JPH03153859A - Surface-modified plastic - Google Patents

Surface-modified plastic

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Publication number
JPH03153859A
JPH03153859A JP29062789A JP29062789A JPH03153859A JP H03153859 A JPH03153859 A JP H03153859A JP 29062789 A JP29062789 A JP 29062789A JP 29062789 A JP29062789 A JP 29062789A JP H03153859 A JPH03153859 A JP H03153859A
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JP
Japan
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layer
metal oxide
sputtering
film
plastic
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Pending
Application number
JP29062789A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Fukumoto
福本 義行
Motokazu Yuasa
基和 湯浅
Takeshi Uehara
剛 上原
Kazuhiro Noguchi
和裕 野口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP29062789A priority Critical patent/JPH03153859A/en
Publication of JPH03153859A publication Critical patent/JPH03153859A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To produce plastic having superior scratch resistance and high water repellency by forming a metal oxide layer on a plastic substrate and laminating a metal oxide-fluororesin mixed layer on the metal oxide layer. CONSTITUTION:A layer contg. one or more kinds of metal oxides such as SiO2, Al2O3 and ZrO2 is formed by vacuum deposition or other method on a plastic substrate of polycarbonate, polyethylene terephthalate, etc. A metal oxide- fluororesin mixed layer is then laminated by sputtering on the metal oxide layer. The fluororesin may be polytetrafluoroethylene. A coating film having superior scratch resistance, high water repellency and superior adhesion is formed on the surface of the plastic.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、耐擦傷性が優れ撥水性の高いプラスチックに
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to plastics with excellent scratch resistance and high water repellency.

(従来の技術) プラスチックの表面を改質する技術としては。(Conventional technology) As a technology for modifying the surface of plastic.

ゴム成形品上に高周波スパッタリング法を用いてフッ素
樹脂被膜を形成した後、金属又は無機物とフッ素樹脂と
の混合物被膜を形成することにより。
By forming a fluororesin coating on a rubber molded product using a high-frequency sputtering method, and then forming a mixture coating of metal or inorganic material and fluororesin.

耐久性の向上及び表面の摩擦抵抗を軽減化する技術が知
られている(特開昭60−67655号)。
A technique for improving durability and reducing surface frictional resistance is known (Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-67655).

また、基板上にイオンビームスパッタリング法を用いて
ポリテトラフルオロエチレンのスパッタ膜又は硫化モリ
ブデンのスパッタ膜を形成した後。
Further, after forming a sputtered film of polytetrafluoroethylene or a sputtered film of molybdenum sulfide on the substrate using an ion beam sputtering method.

ポリテトラフルオロエチレンのスパッタ膜を積層するこ
とにより耐久性に優れた固体潤滑膜を得る技術が知られ
ている(特開昭 62−41291号)。
A technique for obtaining a solid lubricant film with excellent durability by laminating sputtered films of polytetrafluoroethylene is known (Japanese Patent Application Laid-open No. 41291/1983).

(発明が解決しようとする課題) 前記高周波スパッタリング法を用いてプラスチックの表
面を改質する場合は、第1層目のフッ素樹脂と基板との
密着性に問題がある上1表面の耐擦傷性にも問題がある
(Problems to be Solved by the Invention) When modifying the surface of plastic using the above-mentioned high-frequency sputtering method, there are problems with the adhesion between the first layer of fluororesin and the substrate, and the scratch resistance of the first surface. There is also a problem.

また、前記イオンビームスパッタリング法を用いてプラ
スチックの表面を改質する場合も、膜の密着性及び耐擦
傷性に問題がある。
Furthermore, when the surface of plastic is modified using the ion beam sputtering method, there are also problems with the adhesion and scratch resistance of the film.

本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたも
のであり、その目的は、優れた耐擦傷性及び高い撥水性
を有すると共に優れた密着性を有する被膜を表面に形成
してなる表面改質プラスチックを提供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to provide a surface formed with a coating having excellent scratch resistance, high water repellency, and excellent adhesion. Our goal is to provide modified plastics.

