JPH04128365A - Production of film for package - Google Patents

Production of film for package

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JPH04128365A
JPH04128365A JP2249757A JP24975790A JPH04128365A JP H04128365 A JPH04128365 A JP H04128365A JP 2249757 A JP2249757 A JP 2249757A JP 24975790 A JP24975790 A JP 24975790A JP H04128365 A JPH04128365 A JP H04128365A
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JP
Japan
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film
siox
base material
sio
layer
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Application number
JP2249757A
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Japanese (ja)
Inventor
Mika Nishitani
西谷 美香
Hiroyuki Yasujima
安島 廣行
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04128365A publication Critical patent/JPH04128365A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a film having excellent gas barrier property and high heat resistance, strength, and flexibility with good productivity by using an ion source to produce a SiOx beam and implanting this beam through a SiO2 film surface to form a SiOx film having a mixed state with the structure of a base material. CONSTITUTION:On at least one surface of a base material comprising a flexible plastic film, a SiOx layer (0<=x<2) having a mixed state with the structure of the base material and SiO2 film are successively formed. After forming the SiO2 film, an ion source is used to ionize SiOx (0<=x<2) to implant a SiOx beam on the SiO2 film surface by controlling the amt. of iron to be drawn and the acceleration voltage. Thereby, the SiOx film (0<=x<2) is formed to desired thickness at any position of the interface between the SiO2 film and the base material with good reproducibility.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、包装用フィルムの製造方法に係わり、さらに
言えば、防湿、保香、#I化防止等のガスバリア性に優
れ、かつ耐熱性および強度、可撓性の高く、無色透明の
包装用フィルムを生産性良く大量に製造する方法に関す
る。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing a packaging film, and more specifically, it has excellent gas barrier properties such as moisture proofing, fragrance retention, and prevention of #I formation, and is heat resistant. The present invention also relates to a method for mass producing a colorless and transparent packaging film with high strength and flexibility with good productivity.

〔従来の技術] 近年、家庭における電子レンジの普及に伴い、常温流通
が可能で、包材ごと電子レンジに適用できるフレキシブ
ルプラスチックフィルムからなる基材をヘースとした食
品包材の市場が拡大している。食品の包装用フィルムに
求められる特性としては、 ■ 防湿、保香、酸化防止等のガスバリア性に優れるこ
と、 ■ 強度、可撓性が充分であること、 ■ 加熱、加圧殺菌が適用出来ること、などがある。
[Conventional technology] In recent years, with the spread of microwave ovens in households, the market for food packaging materials based on a base material made of flexible plastic film that can be distributed at room temperature and can be used in microwave ovens along with the packaging material has expanded. There is. Characteristics required for food packaging films include: ■ Excellent gas barrier properties such as moisture resistance, aroma retention, and antioxidant properties; ■ Sufficient strength and flexibility; ■ Applicability to heat and pressure sterilization. ,and so on.

従来、上記の特性を満たす材料として、フレキシブルプ
ラスチックフィルムを基体とし、この表面に、酸化アル
ミニウム、#I化マグネシウム、酸化ケイ素等の金属酸
化物を成膜し、成膜面に他のフィルムを積層した包装用
フィルムおよびその製造方法が捉案されている(特開昭
58−148759号、特開平1−206036号、特
開平1267036号、特開平2−34330号公報参
照)。
Conventionally, as a material that satisfies the above characteristics, a flexible plastic film is used as a base, a film of metal oxide such as aluminum oxide, #I magnesium oxide, silicon oxide, etc. is formed on the surface of this film, and other films are laminated on the film-formed surface. A packaging film and a method for manufacturing the same have been proposed (see JP-A-58-148759, JP-A-1-206036, JP-A-1267036, and JP-A-2-34330).

なかでも、酸化ケイ素を成膜した包装用フィルムは、耐
水性に優れるため、レトルト殺菌前後、あるいは包材や
食品が置かれる環境変化によるガスバリア性の劣化が少
なく、上記の特性を満たす包材として使用されつつある
。酸化ケイ素の成膜方法は、生産性を高め、コストを抑
えることを考慮して真空蒸着法が用いられることがほと
んどである。
In particular, packaging films made with silicon oxide have excellent water resistance, so there is little deterioration in gas barrier properties before and after retort sterilization, or due to environmental changes in which packaging materials and foods are placed, making them suitable as packaging materials that meet the above characteristics. It is being used. In most cases, a vacuum evaporation method is used to form a silicon oxide film in order to increase productivity and reduce costs.

