JPH04127891A - モータ・ドライブ・システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はリニアパルスモータを駆動するモータ・ドライ
ブ・システムに関するものである。

〈従来の技術〉 ＦＡ（ファクトリ−オートメーション〉の分野では、産
業用ロボットや加工機械等の駆動源としてパルスモータ
が多く使われている。

例えば、半導体部品を搬送する装置では、搬送動作か直
進運動であるため、リニアパルスモータを用いると駆動
機構が簡単になって好都合である。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、リニアパルスモータにパルスを与えて位置決め
するオープンルーズの制御では、半導体部品の搬送装置
にとっては十分な位置精度が得られない、また、このよ
うな位置決めでは、モータに脱調が発生することがある
。

また、ＦＡ用の機械では、ユーザの様々な要求に応える
ために、モータの駆動回路や電源等の構成要素は簡単に
仕様を変えられることが望ましい。

システムに指令を与える上位コントローラとしては、デ
ジタル信号で指令値を与えるもの、アナログ信号で指令
値を与えるもの等様々なものがある。このため、モータ
・ドライブ・システムとしては、これら各種の上位コン
トローラと接続できることが望ましい。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、従来のモータ・ドライブ・システムでは、仕様
を変更したい場合は、システム全体までも交換しなけれ
ばならなくなる。モータ・ドライブ・システムはもとも
と高価なものであるため、システム全体の交換を要する
ことは、様々な用途にシステムを適用したい場合にコス
ト面で非常に不利になる。

このようにモータ・ドライブ・システムには多くの要求
点があるが、これらを同時に満たすシステムは未だ実現
されていない。

本発明は上述した要求を同時に満たすためになされたも
のであり、リニアパルスモータを高精度で位置決めでき
、モータの動作が安定していて、上位コントローラ、セ
ンサおよびパワー系の使用可能な種類が多く、ユーザの
様々な要求に柔軟に対応できるモータ・ドライブ・シス
テムを実現することを目的とする。

〈課題を解決するための手段〉 本発明は、 リニアパルスモータを駆動するモータ・ドライブ・シス
テムにおいて、 複数種類のインタフェイスが設けられていて、このイン
タフェイスを経由して上位コントローラから指令信号か
与えられる外部インタフェイス部と、 前記リニアパルスモータの移動子の移動を検出するセン
サと、 このセンサの検出信号が与えられるインタフェイスが設
けられたセンサインタフェイス部と、前記外部インタフ
ェイス部から与えられた指令信号と前記センサインタフ
ェイス部から与えられた検出信号をもとにリニアパルス
モータをフィードバック制御するための制御信号を発生
する主制御部と、 この制御信号に従って電流増幅を行い、増幅電流をモー
タのコイルに供給する電力制御部、を有し、前記外部イ
ンタフェイス部、センサインタフェイス部、主制御部お
よび電力制御部は切り分けられてカードで構成されたモ
ジュール構造になっていることを特徴とするモータ・ド
ライブ・システムである。

く作用〉 このような構成により、本発明にかかるモータ・ドライ
ブ・システムは前述した要求を同時に満たす。

〈実施例〉 以下、図面を用いて本発明を説明する。

第１図は本発明にかかるモータ・ドライブ・システムの
一実施例の概略構成図である。

図で、１はリニアパルスモータ、２はモータ１の移動子
の移動を検出するセンサである。

３はフィードバック制御の指令信号を与える上位コント
ローラ、４は上位コントローラ３からの指令信号とセン
サ２からフィードバックされた信号をもとにモータ１を
フィードバック制御するドライバボックス、６はモータ
１を制動するダイナミックブレーキである。

ここで、各ブロックの具体的構成を説明する。

センサ２は位相変調型のセンサであって、磁気レゾルバ
が用いられる。

上位コントローラ３において、３１は Ｒ３２３２Ｃの通信回線によりモータの起動と停止の指
令を送出するパソコン、３２はアナログ信号の指令信号
を発生するとともにモータ１の移動子の移動速度をフィ
ードバック制御するサーボコントローラ、３３はシリア
ルパルスの指令信号を発生する位置決めコントローラ、
３４は８とットバスに指令信号を送出するロボットコン
トローラである。このように上位コントローラには様々
な方式のものが設けられている。

ドライバボックス４において、４１，４２゜４３．４４
は１軸インタフエイス（以下、インタフェイスをＩ／Ｆ
とする）、速度・トルクＩ／Ｆ、シリアルパルスＩ／Ｆ
、８ビツトマイコンパス１／Ｆであり、これらはそれぞ
れパソコン３１、サーボコントローラ３２、位置決めコ
ントローラ３３、ロボットコントローラ３４をドライバ
ボックス４に接続するものである。

４６はセンサ２をドライバボックス４に接続するレゾル
バＩ／Ｆである。Ｉ／Ｆ４６は磁気レゾルバ４６の検出
信号を信号処理した信号を出力する。

４７は主制御部であり、Ｉ／Ｆ４１〜４４からの指令信
号と、Ｉ／Ｆ４６からの検出信号をもとにモ〜りｌの移
動子の位置、移動速度及び発生トルクをフィードバック
制御し、パルス幅変調（ＰＷＭ）信号で制御信号を出力
する。また、主制御部４７はモータを転流制御する機能
も有する。

４８は電力制御部であり、主制御部４７からのＰＷＭ信
号に従って電力増幅するインバータ型のモータ駆動回路
である。電力制御部４８は高速タイプのもの４８．と低
速タイプのもの４８２か設けられている。

４９は供給された交流電圧を直流電圧にして出力する主
電源であり、供給電圧と出力電圧に応じて３種類のもの
４９１〜４９３が設けられている。

使用する主電源４９１〜４９コに応じてモータ駆動回路
４８１と４８２が使い分けられる。

５０は主電源４９の出力から主制御部４７の駆動電圧を
発生する制ｍ電源である。

Ｉ／Ｆ４１〜４４からなる外部Ｉ／Ｆ部４００と、セン
サＩ／Ｆ部としてのレゾルバＩ／Ｆ４６と、主副ｍ部４
７と、電力制御部４８により最小限システムが構成され
る。そして、この最小限システムはモジュール構造にな
っている。

