JP3478358B2 - 複合硬質層表面被覆切削工具 - Google Patents
複合硬質層表面被覆切削工具Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、超硬合金基体または
サーメット基体の表面に、（２２０）面にＸ線回折によ
る最大ピークが現れるチタンの炭窒化物層からなる単層
またはこの（２２０）面にＸ線回折による最大ピークが
現れるチタンの炭窒化物層の他にチタンの炭化物、窒化
物、炭酸化物、炭窒酸化物およびその他の炭窒化物のう
ちの１種または２種以上を含む内層と、κ型結晶を主体
としかつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．
７９オングストロームの面として定義される面に最大ピ
ークが現れる酸化アルミニウム層からなる外層とからな
る複合硬質層を化学蒸着法により形成してなる複合硬質
層表面被覆切削工具に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、超硬合金基体またはサーメット基
体の表面に、化学蒸着法によりチタンの炭化物、窒化
物、炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物のうちの１種
または２種以上を含む層（以下、チタン化合物層と総称
する）を内層とし、酸化アルミニウム層を外層とした複
合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工具
は、鋼や鋳鉄などの連続切削や断続切削に用いられてい
ることは良く知られている。 【０００３】前記酸化アルミニウム層は、化学的に安定
で、耐すくい面摩耗性に優れているが、基体に対する密
着性および靭性に劣るために、超硬合金基体またはサー
メット基体の表面に先ずチタンの炭窒化物層を含むチタ
ン化合物層を被覆し、このチタン化合物層の上に酸化ア
ルミニウム層を被覆し、チタン化合物層および酸化アル
ミニウム層からなる複合硬質層を形成して耐摩耗性およ
び靭性を付与し、かつ密着性を向上させている。前記チ
タン化合物層に含まれるチタンの炭窒化物層のＸ線回折
による最大ピークは、通常、（２００）面に現れる。 【０００４】また、前記複合硬質層における酸化アルミ
ニウム層を化学蒸着法により形成する方法として、通常
の反応ガスに０．０１〜１．０Ｖｏｌ％の硫化水素ガス
を含む反応ガスを用いることにより酸化アルミニウム層
の成長速度を向上させる方法が知られている。この方法
を用いると、チタン化合物からなる内層と基体が高温に
晒される時間が短くなるため、前記チタン化合物からな
る内層と基体の組織変化が起こりにくくなり、したがっ
て、従来の被覆切削工具よりも優れた性能を有する表面
被覆切削工具が得られると言われている（例えば、特公
昭６２−３２３４号公報参照）。 【０００５】前記０．０１〜１．０Ｖｏｌ％の硫化水素
ガスを含む反応ガスを用いることにより得られる酸化ア
ルミニウム層は、主としてα型酸化アルミニウム層であ
るが、反応ガス中の炭酸ガス量を変化させることにより
κ型結晶を有する酸化アルミニウム層が得られることも
知られている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、切削工
程の省力化および短縮化に対する要求は強く、これに伴
ない、より一段と苛酷な条件下での高送りおよび高切込
みなどの高速連続切削や断続切削が強いられる傾向にあ
り、かかる高速切削では切削中に刃先温度が１０００℃
を越え、非常に高温の切り屑が工具のすくい面を通過
し、急速にクレータ摩耗が進行するが、従来のチタン化
合物層からなる内層と、酸化アルミニウム層からなる外
層とで構成された複合硬質層を被覆してなる複合硬質層
表面被覆切削工具は、（ａ） チタン化合物層からなる
内層は、基体に対する密着性が十分でなく剥離しやすく
かつ靭性なども不足するところから外層の酸化アルミニ
ウム層の下地層としては十分に満足のいくものではな
い、（ｂ） 外層の酸化アルミニウム層自体の耐摩耗性
および耐欠損性が不十分である、などの理由のために十
分な使用寿命を示さないのが現状であった。 【０００７】 【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは、か
かる観点から、従来よりもさらに一層使用寿命の長い酸
化アルミニウム層を含む複合硬質層表面被覆切削工具を
開発すべく研究を行っていたところ、基体表面に、少な
くとも１層のチタンの炭窒化物層を含むチタン化合物層
からなる内層と、酸化アルミニウム層からなる外層とで
構成された複合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被
覆切削工具において、前記チタン化合物内層にＸ線回折
による最大ピークが（２２０）面に現れるチタンの炭窒
化物層が少なくとも１層含まれるようにし、前記酸化ア
ルミニウム外層をκ型結晶を主体としかつＡＳＴＭにお
いてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングストローム
の面として定義される面に最大ピークが現れる酸化アル
ミニウム層とすると、従来よりも一層使用寿命が向上す
るという研究結果が得られたのである。 【０００８】この発明は、かかる研究結果にもとずいて
なされたものであって、基体表面に、少なくとも１層の
チタンの炭窒化物層を含むチタン化合物内層と、酸化ア
ルミニウム外層とで構成された複合硬質層を被覆してな
る切削工具において、前記チタン化合物内層に少なくと
も１層含まれるチタンの炭窒化物層は、（２２０）面に
Ｘ線回折による最大ピークが現れるチタンの炭窒化物層
であり、前記酸化アルミニウム外層は、κ型結晶を主体
とし、かつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔
２．７９オングストロームの面として定義される面に最
大ピークが現れる酸化アルミニウム層である複合硬質層
表面被覆切削工具、に特徴を有するものである。この発
明でチタンの炭窒化物層の（２２０）面は、ＡＳＴＭ６