(発明が解決しようとする課題〕 しかし、酸化ケイ素薄膜層を用いた場合、■ 酸化ケイ
素薄膜で、常温長期保存が可能なガスバリア性を持たせ
ようとすると、1500〜2000人成膜させなければ
ならず、コスト高である。
(Problems to be Solved by the Invention) However, when using a silicon oxide thin film layer, 1,500 to 2,000 people are required to form the silicon oxide thin film if it is to have gas barrier properties that can be stored at room temperature for a long period of time. However, the cost is high.

■ 折り曲げにより膜にクラ・ンクが生じ易く、ガスバ
リア性および密着性に問題が生しる。そのため、スタン
ディング・パウチなど折り曲げる状態を避けることがで
きる包装形態に用途が限られる。
■ Cracks tend to occur in the film when bent, causing problems in gas barrier properties and adhesion. Therefore, its use is limited to packaging forms that can avoid folding, such as standing pouches.

■ SiOを原料として、蒸着法で作成したS i O
X層は、透明ではあるが、薄黄色に着色しているので見
栄えが悪く、食品包材としては相応しくない。SiOを
蕉着中に0.ガスを導入し、無色透明なSiC2膜を得
ることができるが、■で述べたように充分なバリヤ性を
持つ膜は得られない。また、5iOzを原料とした場合
は、真空蒸着法により無色透明な5iOzlllが成膜
できるが、蒸気圧が低いので蒸発速度が遅く、包装用フ
ィルムのような大面積、大量生産に向かない。
■ SiO created by vapor deposition using SiO as a raw material
Although the X layer is transparent, it is colored pale yellow, so it looks bad and is not suitable as a food packaging material. 0.0% during deposition of SiO. Although it is possible to obtain a colorless and transparent SiC2 film by introducing a gas, a film with sufficient barrier properties cannot be obtained as described in (2). In addition, when 5iOz is used as a raw material, a colorless and transparent 5iOzll can be formed by vacuum evaporation, but the vapor pressure is low and the evaporation rate is slow, making it unsuitable for large areas and mass production such as packaging films.

などの欠点が依然解決されずに残っていた。The following shortcomings remained unresolved.

これらの欠点を解決するため、SiO2膜とフレキシブ
ルプラス千ツクフィルムの界面に、基材組織と相互に混
在したSiOx層(0≦Xく2)を持つことを特徴とす
る包装用フィルムの特許出願を先に行なった。前記包装
用フィルムの一部である、S i OX層(0≦χ〈2
)を作製する場合は、例えばSiOを原料として真空蒸
着を行なうと同時に、高周波を用いてArプラズマを発
生し、成膜粒子が基材組織に食い込むようなエネルギー
を付与し、Sin、層(0≦X〈2)を作製し、一方S
iO□膜の製造方法は、例えばSiOを原料として真空
蒸着法で成膜する場合、通常酸化度を上げるために、雰
囲気中に0□ガスを導入する。
In order to solve these drawbacks, we have filed a patent application for a packaging film characterized by having a SiOx layer (0≦X×2) intermingled with the base material structure at the interface between the SiO2 film and the flexible plastic film. was done first. The S i OX layer (0≦χ<2
), for example, vacuum evaporation is performed using SiO as a raw material, and at the same time Ar plasma is generated using high frequency waves to provide energy so that the film-forming particles bite into the base material structure. ≦X〈2), while S
In a method for producing an iO□ film, for example, when forming a film using a vacuum evaporation method using SiO as a raw material, 0□ gas is usually introduced into the atmosphere in order to increase the degree of oxidation.

また、膜質を改善するために、0!ガス雰囲気でプラズ
マを発生し、成膜するという方法が考えられる。
In addition, in order to improve the film quality, 0! A possible method is to generate a plasma in a gas atmosphere and form a film.