第２図は本発明にがかるモータ・ドライブ・システムの
一実施例の具体的構成図である。第２図で第１図と同一
のものは同一符号を付ける。以下、図において同様とす
る。

第２図では全体構成を（ａ）〜（ｃ）の３つの図に分け
て示している。各図の間では、信号線Ｔ、〜Ｔ１３の中
で同一符号のものどうしがつながる。

第２図で、外部Ｉ／Ｆ部４００には複数種類、例えば３
種類のＩ／Ｆが設けられている。センサＩ／Ｆ部４６は
、磁気レゾルバが接続される磁気レゾルバ用ＩＤカード
４０２と、このカードで取り出した信号のパルス数をカ
ウントする計数回路４０４からなる。

主制御部４７は、モータの移動子の位置と移動速度をフ
ィードバック制御する位置制御部４７０と速度制御部４
９０からなる。

７はスイッチまたは上位コントローラにより各種の設定
を行う設定部である。

第２図のシステムの各構成要素の具体的構成を項目に分
けて説明する６ （１）モータ 第３図はリニアパルスモータ１の具体的構成図を示した
図である。この図では３相モータの例を示している。

第３図の（Ａ）はモータ部の正面図、（Ｂ）は側面図で
ある。

リニアパルスモ〜り１において、１１は固定子、１２は
移動子である。リニアパルスモータ１は、移動子１２に
駆動対象が直接取付けられるダイレクト・ドライブ型の
リニアパルスモータである。

固定子１１は、磁性体材料で構成されていて、長さ方向
に一定ピッチで歯１１１が形成されている。

移動子１２で、１２１は磁性体材料で構成された移動子
板である。移動子板１２１には突極１２２．１２３．１
２４が設けられ、これらの突極の先端には歯１１１と同
一ピッチの歯１２５か形成されている。突極１２２の先
端に形成された歯の位相に対して、突極１２３および１
２４の先端に形成された歯はそれぞれ位相かｐ７／３お
よび２ｐ／３だけすれている。ここで、Ｐは歯１２５の
ピッチである。１２６，１２７，１２８はそれぞれ突極
１２３．１２４，１２５に巻かれた３相コイルである。

これら３つのコイルは第４図に示すようにＹ型に結線さ
れていて、位相が１２０゜ずつ異なる交流信号で励磁さ
れる。

１２９は移動子板１２１と同一構成の移動子板である。

この移動子板１２９は移動子１２１に対して歯の位相を
ｐ　／　２ずらして配置されている。

なお、コイル１２６，１２７．１２８は移動子板１２１
と１２９の突極にまたがって巻かれている。

１３０は移動子板１２１と１２９を連結していて、これ
らの移動子板にバイアス磁束を与える永久磁石である。

永久磁石１３０は移動子板】−２１から１２９へ至る方
向に着磁されている。

このようなモータでは、永久磁石１３０によって固定子
と移動子の突極部にバイアス磁束か与えられる。このバ
イアス磁束は、コイル１２６〜１２８の磁束により、移
動子板１２１．１２９の一方で強められ、他方で弱めら
れ、強められる側と弱められる側が交互に代わることに
よってモタの移動子が移動する。

なお、リニアパルスモータは第５図に示すような２相モ
ータであってもよい。

（２）センサ 第６図はセンサとして用いる磁気レゾルバの構成例を示
した図である。

図において、２１〜２４は移動部材である。

移動部材２１において、２１１，２１２は突極であり、
先端にピッチｐで歯２１３が形成されている。２１４お
よび２１５は突［１２１１および２１２にそれぞれ巻か
れたコイルである。これらのコイルは直列に接続されて
いる。

他の移動部材２２〜２４も移動部材２１と同様な構成に
なっている。移動部材２２，２３．２４は移動部材２１
に対して、それぞれｐ　／　２ｐ／４．３ｐ／４たけ位
相をずらして配置されている。すなわち、移動部材２１
，２２，２３゜２４は、それぞれ０６相、１８０’相、
９ｏ°相。

３６０°相の移動部材である。これらの移動部材はリニ
アパルスモータの移動子１２に結合されている。

２５は０°相と１８０°相の移動部材に巻がれなコイル
をＥｓ１ｎωｔなる交流電圧（Ｅは電圧の振幅、ωは角
速度、ｔは時間）で励磁するｓｉｎ信号源である。２６
は９０°相と３６０゜相の移動部材をＥｃｏｓωｔなる
交流電圧で励磁するｃｏｓ信号源である。

２７は４つの移動部材のコイルの両＠電圧をもとに位相
変調信号を算出する演算回路である。

この磁気レゾルバでは、固定子はリニアパルスモータの
固定子１１を共用している。

コイル、信号源および演算回路の接続は、例えば０°相
の移動部材では第７図に示すようになっている。他の移
動部材でも同様に接続されている。

第８図は演算回路２７の具体的接続を示した図である。

この図において、ＬＯＩＬ＋［ｌＯ，Ｌｉ２゜Ｌ２７０
は、それぞれ０°相、１８０’相。

９０°相、３６０°相の移動部材の突極に巻かれたコイ
ルである。

このような演算回路で、移動子と固定子の歯の位相すれ
θと、コイルＬｏ　、Ｌ＋　ｓｏ　、Ｌｓｏ　。

Ｌ２　？　Ｏ（７）誘起電圧Ｖ、、Ｖ２．ｖ３．Ｖ、ｌ
　の関係は次式で与えられる。

Ｖ、＝Ｋ　（１＋ｍｓ　ｉ　ｎθ）　ｓ　ｉ　ｎωｔＶ
２＝Ｋ　（１−ｍｓ　ｉ　ｎθ）　ｓ　ｉ　ｎωｔＶ：
Ｉ　＝Ｋ　（１＋ｍｃｏｓθ）ｃｏｓωｔＶ４＝Ｋ　（
１−ｍｃｏｓθ）ｃｏｓωｔＫ、ｍ：定数 これらの電圧から、演算部２７は次の演算を行って位相
変調信号Ｖｓを算出する。

Ｖｓ　−（Ｖ＋　　Ｖ２　＞＋　（Ｖ３　　Ｖ４）＝２
ｍＫｓ　ｉ　ｎθｓ　ｉ　ｎωｔ ＋２ｍＫｃｏｓθｃｏｓωｔ ＝２ｍＫｓ　ｉ　ｎ　（ωｔ−θ＋９０°）・・・　（
１） （１）式で与えられる信号■ｓは、移動子の歯と固定子
の歯の位相が１ピッチ分ずれると、位相が３６０゛変調
される。従って、この位相変調信号Ｖｓと、位相が変調
されない基準信号の位相差を計測すれば、移動子の歯と
固定子の歯の１ピツチ内における位相ずれを検出できる
。

