JPH04141982A - 薄膜ｅｌパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はＦＡ、ＯＡ等の情報表示に用いられる薄膜ＥＬ
ハネルの製造方法に関する。

〈従来の技術〉 薄膜ＥＬパ翠ルは表示品位に優れ、ＦＡ、ＯＡ機器等の
デイスプレィとして実用化されている。

従来の薄膜ＥＬパネルは表示容量が小さく、第３図に示
すように、データ側Ｄ、走査側Ｓとも電極が交互に取り
出された構造となっている。

一方、最近開発されている大表示容量のパネルにおいて
は、第４図に示すように、データ側りの電極が上下に２
分割された電極構造が採用されている。このような電極
構造の薄膜ＥＬパネルの電極端子の取り出しピッチは必
然的に従来の２倍となる。

従って、このような場合には、例えば走査側Ｓの電極ピ
ッチが０．４ｍｍのときには、データ側りの電極ピッチ
は０．２＋＋ｏ＋にする必要がある。

〈発明が解決しようとする課題〉 上記のようなＥＬパネルにおいては、電極間にリークが
あると、発光した際に発光が不均一になるおそれがある
ので、パネルに仕上げる前に予めデータ側電極の隣接す
る端子間のリークがないことを検査する必要がある。

電極間のリークの検査方法としては、電極間ピッチの２
針の検査針を移動させる方法や、各々の電極端子に対応
するビンをコンタクトさせて検査する方法、または異方
性導電ゴムを利用する方法がある。また目視による検査
方法もある。

ＥＬパネルの端子膜としては、ハンダ付けの必要性から
アルミニウムとニッケルの積層膜が用いられるが、この
Ａｌ−Ｎｉ膜はその性質上キズが付きやすい傾向がある
。このため、ＩＴＯ等で問題のない検査針を移動させる
方法は利用することができない。またピンや異方性導電
ゴムを利用する方法は、その位置合わせが不可欠で、高
精細ピッチでは作業性に問題があり、またその検査装置
も高価なものである。さらに、目視による方法では、０
．４１までは可能であるが、それ以上になると例えば０
゜２ｍｍでは検査は実際上不可能である。

本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、上記した
ような作業性の低下させることなく、確実なリークチエ
ツクが行える新規な薄膜ＥＬパネルの製造方法を提供す
ることを目的としている。

く課題を解決するための手段〉 本発明に係る薄膜ＥＬパネルの製造方法は、データ側電
極を上下に２分割することにより形成された薄膜ＥＬパ
ネルにおいて、フォトエツチングにより前記データ側電
極端子の隣接する端子の一方を短絡し、他方をその短絡
パターンとギャップを設けて形成し、隣接するデータ側
電極端子間のリークを発光により検査し、その後ハンダ
ディップ等の手段で前記端子間を短絡してエージング処
理し、さらにそのあと短絡パターンの近傍で短絡パター
ンに平行に電極端子を分断するようにしたことを特徴と
している。

く作用〉 データ側電極をフォトエッチで形成する際に、隣接する
電極端子の一方を予め短絡し、他方を短絡せずに形成す
る。この場合のギャップを５０μｍ以下とする。このよ
うにして形成した電極端子を短絡パターンと走査側電極
間に交流パルスを印加し、ＥＬを発光させる。隣接する
端子間のリークの有無はこの発光パターンの観察により
容易に判断できる。

〈実施例〉 以下、図面を参照して本考案に係る一実施例を説明する
。第１図から第５図にかけては本発明に係る図面であっ
て、第１図は電極端子構造を示す平面図、第２図は薄膜
ＥＬパネルの断面図、第３図及び第４図は薄膜ＥＬパネ
ルの電極構造を示す説明図、第５図は本発明の薄膜ＥＬ
パネルの一部切欠外観斜視図である。

図において、１は短絡電極端子（コモン端子）、２は短
絡しない電極端子（個別端子）、３は短絡パターン、４
はコモン端子１と個別端子２間のギャップ、５は透明電
極、６はガラス基板、７は透明電極、８は第１絶縁膜、
９は発光層、ｌＯは第２絶縁膜、１１は背面電極、１２
はデータ側電極をそれぞれ示している。

まずガラス基板６の上に例えばＩＴＯからなる透明導電
膜をスパッタ等で形成したあと、フォトエッチで、前記
透明導電膜をストライブ状に加工することにより、透明
電極７とする。この透明電極７はパネル中央部で１０〜
５０μｍのギャップで上下に分割される。