(課題を解決するための手段) 本発明の表面改質プラスチックは、プラスチック基板上
に金属酸化物層が形成され、該金属酸化物層上に金属酸
化物及びフッ素系樹脂の混合層が積層されている点に特
徴を有しており、そのことにより上記目的が達成される
(Means for Solving the Problems) The surface-modified plastic of the present invention has a metal oxide layer formed on a plastic substrate, and a mixed layer of metal oxide and fluororesin laminated on the metal oxide layer. It is characterized by the fact that the above object is achieved.

なお、前記金属酸化物層としては、たとえばSin。Note that the metal oxide layer is made of, for example, Sin.

5iOz、 AhO+、 1r02. Mg[] 、 
Zn[] 、 TiO2等の金属酸化物を一種又は複数
種を含む層があげられる。
5iOz, AhO+, 1r02. Mg[],
Examples include a layer containing one or more metal oxides such as Zn[] and TiO2.

また、基板に用いられるプラスチック基材の種類として
は、たとえばポリカーボネート、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリメチルメタクリレート、塩化ビニル樹脂、
ポリスチレン、ポリイミド。
In addition, the types of plastic base materials used for the substrate include, for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, polymethyl methacrylate, vinyl chloride resin,
polystyrene, polyimide.

ポリプロピレン、ジエチレングリコール了りルカーポネ
ート、ポリエチレン、 ABS樹脂、ポリエーテルスル
フアン、ポリエーテルエーテルケトン等があげられる。
Examples include polypropylene, diethylene glycol carbonate, polyethylene, ABS resin, polyether sulfane, and polyether ether ketone.

またその形態は、成形品であってもフィルムであっても
よい。
Moreover, the form may be a molded article or a film.

また、金属酸化物層の形成手段としてはスパッタリング
法、イオンブレーティング法、真空蒸着法等の物理蒸着
法、又はプラズマCVD法等の種々の方法が用いられる
In addition, various methods such as sputtering, ion blasting, physical vapor deposition such as vacuum evaporation, or plasma CVD may be used to form the metal oxide layer.

なお、前記金属酸化物層上の混合層の上に更にフッ素系
樹脂層が接層されていることが一層好ましい。
In addition, it is more preferable that a fluororesin layer is further layered on the mixed layer on the metal oxide layer.

(実施例) 以下1本発明の実施例について説明する。(Example) An embodiment of the present invention will be described below.

第1図は9本発明の表面改質プラスチックの作成に使用
する被膜のうちの第1層目の形成に使用する真空蒸着装
置を示している。図中、 13は真空槽を示し、該真空
槽13は、ロータリーポンプと油拡散ポンプとの組合せ
よりなる排気装置16にて適宜真空度(具体的にはI 
X 10−’Torr以下)に排気され、排気後にはバ
ルブ11.12の開閉操作によって酸素ガスが導入され
るようになっている。
FIG. 1 shows a vacuum evaporation apparatus used to form the first layer of the coating used to create the surface-modified plastic of the present invention. In the figure, 13 indicates a vacuum chamber, and the vacuum chamber 13 is adjusted to an appropriate degree of vacuum (specifically, I
X 10-' Torr or less), and after exhausting, oxygen gas is introduced by opening and closing valves 11 and 12.

前記真空槽13内の下部には2個の水冷銅ハース14、
15が配置されており、その一方のハース14にはS1
0×膜形成用の蒸発源Aが充填され、他方のハース15
にはSiOx膜形成用の蒸発源Bが充填されるようにな
っている。該ハース14.15には電子銃14a。
Two water-cooled copper hearths 14 are installed at the bottom of the vacuum chamber 13,
15 is arranged, and one hearth 14 has S1
The other hearth 15 is filled with evaporation source A for 0x film formation.
is filled with an evaporation source B for forming a SiOx film. The hearth 14.15 has an electron gun 14a.

