る。通常、ボンベ交換後のり−クチニックはパージ用の
パージラインを閉じて、パージガス（通常は窒素ガス）
を行なうが、この時の圧力は、仮に窒素ボンベを使用し
ても、減圧器の二次圧力を用いるので、せいぜい５　ｋ
ｇ／ｃｎＴ程度であって、実際の使用圧力とかけ離れて
いる。

また、地震や衝撃等の突発的な負荷がシリンダーボック
スに加わった時、随時、配管の高圧り−クチニックがで
きないと、安全性を確保できない。

［発明の目的］ 本発明の目的は、シリンダーボックス内の配管のリーク
チエツクを実際の使用圧力で行なうことができるシリン
ダーボックスを提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、複数の一般高圧ボンベを収容するシリンダー
ボックスにおいて、前記一般高圧ボンベとは別に透過性
の高いガスを詰めた加圧用高圧ボンベをが内設し、この
加圧用高圧ボンベから前記各一般の高圧ボンベに配管し
た構成により、上述した問題点の解決を図ったものであ
る。

［作用コ 上記構成のシリンダーボックスにおいては、別に設けた
加圧用高圧ボンベの一次圧が各ボンベの減圧器に供給さ
れる。したがって各ボンベの継手に対して石鹸水法やガ
ス検知法によるリークチエツクを行なえば、随時、高圧
リークチエツクが完了する。

［実施例］ 第１図は、本発明の一実施例を示すものであって、第１
図と同じ部材には、同一符号が付されている。

同図において、シリンダーボックスＡ内に、リークチエ
ツク専用の分子量の小さい透過性の強いガス、例えばヘ
リウムガスを充填した高圧ヘリウムボンベＢ６が設置さ
れ、各ボンベＢ、〜Ｂ４にヘリウムガスの一次圧（充填
時圧力）が供給できるようになっている。前記ヘリウム
ボンベＢ、自身には減圧器は取り付けず、主配管との隔
離用のバルブＶ１．が付くのみである。また、ヘリウム
ガスが主配管の元側へ逆流しないように、元側に逆止弁
が取り付けられている。

上記構成によれば、リークチエツク用のヘリウムボンベ
Ｂ、の一次圧が各ボンベに供給できるようになっている
から、各ボンベＢ、〜Ｂ４の継手に対して石鹸水法やガ
ス検知法によるリークチエツクを行なえば、随時、高圧
リークチエツクが可能となる。

使用する有毒ガスを含んだボンベを交換したあと、１２
０　ｋｇ／ｃｆのヘリウムでリークチエツクを行なった
ところ、わずかなリークでも１００ｋｇ／ｃｎ！程度の
高化がかかると、石鹸水法で容易にリークによる泡の発
生が確認され、リーク発見にかなりの効果があった。ま
た、こうしたリークチエツク後は安心して有毒カスのボ
ンベを開栓できるので、心理的にもかなりの効果があっ
た。

また、上記の高圧リークチエツクは、ボンベ交換時だけ
でなく、地震やその他シリンダーボックス内配管に損傷
があったときなどに、随時、行なえる利点がある。

１回のリークチエツクに要するヘリウムガスの量は単に
圧力を加えるだけであるので、はとんど消費しない。例
えば、リークチエツクをしたい配管の容積をｖｃ＋ｉＶ
、充填時圧力Ｐ　ｏｋｇ　／　ｃｆでＶリットルのヘリ
ウムボンベを使うと、ｎ回のチエツク後、圧力はｐｏｘ
　（Ｖ／　Ｖ＋　Ｏ，ＯＯＩ　Ｘ　ｖ）　ｎとなる。

例えば、充填時圧力１２０ｋｇ／ｃｎ！、容量１０リツ
トルのヘリウムボンベは、リークチエツクを要する配管
容積が３０ｃ＋ｉＴ（これは１７４インチのステンレス
チューブ配管で２ｍとなる）とすると、５０回のリーク
チエツク後のボンベ内圧力は１０３　ｋｇ　／　ｃｕｆ
ｆとなり、ｌ＼ツリウムンベのガス消費量は極めて少な
い。１００ｋｇ／ｃｎ！でのリークチエツクを高圧リー
クチエツク用ボンベ交換時期と考えても、充分な回数の
リーグチエツクが行なえる。更に９０ｋｇ／ｃｆｆｌ程
度の交換を目安とすると、１００回近くのり一りチェッ
クを行なえることになり、コスト的にもかなり安上がり
となる。５０ワツトルのガスホ゛ンベを使用するシリン
ダーボックスでは、更にチエツク回数は増大する。

なお、前記実施例では、リーグチエツク専用の分子量の
小さい透過性の強いガスとして、ヘリウムを用いている
が、この透過性のガスは水素でもよい。

［発明の効果］ 以上に述べたように、本発明によれば、シリンダーボッ
クス内の配管のリークチエツクを、実際の使用圧力のも
とて随時行なえるので、有毒ガスを安全に扱えるシリン
ダーボックスの実現が可能であり、半導体産業等の先端
産業の発展に大いに寄与できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すシリンダーボックスの
構成図、第２図は従来のシリンダーボックスの構成図で
ある。 Ａ・・・・・・・・・シリンダーボックス、Ｂ〜Ｂ４・
・・・・・・一般高圧ボンベ、■１〜ｖ４・・・・・・
カスボンベ吐出用バルブ、■６〜Ｖ８・・・・・・・・
減圧器、■、〜Ｖ１．・・・・・ボンベパージラインバ
ルブ、■、４〜Ｖ１．・・・・・バルブ、Ｃ１〜Ｃ，・
・・・・・・逆止弁、Ｂ６・・・・・・加圧用高圧ボン
ベ、Ｖ１３・・・・・・・加圧用高圧ボンベラインバル
ブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の一般高圧ボンベを収容するシリンダーボックスに
   おいて、前記一般高圧ボンベとは別に透過性の高いガス
   を詰めた加圧用高圧ボンベが内設され、この加圧用高圧
   ボンベが前記各一般の高圧ボンベに配管されていること
   を特徴とするシリンダーボックス。