JPH04142942A - 薄膜抵抗ヒータ、その製造方法、該薄膜抵抗ヒータを使用したインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、抵抗体の薄膜を有し、抵抗体の薄膜に通電す
ることによって発熱する薄膜抵抗ヒータと、その製造方
法に関し、さらに前記簿膜抵抗ヒータを用いたインクジ
ェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッドを使
用したインクジェット記録装置に関する。

〔従来の技術〕 近年、微小な発熱部が組込まれたサーマルヘッドを利用
した記録方法、例えばサーマルインクジェット記録方法
、感熱記録方法等が注目を集めている。中でもサーマル
インクジェット記録方法は、高速高密度でかつ高緒細高
画質の記録を行うことが可能であり、さらに記録のカラ
ー化あるいは記録装置の小型化が容易である等の多くの
特長を有している。上述したサーマルヘッドには、従来
より薄膜抵抗ヒータが使用されている。

例えば、サーマルインクジェット記録方法て用いられる
インクジェット記録ヘッドは、一般に、インクを吐出す
るための微細な吐出口と、吐出口ごとに設けられて吐出
口に連通ずる液流路と、各液流路の一部にそれぞれ設け
られインクを吐出するための熱エネルギーを発生する薄
膜抵抗ヒータとを有している。多くの場合、１個のイン
クジェット記録ヘッドには多数の吐出口が設けられ、各
液流路に安定してインクを供給するための、各液流路に
共通の液室が設けられている。記録信号に応じて薄膜抵
抗ヒータに通電することにより、薄膜抵抗ヒータの抵抗
体薄膜が発熱して液流路にあるインクの一部を発泡させ
、この発泡の作用力によりインク液滴を吐出口から吐出
、飛翔させ、被記録媒体上に記録が行われる。

このような薄１漠抵抗ヒータの代表的な構成例がｉ５図
（ａ）〜（Ｃ）に示されている。このヒータは、基体１
１１−に電気絶縁性の絶縁層゛１２を設け、絶縁層１２
の十にコの字形に抵抗体層１３が設けられている。抵抗
体層重３は、ある程度の大きさの体積抵抗率を有する材
料からなっている。

抵抗体層１３の上には電気伝導性のよい材料からなる導
体層１４が設けられている。導体層１４は、抵抗体層１
３と同様の形状であるが一部分が欠けており、この欠け
ている部分においては抵抗体層１３の１−に導体層がイ
ｆ在しないようになっている。後述するように、この導
体層１４の欠けている部分が発熱部１６となる。さらに
、絶縁層１２、抵抗体層１３、導体層１４の露出してい
る部分を覆うように、電気絶縁性の材料からなる保護層
１５が設けられている。導体層１４は電極として作用し
、発熱部１６をはさむ両側の導体層１４の間に電圧を印
加すると、発熱部１６では抵抗体層１３の上に導体層が
ないのでこの部分では抵抗体層１３に電流が流れること
となって発熱する。発熱部１６以外のところでは、電流
は主として導体層１４を流れるので、はとんど発熱しな
い。発熱部１６で発生した熱は保護層１５を介してその
表面に伝わり、インクジェット記録ヘットの場合であれ
ばインクに、感熱記録装置の場合であれば感熱紙に熱を
僕えるようになっている。なお、少なくとも抵抗体層１
３、導体層１４、保護層１５は、成膜技術によって堆積
されて形成されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の薄膜抵抗ヒータでは、発熱部の近傍にお
いて、絶縁層の上面と抵抗体層の上面との間に段差があ
るため、保護層を堆積させるときに均一に堆積せず、保
護層に欠陥が発生する。この欠陥の存在により、通電し
て発熱させたときに発生ずる応力によって、この部分の
保護層に亀裂が生し、インクジェット記録ヘッドの場合
であればこの亀裂にインクが侵入することとなり、つい
にはヒータが破壊されてしまうという問題点がある。特
に、インクジェット記録ヘッドでは、繰り返し発熱させ
ることになるので、亀裂が発生しやずく、インクシェツ
ト記録ヘットの寿命を規定する大きな要因となっていた
。

本発明の目的は、発熱部の近傍の保護層に欠陥がなく、
繰り返し発熱させても保護層に亀裂の生じることのない
薄膜抵抗ヒータと、その製造方法を提供することにある
。さらに、この薄膜抵抗ヒータを使用することによって
長寿命化したインクジェット記録ヘッドと、このインク
ジェット記録ヘッドを使用したインクジェット記録装置
を提供Ｊ−ることにある。。

