JPH0414117A - 温度制御装置 - Google Patents
温度制御装置Info
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- JPH0414117A JPH0414117A JP11839290A JP11839290A JPH0414117A JP H0414117 A JPH0414117 A JP H0414117A JP 11839290 A JP11839290 A JP 11839290A JP 11839290 A JP11839290 A JP 11839290A JP H0414117 A JPH0414117 A JP H0414117A
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- circuit
- heating
- control
- heated
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［概 要］
ヒータと制御用温度センサーとを備えるヒータブロック
の上に被加熱物を載置して該被加熱物を加熱する加熱装
置に対する温度制御装置に関し、作業者の手間が少なく
て済み且つ簡便な操作でもって、被加熱物の加熱温度を
正確にさせる補正を確実に行うことができるようにする
ことを目的とし、 指定温度の入力により、制御用温度センサーの検出温度
が該指定温度で一定になるようにヒータの電流開閉を制
御するヒータ制御回路と、指定温度を適宜時間毎に段階
的に変えてヒータ制御回路に入力する第１温度指定回路
と、第１温度指定回路が入力した各指定温度毎に、制御
用温度センサーの検出温度が該指定温度で一定した時点
における、制御用温度センサーの検出温度Ｔ１、及び、
ヒータブロック上に載置された被加熱物同等品が備える
補正用温度センサーの検出温度Ｔ１、を記憶する温度記
憶回路と、温度記憶回路が記憶した温度Ｔｔ及びＴ□か
らの補間演算により、補正用温度センサーが検出するべ
き任意温度Ｔ、における制御用温度センサーの検出温度
Ｔ、から温度Ｔ４を減じた補正温度をを算出する演算回
路と、被加熱物の加熱温度Ｔの入力により、演算回路が
温度Ｔ４＝温度Ｔにして算出する補正温度をを温度Ｔか
ら減じた温度Ｔ、を算出し、温度Ｔ、を指定温度として
ヒータ制御回路に入力する第２温度指定回路と、を備え
てなり、被加熱物を加熱する以前に被加熱物同等品及び
第１温度指定回路を用いて温度記憶回路に温度Ｔ、及び
Ｔ２を記憶させておき、被加熱物を加熱する際に、第２
温度指定回路を用い、加熱温度Ｔを第２温度指定回路に
入力して前記加熱装置を制御するものであるように構成
する。
の上に被加熱物を載置して該被加熱物を加熱する加熱装
置に対する温度制御装置に関し、作業者の手間が少なく
て済み且つ簡便な操作でもって、被加熱物の加熱温度を
正確にさせる補正を確実に行うことができるようにする
ことを目的とし、 指定温度の入力により、制御用温度センサーの検出温度
が該指定温度で一定になるようにヒータの電流開閉を制
御するヒータ制御回路と、指定温度を適宜時間毎に段階
的に変えてヒータ制御回路に入力する第１温度指定回路
と、第１温度指定回路が入力した各指定温度毎に、制御
用温度センサーの検出温度が該指定温度で一定した時点
における、制御用温度センサーの検出温度Ｔ１、及び、
ヒータブロック上に載置された被加熱物同等品が備える
補正用温度センサーの検出温度Ｔ１、を記憶する温度記
憶回路と、温度記憶回路が記憶した温度Ｔｔ及びＴ□か
らの補間演算により、補正用温度センサーが検出するべ
き任意温度Ｔ、における制御用温度センサーの検出温度
