JPH04133441U - ウエーハの帯電状態計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数のチャージ検出電極からの信号を一つの
表示装置に同時に表示し、それによって各チャージ検出
電極による計測波形の相関が分かるようにする。 【構成】 複数のチャージ検出電極６に測定抵抗１０を
それぞれつなぎ、各測定抵抗１０の両端の電圧ｖを多チ
ャンネル表示装置１４の各入力チャンネルＣＨ₁ 〜ＣＨ
₄ にそれぞれ入力するようにした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ウェーハディスク上に装着された複数枚のウェーハにイオンビー ムを照射してイオン注入を行う方式のイオン注入装置に用いられて、イオン注入 に伴うウェーハの帯電状態を計測する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の帯電状態計測装置の従来例を図３に示す。

【０００３】 まずイオン注入装置としての構成を説明すると、この装置はいわゆるメカニカ ルスキャン方式のものであり、真空中で例えば矢印Ａのように高速回転させられ ると共に矢印Ｂのように並進させられるウェーハディスク２上に装着された複数 枚のウェーハ４に上からイオンビーム５を照射してイオン注入を行うよう構成さ れている。

【０００４】 イオン注入の際、イオンビーム５の照射に伴って各ウェーハ４は正に帯電する が、これを放置しておくと、ウェーハ４の表面で放電が発生してデバイス製造上 の歩留りを低下させる等の不具合が発生する。

【０００５】 そこでこのような不具合発生を防止する一つのステップとして、次のようにし てウェーハ４の帯電状態の計測が行われている。

【０００６】 即ち、図４も参照して、ウェーハディスク２上のウェーハ４の通過経路上であ って通過するウェーハ４に少し離れて対向するように、複数のチャージ検出電極 ６、６・・・を設け、それらを切換スイッチ８を介して、アースにつながれた測 定抵抗１０に択一的に切り換えて接続するようにしている。測定抵抗１０の両端 は、１チャンネルの例えばオシロスコープのような表示装置１２に接続されてい る。なお、各チャージ検出電極６は、導電性金属（例えばアルミニウム）から成 る小さな円板状をしており、かつこの例では、ウェーハディスク２の半径方向と ウェーハディスク２の回転方向とにそれぞれ三つずつ、しかも全てが一つのウェ ーハ４上に位置するように配置されている。

【０００７】 ウェーハ４に帯電（通常は正の帯電）が生じている場合、静電誘導により、各 チャージ検出電極６には、ウェーハ面と同量で逆負号の電荷がアースから測定抵 抗１０を介して流れる。従ってこのときの測定抵抗１０の両端の電圧ｖを表示装 置１２に表示させれば、例えば図５に示すような波形（微分波形）が表れること になり、この波形の高さ等でウェーハ４の帯電状態を知ることができる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

ところが従来の帯電状態計測装置は、前述したように切換スイッチ８の切り換 えによってどれか一つのチャージ検出電極６による計測波形を表示装置１２に表 示するだけであり、複数のチャージ検出電極６による計測波形を同時に表示する ことはできないので、各チャージ検出電極６による計測波形の相関が分かりにく いという問題がある。従って例えば、ウェーハ４上における帯電量の分布を計測 しようとしても困難である。

【０００９】 そこでこの考案は、上記のような複数のチャージ検出電極からの信号を一つの 表示装置に同時に表示し、それによって各チャージ検出電極による計測波形の相 関が分かるようにすることを主たる目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の帯電状態計測装置は、前述したようなウ ェーハディスク上のウェーハの通過経路上であって通過するウェーハに少し離れ て対向するように設けられた複数のチャージ検出電極と、この各チャージ検出電 極にそれぞれ接続されていて各チャージ検出電極に流れる電流を電圧にそれぞれ 変換する複数の測定抵抗と、複数の入力チャンネルを有していて各入力チャンネ ルに入力される前記各測定抵抗の両端の電圧をそれぞれ同時に表示する多チャン ネル表示装置とを備えることを特徴とする。