−０６１４で定義されるＴｉＣの（２２０）面の面間距
離１．５３５オングストロームおよびＡＳＴＭ６−０６
４２で定義されるＴｉＮの（２２０）面の面間距離１．
４９６オングストロームの間の面間距離を有するもので
ある。また、酸化アルミニウム外層はＡＳＴＭ４−０８
７８でκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間距離２．７９オングストロ
ームの面として定義される面に最大ピークが現れる酸化
アルミニウム層である。 【０００９】この発明のＸ線回折による最大ピークが
（２２０）面に現れるチタンの炭窒化物層は、化学蒸着
装置内の温度を比較的低温の７００〜１０００℃に保持
し、化学蒸着反応開始時はＴｉＣｌ4 ガス：０．５〜１
０Ｖｏｌ％、Ｎ2 ：１〜５０Ｖｏｌ％、ＣＨ4 ：０．０
１〜０．５Ｖｏｌ％、残りがＨ2 からなる混合ガスを流
しながら、さらに化学蒸着反応開始時はＣＨ3 ＣＮガス
を流さずまたは流しても微量流し、化学蒸着反応終了時
はＣＨ3 ＣＮガスを０．１〜５．０Ｖｏｌ％の範囲内の
所定のＣＨ3 ＣＮガス流量になるようにＣＨ3 ＣＮガス
流量を化学蒸着反応中に増加しながら供給することによ
り形成される。 【００１０】この様にして得られたＴｉＣＮ層は（２２
０）面に配向することで、その層が基体または下の層と
密着する力が強くなり、界面からの剥離が起きにくくな
って、剥離に起因する異常損傷の発生や寿命低下を押さ
えることができるものと考えられる。 【００１１】かかる密着性に優れかつ異常損傷の起こり
にくい（２２０）面に配向したＴｉＣＮ層の上に、κ型
結晶を主体としかつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の
面間隔２．７９オングストロームの面として定義される
面に最大ピークが現れる酸化アルミニウム層を被覆する
と、この酸化アルミニウム層が異常損傷を起しにくく安
定した耐摩耗性を示す。その理由として、前記面間距離
２．７９オングストロームに配向性を示すκ−Ａｌ2 Ｏ
3 では被覆層表面が平滑であるために、切り屑と工具間
の摩擦による異常損傷が生じにくくなり、したがって、
この発明の複合硬質層表面被覆切削工具は高速切削など
の過酷な使用条件下においても寿命が一層向上するもの
と考えられる。 【００１２】この発明のκ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れる酸
化アルミニウム層を形成する方法は、以下の通りであ
る。酸化アルミニウムの被覆反応において、第一段階と
して、ＣＯ2 ガスを含有しないＡｌＣｌ3 とＨ2 および
必要に応じてＨＣｌを含有した混合ガス中で所定時間の
保持を行い、引き続いて第二段階として、ＣＯ2 ガスを
含有するＡｌＣｌ3とＨ2 および必要に応じてＨＣｌを
含有した混合ガスに切り替えて反応させる。なお、前記
被覆反応に用いる混合ガスにさらに必要に応じてＨ2 Ｓ
ガスを含有させても良い。この酸化アルミニウムの被覆
方法の各段階の条件をさらに具体的に詳述すると以下の
如くなる。 第一段階、 温度：８００〜１０５０℃、時間：１〜１２０分、 反応ガス組成：ＡｌＣｌ3 ０．５〜２０Ｖｏｌ％、ＨＣ
ｌ０〜２０Ｖｏｌ％、残りＨ2 、 第二段階、 温度：８００〜１０５０℃、 反応ガス組成：ＡｌＣｌ3 ０．５〜２０Ｖｏｌ％、ＨＣ
ｌ０〜２０Ｖｏｌ％、ＣＯ2 ０．５〜３０Ｖｏｌ％、残
りＨ2 。 また、必要に応じて第二段階の始めからあるいは途中か
らＨ2 Ｓ：０．０１〜５Ｖｏｌ％を添加しても良い。ま
た、混合ガス組成は、第一段階から第二段階へ連続的に
変化させても良い。 【００１３】したがって、この発明の表面被覆切削工具
は、ＷＣ基超硬合金製切削工具などを基体とし、この基
体表面に、前述の化学蒸着法によりＸ線回折による最大
ピークが（２２０）面に現れるチタンの炭窒化物層を少
なくとも１層含むチタン化合物層を形成し、そのチタン
化合物層の上に、さらに前記κ型結晶を主体としかつＡ
ＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オング
ストロームの面として定義される面に最大ピークが現れ
る酸化アルミニウム層を形成することにより作製され
る。 【００１４】 【実施例】 実施例１ 通常の粉末冶金法により製造したＷＣ−６％Ｃｏからな
る成分組成を有しかつＩＳＯ規格のＳＮＭＡ４３２に定
めた形状の切削工具を用意した。この切削工具を通常の
化学蒸着装置に装入し、 温度：９２０℃、圧力：２００torr、 反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −６０％Ｎ2 −残り％Ｈ
2 、 の条件で１時間化学蒸着して厚さ：１μｍのＴｉＮ層を
形成し、さらに、 温度：９２０℃、圧力：７０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２％ＴｉＣｌ4 −４
０％Ｎ2 −０．０３％ＣＨ4 −０．２％ＣＨ3 ＣＮ−残
り％Ｈ2 、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２％ＴｉＣｌ4 −４
０％Ｎ2 −０．０３％ＣＨ4 −１％ＣＨ3 ＣＮ−残り％
Ｈ2 、 となるようにＣＨ3 ＣＮガス量を増加させながら５時間
反応ガスを流し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したところ、最大ピ
ークが（２２０）面に現れた。 【００１５】さらに続いて、 温度：９５０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−残りＨ2 （ＣＯ2 ガス含まず） 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−１０％ＣＯ2 −残りＨ2 となるようにＣＯ2 ガス量を増加させながら５時間反応
ガスを流し、厚さ：５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本