〔課題を解決するための手段〕

第１の発明の薄膜抵抗ヒータは、基体と、該基体上に設
けられ電気絶縁性である絶縁層と、 該絶縁層の上面に設けられた溝穴部を満たしかつ上面と
前記絶縁層の上面との間に段差が存在しないように形成
された、電気抵抗性を有する材料からなる抵抗体層と、 前記絶縁層トに設けられ、前記抵抗体層に通電できるよ
う前記抵抗体層と電気的に接続された、電気良導体から
なる導体層と、 前記絶縁層、前記抵抗体層及び前記導体層の露出されて
いる部分を覆うように設けられた電気絶縁性の保護層と
からなる。

第２の発明の薄膜抵抗ヒータの製造方法は、基体上に電
気絶縁性の絶縁層を設ける工程と、前記絶縁層の上面に
溝穴部を設ける工程と、前記絶縁層の上面の少なくとも
前記溝穴部を含む部分に、電気抵抗性の材料からなる膜
を積層する１−稈と、 前記膜のうち前記溝穴部を満たしている部分以外の部分
を取り除くことにより、前記膜の一部からなり、前記溝
穴部を満たしかつ上面と前記絶縁層の上面との間に段差
が存在しない抵抗体層を形成する工程と、 前記抵抗体層に通電できるように前記抵抗体層と接続さ
れ電気良導体からなる導体層を前記絶縁層上に設ける工
程と、 前記絶縁層、前記抵抗体層及び前記導体層の露出されて
いる部分を覆うように、電気絶縁性の保護層を設ける工
程とからなる。

第３の発明のインクジェット記録ヘットは、吐出［１と
、該吐出口に連通し底壁にエネルギー発生素子−が設け
られた液流路と、該液流路に連通し時的にインクを貯え
る液室とを有し、エネルギー発生素子を駆動することに
より前記インクよりなるインク液滴を前記吐出口から吐
出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記エネルギー発生素子として上記第１の発明の薄膜抵
抗ヒータを使用する。

〔作　　　用〕

本発明の薄膜抵抗ヒータでは、絶縁層の上面に溝穴部を
設けてこの溝穴部を満たすように抵抗体層を形成し、抵
抗体層の上面と絶縁層の上面との間には段差が存在しな
いので、抵抗体層の電流の流れる部分近傍の保護層は均
一に堆積して保護層には欠陥が存在せず、抵抗体層に通
電したことによる発熱に伴う応力が保護層に加わったと
しても、保護層に亀裂が発生することはない。

本発明のインクジェット記録ヘッドでは、本発明の薄膜
抵抗ヒータを使用しているので、繰り返し記録を行った
としても薄膜抵抗ヒータの保護層に亀裂が発生せず、薄
膜抵抗ヒータが破壊することがない。

〔実　施　例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

まず、本発明の薄膜抵抗ヒータについて説明する。

第１図（ａ）は本発明の薄膜抵抗ヒータの一実施例の構
造を示す１面図、第１図（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ第１
図（ａ）のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線における縦断面図である
。

シリコン基板、カラス基板等の基体１上に、５ｉｎ２．
ＳｉＣ，ガラス等の電気絶縁性の材料からなる絶縁層２
が、基体１の上面のほぼ全域を覆うように設けられてい
る。絶縁層２のＬ面には溝穴部か設けられ、抵抗体層３
がこの溝穴部を満たすように形成されている。抵抗体層
３は、Ｗ、Ｍｏ、Ｔａ等の高融点金属、あるいは遷移金
属の窒化物、ケイ化物、ホウ化物等の、電気抵抗性の材
料からなる。抵抗体層３の−に而と絶縁層２の上面とは
滑らかに接続し、両者の間には段差はｈ在していない１
．絶縁層２の１には、抵抗体層３に通′−°Ｕするため
の、少なくとも２つの細長い形状の導体層４が形成され
ている。各導体層４は、ＡＬＬ、Ａｕ、Ｃｕ等の電気良
導体からなり、その一端が抵抗体層３に接することによ
り、抵抗体層３と電気的に接続されている。さらに、絶
縁層２、抵抗体層３及び導体層４の露出している部分を
覆うように、保護層５が設けられている。保護層５は、
ＳｉＯ２，ＳｉＣ等の電気絶縁性の材料からなる。

