JPH04132913A - 粘性係数補正回路及び層流形流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は粘性係数補正回路及び層流形流量計に関するも
のであり、特に、層流形流量計に接続され、流体の温度
変化に起因して変化する粘性係数の影響を補正するため
の粘性係数補正回路、及び粘性係数補正回路の機能を備
えた層流形流量計に関するものである。

（従来の技術） 毛細管内を流体が通過すると、その流体の粘性抵抗によ
り毛細管の両端に圧力差が生じる。この圧力差と毛細管
を通過する体積流量との関係は、第１式の「ハーゲン・
ボワズイユ（Ｈａｇｅｎ−ｐｏｉｓｅｕｆｌｌｅ）Ｊの
法則に従う。

Ｑ−π　・ｄ４　φΔＰ／　（８φμ　−ｋ　）・・・
　（１） ここで、 Ｑ：体積流量 ΔＰ：毛細管の両端の圧力差 ｄ：毛細管の半径 ｉ：毛細管の長さ μ：流体の粘性係数 π：円周率 なわち流体の粘性係数μが一定のときには、流量計を通
過する体積流量Ｑは、流量計が発生する圧力差（差圧）
ΔＰに比例する。

しかし、流体の粘性係数μは温度依存性があり、一般に
、液体では温度が増加すると粘性係数は減少し、気体で
はこれが増加する。粘性係数の温度依存性は、液体に対
してはメイヤー（Ｍｅｙｅｒ）の式、気体に対してはサ
ザーランド（Ｓｕｔｈｅｒｌａｎｄ）の式にしたがうこ
とは良く知られ、特に空気においては、温度が４［℃］
変化すると、粘性係数が約１　［％］変化し、体積流量
Ｑも同様に変化する。

したがって、体積流ｊｌＱの測定精度確保のためには、
粘性係数の温度補正が必須不可欠なものとなる。

気体の場合、粘性係数の温度補正をした体積流量Ｑは、
第２式であられされる。

この法則を応用した流量計に層流形流量計がある。この
流量計において、流体の温度が一定、すＱ＝　　（、ｃ
ｚ２０／μ）ｘΔＰｘｋ　　　　　　・　（２）ただし
、μ２０／μ（以下、粘性比という）は、第３式のよう
になる。

（μ２０／μ）− ｆ（２７３＋Ｃ＋ｔ）／（２９３＋Ｃ））ｘ　（２９３
／　（２７３＋ｔ））”５・・・　（３） ユニで、 Ｑ：体積流量 ６２２層流形流量計の圧力差 に：層流形流量計の流量係数（比例定数）μ：　ｔ　［
”Ｃ］における流体の粘性係数μ２０：　２０　［”Ｃ
］における流体の粘性係数Ｃ：流体固有の定数 ｔ：流体温度 従来の層流形流量計は、流量の圧力差（差圧）ΔＰ及び
流体温度ｔを、それぞれセンサを用いて電気信号として
検出し、該信号を用いて、アナログ式コンピュータ、あ
るいはディジタル式コンピュータで第２式の演算を施し
、体積流量Ｑを検出するものである。そして、これら層
流形流量計は、流量演算器又は体積流量計と称して、既
に広く制作、販売されている。

第５図はアナログ式コンピュータを用いて構成された従
来の層流形流量計の一例のブロック図である。

同図において、差圧センサ１は、当該層流形流量計の流
体通路（図示せず）を通過した流体の圧力差を検出する
。この圧力差は、増幅器３により、抵抗４及び５により
決定される増幅度で増幅され、ΔＰとなる。

温度センサ２は、前記流体通路を通過した流体の温度を
検出する。この温度ｔは、増幅器及び直線化器６におい
て増幅及び直線化が行われる。

アナログ演算器７は、温度を及び第３式を用いて、粘性
比（μ２０／μ）を演算する。

掛は算器８は、ΔＰ及び（μ２０／μ）を乗算する。

増幅器９は、前記掛は算器８の出力信号に対して、さら
にｋを乗算する。このｋの値は、抵抗１０及び１１で決
定される。

第６図はディジタル式コンピュータを用いて構成された
従来の層流形流量計の一例のブロック図である。第６図
において、第５図と同一の符号は、同−又は同等部分を
あられしている。