発明被覆切削工具１を作製した。このＡｌ2 Ｏ3層をＸ
線回折測定したところ、κ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおけるκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れてい
た。 【００１６】従来例１ 実施例１で用意した切削工具を通常の化学蒸着装置に装
入し、実施例１と同様にして厚さ：１μｍのＴｉＮ層を
形成し、さらに、 温度：８６０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −３０％Ｎ2 −１％ＣＨ
3 ＣＮ−残り％Ｈ2 、 の条件で５時間化学蒸着し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層
を形成した。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したとこ
ろ、最大ピークが（２００）面に現れた。 【００１７】さらに続いて、 温度：１０００℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＡｌＣｌ3 −２％ＨＣｌ−５％
ＣＯ2 −残りＨ2 の条件で６時間化学蒸着し、厚さ：５μｍのＡｌ2 Ｏ3
層を形成し、従来被覆切削工具１を作製した。このＡｌ
2 Ｏ3 層をＸ線回折したところ、α型結晶を主体としか
つ（１１３）面に最大ピークが現れていた。 【００１８】得られた本発明被覆切削工具１および従来
被覆切削工具１について、 被削材 ：ＦＣ２５ 切削速度：２５０ｍ／min 送 り：０．４mm／rev 切込み ：２mm 切削油 ：水溶性 の条件で連続切削試験を行なったところ、クレータ摩耗
は本発明被覆切削工具１では３６分まで発生しなかった
のに対し、従来被覆切削工具１では１４分で発生してお
り、本発明被覆切削工具１の工具寿命は従来被覆切削工
具１の工具寿命に比べて大幅に長いことが分かる。 【００１９】実施例２ 通常の粉末冶金法により製造したＷＣ−４％ＴｉＣ−４
％ＴａＣ−５．５％Ｃｏからなる成分組成を有しかつＩ
ＳＯ規格のＣＮＭＧ４３２に定めた形状の切削工具を用
意した。前記切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、 温度：１０００℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＴｉＣｌ4 −７．５％ＣＨ4 −
残りＨ2 、 の条件で１時間化学蒸着し、厚さ：１μｍのＴｉＣ層を
形成した。 【００２０】さらに、 温度：９００℃、圧力：７０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−４０％Ｎ2 −０．０５％ＣＨ4 −０．２５％ＣＨ3 Ｃ
Ｎ−残り％Ｈ2 、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−４０％Ｎ2 −０．０５％ＣＨ4 −２％ＣＨ3 ＣＮ−残
り％Ｈ2 、 となるようにＣＨ3 ＣＮガス量を増加させながら５時間
反応ガスを流し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したところ、最大ピ
ークが（２２０）面に現れた。 【００２１】さらに、 温度：１０００℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＴｉＣｌ4 −３０％Ｎ2 −２％
ＣＨ4 −２％ＣＯ−残り％Ｈ2 、 の条件で０．５時間化学蒸着し、厚さ：０．５μｍのＴ
ｉＣＮＯ層を形成した。 【００２２】さらに、 温度：９６０℃、圧力：５０torr 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−１％ＣＯ−０．２％Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 （Ｃ
Ｏ2 含まず）、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−７．５％ＣＯ2 −１％ＣＯ−０．２％Ｈ2 Ｓ
−残り％Ｈ2 、 となるようにＣＯ2 ガス量を増加させながら７時間反応
ガスを流し、厚さ：７μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本
発明被覆切削工具２を作製した。このＡｌ2 Ｏ3層をＸ
線回折測定したところ、κ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れてい
た。 【００２３】従来例２ 実施例２で用意した切削工具を基体とし、実施例２と同
じ条件で厚さ：１μｍのＴｉＣ層した後、 温度：８６０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＴｉＣｌ4 −３５％Ｎ2 −１．
２％ＣＨ3 ＣＮ−残り％Ｈ2 、 の条件で５時間化学蒸着し、Ｘ線回折の最大ピークが
（２００）面を有する厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成
し、さらに、実施例２と同じ条件で０．５時間化学蒸着
し、厚さ：０．５μｍのＴｉＣＮＯ層を形成し、さら
に、 温度：１０２０℃、圧力：６０torr 反応ガス組成：２％ＡｌＣｌ3 −２％ＨＣｌ−６％ＣＯ
2 −残り％Ｈ2 、 の条件で８．５時間化学蒸着し、α−Ａｌ2 Ｏ3 結晶を
主体としたＸ線回折の最大ピークが（１１３）面を有す
る厚さ：７μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆切削
削工具２を作製した。 【００２４】得られた本発明被覆切削工具２および従来
被覆切削工具２について、 被削材 ：合金鋼ＳＣＭ４４０（硬さ：ＨB ２２０） 切削速度：３５０ｍ／min 送 り：０．３mm／rev 切込み ：２mm 切削油 ：なし の条件で連続切削試験を行なったところ、クレータ摩耗
は本発明被覆切削工具２では６分まで発生しなかったの
に対し、従来被覆切削工具２では１分で発生しており、
