JP2010071579A - 燃焼状態監視装置及び燃焼状態監視方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】燃焼により発生する紫外線量を検出する紫外線量検出手段40と、
前記紫外線量が正常値より低下したときに、低下量に応じて段階的にアラーム信号を発生させるアラーム信号発生手段50と、を有することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
前記紫外線量が正常値より低下したときに、低下量に応じて段階的にアラーム信号を発生させるアラーム信号発生手段(50)と、を有することを特徴とする。
前記アラーム信号発生手段(50)は、複数段の下限基準値を有し、前記紫外線量が該下限基準値よりも低下したときに、各アラーム信号を発生させることを特徴とする。
電流を電圧に変換する電流−電圧変換回路(51、52、53)を備え、
前記紫外線量検出手段(40)は、前記紫外線量を電流に変換して検出し、
前記アラーム信号発生手段(50)は、前記電流−電圧変換回路(51、52、53)により変換された電圧値に基づいて前記アラーム信号を発生させることを特徴とする。
前記アラーム信号に基づいてアラームを発するアラームユニット(70)を更に有することを特徴とする。
前記紫外線量の変化を表示する表示手段(60)を更に有することを特徴とする。
前記紫外線量検出手段(40)は、縦型拡散装置(150)の外部燃焼機構(100)の燃焼ビン(10)付近に備えられ、
前記外部燃焼機構(150)の燃焼状態を監視することを特徴とする。
前記紫外線量が正常値より低下したときに、低下量に応じて段階的にアラーム信号を発生させるアラーム信号発生工程と、を有することを特徴とする。
前記アラーム信号発生工程は、設定された複数の下限基準値よりも前記紫外線量が低下したときに、各アラーム信号を発生させることを特徴とする。
前記紫外線量検出工程は、紫外線量を電流に変換して検出する工程と、該電流を電圧に変換する電流−電圧変換工程を含み、
前記アラーム信号発生工程は、電圧値に変換された紫外線量を用いて、アラーム信号を発生させることを特徴とする。
前記アラーム信号に基づいてアラームを発するアラーム発生工程を更に有することを特徴とする。
前記紫外線量の変化を表示する紫外線量表示工程を更に含むことを特徴とする。
前記紫外線量検出工程は、縦型拡散装置(150)の外部燃焼機構(100)の燃焼ビン(10)内の燃焼について行い、
前記外部燃焼機構(100)の燃焼状態を監視することを特徴とする。
20 バーナー
21、22 気体供給管
23、24 コネクタ
25 集光板
30 ランプ
40 紫外線量検出手段
50 アラーム信号発生手段
51 固定抵抗
52 コンデンサ
53 測定・警報判定手段
60 表示手段
70 アラームユニット
71 ブザー
72 警報ランプ
80 燃焼状態監視装置
90 アンプリレー
100 外部燃焼機構
110 処理室
120 ウエハポート
150 縦型拡散装置
Claims (12)
- 燃焼により発生する紫外線量を検出する紫外線量検出手段と、
前記紫外線量が正常値より低下したときに、低下量に応じて段階的にアラーム信号を発生させるアラーム信号発生手段と、を有することを特徴とする燃焼状態監視装置。 - 前記アラーム信号発生手段は、複数段の下限基準値を有し、前記紫外線量が該下限基準値よりも低下したときに、各アラーム信号を発生させることを特徴とする請求項1に記載の燃焼状態監視装置。
- 電流を電圧に変換する電流−電圧変換回路を備え、
前記紫外線量検出手段は、前記紫外線量を電流に変換して検出し、
前記アラーム信号発生手段は、前記電流−電圧変換回路により変換された電圧値に基づいて前記アラーム信号を発生させることを特徴とする請求項1又は2に記載の燃焼状態監視装置。 - 前記アラーム信号に基づいてアラームを発するアラームユニットを更に有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の燃焼状態監視装置。
- 前記紫外線量の変化を表示する表示手段を更に有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の燃焼状態監視装置。
- 前記紫外線量検出手段は、縦型拡散装置の外部燃焼機構の燃焼ビン付近に備えられ、
前記外部燃焼機構の燃焼状態を監視することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の燃焼状態監視装置。 - 燃焼により発生する紫外線量を検出する紫外線量検出工程と、
前記紫外線量が正常値より低下したときに、低下量に応じて段階的にアラーム信号を発生させるアラーム信号発生工程と、を有することを特徴とする燃焼状態監視方法。 - 前記アラーム信号発生工程は、設定された複数の下限基準値よりも前記紫外線量が低下したときに、各アラーム信号を発生させることを特徴とする請求項7に記載の燃焼状態監視方法。
- 前記紫外線量検出工程は、紫外線量を電流に変換して検出する工程と、該電流を電圧に変換する電流−電圧変換工程を含み、
前記アラーム信号発生工程は、電圧値に変換された紫外線量を用いて、アラーム信号を発生させることを特徴とする請求項7又は8に記載の燃焼状態監視方法。 - 前記アラーム信号に基づいてアラームを発するアラーム発生工程を更に有することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の燃焼状態監視方法。
- 前記紫外線量の変化を表示する紫外線量表示工程を更に含むことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載の燃焼状態監視方法。
- 前記紫外線量検出工程は、縦型拡散装置の外部燃焼機構の燃焼ビン内の燃焼について行い、
前記外部燃焼機構の燃焼状態を監視することを特徴とする請求項7乃至11のいずれか一項に記載の燃焼状態監視方法。
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JP2008240585A JP2010071579A (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | 燃焼状態監視装置及び燃焼状態監視方法 |
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2008
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