Ｔ、から温度Ｔ４を減じた補正温度をを算出する演算回
路と、被加熱物の加熱温度Ｔの入力により、演算回路が
温度Ｔ４＝温度Ｔにして算出する補正温度をを温度Ｔか
ら減じた温度Ｔ、を算出し、温度Ｔ、を指定温度として
ヒータ制御回路に入力する第２温度指定回路と、を備え
てなり、被加熱物を加熱する以前に被加熱物同等品及び
第１温度指定回路を用いて温度記憶回路に温度Ｔ、及び
Ｔ２を記憶させておき、被加熱物を加熱する際に、第２
温度指定回路を用い、加熱温度Ｔを第２温度指定回路に
入力して前記加熱装置を制御するものであるように構成
する。
（産業上の利用分野〕
本発明は、ヒータと制御用温度センサーとを備えるヒー
タブロックの上に被加熱物を載置して該被加熱物を加熱
する加熱装置に対する温度制御装置に関する。
タブロックの上に被加熱物を載置して該被加熱物を加熱
する加熱装置に対する温度制御装置に関する。
半導体装ｌの試験において、加熱状態の特性を測定する
際に上記加熱装置を用いることが多い。
際に上記加熱装置を用いることが多い。
その場合、被加熱物である半導体装置の加熱温度を正確
にすることが重要である。そのため上記温度制御装置は
、簡便な操作で加熱温度を正確になし得るものであるこ
とが望まれる。
にすることが重要である。そのため上記温度制御装置は
、簡便な操作で加熱温度を正確になし得るものであるこ
とが望まれる。
［従来の技術］
第２図は従来例の構成を示す図であり、図中の１０は加
熱装置を、また２０は従来例の温度制御装置を示す。
熱装置を、また２０は従来例の温度制御装置を示す。
同図において、加熱装置１０は、ヒータ１１と制御用温
度センサ１２とを備えるヒータブロック１３の上に被加
熱物ｌを載置して該被加熱物１を加熱するものである。
度センサ１２とを備えるヒータブロック１３の上に被加
熱物ｌを載置して該被加熱物１を加熱するものである。
温度制御装置２０は、指定温度Ｔ０の人力により、制御
用温度センサ１２の検出温度が温度Ｔ０で一定になるよ
うにヒータ１１の電流開閉を制御するヒータ制御回路２
１を備えるものである。この制御方式には例えばＰｒＤ
制御制御ｌ比例微分積分割Ｗ）などが用いられている。
用温度センサ１２の検出温度が温度Ｔ０で一定になるよ
うにヒータ１１の電流開閉を制御するヒータ制御回路２
１を備えるものである。この制御方式には例えばＰｒＤ
制御制御ｌ比例微分積分割Ｗ）などが用いられている。
ところがこの温度制御装置２０を用いた場合、加熱され
た被加熱物１の温度が指定温度子。より低い温度となる
ため、被加熱物１を温度Ｔに加熱するためには指定温度
Ｔ０を温度Ｔよりも高く設定する補正が必要である。
た被加熱物１の温度が指定温度子。より低い温度となる
ため、被加熱物１を温度Ｔに加熱するためには指定温度
Ｔ０を温度Ｔよりも高く設定する補正が必要である。
第３図（ａ）、 （ｂ）は従来例の温度補正を説明する
ための図である。
ための図である。
同図において、上記補正に用いる補正温度ｔ。を求める
ために、被加熱物１の加熱の以前に（ａｌのように、被
加熱物１と同等であって補正用温度センサー２を備える
被加熱物同等品３をヒータプロ、・り１３上の被加熱物
１載置位置に載置して、被加熱物１が加熱される温度を
補正用温度センサー２で測定できるようにする。４は補
正用温度センサー２の検出温度を表示する温度表示器で
ある。
ために、被加熱物１の加熱の以前に（ａｌのように、被
加熱物１と同等であって補正用温度センサー２を備える
被加熱物同等品３をヒータプロ、・り１３上の被加熱物
１載置位置に載置して、被加熱物１が加熱される温度を
補正用温度センサー２で測定できるようにする。４は補
正用温度センサー２の検出温度を表示する温度表示器で
ある。
