JP7500437B2

JP7500437B2 - 電気抵抗測定機及びそれを用いる電気抵抗測定方法

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Publication number: JP7500437B2
Application number: JP2020566479A
Authority: JP
Inventors: 良平松井; 弘子綿貫; 拓磨堀園; 進川戸
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Priority date: 2019-01-18
Filing date: 2020-01-16
Publication date: 2024-06-17
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Description

本発明は、電気抵抗測定機及びそれを用いる電気抵抗測定方法に関する。

半導体素子の製造方法は、中間製造物（より具体的には、ウェハ等）を種々の流体に接触させる工程（例えば、エッチング工程、洗浄工程）を有する。例えば、洗浄工程では、ウェハを流体と接触させて、ウェハの表面に付着した不純物（より具体的には、イオン性物質、粒子状物質等）を除去する。洗浄工程で使用される流体（洗浄液）は、ウェハの表面に付着した不純物を溶解すること、又はウェハの表面に付着した不純物を押し流すことなどによって、不純物を除去する。

従って、流体は、純水以外に、種々の薬品（酸、アルカリ、有機溶剤など）を含み得るので、半導体素子製造装置のウェハを取り扱う部材（より具体的には、金属製基材等）を耐薬品性に優れるコーティング材（例えば、フッ素樹脂等）で被覆することによって、上記流体から保護する。高温でウェハを洗浄し得るので、コーティング材は、高温時の耐薬品性という、過酷な性能が要求され得る。

青木茂「有機材料による防食」、防食技術、Vol.37, 492-500 (1988) (特に、「5.3 有機ライニングの検査」及び「6. 使用開始後の診断」参照)

しかし、部材は、洗浄工程で長期間通常使用されるので、部材を被覆したコーティング材が劣化（熱劣化、分子鎖の切断）する。その結果、コーティング材に欠陥（より具体的には、ひび、割れ、ふくれ、膨潤、剥離、及びソルベントクラック等）が生じ得る。欠陥が形成されると、コーティング材で被覆された部材（より具体的には、金属製基材）が洗浄液に曝露され、その基材が洗浄液に溶解し得る。基材が洗浄液に溶解すると、洗浄液の汚染を生じ、製造される半導体素子に不良を生じ得る。

コーティング材の欠陥を検査する方法として、ピンホールテスト等が知られているが、製造装置等の運転中にコーティング材の劣化を診断する方法は、ほとんど実用化されていない（非特許文献１参照）。
半導体素子の不良の発生を防止するために、例えば、コーティング材の劣化を想定して、半導体素子製造装置の部材を定期的に交換していた。その交換時期は、各技術者が、経験的に又は感覚的に定めることが多い。更に、半導体素子製造装置の運転を停止したときに、半導体素子製造装置の部材のコーティング材を目視で観察して、その欠陥の有無を確認していた。
従って、部材の交換が遅れると、欠陥が発生して、既に基材が洗浄液に曝露され、基材が洗浄液に溶解している状態まで進行していることが多い。欠陥の発見時（例えば、治具から泡が発生するような剥がれの発見時）には既に半導体素子に不良が生じている場合があった。

形成された欠陥の発見に時間を要すると、部材の基材成分が洗浄液に溶解して、洗浄液を汚染する（コンタミネーション）という問題があった。かかる場合、半導体素子製造装置のコーティング材が劣化した部材の交換のみならず、製造工程（プロセス）を止めて、その半導体素子製造装置を洗浄することが必要であった。ゆえに、欠陥が形成されると、製造装置の再稼働に多くの労力と時間を要していた。

従って、本発明の目的は、コーティング材の欠陥を、容易に、迅速に、好ましくは適時に発見することができる測定機（試験機又はデバイス）及び測定方法を提供することである。更に、好ましくは装置（例えば半導体素子製造装置）の運転中であっても、その装置内部の汚染の発生を抑制し、好ましくは生じることなく、優れた耐薬品性（特に高温での優れた耐薬品性）及びクリーン性を兼ね備えた測定機及びそれを用いる測定方法を提供することである。

本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、カーボンナノチューブとフッ素樹脂とを含む特定の組成物で形成された電極を有する、従来に比べ高感度の新たな電気抵抗測定機を製造した。このような高感度の電気抵抗機を用いて電気抵抗を測定することによって、微視的な欠陥（より具体的には、マイクロクラック、ピンホール、膨潤等）が発生した段階で、それを検知することによって、巨視的な欠陥の発生を予防し、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明は、新規な電気抵抗測定機及びそれを用いる電気抵抗測定方法を含み、以下の態様を提供するものである。

１．第１端子と第２端子を有する電気抵抗測定機本体；
第１端子と電気的に接続されている第１電極を有する電気抵抗測定機であって、
第１電極は、導電性材料とポリマーを含む、電気抵抗測定機。
２．導電性材料は、炭素系材料を含む、上記１．に記載の電気抵抗測定機。
３．第１電極は、導電性材料を、第１電極の質量を１００質量％として、０．０１～２．０質量％の量で含む、上記１又は２に記載の電気抵抗測定機。
４．ポリマーは、シリコーン系ポリマー、フッ素系ポリマー、含窒素ポリマー及びポリオレフィンから選択される少なくとも１種を含む、上記１～３のいずれか１に記載の電気抵抗測定機。
５．導電性材料は、カーボンナノチューブを含み、ポリマーは、フッ素系ポリマーを含む、上記１～４のいずれか１に記載の電気抵抗測定機。
６．インライン用の、上記１～５のいずれか１に記載の電気抵抗測定機。
７．導電性部分が非導電性部分で覆われている部材の欠陥検知に使用される、上記１～６のいずれか１に記載の電気抵抗測定機。
８．上記１～７のいずれか１に記載の電気抵抗測定機を含む、装置。
９．上記１～７のいずれか１に記載の電気抵抗測定機を用いることを含む、電気抵抗測定方法。
１０．（Ａ）導電性部分が非導電性部分で被覆されている部材を、導電性を有する流体に接触させること；
（Ｃ）電気抵抗測定機の第２端子を、前記部材の導電性部分に電気的に接続した状態で、第１電極を導電性流体に接触させて、非導電性部分で被覆された導電性部分と導電性流体との間の電気抵抗を測定すること；
を含む、上記１～７のいずれか１に記載の電気抵抗測定機を用いる、電気抵抗測定方法。
１１．（Ｃ）の前に、
（Ｂ）電気抵抗測定機の第１端子と第２端子を、部材の導電性部分に、可能な限り離して電気的に接続して、導電性部分の電気抵抗を測定して、導電性部分の導電性を確認すること；
を含む、上記１０に記載の測定方法。
１２．装置の運転を一時停止したとき、導電性部分が非導電性部分で覆われている部材を装置から取り外すことなく、上記１～７項のいずれか１に記載の電気抵抗測定機を用いて、非導電性部分の電気抵抗を測定することを含む、非導電性部分の欠陥を検知する方法。
１３．装置を運転中に、導電性部分が非導電性部分で覆われている部材を装置から取り外すことなく、請求項１～７項のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機を用いて、非導電性部分の電気抵抗を測定することを含む、非導電性部分の欠陥を監視する方法。