本発明被覆切削工具２の工具寿命は従来被覆切削工具２
の工具寿命に比べて大幅に長いことが分かる。 【００２５】実施例３ 通常の粉末冶金法により製造したＷＣ−４％ＴｉＣ−３
％ＴｉＮ−４％ＴａＣ−６％Ｃｏからなる成分組成を有
しかつＩＳＯ規格のＣＮＭＧ４３２に定めた形状の切削
工具を用意した。前記切削工具を通常の化学蒸着装置に
装入し、 温度：８８０℃、圧力：５００torr、 反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０％Ｎ2 −残り％Ｈ
2 、 の条件で２時間反応ガスを流しながら厚さ：１μｍのＴ
ｉＮ層を形成し、さらに、 温度：８８０℃、圧力：７０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−３５％Ｎ2 −０．０２％ＣＨ4 −残り％Ｈ2 （ＣＨ3
ＣＮ含まず）、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−３５％Ｎ2 −０．０２％ＣＨ4 −１．５％ＣＨ3 ＣＮ
−残り％Ｈ2 、 となるようにＣＨ3 ＣＮガス量を増加させながら６時間
反応ガスを流し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したところ、最大ピ
ークが（２２０）面に現れた。 【００２６】さらに、 温度：１０５０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：３％ＴｉＣｌ4 −７．５％ＣＨ4 −残り
Ｈ2 、 の条件で１時間化学蒸着し、厚さ：２μｍのＴｉＣ層を
形成した後、さらに、 温度：９８０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２．５％ＡｌＣｌ3
−０．１５％Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 （ＣＯ2 含まず）、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２．５％ＡｌＣｌ3
−１０％ＣＯ2 −０．１５Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 、 となるようにＣＯ2 ガス量を増加させながら３時間反応
ガスを流し、厚さ：３μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本
発明被覆切削工具３を作製した。このＡｌ2 Ｏ3層をＸ
線回折測定したところ、κ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れてい
た。 【００２７】従来例３ 実施例３で用意した切削工具を使用し、この切削工具を
通常の化学蒸着装置に装入し、実施例３と同じ条件で厚
さ：１μｍのＴｉＮ層を形成し、さらに、 温度：８７０℃、圧力：６０torr、 反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −３５％Ｎ2 −１．５％
ＣＨ3 ＣＮ−残り％Ｈ2 、 の条件で６時間反応ガスを流し、Ｘ線回折の最大ピーク
が（２２０）面を有し厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成
した。 【００２８】さらに、実施例３と同じ条件で厚さ：２μ
ｍのＴｉＣ層を形成した後、 温度：１０３０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：４％ＡｌＣｌ3 −７％ＣＯ2 −４％ＨＣ
ｌ−０．１％Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 、 の条件で３時間化学蒸着し、α−Ａｌ2 Ｏ3 結晶を主体
としたＸ線回折の最大ピークが（１０４）面である厚
さ：３μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆切削削工
具２を作製した。 【００２９】得られた本発明被覆切削工具３および従来
被覆切削工具３について、 被削材 ：ＳＮＣＭ４３９（硬さ：ＨB ２６０） 切削速度：２５０ｍ／min 送 り：０．３mm／rev 切込み ：２mm 切削油 ：なし 切削時間：１５分 の条件で連続切削試験を行なったところ、クレータ摩耗
は本発明被覆切削工具３では１４分まで発生しなかった
のに対し、従来被覆切削工具３では７分で発生してお
り、本発明被覆切削工具３の工具寿命は従来被覆切削工
具３の工具寿命に比べて大幅に長いことが分かる。 【００３０】 【発明の効果】実施例１〜３および従来例１〜３に示さ
れた結果から明らかなように、（２２０）面にＸ線回折
による最大ピークが現れるチタンの炭窒化物層と、κ型
結晶を主体としかつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の
面間隔２．７９オングストロームの面として定義される
面に最大ピークが現れる酸化アルミニウム外層を有する
本発明被覆切削工具１〜３は、それぞれ従来被覆切削工
具１〜３と比べると、耐クレータ摩耗性が優れており、
使用寿命が長いことが分かる。したがって、この発明の
複合硬質層表面被覆切削工具は、従来の複合硬質層表面
被覆切削工具よりも長期に亘って優れた切削性能を保持
することができ、この発明の複合硬質層表面被覆切削工
具を用いることにより切削工具交換回数などを減らすこ
とができ、産業の発展に大いに貢献しうるものである。
サーメット基体の表面に、（２２０）面にＸ線回折によ
る最大ピークが現れるチタンの炭窒化物層からなる単層
またはこの（２２０）面にＸ線回折による最大ピークが
現れるチタンの炭窒化物層の他にチタンの炭化物、窒化
物、炭酸化物、炭窒酸化物およびその他の炭窒化物のう
ちの１種または２種以上を含む内層と、κ型結晶を主体
としかつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．
７９オングストロームの面として定義される面に最大ピ