〔発明が解決しようとする課題] 包装用フィルムの製造方法としては、包材という用途か
ら、低コストで、大面積に均一にかつ生産性良く製造で
きる方法が望ましい、具体的には、連続式巻取蒸着装置
で製造できれば適当である。
[Problems to be Solved by the Invention] As a method for producing packaging films, it is desirable to use a method that can be produced uniformly over a large area and with high productivity at low cost because of its use as a packaging material. Specifically, a continuous method is preferred. It is suitable if it can be manufactured using a winding vapor deposition apparatus.

しかし、前記包装用フィルムはSiOx層(0≦X〈2
)とSi0g膜の二層構造であり、SiO++層(0≦
X〈2)を製造するには、S i Owを真空蒸着した
だけでは不十分であり、SiOx成膜粒子になんらかの
方法で基材組織に食い込むようなエネルギーを付与する
ことが必要である。先に述べたように高周波を用いてA
 ’rプラズマを発生し、S i Ox成膜粒子にエネ
ルギーを付与するという方法では、巻取式蒸着装置のよ
うに連続成膜可能な装置を用いるには、SiOx層(0
≦X〈2)とSiO□膜を成膜する真空槽を別々に設け
なければならない。なぜならば、Sin、層(0≦X〈
2)とSin、膜を成膜する雰囲気圧および用いるガス
種類が異なるからである。そのため装置が大がかりで複
雑になり、コストも高い、また、プラズマ中で成膜粒子
にエネルギーを付与する方法は、プラズマの特性から、
その安定性および再現性を保つことが難しく、大面積に
均一に再現性良< S i Ox層を製造することは困
難である。
However, the packaging film has a SiOx layer (0≦X<2
) and Si0g film, with a SiO++ layer (0≦
In order to manufacture X<2), it is not enough to vacuum-deposit SiOw, and it is necessary to impart energy to the SiOx film-forming particles by some method so that they can penetrate into the base material structure. As mentioned earlier, using high frequency, A
In the method of generating 'r plasma and imparting energy to the SiOx film-forming particles, it is necessary to
≦X<2) and a vacuum chamber for forming the SiO□ film must be provided separately. Because, Sin, layer (0≦X〈
This is because 2) and Sin, the atmospheric pressure for forming the film, and the type of gas used are different. Therefore, the equipment becomes large and complicated, and the cost is high.Also, the method of imparting energy to the film-forming particles in the plasma is difficult due to the characteristics of the plasma.
It is difficult to maintain its stability and reproducibility, and it is difficult to uniformly produce a SiOx layer over a large area with good reproducibility.

このように、前記包装用フィルムを包材として利用する
ために、大量に生産性良くかつ優れた特性を損なうこと
なく製造する方法の確立が重要である。
Thus, in order to utilize the packaging film as a packaging material, it is important to establish a method for manufacturing it in large quantities with good productivity and without impairing its excellent properties.

本発明は、防湿、保香、酸化防止等のガスバリア性に優
れ、耐熱性および強度、可撓性の高く、かつ、無色透明
の包装用フィルムを生産性良く大量に製造する方法を提
供するものである。
The present invention provides a method for mass-producing a colorless and transparent packaging film that has excellent gas barrier properties such as moisture proofing, fragrance retention, and antioxidant properties, and has high heat resistance, strength, and flexibility, and is highly productive. It is.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

すなわち、本発明は従来存在していた課題を解決するた
めになされたものであって、フレキシブルプラスチック
フィルムからなる基材の少なくとも片面に、前記基材の
組織と相互に混在した状態のSin、層(0≦X<2)
、SiO□膜が順次積層されてなる包装用フィルムを製
造する方法として、フレキシブルプラスチックフィルム
からなる基材の少なくとも片面に、まず5int膜を作
製し、その後5iOzl!u表面から5iOx(0≦X
〈2)をビームにして打ち込むことにより、前記基材の
組織と相互に混在した状態の5iC)+層(0≦Xく2
)を得る方法を考案することによって上記課題を解決し
た。
That is, the present invention was made in order to solve the problems that existed in the past, and includes a layer of Sin mixed with the structure of the base material on at least one side of a base material made of a flexible plastic film. (0≦X<2)
, SiO□ films are sequentially laminated to produce a packaging film, in which a 5-inch film is first formed on at least one side of a base material made of a flexible plastic film, and then 5 iOzl! 5iOx (0≦X
By implanting <2) as a beam, the 5iC) + layer (0≦X2) is mixed with the structure of the base material.
) by devising a method to obtain the above problem.