第６図において、差圧センサ１より出力される流体の圧
力差は、増幅器１５において、抵抗１６及び１７で決定
される増幅度で増幅される。この圧力差信号は、Ａ／Ｄ
変換器１８を介してマイクロコンピュータ２３に入力さ
れる。

同様に、温度センサ２より出力される流体の温度は、増
幅器１９において、抵抗２０及び２１で決定される増幅
度で増幅され、これがＡ／Ｄ変換器２２を介して前記マ
イクロコンピュータ２３に入力される。

前記マイクロコンピュータ２３は、ＣＰＵ。

ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェース、及びそれら
を接続するバス等により構成されている。

このマイクロコンピュータ２３は、入力された圧力差デ
ータ及び温度データを用いて、第２式の演算を行う。

そして、この演算結果（体積流量Ｑ）は、表示装置２５
に出力され、表示される。

スイッチ２４は、前記マイクロコンピュータ２３に接続
され、ｋの設定、あるいは 測定すべき流体の固有の定数Ｃ等を設定する。

（発明が解決しようとする課題） 上記した従来の技術は、次のような問題点を有していた
。

（１）第５図に示されたような、アナログ式コンピュー
タを用いた従来の層流形流量計では、電子回路が複雑で
あり、また部品数も多く、当該層流形流量計が大型化す
る。

さらに、演算回路の調整部分が多いので、その調整に手
間がかかる。

（２）第６図に示されたような、ディジタル式コンピュ
ータを用いた従来の層流形流量計においても、電子回路
が複雑であり、また部品数も多（、当該層流形流量計が
大型化する。

さらに、第２式に示された演算に比較的時間を要し、応
答特性が低下する。

本発明は、前述の問題点を解決するためになされたもの
であり、その目的は、簡単な電子回路で温度による流体
の粘性係数の変化を補正して、常に正確な体積流量信号
を応答良く得ることができる粘性係数補正回路、及びこ
のような粘性係数補正回路の機能を有する層流形流量計
を提供することにある。

（課題を解決するための手段及び作用）前記の問題点を
解決するために、本発明は、層流形流量計に接続され、
該流量計により検出された体積流量に対して、流体の温
度変化に起因して変化する粘性係数に応じた補正を行う
粘性係数補正回路において、温度センサ、及び該センサ
を、その増幅度を決定するインピーダンス回路の一部と
する増幅器により当該粘性係数補正回路を構成し、前記
増幅器の増幅度が、流体の温度変化に起因して変化する
粘性係数の変化とほぼ同様の変化をするように、前記イ
ンピーダンス回路を決定するようにした点に特徴がある
。

また、流体の差圧信号を検出し、増幅することにより体
積流量を検出し、該体積流量に対して、流体の温度変化
に起因して変化する粘性係数に応じた補正を行う層流形
流量計において、流体通路両端の圧力差である差圧信号
を検出する差圧センサ、流体温度を検出する温度センサ
、及び該温度センサを、その増幅度を決定するインピー
ダンス回路の一部とする増幅器により当該層流形流量計
を構成し、前記増幅器により、前記差圧信号に所定の増
幅が施され、かつその増幅信号が、流体の温度変化に起
因して変化する粘性係数の変化とほぼ同様の変化で補正
されるように、前記インピーダンス回路を決定するよう
にした点に特徴がある。

（実施例） 以下に、図面を参照して、本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施例のブロック図である。

第１図において、符号１は図示されない流体通路の両端
の流体の圧力差を検出する差圧センサ、Ａ１−Ａ３は増
幅器、３１〜３７は抵抗、そして、５０は流体中に配置
された温度センサである。この実施例では、温度センサ
５０としてサーミスタを用いる。また１、前記温度セン
サ５０の抵抗値をＲｔ、さらに前記抵抗３１〜３７の抵
抗値をそれぞれＲ１−Ｒ７とする。