次に、この薄膜抵抗ビータの作成方法について説明する
。

まず、絶縁層２を熱酸化法あるいはスパッタ法により基
体１上に成膜する。次いて、フォトリングラフィにより
、抵抗体層３が設けられるべき溝穴部を絶縁層２の上面
に形成する。次に、抵抗体層３と同一の組成の膜をスパ
ッタ法によって絶縁層２上に堆積させる。このとき、前
記溝穴部にも当然に前記膜が堆積されている。エッチバ
ック法、リフトオフ法、研磨法等により、前記溝穴部を
除いて前記膜を除去し、抵抗体層３を形成する。このと
き、絶縁層２の上面と抵抗体層３の１面とが滑らかに接
続し、両者の間に段差が存在しないようにしておく。そ
して蒸着法により導体層４と同一組成の膜を堆積させて
から、フォトリソグラフィにより導体層４となるべき部
分以外の部分の膜を除去して導体層４を形成し、最後に
スパッタ法によって保護層５を形成する。以上の工程に
より、薄膜抵抗ヒータが作成される。

次に、本実施例の薄膜抵抗ヒータの動作について説明す
る。

少なくとも２つ設けられた導体層４がそれぞれ抵抗体層
３と電気的に接続されているので、これら導体層４間に
電圧を印加すると、抵抗体層３に電流が流れ、抵抗体層
３は電気抵抗性を有する材料からなるので、抵抗体層３
が発熱する。すなわち、抵抗体層３の電流の流れる部分
が発熱部６となる。発熱部６で発生した熱は、保護層５
を通ってその表向に伝えられる。

ところで、十述したように、保護層５を形成する時点て
絶縁層２のに而と抵抗体層３の」−面との間に段差が存
在しないので、少なくとも発熱部６の近傍の保護層５は
均一に堆積し、この部分の保護層５には欠陥は存在しな
い。発熱部６で熱が発生すると、保護層５の発熱部６の
近傍の部分に応力が加わるか、保護層５に欠陥がないの
で、保護層５に亀裂が生じたりすることはない。

以上、本発明の薄膜抵抗ヒータの実施例について説明し
たが、基体１が絶縁性である場合には、基体１の１面部
分を絶縁層とみなすことも可能であり、このときは独＼
′ｌに絶縁層２を設ける必要はない。

次に、本発明のインクジェット記録ヘッドについて説明
する。

第２図は本発明のインクジェット記録ヘッドの実施例の
構造を示す要部破断斜視図である。このインクジェット
記録ヘッド２０は、エツチング、蒸着、スパッタリング
等の゛ｒ導体製造プロセス技術によって製造され、基体
であるＪ、１．板２２１に多数の薄膜抵抗ヒータ２１が
一括して形成された構造となっている。基板２２の１−
面には不図示の絶縁層が形成されており、各薄膜抵抗ヒ
ータ２１の抵抗体層２３は、前記絶縁層のＬ面に設けら
れた溝穴部を満たすように形成され、抵抗体層２３の上
面と前記絶縁層の上面との間には段差が存在しないよう
になっている。また、抵抗体層２３に通電するための導
体層である電極２４が、それぞれの抵抗体層２３ごとに
前記絶縁層Ｆに設けられ、各抵抗体層２３の両端とそれ
ぞれ接続されている。そして、基板２２七の前記絶縁層
、抵抗体層２３、′電極２４の露出されている部分を覆
うように、絶縁性の材料からなる不図小の保護層か設け
られている。

さらに、インクシェツト記録ヘッド２０には、隣接する
液路（液体流路）３０間を隔てる液路壁２５、天板２６
、外液路３０に連通する共通液室２８、共通液室２８に
記録用液体３２を供給するための液体供給管２７、液体
供給管２７と共通液Ｈ：２８を接続１−るコネクタ２９
によって構成されている。抵抗体層２３は、各液路３０
ことに設けられるようになっている。

記ｔＪ用液体３２は、図小しない液体貯蔵室から液体供
給管２７を通って共通液室２８内に供給される。共通液
室２８内に供給された液体３２は、毛管現象により液路
３０内に供給され、液路３０の先端の吐出ｒ−，１３１
でメニスカスを形成することにより安定に保持される。

ここで電極２４を介して抵抗体層２３に通電することに
より抵抗体層２３が発熱し、不図小の保護層を介して液
体３２が加熱されて発泡し、その発泡のエネルギーによ
り吐出１」３１から液滴が吐出される。