〔作用〕[Effect]

本発明に係わる包装用フィルムの製造方法は、基材の組
織と相互に混在した状態のS i O,層(0≦x〈2
)を得る際、イオン源を用いてSiO++(0≦X〈2
)をビームにしてSin、膜表面から打ち込む方法をと
ることにより、Si0g膜と前記基材の界面に、任意の
位置および厚さのSiOx層(0≦X〈2)を、大面積
に均一に、再現性良く製造することができる。よって、
防湿。
The method for producing a packaging film according to the present invention involves forming a layer of S i O (0≦x<2
), an ion source is used to obtain SiO++ (0≦X〈2
) is used as a beam to implant Sin from the film surface, thereby uniformly depositing a SiOx layer (0≦X<2) at any position and thickness on the interface between the Si0g film and the base material over a large area. , can be manufactured with good reproducibility. Therefore,
Moisture proof.

保香、酸化防止等のガスバリア性に優れ、耐熱性および
強度、可撓性の高く、かつ、無色透明の包装用フィルム
を生産性良く大量に得ることが可能になる。
It becomes possible to obtain a colorless and transparent packaging film in large quantities with good productivity, which has excellent gas barrier properties such as aroma retention and antioxidant properties, and has high heat resistance, strength, and flexibility.

〔発明の詳細な 説明に係わる包装用フィルムの製造方法を以下に詳述す
る。
[The method for producing a packaging film according to the detailed description of the invention will be described in detail below.

本発明における製造方法により製造する包装用フィルム
は、先に述べたように、フレキシブルプラスチックフィ
ルムからなる基材の少なくとも片面に、前記基材の組織
と相互に混在した状態のSiOx層(0≦X<2)、5
iOt膜が順次積層されてなる二層構造を持つ0本発明
に用いる基材となるフレキシブルプラスチックフィルム
とは、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンを主成
分として含む共重合体、プロピレンを主成分として含む
共重合体などのオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエス
テル類、ナイロン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデ
ン、ポリビニルアルコールなどのフィルムがあげられる
。これらのフィルムはどの様な方法で製造されたもので
あってもよく、また未延伸のものでも、延伸されたもの
でもいずれであってもよい、基体の厚さは5〜1000
μmの範囲で選ぶのが好ましく、特に10〜100μm
の範囲が好ましい。
As mentioned above, the packaging film produced by the production method of the present invention has a SiOx layer (0≦X <2), 5
The flexible plastic film that is the base material used in the present invention has a two-layer structure in which iOt films are sequentially laminated. Examples include films made of olefin resins such as polymers, polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene terephthalate, nylon, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, and polyvinyl alcohol. These films may be manufactured by any method, and may be unstretched or stretched, and the thickness of the substrate may be 5 to 1000 mm.
It is preferable to choose within the range of μm, especially 10 to 100 μm.
A range of is preferred.