なお、０°相、１８０°相、９０°相。

３６０°相の移動部材を配列する位置はリニアパルスモ
ータの移動子の前後左右のどこでもよい。

また、これら４つの移動部材の配列は第６図の配列に限
らず、例えば第９図に示すような配列であってもよい。

第１０図は本発明にかかる磁気レゾルバが接続されるセ
ンサＩ／Ｆ部の構成例を示した図である。

図で、Ｌは磁気レゾルバのコイル部分である。

４４１は磁気レゾルバのコイルの駆動信号源となってい
るクロック発生器、４４２はクロック発生器４４１の発
生クロックを分周する分周器、４１１は分周したクロッ
クの低周波成分を抽出するローパスフィルタ（以下、Ｌ
ＰＦとする）、４１２は抽出した信号を波形整形するコ
ンパレータである。整形された信号はＥｓ１ｎωｔなる
交流電圧となってコイルＬ０とＬｉｓｏを駆動する。

４１３は位相調整手段であり、交流電圧Ｅｓ１ｎωｔの
位相を９０″すらして Ｅｃｏｓωｔなる交流電圧にするとともに、ｓｉｎ相の
励磁信号がコイルに与えられる移動部材（以下、ｓｉｎ
コアとする）とｃｏｓ相の励磁信号がコイルに与えられ
る移動部材（以下、ｃｏｓコアとする）の取り付Ｊす位
置の機械的誤差を電気的に補正する。

４１４と４１５は交流電圧Ｅｓ　ｉ　ｎωｔの振幅と位
相を調整する振幅調整手段と位相調整手段である。この
ような調整により、交流電圧Ｅｓ１ｎωｔのキャリア成
分がキャンセルされる。

４１６はＶ、−Ｖ２なる減算を行う減算器、４１７はＶ
３−Ｖ４なる減算を行う減算器である。

４１８は減算器４１６と４１７でとった減算値を加え、
この加算信号に位相調整手段４１５を通過した信号を加
算して加！信号を補正する加算器である。ここで、補正
した加算信号は位相が磁気レゾルバの移動子と固定子の
歯の位相ずれθで変調される信号である。

４１９は加算器４１８の補正信号の特定周波数成分を取
り出すバンドパスフィルタ（以下、ＢＰＦとする）、４
２０，４２１は分周器４４２とＢＰＦ４１９の出力を波
形整形するコンパレータである。

４４３はコンパレータ４２０と４２１で整形した信号の
位相差をタロツク発生器４４１のクロックでカウントす
る位相差カウンタである。

４４４はコンパレータ４２１による整形信号の周期をタ
ロツク発生器４４１のクロックで計測する周期カウンタ
である。

４７１は位置演算手段であり、周期カウンタ４４４で計
測した周期をもとにリニアモータの移動子が歯１１１の
何ピッチ分移動したかを算出する。

以上説明した構成要素で、４１１〜４２０は第２図のＩ
Ｄカード４０２に設けられ、４４１〜４４４は計数回路
４０４に設けられ、４７１は位置制御部４７０に設けら
れている。

このような磁気レゾルバの動作を説明する。

交流信号Ｅｓ１ｎωｔとＥｃｏｓωｔの間には相対的な
電気角の誤差が含まれているため、コイルＬ０とＬｉ８
゜は交流電圧 Ｅｓ１ｎ（ωを十ΔＡ）で、コイルＬｌｉｌＯとＬ２７
゜は交流電圧Ｅｃｏｓωｔでそれぞれ駆動される（ΔＡ
は電気角の誤差）。

移動子と固定子の間で歯の位相がθだけずれたときは、
コイルＬＯ＋　Ｌｉ　８０　＋　ｔ、、　Ｏ＋Ｌ２７゜
に誘起される電圧ＶＯ＋　”　＋　８０　＋Ｖ９０．Ｖ
２７０は次のとおりになる。

Ｖｏ　＝Ｋ　（１＋ｍｓ　ｉ　ｎ　（θ＋δＡ））Ｘｓ
ｉｎ（ωｔ＋ΔＡ） Ｖ＋　ｓ　ｏ　＝Ｋ　（１ｍｓ　ｉ　ｎ　（θ十δａ）
１ｘｓｉｎ（ωを十ΔＡ） Ｖ９　ｏ　　＝Ｋ　　（１トｍｃｏｓθ）ＣＯ５ωｔ・
・・　（４） Ｖ２　　？　　Ｏ＝Ｋ　　（１ｍｃｏｓ　θ）ｃｏｓω
ｔ・・・　（５） ここで、δＡはｓｉｎコアとＣＯＳコアの取り付は位置
の相対的な機械誤差である。

減算器４１６．４１７と加算器４１８により、ＶＯＶ＋
　Ｂ　ｏ＋Ｖｇ　６　　Ｖ２７　。なる演算を行って次
式に示す演算値ｖ１を算出する。

士ｅ小歳”ｔ　　　　　　　　　　　　　、（６）ここ
で、ｅ　ｓ　ｉ　ｎωｔは交流電圧Ｅｓ　ｉ　ｎωｔに
含まれたキャリア成分である。

位相調整手段４１３は、（６）式の電気角を調整して、 ΔＡ　＝δＡ にすることにより、（６）式の右辺第２項を０にする。

更に、この信号に交流電圧Ｅｓ１ｎωを振幅と位相を調
整した信号−ｅｓｉｎωｔを加算することにより、残留
キャリア成分を打ち消す。

位相差カウンタ４４３は、キャリア成分を打ち消した信
号θ。と励磁信号θ、の位相差をタロツク発生器４４１
の発生クロックで計測する。励磁信号θ１の３６０°の
電気角は固定子の１歯ピッチ分に相当するなめ、位相差
カウンタ４４３で計測した位相差は移動子と固定子の１
歯ピツチ内の歯の位相ずれに相当する。計測した位相差
をアドレスポインタとしてｓｉｎ値が格納されたＲＯＭ
の値を読み出し、読み出しデータにより磁気レゾルバが
移動子の移動を検出しているリニアパルスモータの転流
制御を行う。

周期カウンタ４４４は、信号θ。の周期をクロック発生
器４４１の発生タロツクで計測する。

位置演算手段４７１は、周期カウンタ４４４の計測周期
をもとに、位相が変調された信号θ。と励磁信号θ、の
周期の差を一定周期ごとにとる。

移動子と固定子の歯の位相ずれθはｖｔになるため（Ｖ
：定数）、変調された信号は Ｅｓ１ｎ（ω±Ｖａｔの形になる。このため−変調され
た信号の周期は位相ずれθによって変わる。