つぎに前記ストライプ状の透明電極７の上に、ＳｉＯ２
とＳｉ３Ｎ、からなる第１絶縁膜８　、ＺｎＳ　　−Ｍ
ｎからなる発光層９　、Ｓｉ、Ｎ、とＡｌ２０ｆｆから
なる第２絶縁膜ＩＯが順次積層される。

つぎに背面電極膜及び電極端子膜として、ＡＩとＮｉの
積層膜が蒸着形成され、これをフォトエッチによりパタ
ーン加工して背面電極１１及び電極端子１２（データ側
電極）となる。この電極端子１２を第１図に示す形状で
形成する。電極端子１．２は前記透明電極と接続するよ
うに形成するとともに、一方の電極端子１は短絡パター
ン３で互いに接続され、他方の電極端子２は前記短絡パ
ターン３と５０μ糟以下のギャップ４を隔てるように形
成する。

この短絡パターン３と走査側の電極間に交流パルスを印
加してＥＬパネルを発光させるのである。

前記短絡パターン３と走査側の電極間に交流パルスを印
加してＥＬパネルを発光させると、このとき、絵素内も
含め、隣接する端子間にリークがなげれば、発光はデー
タ側は１本おきのパターンとなる。

もしここにリークがあると、１本おきとならず、そのラ
インが発光するので、リークの有り無しは容易に判別で
きる。

つぎに防湿性を与えるために、シールを行い、特性安定
化のためにエージング処理を行う。このエージング処理
は導電材料を圧着させて全部のデータ側電極に電圧を印
加することも可能であるが、高精細の電極では、均一な
圧着が困難でどうしても接触不良をおこしやすい。

本発明では、隣接する電極端子のギャップを５０μｍ以
下で形成しているため、ハンダディップを行えば、容易
にハンダによりブリッジさせることが可能である。

このようにして、データ側電極を短絡したあと、エージ
ング処理を行い、最終工程において、第１図に示す分断
ラインで分割する。

上記実施例では、第１図に示す形状でパターンを形成し
ているが、本発明はこの実施例に限定されることはなく
、隣接する電極端子間のギャップを３０μｍ以下で形成
する他のパターンでも基本的には本発明に含まれるもの
である。

また本発明の実施例では、ハンダにより隣接する電極端
子を短絡させたが、例えば銀ペースト等の導電性ペース
トを用いることも可能である。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明の薄膜ＥＬパネルの製造方
法は、短絡パターンを形成したあと、発光状態を観察す
ることでリークの有無を検査する方法を提案するもので
ある。従って、本発明は従来作業性の良くなかったリー
ク検査を特別の設備や治具を用いることなく、簡便な方
法で実施できるようにしたので極めて有効且つ合理的で
あり、高精細の薄膜ＥＬパネルを経済性よ（製造するこ
とがでる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第５図にかけては本発明に係る図面であって
、第１図は電極端子構造を示す平面図、第２図は薄膜Ｅ
Ｌパネルの断面図、第３図及び第４図は薄膜ＥＬパネル
の電極構造を示す説明図、第５図は本発明の薄膜ＥＬパ
ネルの一部切欠外観斜視図である。 ■　・・・・短絡する電極端子 ２　・・・・短絡しない電極端子 ３　・・・・短絡パターン ４　・・・・ギャップ ５　・・・・透明電極 ６　・・・・ガラス基板 ７　・・・・透明電極 ８　・・・・第１絶縁膜 ９　・・・・発光層 １０・・・・第２絶縁膜 １１・・・・背面電極 １２・・・・電極端子（データ側電極）特許出願人　　
　　シャープ株式会社 代理人　弁理士　　　大　西　孝　治 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）データ側電極を上下に２分割することにより形成
   された薄膜ＥＬパネルにおいて、フォトエッチングによ
   り前記データ側電極端子の隣接する端子の一方を短絡し
   、他方をその短絡パターンとギャップを設けて形成し、
   隣接するデータ側電極端子間のリークを発光により検査
   し、その後ハンダディップ等の手段で前記端子間を短絡
   してエージング処理し、さらにそのあと短絡パターンの
   近傍で短絡パターンに平行に電極端子を分断するように
   したことを特徴とする薄膜ＥＬパネルの製造方法。