基材にSiO□膜を作製する方法は、スパッタ法、CV
D法、真空蒸着法等が上げられるが、包材という用途か
らコストを抑えること、さらに生産性を高めるという観
点から真空蒸着法が好ましい、真空蒸着法における蒸発
源は、抵抗加熱方式、EB方式、誘導加熱方式などがあ
るが、どの方式でも適用可能である。SiO□膜を作製
するための原料は、蒸気圧の高いものの方が良く、Si
Oが適する。その際、酸化度を上げて無色透明なSin
、膜を得るために、雰囲気中に0.ガスを導入する、あ
るいはSiO蒸着と同時に蒸着面に、ECRイオン源等
を用いて発生した酸素イオンビームを照射し、ち密で無
色透明なS i O,膜を得るという工夫もできる。S
iO,膜のO/Si比が2であれば、無色透明な膜にな
るため、このような組成の膜が作成可能な方法であれば
、特に限定されるものではない、なお、SiOよ膜の厚
さであるが、薄ければ薄いほど製造コストの削減につな
がる一方、ガスバリア性劣化を招くこととなる。従来の
一包装用フィルムの様に、基材上に5iOzll!を成
膜する場合、通常1500人程度0膜厚で成膜されるが
、ガスバリア性が充分でない。本発明における包装用フ
ィルムでは、Sin。
The method of producing SiO□ film on the base material is sputtering method, CV
The D method, vacuum evaporation method, etc. are mentioned, but the vacuum evaporation method is preferable from the viewpoint of reducing costs for packaging materials and increasing productivity.The evaporation source in the vacuum evaporation method is resistance heating method, EB method, etc. , induction heating method, etc., but any method can be applied. Raw materials for producing SiO□ films are better if they have a high vapor pressure;
O is suitable. At that time, the degree of oxidation is increased to produce colorless and transparent Sin.
, in the atmosphere to obtain a film. It is also possible to obtain a dense, colorless and transparent SiO film by introducing a gas or by irradiating the deposition surface with an oxygen ion beam generated using an ECR ion source or the like at the same time as SiO deposition. S
If the O/Si ratio of the SiO film is 2, the film will be colorless and transparent, so any method that can produce a film with such a composition is not particularly limited. Although the thinner the thickness, the more the manufacturing cost is reduced, but the more the gas barrier property is deteriorated. Like conventional packaging film, 5iOzll! is applied to the base material! When forming a film, it is usually formed with a thickness of about 1,500, but the gas barrier property is not sufficient. In the packaging film of the present invention, Sin.

膜の膜厚が1500Å以下でも良好なガスバリア性を保
ち、好ましくはSin、Illの厚さは500〜120
0人の範囲である。
Good gas barrier properties are maintained even when the film thickness is 1500 Å or less, and preferably the thickness of Sin and Ill is 500 to 120 Å.
The range is 0 people.

さて、このようにSin、膜を作製してから、フレキシ
ブルプラスチックフィルムと5iOzlKの界面にSi
n、層(0≦X〈2)を作成するわけであるが、そのた
めには、イオン源を用いて5iOx(0≦X〈2)をイ
オン化し、イオン引出し量およびその加速電圧を制御す
ることにより、Sing膜表面から5iOx(0≦X<
2) イオンビームを打ち込む方法が最適である。イオ
ン源の形式は、5iOx(0≦X〈2)を蒸気化、ある
いは原子、分子状にしてイオン化できるものを用いる。
Now, after preparing the Si film in this way, Si is added to the interface between the flexible plastic film and 5iOzlK.
n, layer (0≦X<2) is created, but in order to do so, 5iOx (0≦X<2) is ionized using an ion source and the amount of ion extraction and its acceleration voltage are controlled. 5iOx (0≦X<
2) Ion beam implantation is the best method. The type of ion source used is one that can vaporize 5iOx (0≦X<2) or ionize it into atomic or molecular form.

たとえば、電子衝撃型イオン源、液体金属イオン源、ビ
ームプラズマ型イオン源、熱陰極アーク放電型イオン源
、マイクロ波イオン源、PIG型イオン源などがある。
Examples include electron impact ion sources, liquid metal ion sources, beam plasma ion sources, hot cathode arc discharge ion sources, microwave ion sources, and PIG ion sources.