15a(日本電子社製JST−10c)が夫々付設され
ており、該電子銃14a、15aにて発生される電子は
15a (JST-10c manufactured by JEOL Ltd.) are attached to each of the electron guns 14a and 15a, and the electrons generated by the electron guns 14a and 15a are as follows.

高電圧の下で加速されると共に細く集束されて高エネル
ギー密度の電子ビームとされ、前記ハース14、15内
の蒸発源A、 Bの表面に照射されるようになっている
The electron beam is accelerated under a high voltage and focused into a fine beam to form a high energy density electron beam, which is irradiated onto the surfaces of the evaporation sources A and B in the hearths 14 and 15.

前記真空槽13内の上部には、前記ハース14.15に
対向する位置に、50x50x2 mmのポリカーボネ
ート基板(以下、単に基板という)Cを取り付けるため
の取付治具19が配置されている。該取付治具19によ
って前記基板Cは前記蒸発源A、 Bの表面から40c
mの距離に位置することとなる。なお。
At the upper part of the vacuum chamber 13, a mounting jig 19 for mounting a polycarbonate substrate (hereinafter simply referred to as the substrate) C of 50 x 50 x 2 mm is arranged at a position facing the hearth 14.15. The mounting jig 19 allows the substrate C to be placed at a distance of 40 cm from the surfaces of the evaporation sources A and B.
It will be located at a distance of m. In addition.

該取付治具19と前記ハース14.15との間にはシャ
ッタ18を介在させである。
A shutter 18 is interposed between the mounting jig 19 and the hearth 14.15.

前記ハース14.15の蒸発源A、Bは前記電子ビーム
の照射によって蒸発し、その蒸発に基づき。
The evaporation sources A and B of the hearths 14 and 15 are evaporated by irradiation with the electron beam, and based on the evaporation.

前記取付治具19にて支持される基板Cの表面に薄膜が
形成されるようになる。その薄膜形成の程度は、前記取
付治具19の近傍に配置された水晶発振式膜厚モニタ1
0によってモニタリングされるようになっている。
A thin film is formed on the surface of the substrate C supported by the mounting jig 19. The degree of thin film formation can be determined using a crystal oscillation type film thickness monitor 1 placed near the mounting jig 19.
It is monitored by 0.

第2図は本発明の表面改質プラスチックの作成。Figure 2 shows the preparation of the surface-modified plastic of the present invention.

特にその被膜のうちの第2層目以降の形成に使用するス
パッタリング装置を示している。図中、23はスパッタ
室を示し、該スパッタリング室23は。
In particular, a sputtering device used for forming the second and subsequent layers of the coating is shown. In the figure, 23 indicates a sputtering chamber;

ロータリーポンプと油拡散ポンプとの組合せよりなる排
気装置21にて適宜真空度(具体的には2X10−6T
orr以下)に排気され、排気後にはバルブ22の開閉
操作によってスパッタガスとしてのアルゴンガスが導入
されるようになっている。
The exhaust system 21, which is a combination of a rotary pump and an oil diffusion pump, is used to suitably
orr or less), and after exhausting, argon gas as sputtering gas is introduced by opening and closing a valve 22.

前記スパッタ室23内の上部には、前記真空蒸着による
膜形成が行われた基板Cを吊下げ状態に支持する陽極2
4が配置されている。
At the upper part of the sputtering chamber 23, there is an anode 2 that supports the substrate C on which the film has been formed by vacuum evaporation in a suspended state.
4 is placed.

前記スパッタ室23の下部には、前記陽極24に対向す
る位置に、シールド部材26にてシールドされつつマツ
チング回路27に接続された陰極としてのターゲット2
8が配置されている。なお、該ターゲット28と前記陽
極24との間にはシャッタ25を介在させである。
In the lower part of the sputtering chamber 23, a target 2 serving as a cathode is connected to a matching circuit 27 while being shielded by a shield member 26 at a position facing the anode 24.
8 is placed. Note that a shutter 25 is interposed between the target 28 and the anode 24.

