JPH04136456U - ウエーハ処理装置用投げ込みヒーター - Google Patents
ウエーハ処理装置用投げ込みヒーターInfo
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- JPH04136456U JPH04136456U JP4828291U JP4828291U JPH04136456U JP H04136456 U JPH04136456 U JP H04136456U JP 4828291 U JP4828291 U JP 4828291U JP 4828291 U JP4828291 U JP 4828291U JP H04136456 U JPH04136456 U JP H04136456U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体の製造工程中ウェーハにウエット処理
を行う液槽の液体加熱用投げ込みヒーターの異常を早期
に検知し、交換できるようにする。 【構成】 投げ込みヒーターの石英管を気密とするとと
もに、その内に圧力センサーまたは温度センサーを発熱
体とともに封入し、石英管の破損や穴あきを圧力や温度
の変化として電気信号で取り出せる構成とした。
を行う液槽の液体加熱用投げ込みヒーターの異常を早期
に検知し、交換できるようにする。 【構成】 投げ込みヒーターの石英管を気密とするとと
もに、その内に圧力センサーまたは温度センサーを発熱
体とともに封入し、石英管の破損や穴あきを圧力や温度
の変化として電気信号で取り出せる構成とした。
Description
【０００１】
本発明は、半導体を製造する工程中ウェーハにウエット処理を行う液槽の液体
加熱用投げ込みヒーターに関するものである。
【０００２】
従来用いられているウェーハ処理装置用投げ込みヒーター（以下ヒーターと略
す）は、カンタル線などの発熱体を石英管に入れ、純水や薬液などの液体との接
触を防止した構造である。その際石英管両端は完全な気密状態ではない。
上記ヒーターを長時間使用していると、高温に加熱された発熱体の影響で石英
管にピンホールができ、石英管内に液が侵入する事故が起こる場合がある。特に
最近は自動化が進んでオペレータが装置に近づく機会が少なくなり、石英管が破
損した場合やピンホールが発生して管内に液が侵入した場合でも見逃されるケー
スがあった。このような場合、ヒーターに用いられている金属がバルク薬液や純
水中に拡散し、浸漬されたウェーハを汚染する恐れがある。
【０００３】
上記のような事故を防ぐため実開平２−２８３１号公報では以下のような提案
がされている。すなわち「ヒーターの発熱体を二重石英管の内管内に収め、内外
管の中間領域に減圧したヘリウムガスを封入する。このヘリウムガスの温度をモ
ニターする手段を備えて、温度変化によって石英管の割れを検知する。また、外
管が割れた場合でもバルク液や純水を汚染することがない。」としている。
【０００４】
しかし、二重管ではコスト高となり、また加熱が間接的で制御が難しいという
問題があった。また別の解決法としてはヒーターの交換を早めに行うという方法
があるが、この方法は確実でないうえにまだ使用しうるヒーターを取り替えなけ
ればならないためコストが高くなるという問題があった。
【０００５】
本考案は、ウェーハにウェット処理を行う液槽の液体加熱用投げ込みヒータ
ーであって、大気圧とは異なる圧力に保った石英管内に、発熱体とともに管内の
圧力変動を検知する圧力センサーを封入することを特長とするヒーターであり、
またウェーハにウェット処理を行う液槽の液体加熱用投げ込みヒータであって
、大気圧とは異なる圧力に保った石英管内に、発熱体とともに管内の温度変動を
検知する温度センサーを封入することを特長とするヒーターである。
【０００６】
石英管を二重管とせず、かつ気密にした石英管内に圧力センサーまたは温度セ
ンサを封入することによってコスト高と加熱の制御性の問題が解決した。
石英管を気密にする場合、石英管内は大気圧に対し加圧、減圧いずれでも良い
。なお、圧力センサー感度および液槽内の液温度変動による圧力変動より充分大
きくするために、１．５気圧以上の加圧もしくは０．５気圧以下の減圧とするの
が好ましい。石英管が正常な場合は、石英管は大気圧とは異なる圧力に保たれる
。
石英管が破損した場合には、圧力は急激に大きく変化する。この現象を半導体
圧力センサーなどにより検知することができる。石英管に微細な穴があいた場合
には、徐々に圧力が大気圧に近づく。いずれの場合にも石英管内の圧力センサー
が大きく変化した場合又は大気圧を示す場合を異常とするように警報回路を組み
上げれば良い。
【０００８】
温度センサーを用いる場合は石英管の異常によって液が侵入し、温度が低下す
るので、この変化を検出して警報を出すようにすれば良い。
【０００９】
図１に示すように石英管に分岐部を設け、その中に半導体の圧力センサー３を
取りつけた。発熱体２にはカンタル線を用いた。石英管内には２気圧のヘリウム
ガスを封入した。
【００１０】
本ヒーター５個を実使用するに際し、圧力が１．５気圧より低下すると警報を
発生するシステムを使用したが、各ヒーターで警報を発生した時点で、ヒーター
を点検したところ、ピンホールやヒビ割れが発生していることが判明した。即ち
、ヒーターの完全な破損やヒーター内に水が入るような大きな穴あきに至る前に
100％その前兆を発見することができた。
【００１１】
本考案により、前述のようにヒーター故障を早い時期に発見できるようになっ
た。従来は、早い目に新品に交換することにより使用中に破損することを防いで
いた。これに比べ本考案は寿命近くまでヒーターを使用できるのでヒーターのコ
ストを低減することができる。
また、従来は上記のように早い目に新品に換えたとしても不良品は予想より早
い時期に破損する場合があった。この場合、この槽で処理したウェーハのロット
はすべて不良品にしなければならなかったが、この問題も解決した。
本考案の実施例ではヘリウムガスを用いたが、発熱体と反応しないガスであれ
ばヘリウムガス以外のガスを使用することができる。
【００１２】
本考案に係るヒーターを使用するとヒーターの故障を早い時期に確実に発見で
きるようになり、コスト低減に大いに寄与した。
【図１】本考案の一実施例を示す説明図である。
１ 石英管
２ 発熱体
３ 圧力センサー
４ 圧力センサーリード線
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェーハにウエット処理を行う液槽の液
体加熱用投げ込みヒーターであって、大気圧とは異なる
圧力に保った石英管内に、発熱体とともに管内の圧力変
動を検知する圧力センサーを封入することを特長とする
ウェーハ処理装置用投げ込みヒーター。 - 【請求項２】 ウェーハにウエット処理を行う液槽の液
体加熱用投げ込みヒーターであって、大気圧とは異なる
圧力に保った石英管内に、発熱体とともに管内の温度変
動を検知する温度センサーを封入することを特長とする
ウェーハ処理装置用投げ込みヒーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4828291U JPH04136456U (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | ウエーハ処理装置用投げ込みヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4828291U JPH04136456U (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | ウエーハ処理装置用投げ込みヒーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04136456U true JPH04136456U (ja) | 1992-12-18 |
Family
ID=31926845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4828291U Pending JPH04136456U (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | ウエーハ処理装置用投げ込みヒーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04136456U (ja) |
-
1991
- 1991-05-30 JP JP4828291U patent/JPH04136456U/ja active Pending
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