このうち、PTG型イオン源の一つであるフリーマン型
イオン源は、帯状のイオンを大電流で得られるため、本
発明の製造方法において特に適するが、他のイオン源形
式においても、SiOx層を製造したいフレキシブルプ
ラスチックフィルムの幅方向に複数のイオン源を設置す
る、あるいはイオン源の引出し口の形状を加工する等の
方法により、本発明の製造方法において用いることが可
能である。S i O++(O≦Xく2)層の作製方法
は、Sing膜表面から打ち込まれたS i Ox (
0≦X < 2 )が、SiO!膜を通って基材組織に
食い込み、S i OX(0≦x〈2)層と基材の混在
層が作れるようにそのエネルギーおよび打ち込み量を制
御できる方法ならばこの限りではない。
Among these, the Freeman type ion source, which is one of the PTG type ion sources, is particularly suitable for the manufacturing method of the present invention because it can obtain band-shaped ions with a large current. It can be used in the manufacturing method of the present invention by installing a plurality of ion sources in the width direction of the flexible plastic film to be manufactured, or by processing the shape of the outlet of the ion source. The method for producing the S i O++ (O≦X2) layer is as follows: S i Ox (
0≦X<2) is SiO! This is not the case if the method can control the energy and amount of implantation so that it penetrates through the film into the base material structure and creates a mixed layer of the S i OX (0≦x<2) layer and the base material.

5iOx(0≦x〈2)層の厚さは、SiO、イオン源
から引き出すS i Ox イオンビームの電流量で任
意に制御することができる。また、SiOx層の作製位
置は、SiOx イオンビームの加速電圧により打ち込
み深さを制御することにより、任意に決めることができ
る。
The thickness of the 5iOx (0≦x<2) layer can be arbitrarily controlled by the amount of current of the SiOx ion beam extracted from the SiO and ion source. Further, the position at which the SiOx layer is formed can be arbitrarily determined by controlling the implantation depth using the accelerating voltage of the SiOx ion beam.

なお、5iOx(0≦X〈2)層の厚さは、所望のガス
バリア性を発現するためには、最低10人程度必要であ
る。また、5iOx(0≦X〈2)層の厚さが厚いと無
色透明性が失われるので50〜100人の範囲で設定す
ることが好ましい。
Note that the thickness of the 5iOx (0≦X<2) layer requires at least about 10 layers in order to achieve the desired gas barrier properties. Moreover, if the thickness of the 5iOx (0≦X<2) layer is too thick, colorless transparency will be lost, so it is preferable to set the thickness in the range of 50 to 100.

〔実施例〕〔Example〕

本発明に係わる包装用フィルムの製造方法の一実施例を
第1図を用いて詳細に説明する。第1図中1は連続式巻
取蒸着装置、3は電子衝撃型イオン源、5は抵抗加熱方
式蒸発源、7は基材、9は、SiOをそれぞれ示す。
An embodiment of the method for producing a packaging film according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. In FIG. 1, 1 is a continuous winding vapor deposition device, 3 is an electron impact ion source, 5 is a resistance heating evaporation source, 7 is a substrate, and 9 is SiO.

第1図は、連続式巻取蒸着装置に、電子衝撃型イオン源
を組み込んだ成膜装置である。蒸発源は、抵抗加熱方式
である。基材として、厚さ12μmのPETフィルム(
ティジン(株)製)を用い、まず、0!ガス反応蒸着法
によりS i Ox膜を1100人成膜した。成膜中の
雰囲気圧は2.5 x 10−’To、rr、 P E
 Tフィルム巻取リスピードは350m/ninであっ
た。蒸発材料は5iO(5〜10mesh  大阪チタ
ニウム (株)製)を用いた。
FIG. 1 shows a film forming apparatus in which an electron impact ion source is incorporated into a continuous winding vapor deposition apparatus. The evaporation source is a resistance heating type. As a base material, a PET film with a thickness of 12 μm (
First, 0! 1,100 people deposited SiOx films using the gas reaction vapor deposition method. The atmospheric pressure during film formation was 2.5 x 10-'To, rr, P E
The T film winding respeed was 350 m/nin. As the evaporation material, 5iO (5 to 10 mesh manufactured by Osaka Titanium Co., Ltd.) was used.

次に連続して、電子衝撃型イオン源を用い、SiOを原
料とし、イオン化電子電流500mAで製造したSin
、イオンビームを、S i Oz膜の表面から、加速電
圧40kVで打ち込むことにより、Sin、層を100
人作製した。Sin。
Next, using an electron impact ion source, SiO was used as the raw material, and the ionization electron current was 500 mA.
By implanting an ion beam into the surface of the SiOz film at an accelerating voltage of 40 kV, the Si layer was
Man-made. Sin.