そして作業者が、指定温度Ｔ０を適宜時間間隔毎に段階
的に変えてヒータ制御回路２１に入力し、各指定温度Ｔ
０毎に、制御用温度センサー１２の検出温度が温度Ｔ０
で一定したところで、補正用温度センサー２の検出温度
を温度表示器４から読み取り、（ｂｌのような温度特性
図Ａを作成する。ここで、Ｔは補正用温度センサー２の
検出温度であって被加熱動１の加熱温度となるものであ
り、縦軸方向における温度Ｔ０から温度Ｔを減じた差温
かその温度Ｔにおける補正温度ｔ０である。
的に変えてヒータ制御回路２１に入力し、各指定温度Ｔ
０毎に、制御用温度センサー１２の検出温度が温度Ｔ０
で一定したところで、補正用温度センサー２の検出温度
を温度表示器４から読み取り、（ｂｌのような温度特性
図Ａを作成する。ここで、Ｔは補正用温度センサー２の
検出温度であって被加熱動１の加熱温度となるものであ
り、縦軸方向における温度Ｔ０から温度Ｔを減じた差温
かその温度Ｔにおける補正温度ｔ０である。
被加熱物ｌの加熱は温度特性図Ａを作成した後に行い、
加熱温度Ｔに加熱する際に、温度特性図Ａから該当する
補正温度ｔ６を求め指定温度ＴｏをＴａ＝Ｔ＋ｔ、
に設定して、加熱温度が正確になるようにする。
加熱温度Ｔに加熱する際に、温度特性図Ａから該当する
補正温度ｔ６を求め指定温度ＴｏをＴａ＝Ｔ＋ｔ、
に設定して、加熱温度が正確になるようにする。
しかしながら、上述のようにして補正を行う場合には、
温度特性図Ａの作成のために作業者の膨大な手間を必要
とし、然も、被加熱物ｌの加熱の際に温度特性図Ａから
補正温度ｔ０を読み取って温度制御装置２０を操作する
という煩雑な作業が必要である。また、補正に関する一
連の作業を作業者が行うため補正ミスを起こすことがあ
る。
温度特性図Ａの作成のために作業者の膨大な手間を必要
とし、然も、被加熱物ｌの加熱の際に温度特性図Ａから
補正温度ｔ０を読み取って温度制御装置２０を操作する
という煩雑な作業が必要である。また、補正に関する一
連の作業を作業者が行うため補正ミスを起こすことがあ
る。
本発明は、先に述べた加熱装置に対する温度制御装置に
おいて、作業者の手間が少な（で済み且つ簡便な操作で
もって、被加熱物の加−熱温度を正確にさせる補正を確
実に行うことができるようにすることを目的とする。
おいて、作業者の手間が少な（で済み且つ簡便な操作で
もって、被加熱物の加−熱温度を正確にさせる補正を確
実に行うことができるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の温度制御装置は、
ヒータと制御用温度センサーとを備えるヒータプロンク
の上に被加熱物を載置して該被加熱物を加熱する加熱装
置に対する温度制御装置であって、指定温度の入力によ
り、制御用温度センサーの検出温度が該指定温度で一定
になるようにヒータの電流開閉を制御するヒータ制御回
路と、指定温度を適宜時間毎に段階的に変えてヒータ制
御回路に入力する第１温度指定回路と、第１温度指定回
路が入力した各指定温度毎に、制御用温度センサーの検
出温度が該指定温度で一定した時点における、制御用温
度センサーの検出温度ＴＩ％及び、ヒータブロック上に
載置された被加熱物同等品が備える補正用温度センサー
の検出温度Ｔ８、を記憶する温度記憶回路と、温度記憶
回路が記憶した温度Ｔ１及びＴ３からの補間演算により
、補正用温度センサーが検出するべき任意温度Ｔ、にお
ける制御用温度センサーの検出温度Ｔ、から温度Ｔ、を
減じた補正温度をを算出する演算回路と、 被加熱物の加熱温度Ｔの入力により、演算回路が温度Ｔ
４−温度Ｔにして算出する補正温度をを温度Ｔから滅じ
た温度Ｔ、を算出し、温度Ｔ、を指定温度としてヒータ
制御回路に入力する第２温度指定回路と、を備えてなり
