JPH04137207A

JPH04137207A - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH04137207A
Application number: JP25905890A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Inoue; 哲夫井上; Masayuki Saito; 雅之斉藤
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-09-28
Filing date: 1990-09-28
Publication date: 1992-05-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は磁気記録再生装置に使用される磁気ヘッドに係
り、特にバルクコアと薄膜コイルを用いた磁気ヘッドに
関する。

（従来の技術）近年、ＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）を初めとする磁
気記録再生装置はますます高記録密度化が進められ、そ
れに伴い記録再生ヘッドの高感度化、高Ｓ／Ｎ化および
信号の高周波化か進行している。一方、記録媒体の側で
は、磁性材料の高保磁力化や蒸着テープの採用による記
録波長の短波長化によって、高記録密度化に対応してき
た。記録媒体の高保磁力化に伴い、磁気ヘットもフェラ
イト単体のコアからなるフェライトヘッドから、アモル
ファス合金やセンダスト等の高飽和磁束密度のメタル材
料をコアに用いたメタルヘット、あるいはメタルコアと
フェライトコアを併用した複合型ヘッドか用いられるよ
うになってきた。

また、磁気コアおよびコイルを全て薄膜プロセスで形成
する薄膜磁気ヘッドも実用化されている。この薄膜磁気
ヘットは基板上に下部コア、コイル、ギャップ形成材お
よび上部コア等を順次薄膜形成するため、ボンディング
工程がなく、ギャップ長の管理か容易で、短波長領域で
使用される狭ギヤツプヘッドとして適している。さらに
、磁気コアの体積か縮小され、コイルも縮小されるため
、磁束漏洩による不要なインダクタンスの増加か少なく
、単位インダクタンス当たりのヘット出力か大きい。し
かし、このような薄膜磁気ヘッドは、ギャップ深さを大
きくすると磁気コアの磁気飽和か生しやすいため、ＶＴ
Ｒ用ヘットのような記録媒体と直接摺動するヘッドとし
て用いると、十分なヘッド寿命が得られなくなる。

記録媒体と直接摺動するタイプであって、大きな記録磁
界と長寿命を持ち、かつ単位インダクタンス当たりのヘ
ッド出力か大きい磁気ヘッドとして、フェライトヘッド
、メタルヘッドまたは複合型ヘッド等のバルクコアを用
いたバルクヘッドに、薄膜コイルを組み合わせたへ・ソ
ドか考案されている。

第４図および第５図は、このようなバルクコアに薄膜コ
イルを組み合わせたヘッドのチ・ツブ部分の具体的な例
であり、磁気コア１，２の先端部に磁気ギャップ３か形
成され、コア１，２の接合面内に薄膜コイル（図示せず
）か形成されている。そして、磁気コア１または磁気コ
ア２の薄膜コイルか形成された面と同一面上に、薄膜コ
イルから引き出し線を介して引出された電極端子４．５
か設けられている。ＶＴＲ用ヘッド等として使用する場
合、このようなヘッドチップか磁気コア］、２の広い面
を下にして図示しないベース板（ヘット基体）上に支持
され、さらにヘース板上に設けられた端子板上のヘッド
接続端子に電極端Ｔ−４，５が接続される。

このような構成では、電極端子４．５と端子板上のヘッ
ト接続端子とかほぼ９０°異なる面上に位置することに
なるので、両端子を接続するために現状ではフレキシブ
ル配線板を使用せざるを得ない。フレキンプル配線板を
使用しようとすると複雑な工程か必要となり、量産性を
低ドさせるとともに、配線長か長くなることでノイズを
拾いやすくなり、磁気ヘットのＳ／Ｎか劣化するという
問題か生しる。

（発明か解決しようとする課題）上述したように、従来のバルクコアと薄膜コイルを組み
合わせた磁気ヘッドでは、ヘッドチップ上の電極端子と
端子板上のヘッド接続端子とを接続するためにフレキシ
ブル配線板などを使用せざるを得す、そのために複雑な
工程を必要として、量産に適さないものとなり、さらに
配線長の増加によりノイズが増加するという問題かあっ
た。

本発明はこのような問題に対処すべくなされたもので、
バルクコアと薄膜コイルを組み合わせたヘッドチップ上
の電極端子と外部のヘット接続端子とを複雑な工程を要
する二となく安定に、かつ短い配線長で接続することが
でき、もって量産性に優れ、低ノイズの磁気ヘッドを提
供することを目的とする。