イオンビーム照射形状は、PETフィルムの幅方向に帯
状に広く均一になるように、同しイオン源を3基並べて
用いた。
Three of the same ion sources were used in parallel so that the ion beam irradiation shape was wide and uniform in a band shape in the width direction of the PET film.

このようにして製造した包装用フィルムの構造を、光電
子分光分析法により測定した0手順としては、膜表面か
ら基材に向かって膜厚方向へのArイオンビームエツチ
ングを行って、深さ方向へのESCAスペクトル(S 
l !P、  CIS+  ops)を測定した。その
結果、Otガス反応蒸着法により作製した部分には5i
−0の結合が存在し、S i O!膜が作製できている
ことがわかった。また、SiOx イオンビームを打ち
込んで作製したSiOx層には、5i−3i結合の存在
を示すスペクトルが現れた。SiOx層のX値は1.7
であった。
The structure of the packaging film produced in this way was measured by photoelectron spectroscopy.The procedure was to perform Ar ion beam etching in the film thickness direction from the film surface toward the base material, and then in the depth direction. ESCA spectrum (S
l! P, CIS+ ops) were measured. As a result, it was found that 5i
-0 bond exists and S i O! It was found that the membrane was successfully produced. Furthermore, a spectrum indicating the presence of 5i-3i bonds appeared in the SiOx layer produced by implanting a SiOx ion beam. The X value of the SiOx layer is 1.7
Met.

さらに、基材であるPETが露出したときの同様な測定
において、PETの存在を示すCISとSiの存在を示
す5jzrスペクトルが同時に現れた。このことにより
、基材と5iOx層の界面において両者の組織が混在し
た状態にあり、さらに5izrスペクトルピ一ク位置か
ら、5i−3i結合が存在することが判った。
Furthermore, in a similar measurement when the base material PET was exposed, CIS indicating the presence of PET and 5jzr spectrum indicating the presence of Si appeared simultaneously. As a result, it was found that at the interface between the base material and the 5iOx layer, both structures were present in a mixed state, and from the position of the 5izr spectrum peak, it was found that a 5i-3i bond was present.

上記のような工程で製造された包装用フィルムの酸素透
過度を、25°C,100%RHの酸素雰囲気中で測定
した。また、光線の透過率を、分光器で測定した。測定
波長域は190μm〜700μmである。測定結果を表
1に示す。
The oxygen permeability of the packaging film produced in the above process was measured in an oxygen atmosphere at 25°C and 100% RH. In addition, the transmittance of light was measured using a spectrometer. The measurement wavelength range is 190 μm to 700 μm. The measurement results are shown in Table 1.

〔実施例2] 実施例1と同様な基材を用い、その上に実施例1と同様
な方法’T: S i O1層(X=1.7)を50人
、SiO□膜を1150人作製した。上記の包装用フィ
ルムの酸素透過率と光線の透過率を実施例と同様な方法
で測定した。測定結果を表1に示す。
[Example 2] Using the same base material as in Example 1, the same method as in Example 1 was applied on it: 50 people deposited the SiO1 layer (X=1.7), and 1150 people deposited the SiO□ film. Created. The oxygen transmittance and light transmittance of the above packaging film were measured in the same manner as in the examples. The measurement results are shown in Table 1.

(比較例1〕 実施例1と同様な基材を用い、実施例1と同様な方法で
、SiO□膜を1200人作製した。
(Comparative Example 1) Using the same base material as in Example 1 and using the same method as in Example 1, 1200 people produced SiO□ films.

上記の包装用フィルムの酸素透過率と光線の透過率を実
施例と同様な方法で測定した。測定結果を表1に示す。
The oxygen transmittance and light transmittance of the above packaging film were measured in the same manner as in the examples. The measurement results are shown in Table 1.

〔比較例2〕 実施例1と同様な基材を用い、実施例1と同様な方法で
、Sin、層を1200人作製した。
[Comparative Example 2] Using the same base material as in Example 1, 1200 Sin layers were produced in the same manner as in Example 1.

上記の包装用フィルムの酸素透過率と光線の透過率を実
施例と同様な方法で測定した。測定結果を表1に示す。
The oxygen transmittance and light transmittance of the above packaging film were measured in the same manner as in the examples. The measurement results are shown in Table 1.