前記スパッタ室23内を排気した上でその室内へスパッ
タガスを導入しつつ、前記ターゲット28に高周波を印
加し、その両極間で放電を行わせると。
After the inside of the sputtering chamber 23 is evacuated and a sputtering gas is introduced into the chamber, a high frequency wave is applied to the target 28 to generate a discharge between the two poles.

前記ターゲット28の表面から飛び出した原子は。The atoms ejected from the surface of the target 28 are as follows.

前記スパッタガスの導入された室内の雰囲気の活性イオ
ンと反応しつつ、対向の前記陽極24側の基板Cに付着
し、その表面に薄膜が形成されることとなる。
While reacting with active ions in the atmosphere in the room into which the sputtering gas has been introduced, the sputtering gas adheres to the substrate C on the opposing anode 24 side, and a thin film is formed on the surface thereof.

第3図(側面図)及び第4図(平面図)は、前記ターゲ
ット28の具体例を示すものである。該ターゲット28
は1石英ガラス(Sin−)よりなる円板28aの上に
フッ素樹脂(具体的には厚さ2IIlfflのポリテト
ラフルオロエチレン)よりなる扇状片28bを放射状と
なし且つ被覆率を0.1となして設けたものである。
FIG. 3 (side view) and FIG. 4 (plan view) show specific examples of the target 28. The target 28
In this example, fan-shaped pieces 28b made of fluororesin (specifically, polytetrafluoroethylene with a thickness of 2IIffl) are arranged radially on a disk 28a made of quartz glass (Sin-), and the coverage is set to 0.1. It was established as follows.

前記真空蒸着装置及び前記スパッタリング装置を用いて
本発明の表面改質プラスチックを作成した具体的結果に
ついて以下に詳述する。
Specific results of producing the surface-modified plastic of the present invention using the vacuum evaporation device and the sputtering device will be described in detail below.

〈実施例1〉 先ず、第1図に示す真空蒸着装置を用いて真空槽13内
を1 x 10−’Torr以下に排気した後、マスフ
ローメータを用いて酸素ガスを導入しつつ、前記電子ビ
ームにてハースl内のSiOを加熱し9表1に示す条件
にて前記基板Cの表面に約500人の厚さとなるように
膜形成を行った。この後、酸素ガスの導入を止め、真空
を破ることなく引き続きハース2内のSlO□を加熱し
1表1に示す条件で3μmの厚みになるように膜形成を
行った。このようにして得られたシリコン酸化物被覆の
基板Cを前記真空蒸着装置から取り出し、第2図に示す
スパッタリング装置のスパッタ室23内の陽極24に吊
下げ状態に取り付ける一方、第3図及び第4図に示すタ
ーゲット28を前記陽極24に対向配置した。この後、
スパッタ室23内を2 x 10−’Torr以下に排
気した後、スパッタガスとしてArガスをマスフローメ
ータを用いてスパッタ室23内に導入し、その室内圧力
が3 X 1O−3Torrになるようにガス流量を調
節し、陰極としてのターゲット28に高周波を印加し。
<Example 1> First, the inside of the vacuum chamber 13 was evacuated to 1 x 10-' Torr or less using the vacuum evaporation apparatus shown in FIG. 1, and then the electron beam was The SiO in the hearth I was heated to form a film on the surface of the substrate C to a thickness of approximately 500 mm under the conditions shown in Table 1. Thereafter, the introduction of oxygen gas was stopped, and the SlO□ in the hearth 2 was heated without breaking the vacuum, and a film was formed to a thickness of 3 μm under the conditions shown in Table 1. The silicon oxide-coated substrate C thus obtained was taken out of the vacuum evaporation apparatus and attached in a suspended state to the anode 24 in the sputtering chamber 23 of the sputtering apparatus shown in FIG. A target 28 shown in FIG. 4 was arranged opposite to the anode 24. After this,
After evacuating the inside of the sputtering chamber 23 to 2 x 10-'Torr or less, Ar gas is introduced into the sputtering chamber 23 as a sputtering gas using a mass flow meter, and the gas is evacuated so that the internal pressure becomes 3 x 10-3Torr. The flow rate is adjusted and high frequency is applied to the target 28 as a cathode.

