JPH0413874A - 炭化チタン被覆工具部材 - Google Patents
炭化チタン被覆工具部材Info
- Publication number
- JPH0413874A JPH0413874A JP11616190A JP11616190A JPH0413874A JP H0413874 A JPH0413874 A JP H0413874A JP 11616190 A JP11616190 A JP 11616190A JP 11616190 A JP11616190 A JP 11616190A JP H0413874 A JPH0413874 A JP H0413874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tic
- coated
- coating film
- film
- tool member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 46
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 46
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 44
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 claims description 16
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 21
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 21
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 abstract description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 229910003074 TiCl4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、炭化タングステン（以下、ＷＣと記す）超
超硬合金基体表面に、強固な密着力を有し、耐摩耗性お
よび耐欠損性に優れた炭化チタン（以下、Ｔｉｃと記す
）膜を形成したＴｉＣ被覆被覆工具部間するものであり
、このＴｉＣ被覆被覆工具部間例えば、切削工具、ドリ
ルなどの部間として用いると優れた効果を奏するもので
ある。
超硬合金基体表面に、強固な密着力を有し、耐摩耗性お
よび耐欠損性に優れた炭化チタン（以下、Ｔｉｃと記す
）膜を形成したＴｉＣ被覆被覆工具部間するものであり
、このＴｉＣ被覆被覆工具部間例えば、切削工具、ドリ
ルなどの部間として用いると優れた効果を奏するもので
ある。
一般に、ＷＣＣ超超硬合金基体ＴｉＣ被覆膜を形成して
なる切削工具は知られており、上記ＴｉＣ被覆膜は、熱
化学気相蒸着法（以下、熱ＣＶＤ法という）により形成
されている。
なる切削工具は知られており、上記ＴｉＣ被覆膜は、熱
化学気相蒸着法（以下、熱ＣＶＤ法という）により形成
されている。
上記熱ＣＶＤ法によりＴｉＣ被覆膜を形成するには、チ
タン源として四塩化チタン（Ｔｉｃβ４）を用い、炭素
源として炭化水素ガス、例えばメタン（ＣＨ）が用いら
れており、上記ＴＩＣΩ４およびＣＨ４を用いて、 ＴｉＣΩ 十ＣＨ４→ＴｉＣ＋４ＨＣＮで表わされる反
応でＷＣＣ超超硬合金基体表面にＴｉＣを析出せしめ、
ＴｉＣ被覆膜を形成されている。
タン源として四塩化チタン（Ｔｉｃβ４）を用い、炭素
源として炭化水素ガス、例えばメタン（ＣＨ）が用いら
れており、上記ＴＩＣΩ４およびＣＨ４を用いて、 ＴｉＣΩ 十ＣＨ４→ＴｉＣ＋４ＨＣＮで表わされる反
応でＷＣＣ超超硬合金基体表面にＴｉＣを析出せしめ、
ＴｉＣ被覆膜を形成されている。
上記反応が進行中に、ＴｉＣ被覆膜中にＴ ｉＣＩＩ
４に由来する塩素およびＣＨ４に由来する遊離炭素がそ
れぞれ取り込まれて混入し、これら遊離炭素および塩素
が上記ＴｉＣ被覆膜の膜質に影響を与えることについて
も知られている（「表面技術Ｊ ＶｏＩｚ、 ４０．
Ｎｏ、ＩＯ，１９８９第５１〜５５頁参照）。