増幅器Ａ１は、差圧センサ１より出力される流量計差圧
信号ΔＶを０倍に増幅して流量計差圧ΔＰに変換し、さ
らにΔＰに流量係数ｋを乗算する回路である。この増幅
器Ａ１の伝達関数は、第４式のようになる。

Ｖｌ　−（（Ｒ４＋Ｒ５）／Ｒ４１ＸＡｖ・・・　（４
） ここで、 （（Ｒ４＋Ｒ５）／Ｒ４）−ＧＸｋ とし、また、 ΔＰ−ＧＸΔＶ とすると、第４式は次のようになる。

Ｖｌ−ΔＰＸｋ ・・・　（５） つまり、増幅器Ａ１、並びに抵抗３４及び３５は、粘性
係数の補正を施さない流量を検出する層流形流量計１０
０を構成している。

温度センサ５０を構成するサーミスタの温度特性は、温
度が増加するとその抵抗値が減少するようになっており
、温度変化に対して抵抗値は非常に大きく変化する。−
船釣なサーミスタの温度特性（抵抗値と温度との関係）
は、そのサーミスタの２つの定数（Ｒｔ２５とＢ定数）
、又は数表で表されている。

第１図より明らかなように、温度センサ５０は抵抗３２
と並列に接続されており、さらにこの並列回路に抵抗３
１が接続され、これが増幅器Ａ２のフィードバック回路
に組み込まれている。

抵抗３３の抵抗値Ｒ３は、第６式に示すように、温度セ
ンサ５０が２０［”Ｃ］である場合の抵抗値Ｒｊと、抵
抗３工及び３２との合成インピーダンスに等しい値に設
定しておく。

Ｒ３−（（Ｒｔ（２０）ｘＲ２） ／　（Ｒｔ（２０）　十Ｒ２）　） 十Ｒ１・・・（６） ただし、Ｒｔ（２０）は、温度センサ５０が２０Ｃ’Ｃ
］である場合の抵抗値である。

抵抗３６及び３７の抵抗値Ｒ６及びＲ７が等しい場合に
は、増幅器Ａ３の増幅度はｌであるから、増幅器Ａ２及
びＡ３の伝達特性は、それぞれＱ−（Ｚ（ｔ）／Ｒ３）
ｘｖｌ　　　　　　　−（７）となる。ただし、Ｚ　（
ｔ）は第８式とする。

Ｚ（ｔ）−（（Ｒｔ　　ｘＲ２）／　（Ｒｔ　　＋Ｒ２
）１十Ｒ１・・・（８） 前記抵抗３１及び３２の抵抗値Ｒ１及びＲ２は、気体の
流量検出の場合には、増幅器Ａ２の増幅度（Ｚ（ｔ）／
Ｒ３）が温度変化に対して第３式に示した粘性比（Ｒ２
０／μ）の変化に最も近付くように決定する。Ｒ１及び
Ｒ２の値の決定方法については後述するが、実用温度範
囲において少なくとも任意の３点の温度より算出できる
。

これらの抵抗３１及び３２は、温度センサ５０が温度に
対して急変するのを抑制し、かつ、これらに適正値を与
えることで、粘性係数の温度変化に似た特性にすること
ができる。つまり、粘性係数の温度補正の近似関数が得
られることになり、Ｒ２０／μはＺ（ｔ）／Ｒ３とする
ことができる。

前掲した第５式を第７式に代入し、さらにＲ２゜／μｍ
Ｚ（ｔ）／Ｒ３とすると、 Ｑ−（Ｒ２０／μ）ｘΔＰｘｋ　　　　　　−（９）と
なり、第１図に示されたような簡単な回路で、流体の粘
性係数の温度補正を行った体積流ｊｉＱを得ることがで
きることがわかる。

つまり、増幅器Ａ２、並びに抵抗３１．３２及び３３、
並びに温度センサ５０は、層流形流量計１００より出力
された流体流量に対して粘性係数の補正を施す粘性係数
補正回路１０１を構成している。