（課題を解決するための手段）上記の課題を解決するため、本発明はヘッド基体の所定
の支持面上に、互いに接合された第１および第２の磁気
コアを設け、第１の磁気コアの接合面上に薄膜コイルを
形成した磁気ヘッドにおいて、第１の磁気コアのヘッド
基体の支持面とほぼ平行な面上に電極端子を設けたこと
を特徴とする。

より具体的には、例えば第１の磁気コアの接合面と同一
面内に形成された溝内部または該接合面と同一面上に一
対の引き出し線を形成し、これらの引き出し線の一端を
薄膜コイルに接続し、他端を第１の磁気コアのヘッド基
体の支持面とほぼ平行な面上まで延在させ、この他端を
電極端子とする。

（作用）このようにヘットチップと外部のヘッド接続端子との接
続のための電極端子を磁気コアのヘッド基体の支持面と
ほぼ平行な面上に形成すると、ヘッドチップをヘッド基
体に取り付けた場合、同しくヘッド基体に取り付けられ
る端子板上のヘッド接続端子と、ヘッドチップの電極端
子とかほぼ平行の面上に位置することになる。

従って、両端子間をワイヤボンディングのような簡易な
方法で接続することか可能となり、配線長も短くなる。

（実施例）以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施例に係る磁気ヘッドのチップ部
分の構成を示す斜視図である。このヘットチップは、先
端部に磁気ギャップ１３を有するように接合されたバル
ク状の第１および第２の磁気コア１１．１２と、磁気コ
ア１１の磁気コア１２との接合面上に形成された薄膜コ
イル１４と、薄膜コイル１４に連続して形成された引き
出し線１５，１６、および引き出し線１５．１６と連続
して形成された引き出し線１７．１８とを主体として構
成されている。

引き出し線１７．１８の引き出し線１５１６と反対側の
端部は、磁気コア１１の側面、すなわち接合面と直交す
る面まで延びており、これらの端部が電極端子１９．２
０となっている。引き出し線１５．１６は、薄膜コイル
１４と同様に磁気コア１１上に薄膜プロセスで形成され
ている。一方、引き出し線１７．１８は、磁気コア１１
に形成された溝内部に導電率の高い材料を充填する二と
て形成されている。

なお、図示していないか、磁気コア１１１２の接合面に
はフロントギャップ形成用磁性面およびハックギヤツブ
形成用磁性面か突出して形成され、これらにより形成さ
れるフロントギャップ（磁気ギャップ１３）とパックギ
ャップにより磁気コア１１．１２に閉磁路が形成される
。

第２図はこのように構成されたヘッドチップをＶＴＲ用
ヘット等として実装した状態を示す斜視図である。ベー
ス板（ヘッド基体）２１上に第１図に示したヘッドチッ
プが、磁気コア１１．１２の電極端子１９．２０と反対
側の側面を下にしてベース板２１に接着固定されている
。また、ベース板２１上にはへラドチップの近傍に位置
して端子板２２も接着固定されている。端子板２２上に
はヘッド接続端子２３゜２４が形成されている。ヘッド
チップの電極端子１９．２０と、端子板２２上のヘッド
接続端子２３．２４とは、ワイヤ２５．２６を介してワ
イヤボンディングにより接続されている。

第２図のようにベース板２１上にヘッドチップおよび端
子板２２を取り付けた状態では、電極端子１９．２０と
ヘット接続端子２３．２４とは平行な面上に位置する。

従って上記のように、半導体素子その他の電子部品の実
装において一般に用いられているワイヤボンディングの
ような接続工程によって両端子間の接続か可能となり、
フレキシブル配線板のような特殊な接続手段を用いた場
合に比較して格段に量産性に適したものとなる。また、
配線長も短くて済み、ノイズを拾うことか少なくなる。

次に、第１図に示したヘッドチップの製造工程の一例を
第３図により説明する。まず、同図（ａ）に示すように
第１の磁気コア１となる磁性基板３］上に、例えばブレ
ードによる機械加工あるいは物理的または化学的エツチ
ングなとにより、平行な二本の４３２．３３を形成する
。