４に由来する塩素およびＣＨ４に由来する遊離炭素がそ
れぞれ取り込まれて混入し、これら遊離炭素および塩素
が上記ＴｉＣ被覆膜の膜質に影響を与えることについて
も知られている（「表面技術Ｊ ＶｏＩｚ、 ４０．
Ｎｏ、ＩＯ，１９８９第５１〜５５頁参照）。
しかしながら、上記従来の熱ＣＶＤ法により作製された
ＴｉＣ被覆工具部材は、ＴｉＣ被覆膜の耐摩耗性および
ＷＣＣ超超硬合金基体対する密着強度の点でいまに十分
ではなく、特に最近の苛酷な切削条件に対する要求に十
分答えることができず、とりわけＴｉＣ被覆膜のｗｃ基
超超硬合金基体対する密着強度は十分ではながった。
ＴｉＣ被覆工具部材は、ＴｉＣ被覆膜の耐摩耗性および
ＷＣＣ超超硬合金基体対する密着強度の点でいまに十分
ではなく、特に最近の苛酷な切削条件に対する要求に十
分答えることができず、とりわけＴｉＣ被覆膜のｗｃ基
超超硬合金基体対する密着強度は十分ではながった。
そこで、本発明者等は、ＴｉＣ被覆膜の耐摩耗性を損う
ことなくＷＣＣ超超硬合金基体対して密着強度の優れた
ＴｉＣ被覆膜を形成すべく研究を行った結果、 ＷＣＣ超超硬合金基体表面ら０．５血未満の膜厚の部分
では塩素含有量が０．０２５０原子％以上０．０５５０
原子％未満の範囲内にあり、基体表面から０．５層ｍ以
上外面に至る膜厚の部分では塩素含有量が０．０５５０
〜ｉ、ｔｏｏｏ原子％原子団内にあるＴｉＣ被覆膜は、
耐摩耗性に優れかつＷＣＣ超超硬合金基体対して密着強
度も優れているという知見を得たのである。
ことなくＷＣＣ超超硬合金基体対して密着強度の優れた
ＴｉＣ被覆膜を形成すべく研究を行った結果、 ＷＣＣ超超硬合金基体表面ら０．５血未満の膜厚の部分
では塩素含有量が０．０２５０原子％以上０．０５５０
原子％未満の範囲内にあり、基体表面から０．５層ｍ以
上外面に至る膜厚の部分では塩素含有量が０．０５５０
〜ｉ、ｔｏｏｏ原子％原子団内にあるＴｉＣ被覆膜は、
耐摩耗性に優れかつＷＣＣ超超硬合金基体対して密着強
度も優れているという知見を得たのである。
この発明は、かかる知見にもとづいてなされたものであ
って、 ＷＣＣ超超硬合金基体表面にＴｉＣ被覆膜を形成してな
るＴｉＣ被覆工具部材において、上記ＴｉＣ被覆膜は、
上記ＷＣＣ超超硬合金基体表面から０．５血未満の膜厚
の部分では塩素含有量か０．０２５０原子％以上０．０
５５０原子％未満の範囲内にある低塩素領域と、基体表
面から０．５血以上外面に至る膜厚の部分では塩素含有
量が０．０５５０〜１．１０００原子％の範囲内にある
高塩素領域の塩素含有量の異なった２層からなるＴｉＣ
被覆膜であるＴｉＣ被覆工具部材に特徴を有するもので
ある。
って、 ＷＣＣ超超硬合金基体表面にＴｉＣ被覆膜を形成してな
るＴｉＣ被覆工具部材において、上記ＴｉＣ被覆膜は、
上記ＷＣＣ超超硬合金基体表面から０．５血未満の膜厚
の部分では塩素含有量か０．０２５０原子％以上０．０
５５０原子％未満の範囲内にある低塩素領域と、基体表
面から０．５血以上外面に至る膜厚の部分では塩素含有
量が０．０５５０〜１．１０００原子％の範囲内にある
高塩素領域の塩素含有量の異なった２層からなるＴｉＣ
被覆膜であるＴｉＣ被覆工具部材に特徴を有するもので
ある。
上記ＷＣＣ超超硬合金基体表面に、まず塩素含有量の少
ない低塩素領域のＴｉＣ被覆膜を形成すると優れた密着
強度を付与することができる理由として、ＷＣＣ超超硬
合金基体熱ＣＶＤ装置に装入し、その基体表面にＴｉＣ
被覆膜を形成させる時に、上記ＷＣＣ超超硬合金基体表
面脱炭し、η相と呼ばれる脆弱な金属間化合物が生成さ
れ、このη相の存在がＴｉＣ被覆膜の密着強度および工
具の靭性の低下をもたらすものと考えられる。したがっ
て、この発明のように、ＷＣＣ超超硬合金基体表面に接
して塩素含有量の少ない低塩素領域のＴｉＣ被覆膜を形
成すると、遊離炭素を含むＴｉＣ被覆膜が形成され、こ
の遊離炭素が基体表面のη相の生成を防止し、密着強度
および工具の靭性の優れたＴｉＣ被覆膜を形成するので
ある。
ない低塩素領域のＴｉＣ被覆膜を形成すると優れた密着
強度を付与することができる理由として、ＷＣＣ超超硬
合金基体熱ＣＶＤ装置に装入し、その基体表面にＴｉＣ
被覆膜を形成させる時に、上記ＷＣＣ超超硬合金基体表
面脱炭し、η相と呼ばれる脆弱な金属間化合物が生成さ