なお、増幅器Ａ１としては非反転増幅器を用いているが
、増幅器Ａ２として反転増幅器を用いたので、該増幅器
Ａ２の出力信号をさらに反転させるために、増幅度１の
反転増幅器Ａ３を増幅器Ａ２の出力信号線に接続してい
る。

次に、抵抗３１及び３２の抵抗値Ｒ１及びＲ２の決定方
法を、第２図を参照して述べる。第２図は第１図に示さ
れた抵抗３１及び３２並びに温度センサ５０のみを示し
た図である。

第２図において、流体温度がｔ　　［”Ｃ］である場合
の、抵抗３１、抵抗３２及び温度センサ５０の合成イン
ピーダンスＺ　（ｔ）は、第１０式の通りである。

Ｚ（ｔ）−（（Ｒｔ（ｔ）ｘＲ２） ／　（Ｒ１（ｔ）＋Ｒ２）　１ 十Ｒ１・・・（１０） ただし、Ｒｔ（ｔ）は流体温度ｔ　　［’Ｃ］のときの
温度センサ５０の抵抗値である。

したがって、温度センサ５０の温度、すなわち流体温度
がｔｏ、ｔｌ、　ｔ２　（ｔｌ＜ｔｏ＜ｔ２）であると
きの抵抗３１、抵抗３２及び温度センサ５０の合成イン
ピーダンスＺ　（ｔＯ）、Ｚ　（ｔｌ）、Ｚ　（ｔ２）
は、Ｚ（ｔＯ）−（（Ｒ１（ｔｏ）　　ＸＲ２）／　（
Ｒｔ（ｔｏ）＋Ｒ２）） ＋Ｒ１・・・　（１１） Ｚ（ｔｌ）−（（Ｒｔ（ｔｌ）ｘＲ２）／　（Ｒｔ（ｔ
ｌ）＋Ｒ２）） ＋Ｒ１・・・　（１２） Ｚ（ｔ２）−（（Ｒｔ（ｔ２）ｘＲ２）／　　（Ｒｔ（
ｔ２）＋Ｒ２）１ ＋Ｒ１・・・　（１３） ただし、Ｒｔ（ｔｏ）　、Ｒｔ（ｔｌ）及びＲ１（ｔ２
）は、流体温度がｔｏ、ｔＬ　ｔ２　［”Ｃ］のときの
温度センサ５０の抵抗値である。

流体温度がｔｏ　［”Ｃ］からｔ２　［”Ｃ］に変化し
たときの粘性比（μ２０／μ）の変化率α２は、第３式
同様に、流体温度がｔＯ［”Ｃ］からｔｌ　［”Ｃ］に
変化したときの粘性比（μ２０／μ）の変化率をα１と
し、増幅器Ａ２の増幅度を前記変化率α１と同じ割合で
変化させるためには、 α１−　（μ２０／μ（ｔｌ）） ／（μ２０／μ（ｔＯ）） −（Ｚ　（ｔｌ）／Ｒ３）　／　（Ｚ　（ｔＯ）／Ｒ３
）−Ｚ　（ｔｌ）／　Ｚ　（ｔｏ）　　　　　　　　・
・・（１６）α２−　（μ２０／μ（ｔ２）） ／　（μ２０／μ（１０））　　　　・・・　（１４）
となる。増幅器Ａ２の増幅度を前記変化率α２と同じ割
合で変化させるには、 α２−（μ２０／μ（ｔ２）） ／（μ２０／μ（ｔＯ）） −（Ｚ（ｔ２）／Ｒ３）／　（Ｚ（ｔＯ）／Ｒ３）−Ｚ
　（ｔ２）／　Ｚ　（ｔｏ）　　　　　　　・・・（１
５）となる。ただし、流体温度がｔＯ，ｔＬ　ｔ２のと
きの粘性係数をμ（ｔｏ）、μ（ｔｌ）、μ（ｔ２）と
する。