本発明によれば、コーティング材の欠陥を、容易に、迅速に、好ましくは適時に、発見することができる測定機及び測定方法を提供することができる。上述の測定機は優れた耐薬品性及びクリーン性を有し、その測定機を用いて電気抵抗を測定することで、コーティング材の欠陥を、好ましくは軽微な段階で（微視的な欠陥の状態で）発見することができ、より好ましくは、巨視的な欠陥発生を予測することができる。
更に、好ましくは装置（例えば半導体素子製造装置）の運転中であっても、その装置内部の汚染の発生を抑制し、好ましくは生じることなく、優れた耐薬品性（特に高温での優れた耐薬品性）及びクリーン性を兼ね備えた測定機及びそれを用いる測定方法を提供することができる。

図１は、本発明の一実施形態の電気抵抗測定機の一例を模式的に示す。図２は、本発明の一実施形態の電気抵抗測定機が有する第１電極の耐薬品性評価方法を模式的に示す。図３は、測定対象としての、ウェハキャリア（ウェハ搬送部材）の一例を模式的に示す。図４は、測定対象としての、ライニングタンク（ライニング層でライニングされた金属製タンク）の一例を模式的に示す。図５は、測定対象としての、ライニング配管（ライニング層でライニングされた金属製配管）の例と、それらの接続の一例を模式的に示す。図６は、ウェハキャリアの導電層の導電性確認方法の一例を模式的に示す。図７は、ウェハキャリアの非導電層の電気抵抗測定方法（欠陥検知方法）の一例を模式的に示す。

以下、本発明の実施形態について、添付した図面を参照しながら、詳細に説明する。
＜電気抵抗測定機＞
本発明の実施形態に係る電気抵抗測定機は、
第１端子と第２端子を有する電気抵抗測定機本体；
第１端子と電気的に接続されている第１電極を有する電気抵抗測定機であって、
第１電極は、導電性材料とポリマーを含む。

１．電極
本発明の実施形態に係る電気抵抗測定機は、第１電極を有する。第１電極は、電気抵抗測定機本体の第１端子と電気的に接続されている。第１電極は、導電性材料とポリマーとを含む。
本発明の実施形態に係る電気抵抗測定機は、第２電極を有してもよい。第２電極は、電気抵抗測定機本体の第２端子と電気的に接続されてよい。従って、電気抵抗測定機は、第２端子と電気的に接続されている第２電極を有することができる。第２電極は、導電性材料とポリマーとを含んでよい。第２電極が、導電性材料とポリマーを含まない場合、例えば、真ちゅう、銅、ステンレス、鉄、アルミニウム等を含んでよく、使用環境などに応じて、電極材料を適切に選択することができる。

第１電極及び第２電極の体積抵抗率は、電気抵抗を測定するために適する値であればよい。電極が、導電性材料とポリマーとを含む場合、その電極の体積抵抗率は、好ましくは１×１０^－１～１×１０^７Ω・ｃｍ、より好ましくは１×１０^０～１×１０^５Ω・ｃｍ、さらに好ましくは１×１０^１～１×１０^３Ω・ｃｍである。体積抵抗率の測定方法は、実施例にて詳細に説明する。

電極の形状及び寸法（サイズ）は、本発明が目的とする電気抵抗測定機を得ることができ、電気抵抗の測定が可能な限り特に制限されることはない。例えば、円柱状、角柱状（三角柱、四角柱、五角柱、六角柱等）の形状、例えば、底面積が０．０１～１００ｃｍ^２、長さが０．１～１００ｃｍの寸法を例示することができる。更に、電極は、クリップ、ニードル、板状等であってよい。

１－１．導電性材料
導電性材料として、例えば、非金属性導電材料（より具体的には、炭素系材料等）が挙げられる。炭素系材料としては、例えば、黒鉛、グラフェン、フラーレン、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、カーボンファイバー、炭化珪素、導電性ポリマー（より具体的には、ポリアセチレン及びポリチオフェン等）及びこれらの化学修飾物（誘導体）が挙げられる。導電性材料は、耐薬品性及びクリーン性をさらに向上させる観点から、好ましくは非金属製導電性材料、より好ましくは炭素系材料、さらに好ましくはＣＮＴを含むことができる。

本明細書において、「ＣＮＴ」とは、通常ＣＮＴと理解される物質であって、本発明が目的とする電気抵抗測定デバイスに含まれる電極を得ることができる限り、特に制限されることはない。

ＣＮＴは、単層であっても、多層（例えば、２層）であってもよい。ＣＮＴとして市販品を使用することができ、例えば、大陽日酸社製のCNT-uni（商品名）シリーズを使用することができる。
ＣＮＴは、単独又は組み合わせて使用することができる。