(以下余白) 表1 〔発明の効果〕 本発明の包装用フィルム製造方法において、SiO++
(0≦X〈2)層の作製にイオン源を利用することによ
り、SiOヨ (0≦Xく2)粒子に付与するエネルギ
ーおよび注入量が任意に制御可能となった。それゆえ、
SiO++(0≦X〈2)層をS40g膜と基材の界面
の任意の位置に、任意の厚さで再現性良く作製すること
が可能となった。さらに、イオン源の設置位置および設
置個数を調整することにより、幅の広いフィルム面に均
一に5iOx(0≦X〈2)層を作製することが可能と
なった。また、連続巻取式蒸着装置にイオン源を設置す
るだけでSiOx(0≦x〈2)層とS i Oz膜の
製造を同一真空槽内で連続しておこなうことができるた
め、装置の構造が簡単で大がかりにはならずにすむとい
う利点もある。
(The following is a blank space) Table 1 [Effects of the invention] In the packaging film manufacturing method of the present invention, SiO++
By using an ion source to prepare the (0≦X<2) layer, it became possible to arbitrarily control the energy and implantation amount given to the SiO2 (0≦X<2) particles. therefore,
It became possible to produce a SiO++ (0≦X<2) layer at any position on the interface between the S40g film and the base material and at any thickness with good reproducibility. Furthermore, by adjusting the installation position and number of ion sources, it became possible to uniformly produce a 5iOx (0≦X<2) layer on a wide film surface. In addition, simply by installing an ion source in a continuous winding type vapor deposition apparatus, it is possible to continuously produce a SiOx (0≦x<2) layer and a SiOz film in the same vacuum chamber, making it possible to reduce the structure of the apparatus. Another advantage is that it is simple and does not require much effort.

本発明の包装用フィルム製造方法によって、防湿、保香
、酸化防止等のガスバリア性に優れ、かつ耐熱性および
強度、可撓性の高く、無色透明な包装用フィルムを大量
に、コストを抑えて再現性良く生産することが可能にな
った。
By using the packaging film production method of the present invention, a colorless and transparent packaging film that has excellent gas barrier properties such as moisture resistance, fragrance retention, and antioxidant properties, and has high heat resistance, strength, and flexibility can be produced in large quantities at a low cost. It has become possible to produce with good reproducibility.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係わる包装用フィルムの製造方法の一
実施例を示す説明図である。 l・・・連続式巻取蒸着装置 3・・・電子衝撃型イオン源 5・・・抵抗加熱方式蒸発源 7・・・基材 9・・・SiO 特  許  出  願  人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫 第 図
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of the method for producing a packaging film according to the present invention. l...Continuous winding vapor deposition device 3...Electron impact ion source 5...Resistance heating type evaporation source 7...Substrate 9...SiO Patent application Representative of Toppan Printing Co., Ltd. Kazuo Suzuki Diagram

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)フレキシブルプラスチックフィルムからなる基材
の少なくとも片面に、SiO_x層(0≦X<2)、S
iO_2膜が順次積層されてなる包装用フィルムの製造
方法であって、 フレキシブルプラスチックフィルムにSiO_2膜を成
膜後、イオン源を用いてSiO_xをイオンビーム化し
、SiO_2膜表面からSiO_2膜とフレキシブルプ
ラスチックフィルムの界面に打ち込むことを特徴とした
包装用フィルムの製造方法。
(1) On at least one side of the base material made of a flexible plastic film, a SiO_x layer (0≦X<2), an S
A method for manufacturing a packaging film in which iO_2 films are sequentially laminated, the method comprising: after forming a SiO_2 film on a flexible plastic film, converting the SiO_x into an ion beam using an ion source to separate the SiO_2 film and the flexible plastic film from the surface of the SiO_2 film. A method for producing a packaging film characterized by applying the film to the interface of the packaging film.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014172286A (en) * 2013-03-08 2014-09-22 Toppan Printing Co Ltd Gas barrier film

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JP2014172286A (en) * 2013-03-08 2014-09-22 Toppan Printing Co Ltd Gas barrier film

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