ここで、ｔｏ−２０［”Ｃ］とすると、第１５式及び第
１６式はそれぞれ次のようになる。

Ｚ　（ｔ２）／　Ｚ　（ｔＯ）−Ｚ　（ｔ２）／Ｒ３−
μ２０／μ（ｔ２） 一α２ ・・・　（１７） Ｚ　（ｔｌ）／　Ｚ　（ｔＯ）−Ｚ　（ｔｌ）／Ｒ３−
μ２０／μ（ｔｌ） 一α１　　　　　　　　　・・・　（１８）したがって
、第１７式及び第１８式よりＲ１及びＲ２を求めれば、
少なくとも流体温度が２０［”Ｃ］からｔｌ　［”Ｃ］
に変化したとき、及び２０［”Ｃ］からｔ２　［”Ｃ］
に変化したときに、μ２０／μ−Ｚ（ｔ）／Ｒ３を満足
することになる。

第１７式及び第１８式に、第１１式、第１２式及び第１
３式を代入すると、 Ｚ　（ｔ２）／　Ｚ　（ｔｏ） −［（（Ｒｔ（ｔ２）ＸＲ２） ／　（Ｒｔ（ｔ２）＋Ｒ２）ｌ　　＋Ｒ１］　／［（（
Ｒｔ（ｔｏ）ＸＲ２） ／　（Ｒｔ（ｔｏ）＋Ｒ２））＋Ｒｔｌ−α２ ・・・　（１９） Ｚ　（ｔｌ）／　Ｚ　（１０） −［＋　（Ｒｔ（ｔｌ）ＸＲ２） ／　（Ｒｔ（ｔｌ）＋Ｒ２）ｌ　　＋Ｒ１］　／［（（
Ｒｔ（ｔｏ）　　Ｘ　Ｒ２） ／　　（Ｒｔ（ｔｏ）＋Ｒ２））＋Ｒ１コーα１　　　
　　　　　　　　　　　　　・・・　（２０）第１９式
及び第２０式を連立方程式として、Ｒ１を消去すると、 ０−［［α２　ｘ　（（Ｒｔ（ｔ２）　ｘＲ２）／　（
Ｒｔ（ｔ２）　＋Ｒ２）　）コ −（（Ｒｔ（ｔｏ）ｘＲ２） ／　（Ｒｔ（ｔＯ）　十Ｒ２）　ｌコ ／（１−α２） −［［αＩ　Ｘ　ｆ　（Ｒｔ（ｔｌ）　ＸＲ２）／　（
Ｒｔ（ｔｌ）　十Ｒ２）　）　３−　（（Ｒｔ（ｔＯ）
ｘＲ２） ／　（Ｒｔ（ｔＯ）　＋Ｒ２）　）　］／（１−α１） ・・・（２１） となる。このＲ２は、挟み打ち法、あるいはニュートン
法などで演算することができる。

また、Ｒ１は、 Ｒ１−［［α２Ｘ　　（（Ｒｔ（ｔ２）ＸＲ２）／　（
Ｒｔ（ｔ２）　＋Ｒ２）　）コ −！　（Ｒｔ（ｔＯ）ＸＲ２） ／　（Ｒｔ（ｔＯ）＋Ｒ２）ｌ　　］ ／　（１−α２） ・・・　（２２） となる。

流体温度ｔｌ−ｔ２　［”Ｃ］の範囲において、増幅器
Ａ２の増幅度（Ｚ（ｔ）／Ｒ３）の変化が粘性比（μ２
０／μ）の変化に近ければ、（Ｚ（ｔ）／Ｒ３）が（μ
２０／μ）の近似関数といえる。