本発明の実施形態において、ＣＮＴの平均長さは、好ましくは５０μｍ以上、より好ましくは１００～２００μｍ、さらに好ましくは１５０～２００μｍである。
ＣＮＴの平均長さが５０μｍ以上である場合、導電パスが繋がりやすいである点から、導電性がより向上し、好ましい。

本明細書において、ＣＮＴの平均長さ（又は平均繊維長）とは、ＳＥＭで撮影した画像から得られる平均長さをいう。即ち、導電性材料とポリマーとを含む電極の一部を、３００℃～６００℃に加熱して、灰化し、残渣物（ＳＥＭ撮影用サンプル）を得る。その残渣物のＳＥＭ画像を撮影する。そのＳＥＭ画像に含まれる各ＣＮＴの長さを画像処理によって求める。その画像処理によって得た長さの平均値を計算によって求め、その平均値をＣＮＴの平均長さという。

本発明の実施形態において、導電性材料の含有量は、その導電性材料を含む電極の質量を１００質量％（基準）として、好ましくは０．０１～２．０質量％、より好ましくは０．０４～１．５質量％、さらに好ましくは０．０５～１．０質量％、特に好ましくは０．０５～０．５質量％である。
導電性材料の含有量が０．０５～０．５質量％である場合、導電パスを形成するために十分な量なので、電極の導電性がより向上し、好ましい。

１－２．ポリマー
ポリマーとして、例えば、耐薬品性ポリマー（より具体的には、シリコーン系ポリマー、フッ素系ポリマー、含窒素ポリマー、ポリオレフィンおよびその他のポリマー等）を例示できる。シリコーン系ポリマーとして、例えば、シリコーン樹脂及びシリコーンゴムを例示できる。フッ素系ポリマーとして、例えば、フッ素樹脂およびフッ素ゴムを例示できる。ポリオレフィンとして、例えば、ポリプロピレン及びポリエチレンを例示できる。含窒素系ポリマーとして、ポリアミド、ポリイミド、またはポリアミドイミドを例示できる。その他のポリマーとして、例えば、エポキシ樹脂、及び液晶ポリマーを例示できる。耐熱性を有し、耐薬品性及びクリーン性をさらに向上させる観点から、ポリマーは、好ましくは耐薬品性ポリマーを含み、より好ましくはフッ素系樹脂を含み、さらに好ましくはフッ素樹脂を含む。

本明細書において、「フッ素樹脂」とは、通常フッ素樹脂と理解される樹脂であって、本発明が目的とする電気抵抗測定デバイスに含まれる電極を得ることができる限り、特に制限されることはない。
そのようなフッ素樹脂として、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン／テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、エチレン／クロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）およびポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される少なくとも１種を例示できる。

フッ素樹脂として、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン／テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）が好ましく、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、およびポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）がより好ましい。

フッ素樹脂は、市販品を使用することができる。例えば、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）として、ダイキン工業株式会社製のM-12（商品名）、M-11（商品名）、及びポリフロンPTFE-M（商品名）、
変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）として、ダイキン工業株式会社製のM-11２（商品名）、M-１１１（商品名）、及びポリフロンPTFE-M（商品名）、
ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）として、ダイキン工業株式会社製のM-300PL（商品名）、M-300H（商品名）、及びネオフロンPCTFE（商品名）
テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル（ＰＦＡ）として、ダイキン工業株式会社製のAP-230（商品名）、AP－２１０（商品名）、及びネオフロンPFA（商品名）等を例示できる。
フッ素樹脂は、単独で又は組み合わせて使用できる。

１－３．導電性材料とポリマーを含む電極の製造方法
電極の製造方法は、本発明が目的とする電気抵抗測定機を得ることができる限り、特に制限されることはないが、電極は、例えば、導電性材料とポリマーとを含む導電性材料組成物を成形して製造することができる。

導電性材料組成物に含まれるポリマーは、粒子の形態であってもよい。このような粒子状ポリマーの平均粒子径は、好ましくは５００μｍ以下、より好ましくは８～２５０μｍ、さらに好ましくは１０～５０μｍ、特に好ましくは１０～２５μｍである。粒子状ポリマーの平均粒子径が５００μｍ以下である場合、電極内に導電性材料とポリマーとを均一に分散させることができるため、電極の導電性がより向上する。

本明細書において、平均粒子径とは、レーザー回折散乱式粒度分布装置（日機装製「ＭＴ３３００ＩＩ」）を用いて、粒度分布を測定して得られる、平均粒子径Ｄ_５０を（レーザー回折散乱法によって求められる粒度分布における積算値５０％での粒子径を意味するメジアン径）いう。

本発明の実施形態の電極は、導電性材料が分散したポリマー組成物、例えば、カーボンナノチューブが分散したフッ素樹脂組成物を、圧縮成形することを含む製造方法で製造することが好ましい。圧縮成形条件は、適宜選択することができる。

導電性材料組成物がフッ素樹脂組成物である場合、ＰＴＦＥ及び変性ＰＴＦＥに関する電極の製造方法と、その他のフッ素樹脂（例えば、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ及びＰＶＦ）に関する電極の製造方法は、一部相違する。

ＰＴＦＥ及び変性ＰＴＦＥに関する電極の製造方法は、
フッ素樹脂（好ましくは粒子状フッ素樹脂）にカーボンナノチューブが分散したフッ素樹脂組成物を準備すること；
フッ素樹脂組成物を、（必要に応じて適切な前処理（予備乾燥、造粒等）を行った後、）金型に入れて、好ましくは０．１～１００ＭＰａ、より好ましくは１～８０ＭＰａ、さらにより好ましくは５～５０ＭＰａの圧力で加圧して圧縮して、予備成形体を製造すること；
予備成形体を、フッ素樹脂組成物の融点以上の温度（好ましくは３４５～４００℃、より好ましくは３６０～３９０℃の温度）で、好ましくは２時間以上焼成して、成形体を製造すること；
成形体を加工（好ましくは切削加工）して電極を製造すること
を含む。