ークが現れる酸化アルミニウム層からなる外層とからな
る複合硬質層を化学蒸着法により形成してなる複合硬質
層表面被覆切削工具に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、超硬合金基体またはサーメット基
体の表面に、化学蒸着法によりチタンの炭化物、窒化
物、炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物のうちの１種
または２種以上を含む層（以下、チタン化合物層と総称
する）を内層とし、酸化アルミニウム層を外層とした複
合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工具
は、鋼や鋳鉄などの連続切削や断続切削に用いられてい
ることは良く知られている。 【０００３】前記酸化アルミニウム層は、化学的に安定
で、耐すくい面摩耗性に優れているが、基体に対する密
着性および靭性に劣るために、超硬合金基体またはサー
メット基体の表面に先ずチタンの炭窒化物層を含むチタ
ン化合物層を被覆し、このチタン化合物層の上に酸化ア
ルミニウム層を被覆し、チタン化合物層および酸化アル
ミニウム層からなる複合硬質層を形成して耐摩耗性およ
び靭性を付与し、かつ密着性を向上させている。前記チ
タン化合物層に含まれるチタンの炭窒化物層のＸ線回折
による最大ピークは、通常、（２００）面に現れる。 【０００４】また、前記複合硬質層における酸化アルミ
ニウム層を化学蒸着法により形成する方法として、通常
の反応ガスに０．０１〜１．０Ｖｏｌ％の硫化水素ガス
を含む反応ガスを用いることにより酸化アルミニウム層
の成長速度を向上させる方法が知られている。この方法
を用いると、チタン化合物からなる内層と基体が高温に
晒される時間が短くなるため、前記チタン化合物からな
る内層と基体の組織変化が起こりにくくなり、したがっ
て、従来の被覆切削工具よりも優れた性能を有する表面
被覆切削工具が得られると言われている（例えば、特公
昭６２−３２３４号公報参照）。 【０００５】前記０．０１〜１．０Ｖｏｌ％の硫化水素
ガスを含む反応ガスを用いることにより得られる酸化ア
ルミニウム層は、主としてα型酸化アルミニウム層であ
るが、反応ガス中の炭酸ガス量を変化させることにより
κ型結晶を有する酸化アルミニウム層が得られることも
知られている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、切削工
程の省力化および短縮化に対する要求は強く、これに伴
ない、より一段と苛酷な条件下での高送りおよび高切込
みなどの高速連続切削や断続切削が強いられる傾向にあ
り、かかる高速切削では切削中に刃先温度が１０００℃
を越え、非常に高温の切り屑が工具のすくい面を通過
し、急速にクレータ摩耗が進行するが、従来のチタン化
合物層からなる内層と、酸化アルミニウム層からなる外
層とで構成された複合硬質層を被覆してなる複合硬質層
表面被覆切削工具は、（ａ） チタン化合物層からなる
内層は、基体に対する密着性が十分でなく剥離しやすく
かつ靭性なども不足するところから外層の酸化アルミニ
ウム層の下地層としては十分に満足のいくものではな
い、（ｂ） 外層の酸化アルミニウム層自体の耐摩耗性
および耐欠損性が不十分である、などの理由のために十
分な使用寿命を示さないのが現状であった。 【０００７】 【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは、か
かる観点から、従来よりもさらに一層使用寿命の長い酸
化アルミニウム層を含む複合硬質層表面被覆切削工具を
開発すべく研究を行っていたところ、基体表面に、少な
くとも１層のチタンの炭窒化物層を含むチタン化合物層
からなる内層と、酸化アルミニウム層からなる外層とで
構成された複合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被
覆切削工具において、前記チタン化合物内層にＸ線回折
による最大ピークが（２２０）面に現れるチタンの炭窒
化物層が少なくとも１層含まれるようにし、前記酸化ア
ルミニウム外層をκ型結晶を主体としかつＡＳＴＭにお
いてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングストローム
の面として定義される面に最大ピークが現れる酸化アル
ミニウム層とすると、従来よりも一層使用寿命が向上す
るという研究結果が得られたのである。 【０００８】この発明は、かかる研究結果にもとずいて
なされたものであって、基体表面に、少なくとも１層の
チタンの炭窒化物層を含むチタン化合物内層と、酸化ア
ルミニウム外層とで構成された複合硬質層を被覆してな
る切削工具において、前記チタン化合物内層に少なくと
も１層含まれるチタンの炭窒化物層は、（２２０）面に
Ｘ線回折による最大ピークが現れるチタンの炭窒化物層
であり、前記酸化アルミニウム外層は、κ型結晶を主体
とし、かつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔
２．７９オングストロームの面として定義される面に最
大ピークが現れる酸化アルミニウム層である複合硬質層
表面被覆切削工具、に特徴を有するものである。この発
明でチタンの炭窒化物層の（２２０）面は、ＡＳＴＭ６
−０６１４で定義されるＴｉＣの（２２０）面の面間距
離１．５３５オングストロームおよびＡＳＴＭ６−０６
４２で定義されるＴｉＮの（２２０）面の面間距離１．
４９６オングストロームの間の面間距離を有するもので
ある。また、酸化アルミニウム外層はＡＳＴＭ４−０８
７８でκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間距離２．７９オングストロ
ームの面として定義される面に最大ピークが現れる酸化
アルミニウム層である。 【０００９】この発明のＸ線回折による最大ピークが
（２２０）面に現れるチタンの炭窒化物層は、化学蒸着
装置内の温度を比較的低温の７００〜１０００℃に保持
し、化学蒸着反応開始時はＴｉＣｌ4 ガス：０．５〜１
０Ｖｏｌ％、Ｎ2 ：１〜５０Ｖｏｌ％、ＣＨ4 ：０．０
