JPH04122420A - ガスから弗素及び／又は無機弗化物を除去する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［０００１］ ［産業上の利用分野］ 本発明は、弗素及び／又は弗素化合物を含有するガスも
しくは廃ガスから弗素及び／又は無機弗素化合物を除去
及び無効果する方法及び装置に関する。 ［０００２］

【従来の技術】

合成樹脂表面（シート、燃料容器）の弗素化、弗素燃焼
法による物質分析、半導体製造、ＣＶＤ析出、核燃料の
処理又は実験室及び工場での化学合成に使用する装置の
廃ガス中に出現する弗素（Ｆ２）及び弗素化合物（ＡＦ
）は周知のように猛毒性であり、痕跡量レベルで放出し
得るに過ぎない。それ故、それらの除去には、僅少濃度
のＦ２及びＡＦでも高い変換率を保障する極めて効果的
な方法が必要である。 ［０００３］ 殊に、Ｆ２及びＡＦの除去は、有用物質弗素のリサイク
ルを可能にしカリ装置の消耗が少ないように行なうべき
である。 ［０００４］ Ｆ２の無効化法が記載されている［”Ｕｌｌｍａｎ　　
ｓ　　Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄｉａ　　ｏｆ　　Ｉｎｄｕ
ｓｔｒ、　　Ｃｈｅｍ、　　、Ｖｏｌ、Ａ１１．”３０
３頁（１９８８年）］。ソーダ石灰固定床吸収剤（Ｎａ
ｖｒａ　ｔ　ｉ　ｌ、　　ＵＳＡＥＣ−Ｒｅｐｏｒ　ｔ
　　ＲＥＰ１２．００，１９６８）は閉塞傾向を有する
。カセイカリ（５％）による洗浄又はカーボンとの反応
は他の毒性ガス（Ｎｅ　ｔ　ｚｅｒ、ＧＡＴ−Ｔ−１９
２２，Ｇｏｏｄｙｅａｒ　Ａｔｏｍｉｃ　　Ｃｏｒｐ、
　、　１９７２）を発生させる。固定床中でのＦ２と活
性酸化アルミニウムとの反応（Ｎｅｔｚｅｒ参照）は現
在量も頻繁に適用される方法である。流動床法［Ｈｏｌ
ｍｅｓ　　及びその他共著、Ｉ　　＆　　ＥＣＰｒｏｃ
ｅｓｓ　　Ｄｅｓｉｇｎ　　ａｎｄ　　Ｄｅｖ。 ＆　（１９６７）４０８］は装置の消耗が高いので普及
しなかった。Ａｌ２Ｏ３法は次の欠点を有する：ａ）固
定床反応器で反応床の閉塞及びｂ）稀弗素では完全な反
応に３００℃を上廻る反応器温度を必要とする。 ［０００５］ プロパン／ブタン−バーナーの火炎中への弗素の注入は
ＣＦ４及び高級フルオルアルカンを生成し、これは温室
効果ガスとして有害である。公知方法は全体的に有用物
質弗素のリサイクルには不適当である。 ［０００６］ 気相中の無機弗化物を除去するための特別な方法（Ｕｌ
ｌｍａｎｎ、前記文献３０７頁以下）はＨＦ及び他のル
イス酸弗化物を弗化ナトリウムに収着させる（Ｕｌｌｍ
ａｎｎ、前記文献、３０３頁）ことを除いて殆んど知ら
れていない。 ＮＦ３は金属（Ｗ、Ｍｏ）との反応により分解する。こ
の際に毒性六弗化物が生成し、これは炭酸アンモニウム
洗浄により除去する（日本国特許第６２２２５２２８号
明細書、１９８７年１０月３日）。 ［０００７］

【発明が解決しようとする課題】

従来公知のＦ２及びＡＦの除去法はＡＦＯＮａＦ法を除
いてすべて力板その適用性を限定する欠点を有するので
、本発明は公知方法の欠点を解消する、即ち二次有害物
質を形成せずにＦ２及びＡＦの無効化を可能にする方法
を開示するという課題をベースとする。 ［０００８］