被検流体として空気を例にとった場合の具体的な数値例
を、以下に示す。

まず、空気の流体固有定数０１サーミスタの温度特性式
、及び近似する温度を次のように設定する。

・空気の流体固有定数Ｃ ・サーミスタの温度特性式 ％式％ ・近似する温度 ｔｌ−５［’Ｃ］　、ｔｏ−２０［”Ｃ］　、ｔ２−４
５　［”Ｃ］これより、 Ｒｔ（ｔｏ）　−３７４７，８３［Ω］Ｒｔ（ｔｌ）　
−７６２８，９２［ｆｆ］Ｒｔ（ｔ２）−１３０９，９
５［Ω］ α１−１．０４１４ α２−０．　９３９８ となる。これらを第２１式及び第２２式に代入して、Ｒ
１及びＲ２を算出すると、次のようになる。

Ｒ１−１２４２６，５［Ω］ Ｒ２−３５０５，５［Ωコ 流体温度θ〜５０［”Ｃ］の範囲内において、粘性比（
μ２０／μ）の変化と、Ｒ１及びＲ２より求めた増幅器
Ａ２の増幅度（Ｚ（ｔ）／Ｒ３）の変化との比較を第３
図に示す。なお、第３図に示した粘性比の近似誤差は、
第２３式によるものである。

誤差Ｃ％］　−（Ｚ（ｔ）　／Ｒ３）　Ｘ　１００（μ
２０／μ）Ｘ１００ 第３図より、近似誤差は±０．２［％コ以内にあり、（
Ｚ（ｔ）／Ｒ３）が（μ２０／μ）の近似関数として妥
当であることがわかる。

なお、前記の例では、第１７式及び第１８式の連立方程
式を解くことにより、抵抗３１及び３２の抵抗値Ｒ１及
びＲ２を決定するものとして説明したが、例えば最小二
乗法等の数値計算を行うことにより、Ｒ１及びＲ２を決
定しても良い。

第４図は本発明の他の実施例のブロック図である。第４
図において、第１図と同一の符号は、同−又は同等部分
をあられしている。

この実施例は、第１図に示された実施例で必要であった
３つの増幅器をただ１つしか必要としない例である。す
なわち、差圧信号ΔＶの増幅及び流量件数にの乗算（す
なわち、粘性係数の補正が行われる前の流体流量の検出
）と、粘性係数の補正とを１つの増幅器Ａ４で行うもの
である。増幅器Ａ４は、非反転増幅器である。

前記増幅器Ａ４のフィードバック素子として、温度セン
サ５０と並列に抵抗４２を接続し、さらにこの並列回路
に抵抗４１を接続した回路を用いる。

符号４４は、前記フィードバック回路の、増幅器Ａ４の
入力端子に接続された側と接地との間に接続された抵抗
である。

この回路は、増幅器の増幅率が十分大きく、かつ、増幅
器のゲイン調整範囲が狭いとき、２より求めた合成イン
ピーダンス（Ｚ（ｔ）／Ｒ３）、すなわち増幅器Ａ２の
増幅度の変化との比較を第３図に示す。なお、第３図に
示した粘性比の近似誤差は、第２３式によるものである
。

誤差［％コー（Ｚ（ｔ）　／Ｒ３）　ｘ　１００（μ２
０／μ）Ｘ１００ 第３図より、近似誤差は±０．２［％］以内にあり、（
Ｚ（ｔ）／Ｒ３）が（μ２０／μ）の近似関数として妥
当であることがわかる。

なお、前記の例では、第１７式及び第１８式の連立方程
式を解くことにより、抵抗３１及び３２の抵抗値Ｒ１及
びＲ２を決定するものとして説明したが、例えば最小二
乗法等の数値計算を行うことにより、Ｒ１及びＲ２を決
定しても良い。

第４図は本発明の他の実施例のブロック図である。第４
図において、第１図と同一の符号は、同−又は同等部分
をあられしている。

この実施例は、第１図に示された実施例で必要であった
３つの増幅器をただ１つしか必要としない例である。す
なわち、差圧信号ΔＶの増幅及び流量件数にの乗算（す
なわち、粘性係数の補正が行われる前の流体流量の検出
）と、粘性係数の補正とを１つの増幅器Ａ４で行うもの
である。増幅器Ａ４は、非反転増幅器である。