１〜０．５Ｖｏｌ％、残りがＨ2 からなる混合ガスを流
しながら、さらに化学蒸着反応開始時はＣＨ3 ＣＮガス
を流さずまたは流しても微量流し、化学蒸着反応終了時
はＣＨ3 ＣＮガスを０．１〜５．０Ｖｏｌ％の範囲内の
所定のＣＨ3 ＣＮガス流量になるようにＣＨ3 ＣＮガス
流量を化学蒸着反応中に増加しながら供給することによ
り形成される。 【００１０】この様にして得られたＴｉＣＮ層は（２２
０）面に配向することで、その層が基体または下の層と
密着する力が強くなり、界面からの剥離が起きにくくな
って、剥離に起因する異常損傷の発生や寿命低下を押さ
えることができるものと考えられる。 【００１１】かかる密着性に優れかつ異常損傷の起こり
にくい（２２０）面に配向したＴｉＣＮ層の上に、κ型
結晶を主体としかつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の
面間隔２．７９オングストロームの面として定義される
面に最大ピークが現れる酸化アルミニウム層を被覆する
と、この酸化アルミニウム層が異常損傷を起しにくく安
定した耐摩耗性を示す。その理由として、前記面間距離
２．７９オングストロームに配向性を示すκ−Ａｌ2 Ｏ
3 では被覆層表面が平滑であるために、切り屑と工具間
の摩擦による異常損傷が生じにくくなり、したがって、
この発明の複合硬質層表面被覆切削工具は高速切削など
の過酷な使用条件下においても寿命が一層向上するもの
と考えられる。 【００１２】この発明のκ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れる酸
化アルミニウム層を形成する方法は、以下の通りであ
る。酸化アルミニウムの被覆反応において、第一段階と
して、ＣＯ2 ガスを含有しないＡｌＣｌ3 とＨ2 および
必要に応じてＨＣｌを含有した混合ガス中で所定時間の
保持を行い、引き続いて第二段階として、ＣＯ2 ガスを
含有するＡｌＣｌ3とＨ2 および必要に応じてＨＣｌを
含有した混合ガスに切り替えて反応させる。なお、前記
被覆反応に用いる混合ガスにさらに必要に応じてＨ2 Ｓ
ガスを含有させても良い。この酸化アルミニウムの被覆
方法の各段階の条件をさらに具体的に詳述すると以下の
如くなる。 第一段階、 温度：８００〜１０５０℃、時間：１〜１２０分、 反応ガス組成：ＡｌＣｌ3 ０．５〜２０Ｖｏｌ％、ＨＣ
ｌ０〜２０Ｖｏｌ％、残りＨ2 、 第二段階、 温度：８００〜１０５０℃、 反応ガス組成：ＡｌＣｌ3 ０．５〜２０Ｖｏｌ％、ＨＣ
ｌ０〜２０Ｖｏｌ％、ＣＯ2 ０．５〜３０Ｖｏｌ％、残
りＨ2 。 また、必要に応じて第二段階の始めからあるいは途中か
らＨ2 Ｓ：０．０１〜５Ｖｏｌ％を添加しても良い。ま
た、混合ガス組成は、第一段階から第二段階へ連続的に
変化させても良い。 【００１３】したがって、この発明の表面被覆切削工具
は、ＷＣ基超硬合金製切削工具などを基体とし、この基
体表面に、前述の化学蒸着法によりＸ線回折による最大
ピークが（２２０）面に現れるチタンの炭窒化物層を少
なくとも１層含むチタン化合物層を形成し、そのチタン
化合物層の上に、さらに前記κ型結晶を主体としかつＡ
ＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オング
ストロームの面として定義される面に最大ピークが現れ
る酸化アルミニウム層を形成することにより作製され
る。 【００１４】 【実施例】 実施例１ 通常の粉末冶金法により製造したＷＣ−６％Ｃｏからな
る成分組成を有しかつＩＳＯ規格のＳＮＭＡ４３２に定
めた形状の切削工具を用意した。この切削工具を通常の
化学蒸着装置に装入し、 温度：９２０℃、圧力：２００torr、 反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −６０％Ｎ2 −残り％Ｈ
2 、 の条件で１時間化学蒸着して厚さ：１μｍのＴｉＮ層を
形成し、さらに、 温度：９２０℃、圧力：７０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２％ＴｉＣｌ4 −４
０％Ｎ2 −０．０３％ＣＨ4 −０．２％ＣＨ3 ＣＮ−残
り％Ｈ2 、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２％ＴｉＣｌ4 −４
０％Ｎ2 −０．０３％ＣＨ4 −１％ＣＨ3 ＣＮ−残り％
Ｈ2 、 となるようにＣＨ3 ＣＮガス量を増加させながら５時間
反応ガスを流し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したところ、最大ピ
ークが（２２０）面に現れた。 【００１５】さらに続いて、 温度：９５０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−残りＨ2 （ＣＯ2 ガス含まず） 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−１０％ＣＯ2 −残りＨ2 となるようにＣＯ2 ガス量を増加させながら５時間反応
ガスを流し、厚さ：５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本
発明被覆切削工具１を作製した。このＡｌ2 Ｏ3層をＸ
線回折測定したところ、κ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおけるκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れてい
た。 【００１６】従来例１ 実施例１で用意した切削工具を通常の化学蒸着装置に装
入し、実施例１と同様にして厚さ：１μｍのＴｉＮ層を
形成し、さらに、 温度：８６０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −３０％Ｎ2 −１％ＣＨ
3 ＣＮ−残り％Ｈ2 、 の条件で５時間化学蒸着し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層