従って、変調された信号Ｅｓｉ、ｎ（ω＋ｖ）ｔと励磁
信号Ｅｓｊｎωｔの周期の差をとって積算すると移動子
の移動量が求められる。

例えば、励磁信号θ、の１周期の計測カウントに要する
タロツク数が４０９６、磁気レゾルバの固定子の歯数が
１２４の場合は、位置演算手段４７１は、次式から回転
位置を算出する。

Ｐ＝二（ρＡＴＡＱ　−４−Ｏｑ６　）ん Ｐ；　回転ａ！、　　ρ７・ど（ＴＡ、Ｌ二、（１２番
目のプ士１１］）舌］芥月この場合は、移動子が固定子
の一端から他端よで移動すると、 １２４ｘ４０９６＝５０７９０４ の個数だけクロックが検出される。

このように構成した磁気レゾルバによれば、信号検出方
式が位相変調方式であるため、容易にデジタル・インタ
フェイスを構成でき、また位置検出とモータの転流制御
か可能になる。

（３）センサＩ／Ｆ部 センサＩ／Ｆ部の構成は、第１０図で説明したが、第２
図を用いて補足説明する。

第２図のセンサＩ／Ｆ部４６で、ＩＤカード４０２は、
位相変調された磁気レゾルバの検出信号と、位相変調さ
れない基準信号をそれぞれ５ＩＧＯと５ＩＧＩとして取
り出す。

計数回路４０４で、位相差カウンタ４４３は、５ＩＧＯ
と５ＩＧＩの位相差をカウントする。周期カウンタ４４
４と４４５は５ＩＧＩと５ＩＧＯの周期をカウントする
。

タロツク発生器４４１の発生クロックは、分周器４４２
で分周されて磁気レゾルバのコイルの励磁信号および基
準信号として用いられる。

位相差カウンタ４４３のカウントにより移動子と固定子
の歯の位相ずれが検出され、この位相ずれをもとに転流
制御が行なわれる。また、位相ずれを積算することによ
り、モータの移動子の位置が算出され、これをもとに移
動子の位置の制御が行なわれる。さらに、位相変調され
たセンサの検出信号の周波数から移動子の移動速度が検
出されこれをもとに移動速度の制御か行なわれる。

このように、センサＩ／Ｆ部では、位置制御、速度＃Ｊ
ｍおよび転流制御のための信号か同時に検出される。

ＩＤカードの４０２の他の構成例を第１１図に示す。

このＩＤカードは１枚の基板で構成されている図で、４
２２と４２３はＩＤカードを計数回路４０４と磁気レゾ
ルバにそれぞれ接続するコネクタである。

４２４はクロック発生器４４１から与えられるクロック
を分周し、バンドパスフィルタを通して正弦波信号とし
、この正弦波信号をもとに生成した励磁信号をコネクタ
４２３を介して磁気レゾルバに与える励磁信号発生回路
である。この励磁信号は基準信号５ＩＧＩとして計数回
路４０４にも与えられる。基準電圧Ｖｒｅｆは励磁信号
の振幅を決めるのに用いられる。

４２５はデイツプスインチとバッファからなり、デイツ
プスイッチにより設定された転流角のデータを計数回路
４０４に与える転流角設定回路である。チップセレクト
信号Ｏ８により転流角設定回路の中のＩ／Ｆ回路が選択
される。

４２６はコネクタ４２３を介して与えられる磁気レゾル
バの検出信号を正弦波信号にし波形整形し検出信号５Ｉ
ＧＯとして計数回路４０４に与える信号検出回路である
。

コネクタ４２２を経由する信号は次のとおりのものであ
る。

■クロックＣＬＫ 磁気レゾルバの励磁信号の発生に使われる。

■信号５ＩＧＯと５ＩＧＩ 正弦波信号でこれらの位相差から移動子と固定子の歯の
位相ずれが求められる。

■転流角のデータとチップセレクト信号Ｃ８転流角設定
回路２４に対して入出力する。

■基準電圧ｖｒｅ！ 磁気レゾルバの励磁信号の振幅を定めるために用いる。

以上のことから、ＩＤカードのコネクタは３０ピン程度
のコネクタですむ。

モータの交換により転流角が変わったときは、変更後の
転流角に設定されたＩＤカードと交換することによって
、計数回路４０４のボードを交換することなく転流角を
設定できる。

このように構成したＩＤカードによれば、転べ角のデー
タの設定機能がＩＤカード上にあるため、転流角が異な
るモータに交換する時はＩＤカードのみを交換すればよ
く、システム全体を交換する必要がなくなる。

（４）外部１／Ｆ部 第２図で、外部１／Ｆ部には３種類のＩ／Ｆが設けられ
ている。

速度・トルクＩ／Ｆ４２には、アナログ速度指令信号と
アナログトルク指令信号を送出する上位コントローラが
接続される。

シリアルパルスＩ／Ｆ４３には、シリアルパルスで位置
指令信号を送出する上位コントローラが接続される。ま
た、このＩ／Ｆはセンサ２の検出信号をフィードバック
パルスとして上位コントロラに与える。フィードバック
パルスは、アップパルスとダウンパルス、またはＡ相パ
ルスとＢ相パルスの形態をとる。上位コントローラは、
送出する位置指令信号と、受は取るフィードバックパル
スをもとにモータをフィードバック制御する。

８ビツトバスＩ／Ｆ４４には、８ビツトマイコンパスに
より位置指令を与える上位コントローラが接続される。

このＩ／Ｆで、４４．は与えられた８とットデータに応
じた数のパルスを発生するパルス発生回路である。４４
２はセンサ２からのフィードバックパルスのパルス数を
カウントし、カウントに応じたデータを８ビツトマイコ
ンパスを介して上位コントローラに与えるフィードバッ
クパルスカウンタである。

このようなシリアルパルスＩ／Ｆ４３と８ビヅトバスＩ
／Ｆ４４により、上位コントローラでモタをフィードバ
ック制御することもできる。

（５）位置制御部 第２図の位置制御部４７０で、４７１は位相差カウンタ
４４３のカウントからモ〜りの移動子と固定子の歯の位
相ずれを求め、この位相ずれを積算して移動子の位置を
算出する位置演算手段である。演算結果は位置フィード
バック信号となる。

