JP2006017691A - 化学タンクの腐食監視制御システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】腐食性液体化学薬品を保存する化学タンクの腐食監視システムは、導電外殻と絶縁ライニングからなって腐食性液体化学薬品を収容するタンク本体と、タンク本体に収容される腐食性液体化学薬品にひたる検知電極と、検知電極と電気的に接続される測定器とを含む。そのうち測定器は導電外殻と電気的に接続され、絶縁ライニングが腐食されてタンク本体内の腐食性液体化学薬品が導電外殻と接触すると対応する信号を受信する。
【選択図】図3
Description
当業者に周知されている通り、半導体製作に必要な液体化学薬品として、強酸、アルカリなどの腐食性液体を使用することが多い。更に、液体化学薬品の金属汚染を防止してウェハーの歩留まりに影響しないようにするため、液体化学薬品の純度を高いレベルに維持しなければならない。腐食性液体を保存するタンクは防食処理を施されているが、金属汚染を確認するため定期的に液体化学薬品をサンプリングして分析するのが必要である。金属汚染は普通、保存された液体化学薬品がタンクのライニングを侵食してタンク本体を構成した金属と接触することによって発生する。
前述のサンプリング検査は人力に頼って多大な時間とコストを要するのみならず、金属汚染が確認されると、その前に製作された製品を廃棄しなければならない。更に、腐食性液体を取り扱う人の人身事故も起こりやすい。そのため、化学タンクのライニング破損を早期に発見できる監視制御システムが必要となる。
この発明は更に、液体化学薬品の品質を原位置かつ実時間に監視する半導体製作制御システムを提供する。同システムは、ウェット処理前の半導体ウエハーを1枚以上収容する反応容器と、半導体ウエハーを反応容器に搬入またはそれから搬出するためのウエハー搬送装置と、導電外殻と絶縁ライニングからなって液体化学薬品を収容し、パイプラインシステムで液体化学薬品を反応容器に輸送するタンク本体と、測定器と接続されて、測定器が対応する信号を受信すると、第一制御信号をウエハー搬送装置に出力する制御ユニットとを含む。そのうちタンク本体には、タンク本体に収容される液体化学薬品にひたる検知電極と、検知電極と電気的に接続される測定器とを含む監視システムが設けられる。測定器は導電外殻と電気的に接続され、絶縁ライニングが腐食されてタンク本体内の腐食性液体化学薬品が導電外殻と接触すると対応する信号を受信する。
外殻14にはさまざまなパイプラインとバルブが設けられる。その数量、寸法と位置は要求に応じて決められ、ここではその説明を省略する。図1によれば、排液管22、排気管24、入口管26と出口管28などがある。
12、112 タンク本体
14 外殻
16、116 ライニング
18、68 液体化学薬品
22 排液管
24 排気管
26 入口管
28 出口管
32 検知電極
34、38 導線
36 測定器
42 コンピューターユニット
44 モニター
52 アラーム装置
60 反応容器
70 ウエハー
80 ウエハー搬送装置
90 パイプラインシステム
92 スイッチバルブ
100 半導体製作制御システム
Claims (20)
- 腐食性液体化学薬品を保存する化学タンクの腐食監視システムであって、
導電外殻と絶縁ライニングからなって腐食性液体化学薬品を収容するタンク本体と、
タンク本体に収容される腐食性液体化学薬品にひたる検知電極と、
検知電極と電気的に接続される測定器とを含み、そのうち測定器は導電外殻と電気的に接続され、絶縁ライニングが腐食されてタンク本体内の腐食性液体化学薬品が導電外殻と接触すると対応する信号を受信することを特徴とする化学タンクの腐食監視システム。 - 前記導電外殻はステンレス鋼または炭素鋼からなることを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記導電外殻はアルミニウムからなることを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記絶縁ライニングはフルオロポリマー樹脂からなることを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記フルオロポリマー樹脂は四弗化エチレン(PTFE)を含むことを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記フルオロポリマー樹脂はパーフルオロアルコキシルアルカン(PFA)を含むことを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記検知電極は防食材料からなることを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記防食材料は白金を含むことを特徴とする請求項7記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記測定器がオームメーターであることを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記オームメーターの測定範囲は1MΩから40GΩであることを特徴とする請求項9記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 前記測定器が受信した信号は抵抗信号であることを特徴とする請求項1記載の化学タンクの腐食監視システム。
- 液体化学薬品の品質を原位置かつ実時間に監視する半導体製作制御システムであって、
ウェット処理前の半導体ウエハーを1枚以上収容する反応容器と、
半導体ウエハーを反応容器に搬入またはそれから搬出するためのウエハー搬送装置と、
導電外殻と絶縁ライニングからなって液体化学薬品を収容し、パイプラインシステムで液体化学薬品を反応容器に輸送するタンク本体と、
測定器と接続されて測定器が対応する信号を受信すると第一制御信号をウエハー搬送装置に出力する制御ユニットとを含み、そのうちタンク本体には、タンク本体に収容される液体化学薬品にひたる検知電極と、検知電極と電気的に接続される測定器とを含む監視システムが設けられ、測定器は導電外殻と電気的に接続され、絶縁ライニングが腐食されてタンク本体内の腐食性液体化学薬品が導電外殻と接触すると対応する信号を受信することを特徴とする半導体製作制御システム。 - 前記第一制御信号はウエハー搬送装置による半導体ウエハーの反応容器への搬入を停止させることを特徴とする請求項12記載の半導体製作制御システム。
- 前記制御ユニットは更に、パイプラインシステムに設けられるスイッチバルブと接続され、測定器が対応する信号を受信すると、第二制御信号をスイッチバルブに出力することを特徴とする請求項12記載の半導体製作制御システム。
- 前記第二制御信号はスイッチバルブをオフにすることを特徴とする請求項14記載の半導体製作制御システム。
- 前記測定器がオームメーターであることを特徴とする請求項12記載の半導体製作制御システム。
- 前記オームメーターの測定範囲は1MΩから40GΩであることを特徴とする請求項16記載の半導体製作制御システム。
- 前記絶縁ライニングはフルオロポリマー樹脂からなることを特徴とする請求項12記載の半導体製作制御システム。
- 前記フルオロポリマー樹脂はPTFEを含むことを特徴とする請求項18記載の半導体製作制御システム。
- 前記フルオロポリマー樹脂はPFAを含むことを特徴とする請求項18記載の半導体製作制御システム。
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