、 被加熱物を加熱する以前に被加熱物同等品及び第１温度
指定回路を用いて温度記憶回路に温度Ｔ１及びＴ２を記
憶させておき、 被加熱物を加熱する際に、第２温度指定回路を用い、加
熱温度Ｔを第２温度指定回路に入力して前記加熱装置を
制御するものであることを特徴としている。
の上に被加熱物を載置して該被加熱物を加熱する加熱装
置に対する温度制御装置であって、指定温度の入力によ
り、制御用温度センサーの検出温度が該指定温度で一定
になるようにヒータの電流開閉を制御するヒータ制御回
路と、指定温度を適宜時間毎に段階的に変えてヒータ制
御回路に入力する第１温度指定回路と、第１温度指定回
路が入力した各指定温度毎に、制御用温度センサーの検
出温度が該指定温度で一定した時点における、制御用温
度センサーの検出温度ＴＩ％及び、ヒータブロック上に
載置された被加熱物同等品が備える補正用温度センサー
の検出温度Ｔ８、を記憶する温度記憶回路と、温度記憶
回路が記憶した温度Ｔ１及びＴ３からの補間演算により
、補正用温度センサーが検出するべき任意温度Ｔ、にお
ける制御用温度センサーの検出温度Ｔ、から温度Ｔ、を
減じた補正温度をを算出する演算回路と、 被加熱物の加熱温度Ｔの入力により、演算回路が温度Ｔ
４−温度Ｔにして算出する補正温度をを温度Ｔから滅じ
た温度Ｔ、を算出し、温度Ｔ、を指定温度としてヒータ
制御回路に入力する第２温度指定回路と、を備えてなり
、 被加熱物を加熱する以前に被加熱物同等品及び第１温度
指定回路を用いて温度記憶回路に温度Ｔ１及びＴ２を記
憶させておき、 被加熱物を加熱する際に、第２温度指定回路を用い、加
熱温度Ｔを第２温度指定回路に入力して前記加熱装置を
制御するものであることを特徴としている。
この温度制御装置は、温度Ｔ、及びＴ２が先に述べた温
度特性図Ａを作成するための測定温度に、また補正温度
ｔが先に述べた補正温度ｔ、に該当して、第２ｔｉ度指
定回路が補正作業を行うので、作業者の少ない手間と簡
便な操作でもって、被加熱物の加熱温度を正確にさせる
補正を確実に行うことができるようにさせる。
度特性図Ａを作成するための測定温度に、また補正温度
ｔが先に述べた補正温度ｔ、に該当して、第２ｔｉ度指
定回路が補正作業を行うので、作業者の少ない手間と簡
便な操作でもって、被加熱物の加熱温度を正確にさせる
補正を確実に行うことができるようにさせる。
〔実施例］
以下本発明の実施例についてその構成を示す第１図を用
いて説明する。全図を通し同一符号は同一対象物を示す
。
いて説明する。全図を通し同一符号は同一対象物を示す
。
同図において、本発明による温度制御装置３０は、ヒー
タ制御回路３１、第１温度指定回路３２、温度記憶回路
３３、演算回路３４、第２温度指定回路３５、を備えて
いる。
タ制御回路３１、第１温度指定回路３２、温度記憶回路
３３、演算回路３４、第２温度指定回路３５、を備えて
いる。
ヒータ制御回路３１は、従来例のヒータ制御回路２１と
同じものである。
同じものである。
第１温度指定回路３２は、指定温度を、例えば０．５〜
１時間といった制御用温度センサー１２の検出温度が一
定になるのに十分な適宜時間毎に、段階的に変えてヒー
タ制御回路３１に入力させるものである。その段階的に
変える指定温度は、例えば４０°Ｃから１２０°Ｃまで
の間を２０°Ｃ間隔にとった温度である。
１時間といった制御用温度センサー１２の検出温度が一
定になるのに十分な適宜時間毎に、段階的に変えてヒー
タ制御回路３１に入力させるものである。その段階的に
変える指定温度は、例えば４０°Ｃから１２０°Ｃまで
の間を２０°Ｃ間隔にとった温度である。
温度記憶回路３３は、第１温度指定回路３２が入力した
各指定温度毎に、制御用温度センサー１２の検出温度が