【００１１】

【作用】

上記構成によれば、静電誘導によって各チャージ検出電極に流れる電荷（電流 ）が各測定抵抗によって電圧に変換され、それらが多チャンネル表示装置にそれ ぞれ同時に表示される。従って、各チャージ検出電極による計測波形の相関が分 かる。

【００１２】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係るウェーハの帯電状態計測装置を示す構成図 である。図３の従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下にお いては当該従来例との相違点を主に説明する。

【００１３】 この実施例においては、前述したような切換スイッチ８を設ける代わりに、一 端側がアースにつながれた複数の測定抵抗１０、１０・・・を設け、この各測定 抵抗１０の他端側に前述したような複数のチャージ検出電極６をそれぞれ接続し ている。また、前述したようなチャンネルの表示装置１２の代わりに多チャンネ ル表示装置１４を設けている。この多チャンネル表示装置１４は、例えば多チャ ンネルのオシロスコープであり、複数の（図示例では四つの）入力チャンネルＣ Ｈ₁ 〜ＣＨ₄ を有しており、各入力チャンネルに入力される信号をそれぞれ同時 に表示することができる。そしてこの各入力チャンネルＣＨ₁ 〜ＣＨ₄ に、各測 定抵抗１０の両端の電圧ｖをそれぞれ入力するようにしている。

【００１４】 上記構成によれば、ウェーハ４に帯電が生じている場合に静電誘導によって各 チャージ検出電極６に流れる電荷（電流）が各測定抵抗１０によって電圧ｖにそ れぞれ変換され、それらが多チャンネル表示装置１４にそれぞれ同時に表示され る。例えば、図２のような波形が多チャンネル表示装置１４に同時に表示される 。従って、各チャージ検出電極６による計測波形の相関が分かる。これによって 例えば、各入力チャンネルの波形の高さや傾き等を一目で見て比較することがで きるので、ウェーハ４上における帯電量の分布を計測することが可能になる。そ の結果、例えば、電子シャワー照射によってウェーハ４の帯電を中和させる場合 、その中和作用がうまく行われているか否か等の計測も可能になる。

【００１５】 なお、上述したチャージ検出電極６の材質、形状、数、配置、測定抵抗１０の 数等はあくまでも一例であり、上記例に限定されるものではない。

【００１６】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、複数のチャージ検出電極からの信号を一つの 表示装置に同時に表示することができるので、各チャージ検出電極による計測波 形の相関を調べることができる。その結果例えば、ウェーハ上における帯電量の 分布を計測することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例に係るウェーハの帯電状
態計測装置を示す構成図である。

【図２】 図１中の多チャンネル表示装置に表示される
波形の一例を示す概略図である。

【図３】 従来のウェーハの帯電状態計測装置の一例を
示す構成図である。

【図４】 図３中のチャージ検出電極周りの拡大側面図
である。

【図５】 図３中の表示装置に表示される波形の一例を
示す概略図である。

【符号の説明】

２ ウェーハディスク ４ ウェーハ ６ チャージ検出電極 １０ 測定抵抗 １４ 多チャンネル表示装置

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空中で回転および並進させられるウェ
   ーハディスク上に装着された複数枚のウェーハにイオン
   ビームを照射してイオン注入を行うイオン注入装置に用
   いられるものであって、前記ウェーハディスク上のウェ
   ーハの通過経路上であって通過するウェーハに少し離れ
   て対向するように設けられた複数のチャージ検出電極
   と、この各チャージ検出電極にそれぞれ接続されていて
   各チャージ検出電極に流れる電流を電圧にそれぞれ変換
   する複数の測定抵抗と、複数の入力チャンネルを有して
   いて各入力チャンネルに入力される前記各測定抵抗の両
   端の電圧をそれぞれ同時に表示する多チャンネル表示装
   置とを備えることを特徴とするウェーハの帯電状態計測
   装置。