出力50Wで約lO分間、スパッタリングを行ない。Sputtering was performed at an output of 50 W for about 10 minutes.

500人の厚さの膜を前記シリンコン酸化物被覆済みの
基板Cの更なる表面に形成した。得られた被覆体表面の
緒特性は1次に示す各テストにて評価した。
A 500 nm thick film was formed on a further surface of the silicon oxide coated substrate C. The properties of the surface of the obtained coating were evaluated by the following tests.

■スチールウールテスト 5oooのスチールウールを試料表面にある圧力で押し
当てた状態で、試料を20回転させる。その後の膜の表
面状態を目視で観察し、膜表面に傷が付かないときの最
大圧力をもって耐擦傷性の指標とした。
■Steel wool test: Rotate the sample 20 times while pressing 5 ooo of steel wool against the sample surface with a certain pressure. The surface condition of the film thereafter was visually observed, and the maximum pressure at which the film surface was not scratched was taken as an index of scratch resistance.

■濡れ性テスト 水に対する接触角で評価した。■Wettability test Evaluation was made by the contact angle with respect to water.

■膜の密着性テスト 基盤目テス) JIS K5400に従って評価した。■Membrane adhesion test Evaluation was made according to JIS K5400.

〈実施例2〉 用いた基板及びSin 、 SiO□の蒸着は実施例1
と同様にして行った。第2層目のポリテトラフルオロエ
チレンによる5in2ターゲツトの被覆率を0.3にし
た以外は実施例1と同様にして行った。
<Example 2> The substrate used and the vapor deposition of Sin and SiO□ were the same as in Example 1.
I did it in the same way. The same procedure as in Example 1 was carried out except that the coverage of the 5in2 target with the second layer of polytetrafluoroethylene was set to 0.3.

〈実施例3〉 実施例2と同様にして得られた試料上に第3層目として
同じく第2図に示すスパッタリング装置により100%
ポリテトラフルオロエチレンからなるターゲット及びス
パッタガスとしてのArを用いて圧力3 X 1O−3
TorrでRF出力50Wで1分間のスパッタリングを
行った。
<Example 3> A third layer was formed on the sample obtained in the same manner as in Example 2 using the sputtering apparatus shown in FIG.
Using a target made of polytetrafluoroethylene and Ar as a sputtering gas at a pressure of 3 x 1O-3
Sputtering was performed at Torr with an RF output of 50 W for 1 minute.

〈実施例4〜8〉 これらの実施例は表1に示した金属酸化物を用い1表1
に示した条件で各層の形成を行った。成膜条件及び試料
の耐擦傷性1表面濡れ性の結果を表1に示す。
<Examples 4 to 8> These examples used the metal oxides shown in Table 1.
Each layer was formed under the conditions shown in . Table 1 shows the film formation conditions and the scratch resistance 1 and surface wettability results of the samples.

く比較例1〉 被覆処理をしないポリカーボネート基板の耐擦傷性1表
面濡れ性の結果を表1に示す。
Comparative Example 1 Table 1 shows the results of scratch resistance 1 and surface wettability of a polycarbonate substrate without coating treatment.

く比較例2〉 用いた基板及びSi口、 5I02の蒸着は実施例1と
同様にして行ない、第2層目以降の膜形成は行わなかっ
た。その他の成膜条件及び得られた試料の特性を表1に
示す。
Comparative Example 2> Substrate and Si port used: Vapor deposition of 5I02 was carried out in the same manner as in Example 1, and the formation of the second and subsequent layers was not performed. Other film forming conditions and characteristics of the obtained samples are shown in Table 1.