また、前記用１１冒１３１は、１６個／　ｍ　ｍといり
た高密度て１２８個もしくは２５６個さらにはそれ以ト
の個数形成することができ、さらに被記録媒体の記録領
域の全幅にわたるだけの数を形成してフルラインタイプ
とすることもできる。

このインクジェット記録ヘッド２０は、抵抗体層２３の
１−面と絶縁層（小図示）の１−１面との間に段差かな
いのて、保護層（不図小）を堆積するときに均一に堆積
し、前記保護層中には欠陥はイＴ在しない。このため、
繰り返し抵抗体層２３に通電することによって記録用液
体３２の吐出を連続的に行う場合であっても、記録用液
体３２に直接接している前記保護層には亀裂が生じるこ
とはなく、薄膜抵抗ヒータ２１が破壊されることもない
。したがって、このインクジェット記録ヘッド２０は従
来のものに比べ長寿命である。

次に、インクジェット記録装置本体について、第３図に
より説明する。

所定の記録信号に基づいてインクを吐出し所望の画像を
記録する一ト述のインクジェット記録ヘッド１０１を搭
載したキャリッジ１０２は、２本のガイトリ１０３．１
０４に矢印Ｅｈ向に摺動自在に嵌合され、キャリッジモ
ータ１０５の出力軸に固着されたプーリ１０７と回転自
在に軸支されたプーリ１０６とにかけまわされたタイミ
ングベルト１０８の一部位に結合されている。前記イン
クジェット記録ヘット１０１は、キャリッジモータ１０
５の駆動力によりプーリ１０７が正転、逆転することに
よりタイミンクヘルド１０８が止転、逆転し、矢印Ｅ方
向に往復移動する構成となっている。

被記録媒体である記録紙１０９は、ペーパーパン１１０
によってガイドされ、ピンチローラで圧接させられてい
る図示しない紙送りローラによって搬送される。この搬
送は、紙送りモータ１１６を駆動源として行われる。搬
送された記録紙１０９は、１１紙ローラ１１３と拍１１
ｊ　１１４とによりテンシミＩンを加えられていて、弾
性部材で形成される紙押え板１１２によってヒータ１１
１に圧接させられているため、ヒータ１１１に密着させ
られながら搬送される。インクジェット記録ヘッド１０
１により噴射されたインクが付着した記録紙１０９は、
ヒータ１１１によって温められ、付着したインクはその
水分が蒸発して記録紙１０９に定着する。

回復ユニット１１５は、インクジェット記録ヘッド１０
１の吐出口（図示せず）に付着した異物や粘度の高くな
ったインクを除去することにより、吐出特性を正規の状
態に維持するためのものである。

前記回復ユニット１１５にはキャップ１１８ａが設けら
れており、インクジェット記録ヘッド１０１の吐出口を
キャッピングして、目詰まりの発生を防１１−するため
のものである。１１１記キヤツプ１１８ａの内部にはイ
ンク吸収体１１８が配設されている。

また、前記回復ユニット１１５の記録領域側には、イン
クシェツト記録ヘット１０１の吐出Ｌ１が形成された而
と当接し、前記吐出［１か形成された面に付着した異物
やインク滴をクリーニングするだめのクリーニンクブレ
ード１１７が設けられている。

次に、上述とは別のインクジェット記録装置について説
明する。

第４図は、インクシェツト記録装置の要部のみを示す概
略斜視図であり、所定の記録信号に基づいてインクを吐
出し、所望の画像を記録するインクジェット記録ヘッド
１２１は、前述したインクジェット記録ヘッド１０１と
同様の構成を有するフルラインタイプである。

＋ｆｆｆｆフィンクジエツト記録ヘッド１２１図示しな
いインクジェット記録装置本体に装着されており、複数
個の吐出口が列設された吐出口面＋２１ａが搬送ベルト
１２２の搬送面１２２ａと所定の間隙だけ離反した位置
にある。

前記搬送ベルト１２２は、インクジェット記録装置本体
にそれぞれ回転自在に軸支された２個のローラ１２３ａ
、　１２３ｂにかけまわされており、少なくとも１個の
ローラが強制回転されることにより、矢印Ｆ方向に回転
するものである。