れ、このη相の存在がＴｉＣ被覆膜の密着強度および工
具の靭性の低下をもたらすものと考えられる。したがっ
て、この発明のように、ＷＣＣ超超硬合金基体表面に接
して塩素含有量の少ない低塩素領域のＴｉＣ被覆膜を形
成すると、遊離炭素を含むＴｉＣ被覆膜が形成され、こ
の遊離炭素が基体表面のη相の生成を防止し、密着強度
および工具の靭性の優れたＴｉＣ被覆膜を形成するので
ある。
つぎに、この発明のＴｉＣ被覆工具部材のＴｉＣ被覆膜
を上記の如く限定した理由について説明する。
を上記の如く限定した理由について説明する。
（１）低塩素領域
ＴｉＣ被覆膜中の塩素含有量の減少とＴｉＣ被覆膜中の
遊離炭素の析出量の増加とは対応し、ＴｉＣ被覆膜中の
塩素量が０．０５５０原子％より少なくなると遊離炭素
の析出が始まり、ＴｉＣ被覆膜中に遊離炭素の含有した
ＴｉＣ被覆膜が形成される。この遊離炭素が析出したＴ
ｉＣ被覆膜をＷＣＣ超超硬合金基体表面形成すると、わ
ずかに析出しているＴｉＣ被覆膜中の遊離炭素がＷＣＣ
超超硬合金基体表面η相消失のために消費され、実際上
はＴｉＣ被覆膜中に遊離炭素が残存せず、しかもＷＣＣ
超超硬合金基体表面η相が生成されないため、ＷＣＣ超
超硬合金基体表面密着強度の優れたＴｉＣ被覆膜が形成
されるものと考えられる。
遊離炭素の析出量の増加とは対応し、ＴｉＣ被覆膜中の
塩素量が０．０５５０原子％より少なくなると遊離炭素
の析出が始まり、ＴｉＣ被覆膜中に遊離炭素の含有した
ＴｉＣ被覆膜が形成される。この遊離炭素が析出したＴ
ｉＣ被覆膜をＷＣＣ超超硬合金基体表面形成すると、わ
ずかに析出しているＴｉＣ被覆膜中の遊離炭素がＷＣＣ
超超硬合金基体表面η相消失のために消費され、実際上
はＴｉＣ被覆膜中に遊離炭素が残存せず、しかもＷＣＣ
超超硬合金基体表面η相が生成されないため、ＷＣＣ超
超硬合金基体表面密着強度の優れたＴｉＣ被覆膜が形成
されるものと考えられる。
いずれにしても、ＷＣＣ超超硬合金基体表面接触するＴ
ｉＣ被覆膜は、塩素含有量が０．０５５０原子％より少
なくすることによりはじめて密着強度の優れたＴｉＣ被
覆膜が得られるものであるからＷＣＣ超超硬合金基体接
する低塩素領域は、遊離炭素が生成する塩素含有ｉ ：
０．０５５０原子％未満を上限とする必要がある。し
かし、ＴｉＣ被覆膜中の遊離炭素の生成が多すぎるとη
相の消失は可能となるものの、遊離炭素がＴｉＣ被覆膜
中に残存し、十分な耐摩耗性を有するＴｉＣ被覆膜が得
られないことから低塩素領域の塩素含有量の下限は０゜
０２５０原子％に定めた。
ｉＣ被覆膜は、塩素含有量が０．０５５０原子％より少
なくすることによりはじめて密着強度の優れたＴｉＣ被
覆膜が得られるものであるからＷＣＣ超超硬合金基体接
する低塩素領域は、遊離炭素が生成する塩素含有ｉ ：
０．０５５０原子％未満を上限とする必要がある。し
かし、ＴｉＣ被覆膜中の遊離炭素の生成が多すぎるとη
相の消失は可能となるものの、遊離炭素がＴｉＣ被覆膜
中に残存し、十分な耐摩耗性を有するＴｉＣ被覆膜が得
られないことから低塩素領域の塩素含有量の下限は０゜
０２５０原子％に定めた。
また、塩素含有量： ０．０２５０原子％以上０．０５
５０原子％未満の低塩素領域の膜厚は、ＷＣＣ超超硬合
金基体表面ら０，５μｍ未満でなければならない。
５０原子％未満の低塩素領域の膜厚は、ＷＣＣ超超硬合
金基体表面ら０，５μｍ未満でなければならない。
０．５μｍ以上の膜厚にわたって低塩素領域が存在する
とＷＣＣ超超硬合金基体表面ら遠い部分の遊離炭素はη
相消失のために消費されずに残存してしまい、耐摩耗性
の優れたＴｉＣ被覆膜が得られなくなるからである。
とＷＣＣ超超硬合金基体表面ら遠い部分の遊離炭素はη
相消失のために消費されずに残存してしまい、耐摩耗性
の優れたＴｉＣ被覆膜が得られなくなるからである。
（２）高塩素領域
ＷＣＣ超超硬合金基体表面ら０．５ｕｍ以上外面に至る
高塩素領域の塩素含有量の下限は、すでに述べたように
遊離炭素を析出させないために塩素含有量を０．０５５
０原子％以上とする必要があるが、方、１．１０００原
子％を越えて混入するとＮａＣｇ型の結晶構造であるＴ
ｉＣにおいて、本来炭素が占有すべき格子の位置の一部
を塩素が置換した結晶構造になり、この炭素が占有すべ
き格子の位置の一部を塩素が置換すると炭素に比べて、