を形成した。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したとこ
ろ、最大ピークが（２００）面に現れた。 【００１７】さらに続いて、 温度：１０００℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＡｌＣｌ3 −２％ＨＣｌ−５％
ＣＯ2 −残りＨ2 の条件で６時間化学蒸着し、厚さ：５μｍのＡｌ2 Ｏ3
層を形成し、従来被覆切削工具１を作製した。このＡｌ
2 Ｏ3 層をＸ線回折したところ、α型結晶を主体としか
つ（１１３）面に最大ピークが現れていた。 【００１８】得られた本発明被覆切削工具１および従来
被覆切削工具１について、 被削材 ：ＦＣ２５ 切削速度：２５０ｍ／min 送 り：０．４mm／rev 切込み ：２mm 切削油 ：水溶性 の条件で連続切削試験を行なったところ、クレータ摩耗
は本発明被覆切削工具１では３６分まで発生しなかった
のに対し、従来被覆切削工具１では１４分で発生してお
り、本発明被覆切削工具１の工具寿命は従来被覆切削工
具１の工具寿命に比べて大幅に長いことが分かる。 【００１９】実施例２ 通常の粉末冶金法により製造したＷＣ−４％ＴｉＣ−４
％ＴａＣ−５．５％Ｃｏからなる成分組成を有しかつＩ
ＳＯ規格のＣＮＭＧ４３２に定めた形状の切削工具を用
意した。前記切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、 温度：１０００℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＴｉＣｌ4 −７．５％ＣＨ4 −
残りＨ2 、 の条件で１時間化学蒸着し、厚さ：１μｍのＴｉＣ層を
形成した。 【００２０】さらに、 温度：９００℃、圧力：７０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−４０％Ｎ2 −０．０５％ＣＨ4 −０．２５％ＣＨ3 Ｃ
Ｎ−残り％Ｈ2 、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−４０％Ｎ2 −０．０５％ＣＨ4 −２％ＣＨ3 ＣＮ−残
り％Ｈ2 、 となるようにＣＨ3 ＣＮガス量を増加させながら５時間
反応ガスを流し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したところ、最大ピ
ークが（２２０）面に現れた。 【００２１】さらに、 温度：１０００℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＴｉＣｌ4 −３０％Ｎ2 −２％
ＣＨ4 −２％ＣＯ−残り％Ｈ2 、 の条件で０．５時間化学蒸着し、厚さ：０．５μｍのＴ
ｉＣＮＯ層を形成した。 【００２２】さらに、 温度：９６０℃、圧力：５０torr 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−１％ＣＯ−０．２％Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 （Ｃ
Ｏ2 含まず）、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２％ＡｌＣｌ3 −２
％ＨＣｌ−７．５％ＣＯ2 −１％ＣＯ−０．２％Ｈ2 Ｓ
−残り％Ｈ2 、 となるようにＣＯ2 ガス量を増加させながら７時間反応
ガスを流し、厚さ：７μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本
発明被覆切削工具２を作製した。このＡｌ2 Ｏ3層をＸ
線回折測定したところ、κ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れてい
た。 【００２３】従来例２ 実施例２で用意した切削工具を基体とし、実施例２と同
じ条件で厚さ：１μｍのＴｉＣ層した後、 温度：８６０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：２．５％ＴｉＣｌ4 −３５％Ｎ2 −１．
２％ＣＨ3 ＣＮ−残り％Ｈ2 、 の条件で５時間化学蒸着し、Ｘ線回折の最大ピークが
（２００）面を有する厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成
し、さらに、実施例２と同じ条件で０．５時間化学蒸着
し、厚さ：０．５μｍのＴｉＣＮＯ層を形成し、さら
に、 温度：１０２０℃、圧力：６０torr 反応ガス組成：２％ＡｌＣｌ3 −２％ＨＣｌ−６％ＣＯ
2 −残り％Ｈ2 、 の条件で８．５時間化学蒸着し、α−Ａｌ2 Ｏ3 結晶を
主体としたＸ線回折の最大ピークが（１１３）面を有す
る厚さ：７μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆切削
削工具２を作製した。 【００２４】得られた本発明被覆切削工具２および従来
被覆切削工具２について、 被削材 ：合金鋼ＳＣＭ４４０（硬さ：ＨB ２２０） 切削速度：３５０ｍ／min 送 り：０．３mm／rev 切込み ：２mm 切削油 ：なし の条件で連続切削試験を行なったところ、クレータ摩耗
は本発明被覆切削工具２では６分まで発生しなかったの
に対し、従来被覆切削工具２では１分で発生しており、
本発明被覆切削工具２の工具寿命は従来被覆切削工具２
の工具寿命に比べて大幅に長いことが分かる。 【００２５】実施例３ 通常の粉末冶金法により製造したＷＣ−４％ＴｉＣ−３
％ＴｉＮ−４％ＴａＣ−６％Ｃｏからなる成分組成を有
しかつＩＳＯ規格のＣＮＭＧ４３２に定めた形状の切削
工具を用意した。前記切削工具を通常の化学蒸着装置に
装入し、 温度：８８０℃、圧力：５００torr、 反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０％Ｎ2 −残り％Ｈ
2 、 の条件で２時間反応ガスを流しながら厚さ：１μｍのＴ
ｉＮ層を形成し、さらに、 温度：８８０℃、圧力：７０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−３５％Ｎ2 −０．０２％ＣＨ4 −残り％Ｈ2 （ＣＨ3