本実施例のインクジェット記録装置は、図示しない給紙
部（図示右側）から搬送ベルト１２２に向けて送り出さ
れた被記録媒体が前記搬送ベルト１２２の搬送面１２２
ａに吸着されてインクジェット記録ヘッド１２１の吐出
口面１２１ａと搬送面＋２２ａとの間隙を通過し、この
とき、前記インクシェツト記録ヘッド１２１の各吐出口
からインクが吐出されて記録が行われる構成となってい
る。

本発明は、特にインクジェット記録方式の中でもキャノ
ン■が提唱するバブルジェット方式の記録ヘッド、イン
クジェット記録装置において、優れた効果をもたらすも
のである。

その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許
第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細
書に開示されている基本的な原理を用いて行うものが好
ましい。この方式は所謂オンデマンド型、コンティニュ
アス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマ
ンド型の場合には、液体（インク）が保持されているシ
ートや液路に対応して配置されている電気熱度楔体に、
記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇
を与える少なくとも一つの駆動信号を印加することによ
って、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録
ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆動信
号に一対一対応し液体（インク）内の気泡を形成できる
ので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出用開
口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも一
つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とすると
、即時適切に気泡の成長収縮が行われるのて、特に応答
性に優れた液体（インク）の引出が達成でき、より好ま
しい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第
４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書
に記載されているようなものが適している。なお、ト記
熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１
３１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、
更に優れた記録を行うことができる。

記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示され
ているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ
構成（直線状液流路又は直角液流路）の他に熱作用部が
屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許
第４５５８３３３　ｓ）明細書、米国特許第４４５９６
００号明細書を用いた構成も本発明に有効である。加え
て、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを
電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９
年第１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収
する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５
９年第１３８４６１号公報に基づいた構成としても本発
明は有効である。

更に、インクジェット記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満
たす構成や一体的に形成された一個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。

加えて、装置本体に装７ｉされることて、装置本体との
電気的な接続や装置本体からのインクの供給が６丁能に
なる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記
録ヘット自体に一体的に設けられたカートリッジタイプ
の記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

また、本発明のインクジェット記録装置の構成として設
けられる、記録ヘットに対しての回復手段、予備的な補
助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定てき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば
、記録ヘッドに対しての、キャビング手段、クリーニン
グ手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいは
これとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによ
るｒ備加熱丁段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モー
トを行うことも安定した記りｊを１１゛うために有効で
ある。　更に、インクジエ・シト記録装置の記録モート
としては黒色等の主流色のみの記録モートたけではなく
、記録ヘッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせ
によってでもよいが、異なる色の複色カラー又は、混色
によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本
発明は極めて有効である。

以ト説明した本発明実施例においては、インクを液体と
して説明しているが、室温やそれ以下で固化するインク
であって、室温で軟化もしくは液体あるいは、上述のイ
ンクジェットではインク自体を３０℃以上７０℃以下の
範囲内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲
にあるように温度制御するものが一般的であるから、使
用記録信叶付り一時にインクが液状をなすものであれば
よい。加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をイン
クの固形状態から液体状態への態度化のエネルギーとし
て使用せしめることで防止するか又は、インクの蒸発防
（Ｌを目的として放置状態で固化するインクを用いるか
して、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた
イ・１ノブ−によってインクか液化してインク液状とし
て吐出するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインク使用も本発明には適用可能であ
る。このような場合インクは、特開昭５４５６８４７号
公報あるいは特開昭６０ ７１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹
部又は貫通孔に液状又は固形物として保持された状態て
、電気熱変換体に対して対向するような形態としてもよ
い。本発明においては、上述した各インクに対して最も
有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものであ
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の薄膜抵抗ヒータは、絶縁層
のト面に溝穴部を設けてこの溝穴部を満たずように抵抗
体層を形成し、抵抗体層の上面と絶縁層の上面との間に
は段差が存在しないようにしたことにより、保護層の少
なくとも発熱部の近傍にある部分は均一に堆積してこの
部分には欠陥は存在せず、発熱部が発熱したときに発生
する応力が加わっても保護層に亀裂は発生せず、薄膜抵
抗ヒータが破壊しなくなって耐久性が向上するという効
果がある。