塩素の方が原子半径が大きいことから、本来のＴｉＣの
結晶構造からずれた構造となり、そのため膜の硬度が低
下し、結果として切削性能および耐摩耗性が劣ることに
なる。
高塩素領域の塩素含有量の下限は、すでに述べたように
遊離炭素を析出させないために塩素含有量を０．０５５
０原子％以上とする必要があるが、方、１．１０００原
子％を越えて混入するとＮａＣｇ型の結晶構造であるＴ
ｉＣにおいて、本来炭素が占有すべき格子の位置の一部
を塩素が置換した結晶構造になり、この炭素が占有すべ
き格子の位置の一部を塩素が置換すると炭素に比べて、
塩素の方が原子半径が大きいことから、本来のＴｉＣの
結晶構造からずれた構造となり、そのため膜の硬度が低
下し、結果として切削性能および耐摩耗性が劣ることに
なる。
したがって、高塩素領域の塩素含有量は０．０５５０〜
１．１０００原子％に定めた。
１．１０００原子％に定めた。
Ｃｏ：６重量％、残部：ＷＣおよび不可避不純物からな
る組成を有し、ＩＳＯ規格５ＮＧＨ１２０４０８に則し
た形状の通常の基板を用意し、これら基板を、水素ガス
をキャリヤーガスとする公知のプラズマＣＶＤ装置に装
入し、上記基板の表面に第１表に示される条件で低塩素
領域のＴｉＣ被覆膜を形成し、その低塩素領域のＴｉＣ
被覆膜の上にさらに高塩素領域のＴｉＣ被覆膜を形成し
、ＴｉＣ被覆膜の膜厚の合計が５．０１１ｍの本発明Ｔ
ｉＣ被覆工具部材１〜１２および比較ＴｉＣ被覆工具部
材１〜６を作製した（なお、第１表の比較ＴｉＣ被覆工
具部材において、この発明の条件から外れている値に※
印を付して示した）。さらに比較のために、上記チップ
の表面に通常の条件で膜厚：５．ＯＩｔｍのＴｉＣ被覆
膜を形成し、従来ＴｉＣ被覆工具部材を作製した。この
ようにして作製された本発明ＴｉＣ被覆工具部材１〜１
２、比較ＴｉＣ被覆工具部材１〜６および従来Ｔｉｃ被
覆工具部材のＴｉＣ被覆膜に含まれる塩素含有量をＸ線
マイクロアナライザーにより測定し、それらの測定値を
第１表に示した。
る組成を有し、ＩＳＯ規格５ＮＧＨ１２０４０８に則し
た形状の通常の基板を用意し、これら基板を、水素ガス
をキャリヤーガスとする公知のプラズマＣＶＤ装置に装
入し、上記基板の表面に第１表に示される条件で低塩素
領域のＴｉＣ被覆膜を形成し、その低塩素領域のＴｉＣ
被覆膜の上にさらに高塩素領域のＴｉＣ被覆膜を形成し
、ＴｉＣ被覆膜の膜厚の合計が５．０１１ｍの本発明Ｔ
ｉＣ被覆工具部材１〜１２および比較ＴｉＣ被覆工具部
材１〜６を作製した（なお、第１表の比較ＴｉＣ被覆工
具部材において、この発明の条件から外れている値に※
印を付して示した）。さらに比較のために、上記チップ
の表面に通常の条件で膜厚：５．ＯＩｔｍのＴｉＣ被覆
膜を形成し、従来ＴｉＣ被覆工具部材を作製した。この
ようにして作製された本発明ＴｉＣ被覆工具部材１〜１
２、比較ＴｉＣ被覆工具部材１〜６および従来Ｔｉｃ被
覆工具部材のＴｉＣ被覆膜に含まれる塩素含有量をＸ線
マイクロアナライザーにより測定し、それらの測定値を
第１表に示した。
ついで、本発明Ｔｉｃ被覆工具部材１〜１２、比較Ｔｉ
ｃ被覆工具部材１〜６および従来ＴｉＣ被覆工具部材に
ついて、耐摩耗性を評価する目的で、被削材： Ｓ Ｎ
ＣＭ４３９（ＨＢ： ２７０）切削速度： １４０
ｍ／ｍｉｎ 。
ｃ被覆工具部材１〜６および従来ＴｉＣ被覆工具部材に
ついて、耐摩耗性を評価する目的で、被削材： Ｓ Ｎ
ＣＭ４３９（ＨＢ： ２７０）切削速度： １４０
ｍ／ｍｉｎ 。
切込み： １．５ ｍｍｓ
送 リ： ０．３ ｍｍ／ｒｅｖ 。
切削油：なし、
の条件で連続切削試験を行ない、切刃の逃げ面摩耗幅が
０．３＋ｎｕとなるまでの寿命時間を測定し、さらに、
ＴｉＣ被覆膜の靭性および密着強度を評価する目的で、 被削材： Ｓ Ｎ ＣＭ４３９（ＨＢ： ２７０）切削
速度： １Ｇ１ ｍ／ｍｉｎ 。
０．３＋ｎｕとなるまでの寿命時間を測定し、さらに、
ＴｉＣ被覆膜の靭性および密着強度を評価する目的で、 被削材： Ｓ Ｎ ＣＭ４３９（ＨＢ： ２７０）切削
速度： １Ｇ１ ｍ／ｍｉｎ 。
送 リ： ０．２ ＋ｎ＋ａ／刃、
切込み： ２．０ ＋ｎｍ。
切削油：なし、
の条件でフライス切削（単刃切削）試験を行ない、刃先
の損傷するまで寿命時間を測定し、それらの結果を第１