ＰＴＦＥ及び変性ＰＴＦＥ以外のフッ素樹脂（例えば、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ及びＰＶＦ）に関する電極の製造方法は、
フッ素樹脂（好ましくは粒子状フッ素樹脂）にカーボンナノチューブが分散したフッ素樹脂組成物を準備すること；
フッ素樹脂組成物を、金型に入れ、必要に応じて適切な前処理（予備乾燥等）をした後、例えば、１５０～４００℃の温度で１～５時間加熱後、例えば、０．１～１００ＭＰａ（好ましくは、１～８０ＭＰａ、より好ましくは、５～５０ＭＰａ）の圧力で圧縮して、成形体を得ること；及び
成形体を加工（好ましくは切削加工）して電極を得ること
を含む。

２．電気抵抗測定機本体
電気抵抗測定機本体は、測定対象に対応する測定レンジ、測定感度等を有し、本発明が目的とする電気抵抗測定機を得られる限り、特に制限されることはない。電気抵抗測定機本体は、測定レンジが、10MΩ～4000MΩであることが好ましい。本体は、第１端子と第２端子を有する。第１端子は、高電圧出力側端子として機能することができ、第１電極と電気的に接続される。第２端子は、接地側端子として機能し、測定対象の部材の導電性部分と電気的に接続される。第２端子と測定対象の導電性部分との接続は、第２電極を介しても、介さなくてもよい。第１端子及び第２端子は、共に、本発明が目的とする電気抵抗測定機を得られる限り、特に制限されることはなく、通常、電気抵抗測定機の端子として使用されている端子であってよい。
そのような電気抵抗測定機本体は、市販品を使用することができる。そのような市販品として、例えば、日置電機社製の「絶縁抵抗計ＨＩＯＫＩＩＲ４０５０Ｓ（商品名）」、サンコウ電子研究所社製の「マイクロチェッカーＫＳ１」等を例示できる。

３．配線
電極と端子は、電気的に接続することができれば、その接続方法は特に制限されることはないが、例えば、配線を用いで接続することができる。配線は、２つの電極と、電気抵抗測定機本体とを（電気的に）接続することができ、本発明が目的とする電気抵抗測定機を得られる限り、特に制限されることはない。
配線は、電気抵抗測定機が使用される環境などに応じて、耐熱性、耐薬品性、耐光性等の種々の性質を有することが求められる。このような場合、要求される性質に対応して、適切な構造を有する配線が求められる。例えば、銅線の周囲を、フッ素樹脂、塩化ビニル、又はポリエチレン等で被覆した配線を例示できる。

図１は、本発明の実施形態の電気抵抗測定機の一例を模式的に示す。電気抵抗測定機１は、第１端子（図示せず）及び第２端子（図示せず）を有する測定機本体３、測定機本体３の第１端子と電気的に接続されている第１電極７を有し、及び第２端子と接続されてよい第２電極８を有し得る。第１電極７は、配線５を介して第１端子と接続され、第２電極８は、配線６を介して第２端子と接続することができる。第１電極７は、例えば、導電性材料とポリマーを含む円柱状、角柱状であってよく、第２電極は、例えば、真鍮製およびＳＵＳ製のクリップ、丸棒等であってよい。

第１端子は、耐薬品性を有する。図２は、第１電極の耐薬品性の評価方法を模式的に示す。対象薬品に侵されないプラスチック製容器１１に、対象薬液１５が入れられた。薬液１５の温度等は、評価対象の使用条件等を考慮して適宜選択することができる。薬液１５に、第１電極７が接触させられた。接触状態を維持して、第１電極７の接触部分を目視で観察して、第１電極７の耐薬品性を評価した。詳細は、実施例に示した。

＜電気抵抗測定方法＞
本発明は、他の要旨において、新たな電気抵抗測定方法を提供し、それは、本発明の実施形態の電気抵抗測定機を用いることを含む、電気抵抗測定方法である。本発明の実施形態の電気抵抗測定デバイスを用いて測定することができる限り、測定条件及び測定対象等は特に制限されることはない。

本発明の実施形態の電気抵抗測定方法は、導電性部分と非導電性部分を有し、導電性部分が非導電性部分で被覆されている部材（測定対象）について、非導電性部分に欠陥を生じているか否かを調べるために好ましく使用することができる。

４．測定対象
導電性部分が非導電性部分で被覆されている部材として、例えば、ライニング層（非導電性層、非導電性部分）でライニングされた金属製タンク（ライニングタンク）、ライニング層でライニングされた金属製配管（ライニング配管）、非導電性層で被覆された導電層を有するウエハ搬送部材（例えば、ウェハキャリア、ウェハチャック、ウェハピンセット、ウェハリフター）等を例示することができる。

図３は、測定対象としてのウェハキャリア（ウェハ搬送部材）２０の一例を示す。図２右は、そのウェハキャリアの断面の一部を模式的に示す。一般的に、ウェハキャリアは、シリコンウェハを収納して搬送する部材であり、例えば、直径２００ｍｍのウェハを収納可能である。
ウェハキャリア２０は、例えば、絶縁性基材２２がコーティング層２４（導電層２５及び絶縁層２６）で被覆されている。図３では、導電層２５に斜線を施した。ウェハキャリア２０は、薬液に長期間接触させ、絶縁層２６に欠陥（例えばピンホール）を形成させた。後述するピンホールテストを行って、欠陥の存在を確認した。しかし、欠陥を、目視で確認できなかった。

ウェハキャリア２０は、絶縁性基材２２の代わりに、導電性基材（例えば、ステンレス製基材）を使用することができる。導電性基材を使用すると、導電層２５は不要なので、コーティング層２４は、絶縁層２６のみを含む。この場合も、薬液に長時間接触させて、欠陥を形成させて測定対象として使用できる。