また本発明のインクジェット記録ヘッドは、本発明の薄
膜抵抗ヒータを使用することにより、その寿命が長くな
って長期間安定に使用できるようになるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の薄膜抵抗ヒータの一実施例の上
面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ線での垂直
断面図、第１図（Ｃ）は第１図（ａ）のＢ−Ｂ線での垂
直断面図、第２図は本発明のインクジェット記録ヘッド
の一実施例の要部破断斜視図、第３図は本発明のインク
ジェット記録装置の一実施例の斜視図、第４図は本発明
の別のインクジェット記録装置の斜視図、第５図（ａ）
は従来の薄膜抵抗ヒータの上面図、第５図（ｂ）は第５
図（ａ）のＣ−Ｃ線での垂直断面図、第５図（Ｃ）は第
５図（ａ）のＤ−Ｄ線での１■直断面図である。 １．１１・・・基体、　　　　２．１２・・・絶縁層、
３．１３・・・抵抗体層、　４．１４・・・導体層、５
．１５・・・保護層、　　　６．１６・・・発熱部、２
０・・・インクジェット記録ヘッド−２１・・・薄膜抵
抗ヒータ、　　２２・・・基板、２３・・・抵抗体層、
　　　　　２４・・・電極、２５・・・液路壁、　　　
　　　２６・・・天板、２７・・・液体供給管、　　　
　２８・・・共通液路、２９・・・コネクタ、　　　　
　３０・・・液路、３１・・・吐出［」、　　　　　　
３２・・・記録用液体、１０１．１２１・・・インクジ
ェット記録ヘッド、１０２・・・キャリッジ、 １０３．１０４−・・ガイド軸、 １０５−・・キャリッジモータ、 １０６．１０７・・・プーリ、 １０８・・・タイミングベルト、 １０９・・・記録紙、　　　　１１０・・・ペーパーパ
ン、１１１・・・ヒータ、　　　　１１２・・・紙押え
板、１１３・・・排紙ローラ、１１４・・・相！１（，
１１５−・・回復ユニット、 １１７・・・クリーニングブレード、 １ｔａ−・・インク吸収体、１１８ａ・・・キャップ、
１２１ａ・・・吐出［１面、　　　　１２２・・・搬送
ベルト、１２２ａ・・・搬送面、 １２３ａ。 １２３ｂ・・・ローラ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基体と、 該基体上に設けられ電気絶縁性である絶縁層と、 該絶縁層の上面に設けられた溝穴部を満たしかつ上面と
   前記絶縁層の上面との間に段差が存在しないように形成
   された、電気抵抗性を有する材料からなる抵抗体層と、 前記絶縁層上に設けられ、前記抵抗体層に通電できるよ
   う前記抵抗体層と電気的に接続された、電気良導体から
   なる導体層と、 前記絶縁層、前記抵抗体層及び前記導体層の露出されて
   いる部分を覆うように設けられた電気絶縁性の保護層と
   からなる薄膜抵抗ヒータ。 ２、基体上に電気絶縁性の絶縁層を設ける工程前記絶縁
   層の上面に溝穴部を設ける工程と、前記絶縁層の上面の
   少なくとも前記溝穴部を含む部分に、電気抵抗性の材料
   からなる膜を積層する工程と、 前記膜のうち前記溝穴部を満たしている部分以外の部分
   を取り除くことにより、前記膜の一部からなり、前記溝
   穴部を満たしかつ上面と前記絶縁層の上面との間に段差
   が存在しない抵抗体層を形成する工程と、 前記抵抗体層に通電できるように前記抵抗体層と接続さ
   れ電気良導体からなる導体層を前記絶縁層上に設ける工
   程と、 前記絶縁層、前記抵抗体層及び前記導体層の露出されて
   いる部分を覆うように、電気絶縁性の保護層を設ける工
   程とからなる薄膜抵抗ヒータの製造方法。 ３、吐出口と、該吐出口に連通し底壁にエネルギー発生
   素子が設けられた液流路と、該液流路に連通し一時的に
   インクを貯える液室とを有し、エネルギー発生素子を駆
   動することにより前記インクよりなるインク液滴を前記
   吐出口から吐出させるインクジェット記録ヘッドにおい
   て、 前記エネルギー発生素子として請求項１記載の薄膜抵抗
   ヒータを使用することを特徴とするインクジェット記録
   ヘッド。 ４、吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅にわたって形
   成されているフルラインタイプである請求項３記載のイ
   ンクジェット記録ヘッド。 ５、請求項３または４記載のインクジェット記録ヘッド
   を備え、記録信号に基づいてインクを前記インクジェッ
   ト記録ヘッドの吐出口から吐出して記録を行うインクジ
   ェット記録装置。