前記増幅器Ａ４のフィードバック素子として、温度セン
サ５０と並列に抵抗４２を接続し、さらにこの並列回路
に抵抗４１を接続した回路を用いる。

符号４４は、前記フィードバック回路の、増幅器Ａ４の
入力端子に接続された側と接地との間に接続された抵抗
である。

この回路は、増幅器の増幅率が十分大きく、かつ、増幅
器のゲイン調整範囲が狭いとき、つまり、流量係数にの
設定値の範囲が小さいときに適用できる。

前記抵抗４１及び４２の抵抗値Ｒ１１及びＲ１２は、前
述の説明より決定することができるので、その説明は省
略する。

さて、本発明は、空気の流量検出を例にとって説明した
が、空気以外の気体あるいは液体の流量検出に用いられ
ても良い。

また、温度センサ５０としてサーミスタを用いるものと
して説明したが、温度変化に対してその抵抗値の変化が
大きいものであれば、サーミスタ以外のものを用いても
良いことは当然である。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、次の
ような効果が達成される。

（１）請求項１記載の粘性係数補正回路によれば、温度
センサ、及び該センサを、その増幅度を決定するインピ
ーダンス回路の一部とする増幅器により、体積流量に対
して実用上問題のない程度に粘性係数の補正ができる。

すなわち、簡単な電子回路で温度による流体の粘性係数
の変化を補正して、正確な体積流量信号を応答良く得る
ことができる。

（２）請求項２記載の層流形流量計によれば、流体通路
、差圧センサ、温度センサ、及び温度センサを、その増
幅度を決定するインピーダンス回路の一部とする増幅器
により、実用上問題のない程度に粘性係数の補正ができ
る。

すなわち、簡単な電子回路で温度による流体の粘性係数
の変化を補正して、正確な体積流量信号を応答良く得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック図である。 第２図は第１図に示された抵抗３１及び３２並びに温度
センサ５０のみを示した図である。 第３図は空気温度と、粘性比（μ２０／μ）、増幅器Ａ
２の増幅度（Ｚ（ｔ）／Ｒ３）及びそれらの誤差との関
係を示す図表である。 第４図は本発明の他の実施例のブロック図である。 第５図はアナログコンピュータを用いて構成された従来
の層流形流量計の一例のブロック図である。 第６図はディジタルコンピュータを用いて構成された従
来の層流形流量計の一例のブロック図である。 １・・・差圧センサ、３１〜３７，４１，４２゜４４・
・・抵抗、５０・・・温度センサ、１０１・・・粘性係
数補正回路、２００・・・層流形流量計、Ａ２゜Ａ４・
・・増幅器 第 図 代理人弁理士　平木進入　外１名 第 図 第 図 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定の流体通路を通過する流体の差圧信号を増幅
   して体積流量を検出する層流形流量計に接続され、検出
   された体積流量に対して、流体の温度変化に起因して変
   化する粘性係数に応じた補正を行う粘性係数補正回路に
   おいて、 その入力線が前記層流形流量計の出力線に接続され、そ
   の増幅度を決定するインピーダンス回路を有する増幅器
   と、 前記流体通路を通過する流体の温度を検出する温度セン
   サとを具備し、 前記温度センサは、前記インピーダンス回路の一部を構
   成し、 前記インピーダンス回路は、前記増幅器の増幅度が流体
   の温度変化に起因して変化する粘性係数の変化とほぼ同
   様の変化をするように、決定されたことを特徴とする粘
   性係数補正回路。
2. （２）流体が通過する流体通路と、 前記流体通路両端の圧力差である差圧信号を検出する差
   圧センサと、 流体温度を検出する温度センサと、 その増幅度を決定するインピーダンス回路を有する増幅
   器とを具備し、 前記温度センサは、前記インピーダンス回路の一部を構
   成し、 前記インピーダンス回路は、前記増幅器により前記差圧
   信号に所定の増幅が施され、かつその増幅信号が流体の
   温度変化に起因して変化する粘性係数の変化とほぼ同様
   の変化で補正されるように、決定されたことを特徴とす
   る層流形流量計。