表に示した。
の損傷するまで寿命時間を測定し、それらの結果を第１
表に示した。
第１表の結果から、この発明の条件をみたすＴｉＣ被覆
被覆工具部−１〜１２ずれも従来ＴｉＣ被覆工具部材に
比べて耐摩耗性および密着強度が優れ、長期に亘って切
削工具としての性能が優れていることがわかる。さらに
、この発明の条件から外れている比較ＴｉＣ被覆工具部
材１〜６は、耐摩耗性および密着強度ともに特性が劣っ
ていることがわかる。
被覆工具部−１〜１２ずれも従来ＴｉＣ被覆工具部材に
比べて耐摩耗性および密着強度が優れ、長期に亘って切
削工具としての性能が優れていることがわかる。さらに
、この発明の条件から外れている比較ＴｉＣ被覆工具部
材１〜６は、耐摩耗性および密着強度ともに特性が劣っ
ていることがわかる。
上述のように、この発明のＴｉＣ被覆工具部材は、耐摩
耗性および密着強度が共に優れており、この発明のＴｉ
Ｃ被覆工具部材を重切削に使用しても長期に亘って使用
することができるなどの産業上優れた効果を奏するもの
である。
耗性および密着強度が共に優れており、この発明のＴｉ
Ｃ被覆工具部材を重切削に使用しても長期に亘って使用
することができるなどの産業上優れた効果を奏するもの
である。
Claims (1)
- （１）炭化タングステン基超硬合金基体の表面に炭化チ
タン被覆膜を形成してなる炭化チタン被覆工具部材にお
いて、 上記炭化チタン被覆膜は、上記炭化タングステン基超硬
合金基体表面から０．５μｍ未満の膜厚の部分では塩素
含有量が０．０２５０原子％以上０．０５５０原子％未
満の範囲内にある低塩素領域と、基体表面から０．５μ
ｍ以上外面に至る膜厚の部分では塩素含有量が０．０５
５０〜１．１０００原子％の範囲内にある高塩素領域の
塩素含有量の異なった２層を含む炭化チタン被覆膜であ
ることを特徴とする炭化チタン被覆工具部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11616190A JPH0413874A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 炭化チタン被覆工具部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11616190A JPH0413874A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 炭化チタン被覆工具部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0413874A true JPH0413874A (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=14680289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11616190A Pending JPH0413874A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 炭化チタン被覆工具部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0413874A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994028191A1 (fr) * | 1993-05-31 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Outil coupant revetu et son procede de production |
| WO2022009580A1 (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-13 | 信越化学工業株式会社 | 炭化物被覆炭素材料 |
-
1990
- 1990-05-02 JP JP11616190A patent/JPH0413874A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994028191A1 (fr) * | 1993-05-31 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Outil coupant revetu et son procede de production |