該指定温度で一定した時点における、制御用温度センサ
ー１２の検出温度Ｔ８、及び、ヒータブロック１３上に
載置された被加熱物同等品３が備える補正用温度センサ
ー２の検出温度Ｔ２、を記憶するものである。この温度
Ｔ、及びＴ２は先に述べた温度特性図Ａを作成するため
の測定温度に該当する。
各指定温度毎に、制御用温度センサー１２の検出温度が
該指定温度で一定した時点における、制御用温度センサ
ー１２の検出温度Ｔ８、及び、ヒータブロック１３上に
載置された被加熱物同等品３が備える補正用温度センサ
ー２の検出温度Ｔ２、を記憶するものである。この温度
Ｔ、及びＴ２は先に述べた温度特性図Ａを作成するため
の測定温度に該当する。
演算回路３４は、温度記憶回路３３が記憶した温度Ｔ、
及びＴ！からの補間演算により、補正用温度センサー２
が検出するべき任意温度Ｔ、における制御用温度センサ
ー１２の検出温度Ｔ、から温度Ｔ４を減じた補正温度を
を算出するものである。この補正温度ｔは先に述べた補
正温度ｔ、に該当する。
及びＴ！からの補間演算により、補正用温度センサー２
が検出するべき任意温度Ｔ、における制御用温度センサ
ー１２の検出温度Ｔ、から温度Ｔ４を減じた補正温度を
を算出するものである。この補正温度ｔは先に述べた補
正温度ｔ、に該当する。
第２温度指定回路３５は、被加熱物１の加熱温度Ｔの入
力により、演算回路３４が温度Ｔ４−温度Ｔにして算出
する補正温度をを温度Ｔから減じた温度Ｔ、を算出し、
温度Ｔ、を指定温度としてヒータ制御回路に入力するも
のである。この温度Ｔ、は従来例の補正された指定温度
Ｔ０に該当する。
力により、演算回路３４が温度Ｔ４−温度Ｔにして算出
する補正温度をを温度Ｔから減じた温度Ｔ、を算出し、
温度Ｔ、を指定温度としてヒータ制御回路に入力するも
のである。この温度Ｔ、は従来例の補正された指定温度
Ｔ０に該当する。
ここで、第１温度指定回路３２による指定温度、温度Ｔ
１及びＴ２、補正温度ｔの一例は次のようである（単位
：Ｃ）。
１及びＴ２、補正温度ｔの一例は次のようである（単位
：Ｃ）。
指定温度 温度Ｔ、湿温度２ 補正温度ｔ８０
８０ ７６ ’４そしてこの温度制御装置３
０は、以下のように操作される。
８０ ７６ ’４そしてこの温度制御装置３
０は、以下のように操作される。
即ち、先ず被加熱物１を加熱する以前に、ヒータ制御回
路３工の指定温度入力端を第１温度指定回路３２に接続
し、被加熱物同等品３を用いて温度記憶回路３３に温度
Ｔ１及びＴ２を記憶させる。その際、被加熱物同等品３
は、図のようにヒータブロック１３上の被加熱物ＩＩ！
置装置に載置する。この工程は、作業者が最初のセツテ
ィングを行えば良く、その後の長時間を要する温度Ｔ１
及びＴ２の記憶完了までを温度制御装置３０が自動的に
行う。
路３工の指定温度入力端を第１温度指定回路３２に接続
し、被加熱物同等品３を用いて温度記憶回路３３に温度
Ｔ１及びＴ２を記憶させる。その際、被加熱物同等品３
は、図のようにヒータブロック１３上の被加熱物ＩＩ！
置装置に載置する。この工程は、作業者が最初のセツテ
ィングを行えば良く、その後の長時間を要する温度Ｔ１
及びＴ２の記憶完了までを温度制御装置３０が自動的に
行う。
そして被加熱物１を加熱する際には、ヒータ制御回路３
１の指定温度入力端を第１温度指定回路３２から切り離
して第２温度指定回路３５に接続し゛、被加熱物１の加
熱温度Ｔを第２温度指定回路３５に入力する。その際、
被加熱物ｌはヒータブロック１３上に載置する。ヒータ
制御回路３１は温度Ｔ、を指定温度にして作動し、被加
熱物１は加熱温度Ｔに正確に加熱される。
１の指定温度入力端を第１温度指定回路３２から切り離