図４は、測定対象としてのライニングタンク３０の一例を模式的に示す。ライニングタンク３０は、円筒形の金属製の本体３１、本体３１の内側に施されている非導電性のライニング層３２、本体３１の上部にいくつかの口が設けられている。例えば、ライニング層３２が施された薬液入り口３３、ライニング層３２が施された薬液出口３４、ライニング層３２が施されたふた３５、ライニング層３２が施された第１電極の入り口３６である。薬液入り口３３から、薬液１５をライニングタンク３０に入れることができ、測定機の測定電極７を第１電極入り口３６からタンク内部に入れて、薬液１５と測定電極７を接触させことができる。

図５は、測定対象としてのライニング配管４０が少なくとも３つ接続されている例を模式的に示す。ライニング配管４０は、例えば、金属製の管４１、管の内側に非導電性ライニング４２、及び管の両端に金属製フランジ（接続部）４３を有すことができる。管４１は、二口の直管であるが、曲管であってもよいし、三口であってもよい。例えば、金属製の三口の管４５、管の内側に非導電性ライニング４６、及び管の三つの端に金属製フランジ４７を有してもよい。これらのライニング配管は、フランジで相互に接続することができる。三口の配管から、測定機の第１電極をライニング配管内に入れて、薬液１５と第１電極を接触させることができる。

本発明の実施形態の電気抵抗測定方法は、例えば、
（Ａ）導電性部分が非導電性部分で被覆されている部材（測定対象）を、導電性を有する流体に接触させること；
（Ｃ）電気抵抗測定デバイスの第２端子を、部材の導電性部分と電気的に接続した状態で、第１電極を導電性流体に接触させて、非導電性部分で被覆された導電性部分と導電性流体との間の電気抵抗を測定すること；
を含むことができる。

本発明の実施形態の電気抵抗測定方法は、（Ｃ）の前に（（A）の前又は後で）、
（Ｂ）電気抵抗測定機の第１端子と第２端子を、部材の導電性部分に、可能な限り離して電気的に接続して、導電性部分の電気抵抗を測定して、導電性部分の導電性を確認すること；
を更に含むことができる。
第１端子が部材の導電性部分に電気的に接続する箇所と、第２端子が部材の導電性部分に電気的に接続する箇所を可能な限り離すことで、部材全体の導電性部分が導通していることが確認され、その結果、部材全体の非導電性部分の欠陥を検知することが可能になる。

図６及び図７を参照して、電気抵抗測定機１を使用する測定対象の非導電性部分の電気抵抗測定方法及び欠陥検知方法を説明する。
図６に示すように、容器１１内に薬液（導電性流体）１５を満たし、例えば、上述のウェハキャリア２０（基材２２がコーティング層２４（導電層２５及び絶縁層２６）で被覆されている部分）を、測定対象の１例として、薬液１５に接触させた。
ウェハキャリア２０の導電層（導電性部分）２５（基材が導電性の場合、基材２２）に、第１電極７及び第２電極８を、両者が可能な限り離れるように接触させて、導電層２５と接続した。ウェハキャリア２０の導電性部分の電気抵抗を測定した。これによりウェハキャリア２０の導電層の導電性を確認した。尚、導電性の確認は、ウェハキャリアを、薬液につける前に（つけることなく）、行ってよいし、絶縁層（非導電層又は非導電性部分）の電気抵抗値の測定の後で行ってもよい。
次に、図７に示すように、ウェハキャリア２０の導電層から第１電極７を外し、第１電極７を薬液１５に接触させた。第１電極７の表面とウェハキャリア２０の表面の距離は、約５ｃｍであった。この状態で電気抵抗値を測定した。１０００Vの電圧を１０秒間印加した。測定した電気抵抗値から、測定対象の絶縁層（非導電性部分）の欠陥探知性を評価した。
更に、他の測定対象についても、薬液に第１電極を接触させ、測定対象の導電性部分に第２電極に接触させることで、同様に非導電性部分の電気抵抗測定及び欠陥検知をすることができる。

＜電気抵抗測定デバイスを有する装置＞
本発明の実施形態に係る電気抵抗測定デバイスは、各種装置に組み込んで使用することができ、例えば、製造装置（例えば、半導体製造装置（例えば、パターン形成装置、洗浄装置、剥離装置）、及び化学薬品製造装置等）、搬送装置（例えば、化学薬品搬送装置等）に組み込んで使用することができる。それらの装置は、より具体的には、薬液（水、酸性及びアルカリ性媒体、有機溶剤等を含む）を取り扱う装置であってよい。

本発明の実施形態の電気抵抗測定デバイスは、「インライン用」に使用することができる。
本明細書において、「インライン用」とは、以下の意味を有する。
（１）装置の運転（又は稼働）を一時停止したとき、導電性部分が非導電性部分で覆われている部材を装置から取り外さずに、電気抵抗測定デバイスを用いて、その非導電性部分の欠陥の有無を検知できること；及び
（２）装置が運転（又は稼働）中に、電気抵抗測定デバイスを用いて、導電性部分が非導電性部分で覆われている部材のその非導電性部分の欠陥の有無を監視できること。

本実施形態に係る電気抵抗測定デバイスは、上記装置に組み込まれた場合、上記装置が稼働している状態で連続的または断続的に欠陥の検知を行うことができる。従って、欠陥を検知するために、装置の運転を一時的に停止し、又は長期的に中止する必要がなく、装置の稼働率を高めることができる。
更に、本実施形態に係る電気抵抗測定デバイスは、微視的で軽微な欠陥を検知することができるので、装置に深刻な汚染を生ずる前に、好ましくは装置を実質的に汚染することなく、欠陥を検知して、装置の安定した運転を確保することができる。