４７２は位相差カウンタ４４３のカウントからモータの
移動子と固定子の歯の位相ずれを算出して転流制御のた
めの信号を生成する転流演算手段である。

４７３は位相ずれの値とｓｉｎ値が対応して格納されて
いて、転流演算手段４７２の演算結果に応じたｓｉｎ値
の信号を出力するｓｉｎテーブルである。

４７５はシリアルパルスＩ／Ｆ４３または８ビツトバス
Ｉ／Ｆ４４から与えられる位置指令パルスのパルス数を
カウントするカウンタである。

４７６はセンサ２からのフィードバックパルスを均等間
隔でパルスを配列した滑らかなパルス信号にしてＩ／Ｆ
４３，４４に与えるスムーザ機能を有したパルス発生回
路である。

４７７は位置カウンタ４７５のカウントで与えられる位
置指令またはテスト信号発生手段４７８の出力で与えら
れる位置指令の一方を選択するスイッチである。テスト
信号は、位置指令を与える所定の周波数のテストパルス
信号で、テストモードで位置制御部のサーボ系を調整す
るときにこの信号を選択する。

４７９はスイッチ４７８で選択した位置指令と位置演算
手段４７１で算出した検出位置の偏差をとる減算器であ
る。

４８０は減算器４７９でとった偏差をもとに、モータ１
の回転位置をフィードバック制御する位置制御手段であ
る。この位置制御手段４８０はソフトウェアによりＩ−
ＰＤ（積分、比例、微分）動作を行う３次のサーボ系を
構成している。

４８１は位置制御手段４８０が出力する制御信号をデジ
タル・アナログ変換するＤ／Ａ変換器である。

４８２は例えば第１２図に示すようにモータの位置制御
系の固有振動数ｆπ、ＤＣゲインＣＯＣおよび積分リミ
ッタ値ＩＬＩＭとこれらの値に応じた！＆適な制御パラ
メータＸ＋＋＋Ｘ１２Ｘ＋３等を対応して格納したゲイ
ンテーブルである。位置制御手段４８０は、ゲインテー
ブル４８２から読み出された制御パラメータを用いて制
御を行う。ＤＣゲインＣＯＣと積分リミッタ値ＩＬＩＭ
については設定部７の構成の説明において説明する。

ゲインテーブルは、積分動作用、比例動作用、微分動作
用のものが設けられていて、制御動作の種類によって使
い分けられる。

（６）速度制＃部 第２図の速度制御部４９０で、４９１はセンサの回転検
出信号５ＩＧＯの周波数に応じたアナログ電圧信号を出
力するＦ／Ｖ変換器である。この出力が速度フィードバ
ック信号になる。

４９２は位置制御を行うときはＤ／Ａ変換器４８８の出
力＠側に接続され、速度制御を行うときは速度・トルク
Ｉ／Ｐ４２側にｔ＃枕されるスイッチである。

４９３はスイッチ４９２で選択した指令信号とＦ／Ｖ変
換器４９１を介して与えられる速度フィードバック信号
の偏差をとる減算器である。

４９４はマルチプライング・デジタル・アナログ変換Ｈ
（以下、ＭＤＡとする）であり、デジタル信号でゲイン
が設定され、アナログ入力信号を増幅する０ＭＤＡ４９
４のアナログ入力信号は減算器４９３から与えられる偏
差信号であり、デジタルのゲイン設定信号は位置制御手
段４８０またはチューニング部７により与えられる。例
えば、ゲイン設定信号が８ビット信号である場合は、Ｍ
ＤＡ４９４のゲインは２５６段附に設定される。

４９５はＭＤＡ４９４の出力電圧を所定の上限値または
下限値以内に抑えることによって電力制御部４８に与え
る電流指令値を制限するリミッタである。

４９６．４９７はリミッタ４９５によって制限された電
流振幅■をアナログ入力信号、ｓｉｎテーブル４７３か
ら読み出したｓｉｎθｅと５ｉｎ（θｅ＋１２０°）の
値をゲイン設定信号としてｌ５ｉｎθｅとｌ５ｉｎ（θ
ｅ＋１２０°）なる電流指令値を出力するＭＤＡである
。ここで、２つの指令値の位相か１２０゛ずれているの
はモタが３相モータであるためであり、相数が異なる場
合は位相ずれは他の値になる。

（７）電力制御部 第２図の電力制御部４８で、５０１，５０２はモータ１
の２つの相のコイルに流れる電流をそれぞれ検出する電
流検出回路である。

５０３．５０４はＭＤＡ４９６，４９７からの電流指令
信号と電流検出回路５０１，５０２の検出電流信号の偏
差をとる減算器である。

５０５はこれらの偏差をもとにモータコイルの励磁を流
をフィードバック制御するためのパルス幅変調信号（以
下、パルス幅変調をＰ’ＡＴＭとする）を生成して出力
するＰＷＭ回路である。

５０６はトランジスタを用いて構成され、ＰＷＭ回路５
０５からのＰＷＭ信号によりトランジスタを駆動してモ
ータ１のコイルに励磁電流を流す駆動回路である。

第１３図は駆動回路５０６の構成例を示した図である。

この回路はブリッジ型のインバータ回路であり、図はブ
リッジ回路の半分を示したものである。

図で、Ｑｌ、Ｇ２はブリッジ回路を構成するスイッチン
グ素子、Ｌはモータのコイル、ＥＩＥ２はコイルＬに電
流を流すだめの電圧を供給する電源である。

Ｇ１と０２はスイッチング素子Ｑ１とＧ２をＰＷＭ信号
で駆動するゲート駆動回路、ＤＤＩはスイッチング素子
Ｑ１とＧ２の駆動電圧のもとになる電圧を供給する電源
である。

Ｄは電源ＣＤＩにより流れる電流の経路に設けられたダ
イオード、ＲはダイオードＤと直列に接続された抵抗、
Ｃはコンデンサである。

抵抗Ｒと、ダイオードＤと、コンデンサＣとでブートス
トラップ回＃ＩＢが構成されている。

ＡＩ、Ａ２はゲート駆動回路Ｇｌ、Ｇ２に定電圧を与え
る定電圧回路である。

この装置で、電源ＤＤＩによりコンデンサＣを充電して
電圧Ｖａｓｔを作る。この電圧を定電圧口１％ＡＩで安
定化してゲート回路Ｇ１の駆動用電圧ｖＢｓ２を得る。

電圧Ｖａ　ｓ、は、ＶＢＳＩ：ＶＤＤＩ　　ｖ、−ＶＤ
ＳＯＮｖｃｌＤ＋：電源ＤＤＩの発生電圧 ＶＥ：ダイオードＤの順方向の電圧降下分ＶＣｌ５０Ｎ
：Ｇ２がオンのときの電圧降下分 で与えられる。