ＣＮ含まず）、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２．５％ＴｉＣｌ4
−３５％Ｎ2 −０．０２％ＣＨ4 −１．５％ＣＨ3 ＣＮ
−残り％Ｈ2 、 となるようにＣＨ3 ＣＮガス量を増加させながら６時間
反応ガスを流し、厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。このＴｉＣＮ層をＸ線回折測定したところ、最大ピ
ークが（２２０）面に現れた。 【００２６】さらに、 温度：１０５０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：３％ＴｉＣｌ4 −７．５％ＣＨ4 −残り
Ｈ2 、 の条件で１時間化学蒸着し、厚さ：２μｍのＴｉＣ層を
形成した後、さらに、 温度：９８０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成（化学蒸着開始時）：２．５％ＡｌＣｌ3
−０．１５％Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 （ＣＯ2 含まず）、 反応ガス組成（化学蒸着終了時）：２．５％ＡｌＣｌ3
−１０％ＣＯ2 −０．１５Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 、 となるようにＣＯ2 ガス量を増加させながら３時間反応
ガスを流し、厚さ：３μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本
発明被覆切削工具３を作製した。このＡｌ2 Ｏ3層をＸ
線回折測定したところ、κ型結晶を主体としかつＡＳＴ
Ｍにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間隔２．７９オングスト
ロームの面として定義される面に最大ピークが現れてい
た。 【００２７】従来例３ 実施例３で用意した切削工具を使用し、この切削工具を
通常の化学蒸着装置に装入し、実施例３と同じ条件で厚
さ：１μｍのＴｉＮ層を形成し、さらに、 温度：８７０℃、圧力：６０torr、 反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −３５％Ｎ2 −１．５％
ＣＨ3 ＣＮ−残り％Ｈ2 、 の条件で６時間反応ガスを流し、Ｘ線回折の最大ピーク
が（２２０）面を有し厚さ：５μｍのＴｉＣＮ層を形成
した。 【００２８】さらに、実施例３と同じ条件で厚さ：２μ
ｍのＴｉＣ層を形成した後、 温度：１０３０℃、圧力：５０torr、 反応ガス組成：４％ＡｌＣｌ3 −７％ＣＯ2 −４％ＨＣ
ｌ−０．１％Ｈ2 Ｓ−残り％Ｈ2 、 の条件で３時間化学蒸着し、α−Ａｌ2 Ｏ3 結晶を主体
としたＸ線回折の最大ピークが（１０４）面である厚
さ：３μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆切削削工
具２を作製した。 【００２９】得られた本発明被覆切削工具３および従来
被覆切削工具３について、 被削材 ：ＳＮＣＭ４３９（硬さ：ＨB ２６０） 切削速度：２５０ｍ／min 送 り：０．３mm／rev 切込み ：２mm 切削油 ：なし 切削時間：１５分 の条件で連続切削試験を行なったところ、クレータ摩耗
は本発明被覆切削工具３では１４分まで発生しなかった
のに対し、従来被覆切削工具３では７分で発生してお
り、本発明被覆切削工具３の工具寿命は従来被覆切削工
具３の工具寿命に比べて大幅に長いことが分かる。 【００３０】 【発明の効果】実施例１〜３および従来例１〜３に示さ
れた結果から明らかなように、（２２０）面にＸ線回折
による最大ピークが現れるチタンの炭窒化物層と、κ型
結晶を主体としかつＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の
面間隔２．７９オングストロームの面として定義される
面に最大ピークが現れる酸化アルミニウム外層を有する
本発明被覆切削工具１〜３は、それぞれ従来被覆切削工
具１〜３と比べると、耐クレータ摩耗性が優れており、
使用寿命が長いことが分かる。したがって、この発明の
複合硬質層表面被覆切削工具は、従来の複合硬質層表面
被覆切削工具よりも長期に亘って優れた切削性能を保持
することができ、この発明の複合硬質層表面被覆切削工
具を用いることにより切削工具交換回数などを減らすこ
とができ、産業の発展に大いに貢献しうるものである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 菅原 淳
茨城県結城郡石下町大字古間木1511番地
三菱マテリアル株式会社 筑波製作所
内
(72)発明者 濱口 雄樹
茨城県結城郡石下町大字古間木1511番地
三菱マテリアル株式会社 筑波製作所
内
(56)参考文献 特開 平６−190605（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−116731（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 基体表面に、少なくとも１層のチタンの
炭窒化物層を含むチタン化合物内層と、酸化アルミニウ
ム外層とで構成された複合硬質層を被覆してなる切削工
具において、 前記チタン化合物内層を構成する少なくとも１層のチタ
ンの炭窒化物層は、（２２０）面にＸ線回折による最大
ピークが現れるチタンの炭窒化物層であり、 前記酸化アルミニウム外層は、κ型結晶を主体とし、か
つＡＳＴＭにおいてκ−Ａｌ2 Ｏ3 の面間距離２．７９
オングストロームの面として定義される面に最大ピーク
が現れる酸化アルミニウム層であることを特徴とする複
合硬質層表面被覆切削工具。
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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