以下、本発明を実施例及び比較例により具体的かつ詳細に説明するが、これらの実施例は本発明の一態様にすぎず、本発明はこれらの例によって何ら限定されるものではない。

実施例及び比較例で使用した電気抵抗測定機を構成する部材、その評価に使用した薬液、その評価に使用した測定対象などを以下に示す。
＜部材＞
（測定機本体）
電気抵抗測定機本体：日置電機製「絶縁抵抗計ＨＩＯＫＩＩＲ４０５０Ｓ（商品名）」
（配線）
配線：日置電機製「絶縁抵抗計ＨＩＯＫＩＩＲ４０５０Ｓ（商品名）」付属の配線
（電極）
電極（１）：カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）０．１質量％含有ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）電極
電極（２）：ＣＮＴ０．１質量％含有ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）ＰＴＦＥ電極
電極（３）：ＰＣＴＦＥ電極（ＣＮＴを含まず）
電極（４）：日置電機製「絶縁抵抗計ＨＩＯＫＩＩＲ４０５０Ｓ（商品名）」付属の真鍮製電極

（電極（１）～（３）の製造）
電極（１）～（３）を下記のように製造した。
（電極（１））
ＣＮＴ分散液（分散剤０．１５％、ＣＮＴ０．０２５％、溶媒：水）２０００部にエタノール３５００部を添加して希釈した。さらに、ＰＣＴＦＥ粒子（ダイキン工業製「ネオフロンＰＣＴＦＥ）１０００部を添加して混合スラリーを製造した。
その混合スラリーを耐圧容器に供給し、耐圧容器内の混合スラリーに含まれる分散剤１ｍｇに対して０．０３ｇ／分の供給速度で液化二酸化炭素を供給し、耐圧容器内の圧力を２０ＭＰａ、温度を５０℃となるまで昇圧し、昇温させた。上記圧力及び温度を３時間保持しながら、二酸化炭素を、二酸化炭素中に溶け込んだ溶媒（水、エタノール）及び分散剤と共に耐圧容器から排出させた。
耐圧容器内の圧力及び温度をそれぞれ大気圧及び常温まで下げることにより耐圧容器内の二酸化炭素を除去し、０．１％ＣＮＴ含有ＰＣＴＦＥ組成物（１）を得た。
ＰＣＴＦＥ組成物（１）を、金型に入れ、必要に応じて適切な前処理（予備乾燥等）を行った。金型を２００度以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上加熱させてＰＣＴＦＥ組成物（１）を溶融させた。所定時間加熱後、電気炉から金型を取り出し、油圧プレスを用いて２５ｋｇ／ｃｍ^２以上の面圧で加圧圧縮しながら常温付近まで金型を冷却した後、０．１％ＣＮＴ含有ＰＣＴＦＥ組成物の成形体である電極（１）を得た。

（電極（２））
電極（２）は、上述の電極（１）の製造方法において、ＰＣＴＦＥ粒子をＰＴＦＥ粒子（ダイキン工業製ポリフロンＰＴＦＥ－Ｍ）に変更した以外は、同様の方法を用いて、０．１％ＣＮＴ含有ＰＴＦＥ組成物（２）を得た。
１５ＭＰａで加圧し一定時間保持することによりＰＴＦＥ組成物（２）を圧縮し、予備成形体を得た。得られた予備成形体を成形金型から取り出して、３４５℃以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上焼成し、徐冷を行った後電気炉から取り出し、０．１％ＣＮＴ含有ＰＴＦＥ組成物の成形体である電極（２）を得た。

（電極（３））
金型を２００度以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上加熱して、ＰＣＴＦＥ粒子（ダイキン工業製「ネオフロンＰＣＴＦＥ」）を溶融させた。所定時間加熱後、電気炉から金型を取り出し、油圧プレスを用いて２５ｋｇ／ｃｍ^２以上の面圧で加圧圧縮しながら常温付近まで金型を冷却した後、ＰＣＴＦＥ粒子の成形体である電極（３）を得た。尚、電極（３）は、ＣＮＴを含有しない。

＜薬液＞
ＳＰＭ：９７％硫酸（林純薬電子工業用ＥＬグレード）及び３０％過酸化水素水（林純薬電子工業用ＥＬグレード」）の混合薬液（混合比（質量比）硫酸：過酸化水素水＝２：１）
ＳＣ２：３５％塩酸（林純薬電子工業用ＥＬグレード）、３０％過酸化水素水、及び脱イオン水の混合薬液（混合比（質量比）塩酸：過酸化水素水：脱イオン水＝１：１：５）

＜測定対象＞
ウェハキャリア（１）：
石英ガラス（ヒメジ理化製「ＧＥ１２４グレード」）基材上に、導電層（CNT含有PCTFE層）と絶縁層（PCTFE層）が形成されている、ウェハキャリア。
ウェハキャリア（２）：
ステンレス（井本工業製「ＳＵＳ３０４」）基材上に、絶縁層（PCTFE層）が形成されている、ウェハキャリア。（金属製基材が、導電層を兼ねる。）

（測定対象の準備）
測定対象としてのウェハキャリア（１）及び（２）を、下記のように準備した。
ウェハキャリア（１）２０は、図３に示す構造を有し、石英ガラス製の基材２２がコーティング層２４（導電層２５及び絶縁層２６：具体的にはＣＮＴ含有ＰＣＴＦＥ層２５及びＰＣＴＦＥ層２６）で被覆されている。ウェハキャリア２０を薬液１５（ＳＰＭ）に１３０℃（ＳＰＭ）で長期間（約９０日間）接触させ、絶縁層２６に欠陥（例えばピンホール）を形成させた。ＳＣ２及びＳＰＭの組成比を維持するために過酸化水素水を供給しながら、接触させた。下記のピンホールテストを行って、欠陥の存在を確認した。欠陥の存在は、目視で確認できなかった。実施例１～２及び比較例１～２のいずれの電気抵抗測定機の評価の際も、このウェハキャリア（１）２０を使用した。従って、全ての電気抵抗測定デバイスの評価をするために、同一のウェハ搬送部材を使用した。

ウェハ搬送部材（２）２０についても、同様の方法を用いて、絶縁層２６（ＰＣＴＦＥ層２６）に欠陥を形成させて、実施例１～２及び比較例１～２の電気抵抗測定デバイスの評価に使用した。
尚、ウェハ搬送部材（２）では、ステンレス製基材が、導電層２５も兼ねるので、コーティング層２４は、絶縁層２６のみを含む。

