JPH04133403U - レーザトリミング用プローブカード - Google Patents
レーザトリミング用プローブカードInfo
- Publication number
- JPH04133403U JPH04133403U JP1991040061U JP4006191U JPH04133403U JP H04133403 U JPH04133403 U JP H04133403U JP 1991040061 U JP1991040061 U JP 1991040061U JP 4006191 U JP4006191 U JP 4006191U JP H04133403 U JPH04133403 U JP H04133403U
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- JP
- Japan
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- probe card
- transparent resin
- resin plate
- probe
- laser
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】レーザトリミングしようとする混成集積回路基
板上のすべての抵抗体をくまなく照らすことができ、正
確に観視（モニタ）できるプローブカードを実現する。 【構成】混成集積回路を計測するための、２本以上のプ
ローブと、このプローブを埋め込み、レーザ光を通す１
つ以上の孔を有する透明樹脂板と、この透明樹脂板が固
定され、プローブとケーブルにより接続されたプリント
配線板とから構成されるレーザトリミング用プローブカ
ードにおいて、この透明樹脂板に埋めこまれ、レーザ光
を通す孔の近傍に配置された１本以上の光ファイバーケ
ーブルを具備している。
板上のすべての抵抗体をくまなく照らすことができ、正
確に観視（モニタ）できるプローブカードを実現する。 【構成】混成集積回路を計測するための、２本以上のプ
ローブと、このプローブを埋め込み、レーザ光を通す１
つ以上の孔を有する透明樹脂板と、この透明樹脂板が固
定され、プローブとケーブルにより接続されたプリント
配線板とから構成されるレーザトリミング用プローブカ
ードにおいて、この透明樹脂板に埋めこまれ、レーザ光
を通す孔の近傍に配置された１本以上の光ファイバーケ
ーブルを具備している。
Description
【０００１】
本考案はプローブカードに関し、特に混成集績回路をレーザトリミングする際
に用いられるレーザトリミング用プローブカードに関する。
【０００２】
従来のプローブカードは図２に示すように、プローブ１、透明樹脂板３、プリ
ント配線板５から構成される。図２は混成集積回路１０のレーザトリミングの局
面を示したものである。レーザトリミング装置８から出射されたレーザ光は孔４
を通って、混成集積回路１０の幕状抵抗体を加工する。一方、トリミングしよう
てする膜状抵抗体のトリミングする個所を観測するために、レーザトリミング装
置８に照明ランプ９が設けられている。照明ランプ９の光は孔４を通して、混成
集積回路基板１０上に照らされる。
【０００３】
従来の照明方法では、プローブや孔が多くなるにつれて、照明光がプローブや
ケーブルの影になったり、孔の壁に照明光がさえぎられて、トリミングしようと
する抵抗体の近傍にまで、十分に照明光がとどかない、といった問題点があった
。
【０００４】
本考案は、混成集積回路を計測するための、２本以上のプローブと、このプロ
ーブを埋め込み、レーザ光を通す１つ以上の孔を有する透明樹脂板と、この透明
樹脂板が固定され、プローブとケーブルにより接続されたプリント配線板とから
構成されるレーザトリミング用プローブカードにおいて、この透明樹脂板に埋め
込まれ、レーザ光を通す孔の近傍に配置された１本以上の光ファイバーケーブル
を具備している。
【０００５】
次に本考案について図面を参照して説明する。図１は本考案のー実施例のレー
ザトリミング用プロカードの概略構成図である。２本以上のプローブ１が埋め込
まれた透明樹脂板３はプリント配線板５の下部に固定される。このプローブ１と
プリント配線板５とはケーブル２によって電気的に接続される。透明樹脂板３に
は少なくとも１つ以上の孔４があいている。また、孔４の近傍には１本以上の光
ファイバーケーブル６が埋め込まれ、その光ファイバーケーブル６には照明光７
が通される。
【０００６】
次にこのプローブカードの作り方について説明する。まず、レーザトリミング
しようとする混成集積回路基板１０の回路パターンに基づき、電極、膜状あるい
はチップ状抵抗体の位置に合わせて、それぞれプローブ１用の穴、孔４を透明樹
脂板３に開ける。次にこのプローブカードをレーザトリミング装置８に取付け照
明ランプ９によって、プローブカードおよび混成集積回路基板１０を照らした時
に、プローブと、そのケーブル、孔の壁等によって、照明光がさえぎられると思
われる近傍に光ファイバーケーブル６の埋め込み用穴を開ける。次に透明樹脂板
３のプリント配線板５への取付け、プローブ１の挿入、接着、プローブ１とプリ
ント配線板５とのケーブル接続を順次行い、プローブカードを組み立てる。その
後、このプローブカードをレーザトリミング装置８に取付け、照明ランプ９の光
が十分に混成集積回路基板１０上の膜状あるいはチップ状抵抗を照らしているか
確認する。通常、プローブ、孔の数が増えてくると、周辺部に暗部を生ずる。そ
の近傍に光ファイバーケーブル６を埋め込み、照明光７を通し、暗部がなくなっ
たことを、確認して、プローブカードが完成される。
【０００７】
以上、説明したように本考案によれば、レーザトリミングしようとする混成集
積回路基板上のすべての抵抗体をくまなく照らすことができ、正確に観視（モニ
タ）できるという効果を有する。さらに、近年、混成集積回路基板にはチップ状
抵抗体が用いられ、その位置検出のため、パターン認識の必要性が強くなってい
るが、本考案により、十分な光量が得られ、チップ状抵抗体のパターン認識を確
実にできるという効果を有する。
【図１】本考案のー実施例のレーザトリミング用プロー
ブカードの概略構成図。
ブカードの概略構成図。
【図２】従来例を示す概略図。
１ プローブ
２ ケーブル
４ 孔
５ プリント配線板
６ 光ファイバーケーブル
Claims (1)
- 【請求項１】 混成集積回路を計測するための、２本以
上のプローブと、このプローブを埋め込み、レーザ光を
通す１つ以上の孔を有する透明樹脂板と、この透明樹脂
板が固定され、プローブとケーブルにより接続されたプ
リント配線板とから構成されるレーザトリミング用プロ
ーブカードにおいて、前記透明樹脂板に埋め込まれてレ
ーザ光を通す孔の近傍に配置された１本以上の光ファイ
バーケーブルを具備することを特徴とするレーザトリミ
ング用プローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991040061U JPH04133403U (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | レーザトリミング用プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991040061U JPH04133403U (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | レーザトリミング用プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04133403U true JPH04133403U (ja) | 1992-12-11 |
Family
ID=31921194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991040061U Pending JPH04133403U (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | レーザトリミング用プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04133403U (ja) |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP1991040061U patent/JPH04133403U/ja active Pending
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