JPH04134846U - 半導体素子 - Google Patents
半導体素子Info
- Publication number
- JPH04134846U JPH04134846U JP5038991U JP5038991U JPH04134846U JP H04134846 U JPH04134846 U JP H04134846U JP 5038991 U JP5038991 U JP 5038991U JP 5038991 U JP5038991 U JP 5038991U JP H04134846 U JPH04134846 U JP H04134846U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor element
- mark
- defective
- circuit function
- semiconductor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 22
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体素子の一部不良と完全不良を識別可能
とする。 【構成】 半導体素子の回路機能の充足程度に応じて異
なるマークを半導体素子に付与する。マークの内容から
一部不良と完全不良を判別できる。
とする。 【構成】 半導体素子の回路機能の充足程度に応じて異
なるマークを半導体素子に付与する。マークの内容から
一部不良と完全不良を判別できる。
Description
【0001】
この考案は半導体素子に係り、特に半導体素子の識別に関するものである。
【0002】
半導体素子は、製造後、回路機能を測定し、不良品には不良のマークを付して
いる。
【0003】
しかるに不良品といっても完全不良と一部不良があり、一部不良の例えば4メ
ガDRAM(Dynamic Random Access Memory)は、初期の設計通りの回路機能は
充足していないが、低位メモリとしては回路機能的に充足し、例えば1メガDR
AMまたは2メガDRAMなどとしてランクを低下させれば充分回路機能的に動
作する場合があるが、従来は一部不良と完全不良の区別なく不良品には1種類の
マークしか付さないために一部不良と完全不良の識別が困難であり、一部不良品
をランクを下げて良品として活用することはできなかった。
【0004】
この考案は上記の点に鑑みなされたもので、一部不良と完全不良の識別ができ
、一部不良品をランクを下げて良品として活用できる半導体素子を提供すること
を目的とする。
【0005】
この考案では、半導体素子の回路機能の充足程度に応じて異なるマークを半導
体素子に付与する。
【0006】
回路機能の充足程度に応じて異なるマークが半導体素子に付与されていれば、
該マークから半導体素子が一部不良か完全不良かを識別することができ、一部不
良品をランクを下げて良品として活用できる。
【0007】
以下この考案の一実施例を図面を参照して説明する。図1は、製造後、回路機
能を電気的に測定した結果の各種半導体素子を示す。図1(a)の半導体素子1
1aは、回路機能を電気的に測定した結果、設計した回路機能動作が確認された
完全良品の半導体素子であり、この半導体素子11aには不良を示すマークは付
さない。図1(b)の半導体素子11bは、回路機能を測定したところ、回路機
能は完全には動作しないが、低位の素子としては回路機能的に充足している一部
不良の半導体素子で、この半導体素子11bには円形の第1のマーク12を半導
体素子のほぼ中央部にマーキングする。図1(c),(d),(e)の半導体素
子11cは、回路機能を測定したところ回路機能が完全に、しかも低位の素子と
しても動作しない完全不良品の半導体素子で、この半導体素子11cには前記第
1のマーク12とともに第2のマーク13をマーキングする。この第2のマーク
13は前記第1のマーク12と、色,形などが同一であっても、また異なってい
てもよい。また、マーキング位置も第1のマーク12の横であっても(図1(c
))、上あるいは下(図1(d))であっても、斜めであってもよく、さらには
図1(e)に示すように第1のマーク12と一部重なって第2のマーク13がマ
ーキングされてもよい。要するに、第1のマーク12の外に第2のマーク13が
付与されていることが視認できればよい。これらのマーク12,13は、インカ
ーと呼ばれるマーキング装置で付与される。図1(d)の直線14は、半導体素
子に次々マーキングするためのインカーの移動方向である。この直線14上に並
べて同一の第1,第2のマーク12,13をマーキングするようにすれば、1台
の装置で経済的に、かつ技術的に容易に2つのマークを付与することができる。
【0008】
そして、上記のようにして半導体素子にマークが付与されていれば、第1のマ
ーク12のみか、あるいは第1と第2のマーク12,13かにより一部不良か完
全不良かを識別することができ、一部不良の半導体素子11bはランクを下げて
良品として活用できる。
【0009】
以上詳述したようにこの考案の半導体素子によれば、回路機能の充足程度に応
じて異なるマークが付与されるようにしたので、一部不良と完全不良とを識別す
ることができ、一部不良品をランクを下げて良品として活用することができる。
【図1】この考案の半導体素子の一実施例を示す平面図
である。
である。
11a,11b,11c 半導体素子
12 第1のマーク
13 第2のマーク
Claims (1)
- 【請求項1】 回路機能の充足程度に応じて異なるマー
クが付与されたことを特徴とする半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5038991U JPH04134846U (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 半導体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5038991U JPH04134846U (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 半導体素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04134846U true JPH04134846U (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=31927839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5038991U Pending JPH04134846U (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04134846U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10229088A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-08-25 | Fujitsu Ltd | 半導体部材の検査方法及び装置及び半導体製造装置及び半導体部材 |
-
1991
- 1991-06-05 JP JP5038991U patent/JPH04134846U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10229088A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-08-25 | Fujitsu Ltd | 半導体部材の検査方法及び装置及び半導体製造装置及び半導体部材 |
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