ここで、第１３図の装置の各信号のタイムチャートは第
１４図のようになる。

第１４図で、ＱｌとＧ２が交互にオンになるため、モー
タのコイルしに流れる電流ｌ０ＵＴは（ａ）図のように
変化する。これによって、Ｇ２の両端電圧ＶＤＳＯＮは
（ｂ）図のように変化する。

すなわち、Ｇ２がオンのときはｖｏｓｏＮはｌ０ＵＴ’
ＲＯＮに従って変化しくＲｏ　ＮはＧ２がオンのときの
抵抗）、Ｑｌがオンのときは−ｖＦに保持される。

このようなＶＯ５０Ｎの変化から、コンデンサＣにかか
る電圧ｖａｓｔは（Ｃ）図のようになる。

ここで、電圧Ｖａｓｔの最小値が、定電圧回路Ａ１の定
電圧＠ｖ、と電圧降下分ＶＤＦの和よりし大きく設定さ
れていると、すなわち、Ｖｅ　ｓ　＋　＞、Ｖ、　＋Ｖ
ｏ　Ｆ　　　　　　　　（８）であると、定電圧回路Ａ
１の出力の一定性が保たれてＶＢＳ２は（ｄ）図に示す
ように一定値になる。

これを満足するためのＶＤＤＩは、〈７）式を〈８）式
に代入し、ブートストラップ動作によるリップル分を考
慮して、 Ｖｏ　Ｄ　＋　＞Ｖ１＋Ｖ□　Ｆ　＋ＶＦ　＋ＶＤ　ｓ
　ｏ　Ｎ＋ＶＲＰ　　　　　（９） ＶＲＰ：リップル電圧 となる、リップル電圧ＶＲＰはコンデンサＣの静電容量
に反比例している。

（９）式を満たすように電源ＤＤＩの発生電圧を設定す
る。

第１３図の駆動回路を３相モータに適用した例を第１５
図に示す、この図は３相のハーフブリッジを示している
。

図で、ＶＤＩは下側にあるスイッチング素子の駆動電源
、ＶＤ２はブートストラップ回路用電源、ＶＤ３はモー
タのコイルに電流を流すための電源である。

このように構成した駆動回路によれば、Ｑ２がオンにな
ってブートストラップ回路にかかる電圧が最小になった
ときでも、定電圧回路の定電圧値が保持されるように電
源ＣＤＩの発生電圧が設定されている。これによって、
Ｑ２がｖｏｓｏＮが大きいスイッチング素子であっても
よく、スイッチング素子の自由度が広がる。

また、電源ＤＤＩの電圧は十分に高く設定されているた
め、コンデンサＣの放電時間が長くなり、Ｑ２をオフに
する時間を長くできる。これによって、動作条件の自由
度が広がる。

（８）設定部 第２図の設定部７で、７１〜７３はサーボチュニングス
イッチである。

７１は所定の範囲内で位置制御系の固有振動数ｆπを複
数段階に設定する固有振動数設定スイ・ンチである。

７２はＭＤＡ４９４のＤＣゲインＣＯＣを複数段階に設
定するＤＣゲイン設定スイッチである。

ＤＣゲインを最適値に設定することにより、移動子が移
動し始めてから等速度に達したときの整定時間を小さく
することができる。

７３は位置制御手段４８０のソフトウェアサーボ中にあ
るデジタル積分器の出力のリミッタ値ＩＬＩＭを複数段
階に設定する積分リミッタ設定スイッチである。リミッ
タ値を最適値に設定することにより、移動子が目標位置
に達したときの整定時間を小さくすることができる。

これらのスイッチ７１〜７３により、ｆπ。

ＣＯＣおよびＩＬＩＭの値が設定されると、ゲインテー
ブル４８２から設定値に対応した最適な制御パラメータ
値が読み出される０位置制御手段４８０は読み出した制
御パラメータ値をもとに、ＭＤＡ４９４のゲインを設定
する。

なお、ｆπ、Ｇｏｃ　、ＩＬＩＭの設定はスイッチによ
らず外部のコントローラで行うようにしてもよい。

また、制御パラメータはｆｉｌ、ＧＤＣ＋Ｉ　ＩｊＭの
全てではなく少なくとも１つが設定されると読み出され
るようにしてもよい。

７４．７５は上位コントローラ３と接続された入出力ボ
ート（以下、Ｉ１０ボートとする）である。

Ｉ１０ボート７４では位置制御手段４８０の制御を積分
動作または比例動作に切換える積分／比例切換信号が転
送される。

Ｉ１０ボート７５ではＭＤＡ４９４のゲインを直接設定
するゲイン設定信号が転送される。

（１）〜（８）に分けて説明した各構成要素で、複数の
構成要素にまたがる部分の具体的構成例について説明す
る。

（９）検出信号の補正装置 第１６図は検出した移動子の位Ｉを補正する装置の構成
例を示した図である。

図で、４７１１はＲＯＭを用いた補正テーブルであり、
θ。−Ｋｓｉｎ（ωｔ＋ｎθ）の式の中のθの０°から
３６０°までの所定の角度とそれぞれの角度における補
正量が対応して格納されている。この補正量は、３６０
°の電気角の補正量すなわち固定子の歯の１ピッチ分の
補正量に相当する。

４７１２はマイクロプロセッサであり、出力レジスタ４
４３１にセットされた位相差を読取り、この位相差をも
とに補正テーブル４７１１から補正量を読出す、そして
、読取った位相差をもとに算出した移動子の位置をこの
補正量で補正する。

４７１３はマイクロプロセッサ４７１２で補正した位置
の信号を受取り、これをシリアルパルス信号に変換して
出力するパルス出力器である。この出力がモータ１の移
動子の位置検出信号となる。

補正テーブル４７１１、マイクロプロセッサ４７１２お
よびパルス発生器４７１３は第２図の位置演算手段４７
１に設けられている。

このように構成した装置の動作を説明する。

第１７図は各信号のタイムチャートである。

磁気レゾルバ２からは（ａ）図と（ｂ）図に示すような
信号θ０とθ、が出力される９位相差カウンタ４４３は
これらの信号の位相差 （１＋　　１゜）を（ｃ）図に示すクロック発生器４４
１のタロツクｆＣで計測し、計測値ｍを出力レジスタ４
４３１に格納する。このとき、出力レジスタ４４３１の
セット値は（ｄ）図のように変化する。