して第２温度指定回路３５に接続し゛、被加熱物１の加
熱温度Ｔを第２温度指定回路３５に入力する。その際、
被加熱物ｌはヒータブロック１３上に載置する。ヒータ
制御回路３１は温度Ｔ、を指定温度にして作動し、被加
熱物１は加熱温度Ｔに正確に加熱される。
（発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、ヒータと制御用温
度センサーとを備えるヒータブロックの上に被加熱物を
載置して該被加熱物を加熱する加熱装置に対する温度制
御装置において、作業者の手間が少なくて済み且つ簡便
な操作でもって、被加熱物の加熱温度を正確にさせる補
正を確実に行うことを可能にさせる効果がある。
度センサーとを備えるヒータブロックの上に被加熱物を
載置して該被加熱物を加熱する加熱装置に対する温度制
御装置において、作業者の手間が少なくて済み且つ簡便
な操作でもって、被加熱物の加熱温度を正確にさせる補
正を確実に行うことを可能にさせる効果がある。
第１回は実施例の構成を示す図、
第２図は従来例の構成を示す図、
第３図（ａ）、■）は従来例の温度補正を説明するため
の図、 である。 図において、 １は被加熱物、 ２は補正用温度センサー ３は被加熱物同等品、 １０は加熱装置、 １１はヒータ、 １２は制御用温度センサー １３はヒータブロック、 ２０、３０は温度制御装置 ２１、３１はヒータ制御回路、 ３２は第１温度指定回路、 ３３は温度記憶回路、 ３４は演算回路、 ３５は第２温度指定回路、 Ａは温度特性図、 Ｔは被加熱物の加熱温度、 Ｔｏは指定温度、 Ｔ２はセンサー検出温度、 Ｔ、は補正された指定温度、 ｔｏは補正温度、 である。 従来例の溝成を示寸口 １２；制御用温度セッサ ３０ 温度制御′ｉｌｌ液！ ３２：第１温度指定回路 ３４ニジ寅ｉ回５番とシ Ｔ：主皮刀Ｉｌ］？！−孕勿の刀口轡椿Ｊ吉度Ｔ５；桶
正されＴこｉ６定、２度 １３°ヒータフロツク ３１、ヒータ缶１１７卸回路 ３３．１１！Ｓｅ ノ！１ 回＆３ ３５− 第２；呂Ｊぎオ昌定回ア各 下１． Ｔ２ ｔ−ノサー検出温度 ｔ ９イｉ正ン孟度 宇茄例の構成Σ示す図 第 １ 図 補正用、音度セッサ 級ハロ憩１９バ〒４４キ８ｂ Ａ：温度特性図 ｔｏ、補正温度 Ｔ：ネ反Ｊ旧歩１才力のカーー７昆１度伎呆例の温区情
正２説明Ｔるための同 第 Ｂ 図
の図、 である。 図において、 １は被加熱物、 ２は補正用温度センサー ３は被加熱物同等品、 １０は加熱装置、 １１はヒータ、 １２は制御用温度センサー １３はヒータブロック、 ２０、３０は温度制御装置 ２１、３１はヒータ制御回路、 ３２は第１温度指定回路、 ３３は温度記憶回路、 ３４は演算回路、 ３５は第２温度指定回路、 Ａは温度特性図、 Ｔは被加熱物の加熱温度、 Ｔｏは指定温度、 Ｔ２はセンサー検出温度、 Ｔ、は補正された指定温度、 ｔｏは補正温度、 である。 従来例の溝成を示寸口 １２；制御用温度セッサ ３０ 温度制御′ｉｌｌ液！ ３２：第１温度指定回路 ３４ニジ寅ｉ回５番とシ Ｔ：主皮刀Ｉｌ］？！−孕勿の刀口轡椿Ｊ吉度Ｔ５；桶
正されＴこｉ６定、２度 １３°ヒータフロツク ３１、ヒータ缶１１７卸回路 ３３．１１！Ｓｅ ノ！１ 回＆３ ３５− 第２；呂Ｊぎオ昌定回ア各 下１． Ｔ２ ｔ−ノサー検出温度 ｔ ９イｉ正ン孟度 宇茄例の構成Σ示す図 第 １ 図 補正用、音度セッサ 級ハロ憩１９バ〒４４キ８ｂ Ａ：温度特性図 ｔｏ、補正温度 Ｔ：ネ反Ｊ旧歩１才力のカーー７昆１度伎呆例の温区情
正２説明Ｔるための同 第 Ｂ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ヒータと制御用温度センサーとを備えるヒータブロック
の上に被加熱物を載置して該被加熱物を加熱する加熱装