（ピンホールテスト）
ピンホールテストは、日本工業規格（ＪＩＳＫ６７６６：２００８）に準拠した方法で行った。

＜電気抵抗測定機＞
図１に示すような電気抵抗測定機を準備した。電気抵抗測定機１は、第１端子及び第２端子を有する測定機本体３、測定機本体３の第１端子と電気的に接続されている第１電極７を有し、及び第２端子と接続されている第２電極８を有する。第１電極７は、配線５を介して第１端子と接続され、第２電極８は、配線６を介して第２端子と接続されている。第１電極７は、実施例１、２、比較例１、２の電気抵抗測定機の順に、電極（１）、（２）、（３）及び（４）に対応する。第２電極は、いずれも電極（４）に対応する。

＜電極の評価方法＞
（１．電極の耐薬品性の評価）
図２に、電極の耐薬品性の評価方法を示す。
２０Ｌのポリプロピレン製容器１１に、液温が１３０℃の薬液（ＳＰＭ又はＳＣ２）１５を入れた。その薬液１５に、第１電極７を接触させた。接触状態を維持して、第１電極７の接触部分を目視にて観察した。観察結果から下記の評価基準に基づき、第１電極７の耐薬品性を評価した。電極（１）～（４）を第１電極７として使用した場合、各々の評価結果を表１に示す。
（評価基準）
Ａ（優良）：電極の表面に泡の発生（電極の溶解）が全く観察されない。
Ｂ（悪い）：電極の表面に泡の発生が観察される。

（２．電極の電気伝導性の評価）
配線５と接続した第１電極７の端に、第２電極８と接続していない配線６を接触させて、第１電極７の電気抵抗値を測定した。上記測定機本体の検出限界は、下限値が１０ＭΩであり、上限値が４０００ＭΩである。測定した電気抵抗値から以下の評価基準に基づいて第１電極７の電気伝導性を評価した。電極（１）～（４）を第１電極７として使用した場合、各々の評価結果を表１に示す。
（評価基準）
Ａ（優良）：電極の電気抵抗値は、１０ＭΩ未満であった。
Ｂ（悪い）：電極の電気抵抗値は、１０ＭΩ以上であった。

（３．電気抵抗測定機を用いる、測定対象の非導電性部分の欠陥検知方法：測定対象の電気抵抗値の測定方法）
図６及び図７を参照して、電気抵抗測定機１を使用する非導電性部分の欠陥検知方法を説明する。
図６に示すように、容器１１内に薬液１５（ＳＰＭ又はＳＣ２）を満たし、上述のウェハキャリア２０（基材２２がコーティング層２４（導電層（導電性部分）２５及び非導電層（非導電性部分）２６）で被覆されている部分）を、薬液１５に接触させた。
ウェハキャリア２０の導電性部分２５（基材が導電性の場合、基材２２）に、第１電極７及び第２電極８を各々接触させて、測定機本体３と接続させた。ウェハキャリア２０の電気抵抗を測定した。これによりウェハキャリア２０の導電性部分の導電性を確認した。
次いで、図７に示すように、ウェハキャリア２０から第１電極７を外し、第１電極７を薬液１５中に接触させた。第１電極７の表面とウェハキャリア２０の表面の距離は、約５ｃｍであった。この状態で電気抵抗値を測定した。１０００Vの電圧を１０秒間印加した。測定した電気抵抗値から以下の評価基準に基づいて、電気抵抗測定機１の測定対象の非導電性部分の欠陥探知性を評価した。その結果を表１に示す。
（評価基準）
Ａ（優良）：電気抵抗値は、４０００ＭΩを超えた。
Ｂ（悪い）：電気抵抗値は、４０００ＭΩ以下であった。

なお、予め、絶縁層２６に欠陥を生じさせる前のウェハキャリアについて、上述の図７に示す方法で電気抵抗を測定したところ、検出限界の上限値（４０００ＭΩ）を超える電気抵抗値を得た。従って、絶縁層２６に欠陥が無いことを、確認後欠陥を生じさせて、欠陥探知性の評価に使用した。

（４．電極のクリーン性（汚染防止性）の評価）
電極の金属溶出量の測定
電極における金属汚染の程度を、ＩＣＰ質量分析装置（パーキンエルマー製「ＥＬＡＮＤＲＣＩＩ」）を用いて金属系１７元素（Ｌｉ、Ｎａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｋ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ａｇ、Ｃｄ及びＰｂ）の金属溶出量を測定することで、評価した。
１０ｍｍ×２０ｍｍ×５０ｍｍの試験片を切削取得した。試験片を、３．６％塩酸（関東化学製ＥＬ-ＵＭグレード）０．５Ｌに１時間程度浸漬後、超純水（比抵抗値：≧１８.０ＭΩ・ｃｍ）で掛け流し洗浄を行った。更に、３．６％塩酸０．１Ｌに、試験片全体を浸漬して、室温環境で２４時間及び１６８時間保存した。規定時間経過後に浸漬液を全量回収し（浸漬した塩酸を全量集めて）、浸漬液の金属不純物濃度を分析した。試験片を３つ準備して、その最大値を検出量とした。
評価基準は下記の通りである。
Ａ：全ての金属の検出量が、５ｐｐｂ未満である。
Ｂ：Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｃａ、Ｋ及びＮａの検出量が、５ｐｐｂ未満である。
Ｃ：Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ及びＺｎの検出量が、５ｐｐｂ未満である。
Ｄ：Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ及びＺｎのいずれか１種の検出量が、５ｐｐｂ以上である。
結果は、表１に示した。