| US5915162A (en) * | 1993-05-31 | 1999-06-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coated cutting tool and a process for the production of the same |
| WO2022009580A1 (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-13 | 信越化学工業株式会社 | 炭化物被覆炭素材料 |
| US11897773B2 (en) | 2020-07-07 | 2024-02-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Carbide-coated carbon material |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6093479A (en) | Coated hard alloy blade member | |
| US6214247B1 (en) | Substrate treatment method | |
| US6156383A (en) | Alumina coated tool and production method thereof | |
| JP3052586B2 (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| US5942318A (en) | Coated cutting insert | |
| US10184176B2 (en) | Cutting tool | |
| WO2000003062A1 (en) | Coated grooving or parting insert | |
| JP2867803B2 (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| JP2746036B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| EP0792390B1 (en) | Coated cemented carbide insert for metal cutting applications | |
| JP3291775B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| EP4093898A1 (en) | Pvd coated cemented carbide cutting tool with improved coating adhesion | |
| JPH0413874A (ja) | 炭化チタン被覆工具部材 | |
| JP2001322008A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JPS6155591B2 (ja) | ||
| JP3478358B2 (ja) | 複合硬質層表面被覆切削工具 | |
| JP2004167620A (ja) | チタンクロム化合物皮膜被覆工具 | |
| JP3503658B2 (ja) | 表面被覆ｗｃ基超硬合金製切削工具 | |
| JP3236903B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP3265910B2 (ja) | 表面被覆切削工具の製造方法 | |
| JPH0890311A (ja) | 複合硬質層表面被覆切削工具 | |
| JPH0433865B2 (ja) | ||
| JP2003291007A (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| JPH0234733B2 (ja) | ||
| JPH05263252A (ja) | 被覆超硬合金部材 |