置に対する温度制御装置であって、指定温度の入力によ
り、制御用温度センサーの検出温度が該指定温度で一定
になるようにヒータの電流開閉を制御するヒータ制御回
路と、 指定温度を適宜時間毎に段階的に変えてヒータ制御回路
に入力する第１温度指定回路と、第１温度指定回路が入
力した各指定温度毎に、制御用温度センサーの検出温度
が該指定温度で一定した時点における、制御用温度セン
サーの検出温度Ｔ＿１、及び、ヒータブロック上に載置
された被加熱物同等品が備える補正用温度センサーの検
出温度Ｔ＿２、を記憶する温度記憶回路と、 温度記憶回路が記憶した温度Ｔ＿１及びＴ＿２からの補
間演算により、補正用温度センサーが検出するべき任意
温度Ｔ＿４における制御用温度センサーの検出温度Ｔ＿
３から温度Ｔ＿４を減じた補正温度ｔを算出する演算回
路と、 被加熱物の加熱温度Ｔの入力により、演算回路が温度Ｔ
＿４＝温度Ｔにして算出する補正温度をを温度Ｔから減
じた温度Ｔ＿５を算出し、温度Ｔ＿５を指定温度として
ヒータ制御回路に入力する第２温度指定回路と、を備え
てなり、 被加熱物を加熱する以前に被加熱物同等品及び第１温度
指定回路を用いて温度記憶回路に温度Ｔ＿１及びＴ＿２
を記憶させておき、 被加熱物を加熱する際に、第２温度指定回路を用い、加
熱温度Ｔを第２温度指定回路に入力して前記加熱装置を
制御するものであることを特徴とする温度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11839290A JPH0414117A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11839290A JPH0414117A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 温度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0414117A true JPH0414117A (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14735546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11839290A Pending JPH0414117A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 温度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0414117A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100700764B1 (ko) * | 1999-09-03 | 2007-03-27 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
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1990
- 1990-05-08 JP JP11839290A patent/JPH0414117A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100700764B1 (ko) * | 1999-09-03 | 2007-03-27 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
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