電極の炭素脱落の測定
電極からのカーボンナノチューブの脱離の程度を、全有機体炭素計（島津製作所製「ＴＯＣｖｗｐ」）を用いてＴＯＣ（全有機体炭素）を測定することにより評価した。具体的には、切削取得した１０ｍｍ×２０ｍｍ×５０ｍｍの試験片を、３.６％塩酸（関東化学製ＥＬ-ＵＭグレード）０.５Ｌに１時間程度浸漬し、１時間浸漬後に取出して超純水（比抵抗値：≧１８.０ＭΩ・ｃｍ）で掛け流し洗浄を行い、超純水に試験片全体を浸漬して室温環境下で２４時間および１６８時間保存した。規定時間経過後に浸漬液を全量回収し（浸漬した超純水を全量集めて）、浸漬液について全有機体炭素分析をした。試験片を３つ準備して、その最大値を検出量とした。
評価基準は下記の通りである。
Ａ：全有機体炭素の検出量が、５０ｐｐｂ未満である。
Ｄ：全有機体炭素の検出量が、５０ｐｐｂ以上である。

（実施例２、比較例１～２）
電極（１）を電極（２）～（４）に変更した以外は実施例１と同様の方法を用いて、それぞれ実施例２及び比較例１～２の電極及び電気抵抗測定デバイスを評価した。その結果を表１に示す。

（まとめ）
実施例１～２は、耐薬品性、電気伝導性、検知性及びクリーン性のいずれも、優良、であった。一方、比較例１～２は、耐薬品性、電気伝導性、検知性及びクリーン性のうち少なくとも１つが、悪い、であった。従って、実施例１～２は比較例１～２に比べ、良好な耐薬品性、電気伝導性、検知性及クリーン性を有することが明らかである。

本発明の電気抵抗測定デバイス及び電気抵抗測定方法は、特に半導体素子製造装置に組み込んで利用可能であるが、かかる用途のみに限定されない。

［関連出願］
尚、本出願は、２０１９年１月１８日に日本国でされた出願番号２０１９－７３４１を基礎出願とするパリ条約第４条に基づく優先権を主張する。この基礎出願の内容は、参照することによって、本明細書に組み込まれる。

１電気抵抗測定機
３測定機本体
５配線
６配線
７第１電極
８第２電極
１１容器
１５薬液（導電性流体）
２０ウェハキャリア（ウェハ搬送部材）
２２基材
２４コーティング層
２５導電性部分（導電層）
２６非導電性部分（非導電層、絶縁層）
３０ライニングタンク
３１金属製本体
３２ライニング層
３３薬液入り口
３４薬液出口
３５ふた
３６第１電極入り口
４０ライニング配管
４１金属製直管
４２ライニング層
４３フランジ（接続部）
４５金属製三口管
４６ライニング層
４７フランジ

Claims

第１端子と第２端子を有する電気抵抗測定機本体；および
第１端子と電気的に接続されている第１電極を有する電気抵抗測定機であって、
前記第１電極は、カーボンナノチューブと、ポリテトラフルオロエチレン、変性ポリテトラフルオロエチレンおよびポリクロロトリフルオロエチレンよりなる群から選択される少なくとも１種とからなり、
前記第１電極は、カーボンナノチューブを、前記第１電極の質量を１００質量％として、０．０１～２．０質量％の量で含み、
石英ガラス基材上に、カーボンナノチューブを含む導電層および絶縁層が形成されているウエハ搬送部材の欠陥検知に使用される、電気抵抗測定機。
インライン用の、請求項１に記載の電気抵抗測定機。
前記第１電極および前記ウエハ搬送部材のそれぞれの少なくとも一部を、酸性またはアルカリ性の導電性流体に接触させた状態で電気抵抗が測定される、請求項１または２に記載の電気抵抗測定機。
半導体素子製造装置の運転を一時停止したとき、前記ウエハ搬送部材を前記装置から取り外さずに電気抵抗が測定される、請求項１～３のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機。
請求項１～４のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機を含む、装置。
請求項１～４のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機を用いることを含む、電気抵抗測定方法。
（Ａ）石英ガラス基材上に、カーボンナノチューブを含む導電層および絶縁層が形成されているウエハ搬送部材を、導電性を有する流体に接触させること；および
（Ｃ）請求項１～４のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機の前記第２端子を、前記部材の前記導電層に電気的に接続した状態で、前記第１電極を前記導電性流体に接触させて、前記絶縁層で被覆された前記導電層と前記導電性流体との間の電気抵抗を測定すること；
を含む、ウエハ搬送部材の電気抵抗測定方法。
前記（Ｃ）の前に、
（Ｂ）請求項１～４のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機の前記第１端子と前記第２端子とを、前記ウエハ搬送部材の前記導電層に、可能な限り離して電気的に接続して、前記導電層の電気抵抗を測定して、前記導電層の導電性を確認すること；
を含む、請求項７に記載の測定方法。
前記導電性流体が、酸性またはアルカリ性である、請求項７または８に記載の測定方法。
（Ａ）石英ガラス基材上に、カーボンナノチューブを含む導電層および絶縁層が形成されているウエハ搬送部材を、酸性またはアルカリ性の導電性を有する流体に接触させること；および
（Ｃ）請求項１～４のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機の前記第２端子を、前記部材の前記導電層に電気的に接続した状態で、前記第１電極を前記導電性流体に接触させて、前記絶縁層で被覆された前記導電層と前記導電性流体との間の電気抵抗を測定すること；
を含み、
前記（Ｃ）が、半導体素子製造装置の運転を一時停止したとき、前記ウエハ搬送部材を前記装置から取り外すことなく行われる、ウエハ搬送部材の欠陥を検知する方法。
（Ａ）石英ガラス基材上に、カーボンナノチューブを含む導電層および絶縁層が形成されているウエハ搬送部材を、酸性またはアルカリ性の導電性を有する流体に接触させること；および
（Ｃ）請求項１～４のいずれか１項に記載の電気抵抗測定機の前記第２端子を、前記部材の前記導電層に電気的に接続した状態で、前記第１電極を前記導電性流体に接触させて、前記絶縁層で被覆された前記導電層と前記導電性流体との間の電気抵抗を測定すること；
を含み、
前記（Ｃ）が、半導体素子製造装置を運転中に、前記ウエハ搬送部材を前記装置から取り外すことなく行われる、ウエハ搬送部材の欠陥を監視する方法。