く比較例3〉 ポリカーボネート基板に直接ポリテトラフルオロエチレ
ンの膜をスパッタリングにて形成した。
Comparative Example 3 A polytetrafluoroethylene film was directly formed on a polycarbonate substrate by sputtering.

その他の成膜条件及び得られた試料の特性を表1に示す
Other film forming conditions and characteristics of the obtained samples are shown in Table 1.

く比較例4〉 実施例1と同じ条件で形成されたシリンコン酸化物層上
にポリテトラフルオロエチレンをターゲットに用いた実
施例3と同様に約500人の厚さになるように膜形成を
行った。その他の成膜条件及び得られた試料の特性を表
1に示す。
Comparative Example 4 On the silicon oxide layer formed under the same conditions as in Example 1, a film was formed to a thickness of approximately 500 mm in the same manner as in Example 3 using polytetrafluoroethylene as a target. Ta. Other film forming conditions and characteristics of the obtained samples are shown in Table 1.

(以下余白) これらの結果から明らかなように1本発明の表面改質プ
ラスチックにおいては、第1層目に金属酸化物層を設け
ることにより核層とプラスチック基板との密着性が第1
層目に混合物層を設ける従来の場合に比べて向上するよ
うになる。しかも核層と混合物層との密着性にも優れる
ようになる。
(Left below) As is clear from these results, in the surface-modified plastic of the present invention, the adhesion between the core layer and the plastic substrate is improved by providing the metal oxide layer as the first layer.
This is an improvement over the conventional case in which a mixture layer is provided between layers. Moreover, the adhesion between the core layer and the mixture layer becomes excellent.

また第1層目の金属酸化物層の膜厚を厚くすることによ
り表面被覆されたプラスチックの耐擦傷性が向上する。
Furthermore, by increasing the thickness of the first metal oxide layer, the scratch resistance of the surface-coated plastic is improved.

なお膜厚は用途によって適宜決めればよい。Note that the film thickness may be determined as appropriate depending on the application.

また、第2層目の金属酸化物層とフッ素樹脂の混合物か
らなる層は1表面の撥水性を発現させるものであり、ス
パッタリング法を形成する際のターゲット組成を変える
ことによって撥水性を広範囲に制御することが可能であ
る。即ちターゲットの金属酸化物成分を多くすると、膜
の耐擦傷性は向上する反面、撥水性は低下するため、目
的に応じて適宜に前記ターゲット組成を定めればよい。
In addition, the second layer, which is a mixture of a metal oxide layer and a fluororesin, exhibits water repellency on one surface, and by changing the target composition during sputtering, water repellency can be achieved over a wide range. It is possible to control. That is, when the metal oxide component of the target is increased, the scratch resistance of the film improves, but the water repellency decreases, so the target composition may be determined as appropriate depending on the purpose.

更に優れた撥水性が要求される場合は第3層目にフッ素
樹脂だけからなるターゲットを用いて膜形成するとよい
(実施例3)。第3層目の膜の密着性は、混合物層上に
形成されるため、直接金属酸化物上に膜形成する場合に
比べて飛躍的に向上する。
If even better water repellency is required, a third layer may be formed using a target made only of fluororesin (Example 3). Since the third layer is formed on the mixture layer, the adhesion of the third layer is dramatically improved compared to when the third layer is formed directly on the metal oxide.