マイクロプロセッサ４７】２は定周期で出力レジスタ４
４３１のセット値を読取り、第１８図に示す処理をして
補正した移動子の位置を算出する。

すなわち、第１８図では、移動子の移動速度ＶかＶＬ−
（定格移動速度）ｘｏ、０３よりも小さいか否かを判別
し、小さい場合は、出力レジスタ４４３１のセット値を
もとに補正テーブル４７１１から補正量を読出し、出力
レジスタ４４３１のセット値から算出した移動子の位置
をこの補正量で補正する。

ＶかＶｌよりも大きい場合は、移動が高速なため、補正
値が算出されたときに移動子の位置は大きく変わってい
て、補ｉＥ値が有効に生かされないため、補正は行なわ
ない。

その後、移動子の位置の１周期間の変化量をパルス出力
器４７１３に設定する。パルス出力器４７１３はこの変
化量をシリアルパルスに変換して出力する。これによっ
て、移動子の位置か検出される。

このように構成することにより、高精度で位置を検出で
きる。

（１０）モータ駆動電流の制限装置 第１９図はモータコイルに与える電流を制限する装置の
構成例を示した図である。

図で、４９５は制限値算出部４９８から与えられた制限
値でｔ流指令値信号の電圧を制限することによって電流
指令値ｕｊｕを制限するリミッタである。

４８はリミッタ４９５の出力に応じてモータ１に駆動電
流を供給する電力制御部である。

第２図のような構成にすると、第２図のシステムでは、
センサ２とリミッタ４９５の間に制限値算出部４９８を
設けることになる。

制限値算出部４９８で、４９８１は電圧制御曲線のパラ
メータが格納された不揮発性メモリ＜ＲＯＭとする）で
ある。

４９８２は電圧制限曲線（以下、Ｉ−Ｎ曲線とする）を
最大電流値と移動子の移動速度を対応させたテーブルに
して格納する揮発性メモリ（ＲＡＭとする）である、Ｔ
−Ｎ曲線は、第２０図のように移動速度と制限値すなわ
ち最大電流値の関係を表わしたものである。

４９８３は制限値を求めるマイクロプロセッサ（μＰと
する）である。

μＰ４９８３で、４９８４はＲＯＭ４９８１から読み出
されたパラメータＰでＩ−Ｎ曲線を選択し、選択したＩ
−Ｎ曲線上における最大電流値Ｌｉｍ（Ｎ）と移動子の
移動速度Ｎを求め、これらの値を対応させてＲＡＭ４９
８２に格納する演算手段である。

４９８５はセンサ２の出力信号をもとに移動速度Ｎを検
出する速度検出器である。検出した移動速度Ｎをもとに
ＲＡＭ４９８２から電流制限値Ｌｉｍ（Ｎ）が読み出さ
れてリミッタ４９５へ与えられる。

このように構成した装置の動作を説明する。

電源投入時には、ＲＯＭ４９８１からＩ−Ｎ曲線のパラ
メータＰを読み出し、このパラメータで制限関数ｆ　（
Ｐ、Ｎ）を選択する。そして、Ｌｉｍ　（Ｎ）＝ｆ　（
Ｐ、Ｎ）よりそれぞれのＮの値における最大電流値Ｌｉ
ｍ（Ｎ）を算出し、算出値をＲＡＭ４９８２に対応させ
て格納する。このような演算をするに当たって、関数ｆ
　（Ｐ、Ｎ）と回転数の範囲−Ｎｌａχ〜十Ｎｔａχは
予め与えられている。Ｉ−Ｎ曲線の一例を第２１図に示
す。

通常動作時には、まず、速度検出器４９８５がセンサ２
の出力信号より移動速度Ｎを検出する。

次に、検出した移動速度Ｎに対する最大電流値Ｌｉｍ（
Ｎ）をＲＡＭ４９８２から読み出し、この値をリミッタ
４９５に与える。

リミツタ４９５は電流指令値Ｕ、πの信号の電圧を次の
ように制限してＳ流指令値Ｕ。Ｕ、の信号を出力する。

ｕＬｕｌ≦Ｌｉｍ（Ｎ）のとき、 ｕｏｕｆ＝ｕ　　Ｌ　ＴＬ ｕＩＴＬ　ｌ　＞Ｌｉｍ　（Ｎ）のとき、ｕｏｕｔ　−
Ｌｉｍ　（Ｎ） 電力制御部４８は、このようにして得た電圧指令値ｕｏ
ｕｔに応じた電流ｌ０ｕｔをモータ１に供給するに のような制限装置によれば、ＲＯＭ４９８１から読み出
すパラメータＰを、モータが用いられているアクチュエ
ータの仕様に合わせて設定するだけで、制限関数ｆ　（
Ｐ、Ｎ）の形が決まり、仕様にあった特性のＩ−Ｎ曲線
が得られる。これによって、種々の仕様のアクチュエー
タに対しても融通がきく。

また、制限関数ｆ　（Ｐ、Ｎ）をμＰ内で作成している
ため、複雑な電子回路を新たに設けることなく、安価な
手段で、種々の仕様に対して駆動電流を制限できる。さ
らに、μＰで制限値を算出しているため、高精度で制限
値が得られる。

く効果〉 このようなモータ・ドライブ・システムによれば次の効
果が得られる。

■モータ・ドライブ・システムの構成要素となっている
外部１／Ｆ部、センサＩ／Ｆ部、主制御部および電力制
御部はそれぞれモジュール構造になっていて、各モジュ
ールはカードで構成されている。これによって、カード
を交換するだけで様々な要求に対応できる。

■リニアパルスモータをフィードバック制御により位置
決めしているため、位置決め精度が高くなる。また、モ
ータの脱調を防止し、安定した動作を保証できる。

■外部１／Ｆ部では、シリアルパルス信号線、８ビツト
マイコンパスおよびアナログ信号線のいずれを介しても
上位コントローラと接続できる。これによって、モータ
・ドライブ・システムは各種の上位コントローラから指
令値を受けることができ、システムの適用範囲が広くな
る。

■ＩＤカードでは、位相変調信号と、位相が変調されな
い基準信号を取り出しているため、取り出した２つの信
号の位相差を計測することによって、モータにおけるロ
ータとステータの歯の位相ずれを検出し、転流制御のた
めの信号を得ることができる。