ａ３２．３３の断面形状は、図ではＵ字状となっている
か、■字状であってもよい。

次いて、同図（ｂ）に示すように溝３２．３３内に導電
率の高い低融点金属、ペースとなどの導体を充填するこ
とにより、第１図の引き出し線１７．１８となる配線３
４．３５を溝３２゜３３内に形成する。このとき基板３
１と配線３４．３５とか電気的に導通しないように、溝
３２．３３の内壁面に８１０２膜のような絶縁膜３６を
設けておく。

次に、同図（ｃ）に示すように複数の薄膜コイル３７（
第１図の薄膜コイル１４に相当）と、薄膜コイル３７の
一端に一端が連続し、他端が配線３４上に重なるような
形状の引き出し線３８（第２図の引き出し線１５に相当
）を例えば蒸着、スパッタ、薄膜印刷とフォトエツチン
グなとの薄膜プロセスにより形成する。

次に、同図（ｄ）に示すように上述の溝３２゜３３、配
線３４，３５、薄膜コイル３７および引き出し線３８等
か形成された面金域に絶縁膜３９を形成し、さらに同図
（ｅ）に示すように絶縁膜３９の薄膜コイル３７の他端
上および配線３５上に、スルーホール４０．４１を形成
する。

そして、同図＜ｒ＞に示すようにスルーホール４０４］
を通して薄膜コイル３７の他端と配線３５とを接続する
引き出し線４２（第１図の引き出し線１６に相当）を形
成する。この後、再び絶縁膜を全面に設ける。

最後に、基板３〕と第２の磁気コア１２となるもう一つ
の磁性基板（図示せず）とを接着した後、薄膜コイルが
形成された単位で切断分離することにより、第１図に示
したヘッドチップか得られる。

なお、上記の実施例ではその端部かへラドチップの電極
端子１９．２０を形成する引き出し線１７．１８（配線
３４．３５）が磁性コアの溝内に形成されているが、磁
性コアの表面上に形成されていてもよい。さらに、電極
端子をへ一ス板へのヘッドチップの取り付は面と同一面
上に形成してもよい。

［発明の効果］本発明の磁気ヘッドでは、ヘッドチップの電極端子と外
部のヘット接続端子との接続をワイヤボンディングのよ
うな複雑な工程を要しない簡易な方法によって行うこと
ができ、またフレキシブル配線板などを用いた場合に比
較して振動や接触などの外力に対する耐久性が向上する
。

さらに、電極端子とヘッド接続端子との間の配線長を必
要最小限にすることか可能であり、ノイズの増加を抑制
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る磁気ヘットのチップ部
分の斜視図、第２図は第１図のへラドチップの実装例を
示す斜視図、第３図は第１図のへラドチップの製造工程
の一例を示す図、第４図および第５図は従来の磁気ヘッ
ドとその実装例を説明するための斜視図である。１１．１２・・磁気コア１３・・磁気ギャップ１４・・・薄膜コイル１５〜１８・・・引き出し線］Ｑ、２０・・・電極端子２１・・・ベース板（ヘット基体）２２・・・端子板２３２４・・・ヘッド接続端子２５２６・ワイヤ３１・・磁性基板３２．３３・・溝３４．３５・・・配線３６・・・絶縁膜３７・・薄膜コイル３８．４２・・引き出し線３９・・・絶縁膜４０．４１・・・スルーホール

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ヘッド基体と、このヘッド基体の所定の支持面上に支持され、互いに接
合された第１および第２の磁気コアと、第１の磁気コアの接合面上に形成された薄膜コイルと、この薄膜コイルと接続され、第１の磁気コアの前記ヘッ
ド基体の前記支持面とほぼ平行な面上に設けられた電極
端子とを具備することを特徴とする磁気ヘッド。
（２）ヘッド基体と、このヘッド基体の所定の支持面上に支持され、互いに接
合された第２および第１の磁気コアと、第１の磁気コア
の接合面上に形成された薄膜コイルと、第１の磁気コアの前記接合面と同一面内に形成された溝
内部または該接合面と同一面上に設けられ、一端が前記
薄膜コイルと接続され、他端が第１の磁気コアの前記ヘ
ッド基体の前記支持面とほぼ平行な面上に延びて電極端
子を形成する一対の引き出し線とを具備することを特徴とする磁気ヘッド。