なお、前記真空蒸着による成膜速度は、300〜400
人/分程度であるが、成膜速度は基板が熱損傷を受けな
い範囲であれば高速度が好ましい。蒸着膜厚は目的に応
じて適宜決めればよく、厚いほど耐擦傷性に優れる。基
板がポリカーボネート樹脂よりなる場合は2μm以上で
あれば、極めて優れた耐擦傷性に発現する。また前記ス
パッタリング装置に用いるターゲットの被覆率は例えば
表1に示す如<0.1〜0.7と種々変化させ得るが、
該被覆率は、目的に応じて適宜決めればよく1表面潤滑
性及び撥水性はこの面積比に比例して高くなる。また、
前述のように1表面被覆された基板の撥水性により、防
汚硬化が得られると共に表面の8102による帯電防止
効果も得られるようになる。
In addition, the film formation rate by the vacuum evaporation is 300 to 400
Although the film forming rate is approximately 1 person/min, a high film forming rate is preferable as long as the substrate is not damaged by heat. The thickness of the deposited film may be appropriately determined depending on the purpose; the thicker the film, the better the scratch resistance. When the substrate is made of polycarbonate resin, extremely excellent scratch resistance can be achieved if the thickness is 2 μm or more. Further, the coverage of the target used in the sputtering apparatus can be varied, for example, from <0.1 to 0.7 as shown in Table 1.
The coverage ratio may be appropriately determined depending on the purpose; surface lubricity and water repellency increase in proportion to this area ratio. Also,
Due to the water repellency of the substrate coated on one surface as described above, antifouling hardening can be obtained, as well as an antistatic effect due to 8102 on the surface.

(発明の効果) 以上詳述したように9本発明の表面改質プラスチックに
あっては、プラスチック基板上に形成された金属酸化物
層並びにその上に積層された金属酸化物及びフッ素樹脂
の混合物よりなる表面被覆層の存在により、プラスチッ
ク表面に優れた耐擦傷性及び高い撥水性を有すると共に
密着性に優れた被膜が形成されるようになる。従って1
本発明によって従来の問題を解決し得る表面改質プラス
チックが得られることとなる。また前記表面被覆層上に
フッ素系樹脂層を更に積層しであるものは。
(Effects of the Invention) As detailed above, the surface-modified plastic of the present invention includes a metal oxide layer formed on a plastic substrate and a mixture of metal oxide and fluororesin laminated thereon. Due to the presence of the surface coating layer, a film having excellent scratch resistance and water repellency as well as excellent adhesion is formed on the plastic surface. Therefore 1
The present invention provides a surface-modified plastic that can solve the conventional problems. In addition, a fluororesin layer is further laminated on the surface coating layer.

前記撥水性が更に改善され、−層有力な表面改質プラス
チックが得られることとなる。
The above-mentioned water repellency is further improved, and a surface-modified plastic with good layer strength can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の表面改質プラス、チックにおける第1
層目の形成の際に使用する真空蒸着装置を示す概略構成
図、第2図は本発明の表面改質プラスチックにおける第
2層目以降の形成の際に使用するスパッタリング装置を
示す概略構成図、第3図は該スパッタリング装置内にて
用いるターゲットを示す側面図、第4図はその平面図で
ある。 13−・・真空槽、 14.15−・・水冷銅ハース、
 14a、 15a・・・電子鉄、23・・・スパッタ
室、24・・・陽極、28・・・ターゲラ)、  A、
  B・・・蒸発源、C・・・基板。 以上
Figure 1 shows the surface-modified plastic of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram showing a vacuum evaporation device used in forming a layer, and FIG. FIG. 3 is a side view showing a target used in the sputtering apparatus, and FIG. 4 is a plan view thereof. 13--Vacuum chamber, 14.15--Water-cooled copper hearth,
14a, 15a...Electronic iron, 23...Sputtering chamber, 24...Anode, 28...Tagera), A,
B... Evaporation source, C... Substrate. that's all

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.プラスチック基板上に金属酸化物層が形成され,該
金属酸化物層上に金属酸化物及びフッ素系樹脂の混合層
が積層されていることを特徴とする表面改質プラスチッ
ク。
1. A surface-modified plastic characterized in that a metal oxide layer is formed on a plastic substrate, and a mixed layer of metal oxide and fluororesin is laminated on the metal oxide layer.
2.前記混合層上にフッ素系樹脂層が積層されている請
求項1に記載の表面改質プラスチック。
2. The surface-modified plastic according to claim 1, wherein a fluororesin layer is laminated on the mixed layer.
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