さらに、位相ずれを積算することによってモタの移動子
の位置を算出できる。

これに加えて、位相変調信号の周波数から移動子の移動
速度を検出できる。

以上のことから、センサＩ／Ｆ部では、位置制御、速度
制御および転流制御のための信号を同時に検出できる。

以上説明したように本発明にかかるモータ・ドライブ・
システムは多くの利点を有し、種々の用途への適用に有
効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にがかるモータ・ドライブ・システムの
一実施例の概略構成図、第２図は本発明にかかるモータ
・ドライブ・システムの一実施例の具体的構成図、第３
図〜第２１図は第２図のシステムの各構成要素の具体的
構成例を示した図である。 １・・・リニアパルスモータ、２・・・センサ、３・・
・上位コントローラ、４７・・・主制御部、４８・・・
電力制御部、４００・・・外部Ｉ／Ｆ部、４６・・・セ
ンサ１／Ｆ部。 第２ 図 デ 図 ｔｆＯ’ＪＦ３　ｑ　ｌ　Ｑ　ＪＸ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）リニアパルスモータを駆動するモータ・ドライブ
   ・システムにおいて、 複数種類のインタフェイスが設けられていて、このイン
   タフェイスを経由して上位コントローラから指令信号が
   与えられる外部インタフェイス部と、 前記リニアパルスモータの移動子の移動を検出するセン
   サと、 このセンサの検出信号が与えられるインタフェイスが設
   けられたセンサインタフェイス部と、前記外部インタフ
   ェイス部から与えられた指令信号と前記センサインタフ
   ェイス部から与えられた検出信号をもとにリニアパルス
   モータをフィードバック制御するための制御信号を発生
   する主制御部と、 この制御信号に従って電流増幅を行い、増幅電流をモー
   タのコイルに供給する電力制御部、を有し、前記外部イ
   ンタフェイス部、センサインタフェイス部、主制御部お
   よび電力制御部は切り分けられてカードで構成されたモ
   ジュール構造になっていることを特徴とするモータ・ド
   ライブ・システム。 （２）前記リニアパルスモータは、先端に一定ピッチで
   歯が形成された突極が設けられた移動子と、この歯と対
   向する位置に一定ピッチで歯が形成された固定子を有し
   、磁界発生手段としてコイルと永久磁石の両方を用いた
   ハイブリッド型パルスモータであることを特徴とする請
   求項（１）記載のシステム。 （３）前記センサは磁気レゾルバであることを特徴とす
   る請求項（１）記載のシステム。（４）前記磁気レゾル
   バは位相変調型で、 移動子は、モータの移動子と結合されていて、突極の先
   端に形成された歯の位相がそれぞれ０、ｐ／４、２ｐ／
   ４、３ｐ／４（ｐは歯のピッチ）になった４種類の移動
   部材からなり、 固定子は、モータの固定子であり、 歯の位相が０および２ｐ／４になった移動部材の突極に
   巻かれたコイルをｓｉｎ相の交流信号で励磁するｓｉｎ
   信号源と、 歯の位相がｐ／４および３ｐ／４になった移動部材の突
   極に巻かれたコイルをｃｏｓ相の交流信号で励磁するｃ
   ｏｓ信号源と、 前記４種類の移動部材の突極に巻かれたコイルの両端電
   圧を加減算して位相変調された検出信号を算出する演算
   回路、 を具備したことを特徴とする請求項（３）記載のシステ
   ム。 （５）前記センサインタフェイス部は、前記磁気レゾル
   バの移動子の移動によって位相変調された信号と位相変
   調されない基準信号を取り出すＩＤカードと、このＩＤ
   カードで取り出した２つの信号の位相差をカウントする
   位相差カウンタを有することを特徴とする請求項（１）
   記載のシステム。 （６）前記主制御部は、前記位相差カウンタのカウント
   からモータの移動子と固定子の歯の位相ずれを求めこの
   ずれからモータの転流制御のための信号を算出する転流
   演算手段を有することを特徴とする請求項（５）記載の
   システム。 （７）前記主制御部は、前記位相差カウンタのカウント
   を積算してモータの移動子の位置を算出する位置演算手
   段を有することを特徴とする請求項（５）記載のシステ
   ム。 （８）前記主制御部は、前記前記ＩＤカードで取り出し
   た位相変調信号の周波数からモータの移動子の移動速度
   を検出する速度検出手段を有することを特徴とする請求
   項（５）記載のシステム。 （９）前記主制御部は、前記外部インタフェイス部を経
   由して与えられた位置指令信号と前記位置演算手段の演
   算結果をもとにモータの移動子の位置をフィードバック
   制御する位置制御部を有することを特徴とする請求項（
   ５）記載のシステム。 （１０）前記主制御部は、前記外部インタフェイス部を
   経由して与えられた速度指令信号と前記速度検出手段の
   検出信号をもとにモータの移動子の移動速度をフィード
   バック制御する速度制御部を有することを特徴とする請
   求項（５）記載のシステム。 （１１）前記センサインタフェイス部は、前記位相差カ
   ウンタのカウントと前記ＩＤカードで取り出した位相変
   調信号により、モータの位置制御、速度制御および転流
   制御に用いる信号を同時に取り出すことを特徴とする請
   求項（５）項記載のシステム。 （１２）前記外部インタフェイス部の複数のインタフェ
   イスに接続される上位コントローラは、通信回線、シリ
   アルパルス信号線、アナログ信号線およびｎビットマイ
   コンバス（ｎは整数）を介して指令信号を送出するもの
   であることを特徴とする請求項（１）記載のシステム。 （１３）前記主制御部は、前記モータの位置制御系の固
   有振動数、主制御部内に設けられた速度制御部のＤＣゲ
   インおよび主制御部内に設けられた位置制御部にある積
   分器の出力の積分リミッタ値と、これらの値に応じた最
   適な制御パラメータを対応させたゲインテーブルを有す
   ることを特徴とする請求項（１）記載のシステム。 （１４）所定の範囲内で固有振動数、ＤＣゲインおよび
   積分リミッタ値が複数段階に設定され設定された固有振
   動数、ＤＣゲインおよび積分リミッタ値の少なくとも１
   つをもとに前記ゲインテーブルから最適な制御パラメー
   タを読み出し、前記主制御部の制御に用いる固有振動数
   設定スイッチ、ＤＣゲイン設定スイッチおよび積分リミ
   ッタ値設定スイッチを有するチューニング部、 を具備したことを特徴とする請求項（１３）記載のシス
   テム。