【課題を解決するための手段】

本発明によればこの課題は、弗素及び／又は無機弗化物
を含有する精製すべきガス混合物を、主成分として二酸
化チタンを含有する吸収剤及び／又は触媒−材料（ＡＫ
Ｍ）と接触させることにより解決される。 ［０００９］ 表面積の大きい（活性な）二酸化チタン（ＴｉＯ３）を
Ｆ２及びＡＦの加水分解用の吸収剤及び触媒として使用
することにより二次有害物質の形成を抑制するばかりで
なく、閉塞の危険も阻止されかつより低い温度で処理で
きることが判明した。この際に、二酸化チタン／メタチ
タン酸の系で化合物を使用すると借れている。更に、弗
素成分の再生が可能である。 ［００１０］ 既に室温で、弗素０．００１〜１００％を含有するガス
混合物を接触時間００１秒以上で完全に活性ＴｉＯ２に
吸収させることができる。この際に化学工程はまず第一
にＦ２濃度により決まる。濃度が非常に低い（Ｆ２０．
００１〜１％）場合、ＦとＴｉＯ２との反応により惹起
される温度上昇は僅がである。Ｆ２はＦ２０（吸着）　
十　Ｆ２−２ＨＦ　＋　／２０２　　　　　（１）及び
チタンに結合しているヒドロキシド基＝Ｔｉ−〇Ｈ＋Ｆ
２→＝　Ｔｉ　−Ｆ　十／２０２＋ＨＦ　（２）と反応
する。 ［００１１］ （１）及び（２）で形成されたＨＦは他のヒドロキシド
基と氷形成下に反応する： 前記の条件下で弗素を吸収するには、特にＢＥＴ表面積
３０〜３５０ｍ２／ｇの多数のヒドロキシド基を含有す
る活性二酸化チタン（メタチタン酸）が好適である。弗
素に対する吸着能はＴｉＯ３１ｋｇ当り８０〜１２０ｇ
である。残留弗素濃度はｌｐｐｍより低い。 ［００１２］ を特徴とする反応フロントが形成する。これらの条件下
で、３０ｍ２／ｇより小さいＢＥＴ表面積のＴｉＯ３ど
の直接反応も行なわれる。主要反応は、［００１３］

【化月 ［００１４１ による非化学量論的組成の弗化酸化チタン及び酸素の形
成である。弗素に対する収着能はこれらの条件下にＴ　
ｉ０２　］、ｋｇ当り６０〜６００ｇである。残留弗素
濃度はｌｐｐｍより低い。置床反応器の閉塞は認められ
ない。この原因は反応帯域中での揮発性四弗化チタンの
中間形成に帰せられ、ＴｉＯ＋　２Ｆ　、−＋　ＴｉＦ
４＋　０２これは他のＴｉＯ２により非化学量論的弗化
酸化チタンの形成下に分離する。 ［００１５］ 弗素の吸収剤としてＴｌＯ２を使用することは、水蒸気
又は湿気との加熱の際のその再生性故に特に重要である
。 ［０，０１６］ 【化２】 ［００１７］ ＨＦの完全除去に必要な温度は５００〜６００℃であり
、ＨＦの部分除去は２５０〜５００℃で達成される。 ［００１８］ ガス混合物からの弗素の連続的除去は、Ｆ＋ＨＯ→２Ｈ
Ｆ＋１０（７） により触媒として二酸化チタンを用いて２５０〜６００
℃で弗素を接触的に加水分解することにより行なうこと
ができる。 ［００１９］ 生成したＨＦは弗素とは反対に簡単な水洗及び／又は２
０℃を下廻る温度で凝縮することにより定量的にガス流
から除去することができる。ＡＦの無効化にも二酸化チ
タンが同様に非常に活性である。 ［００２０１ ＨＦは２００℃より低い温度で反応（３）によりかつ高
温反応（６）とは反対に水の遊離下に吸収される。 ［００２１］ 揮発性で易加水分解性のＡＦは２５０℃より低い温度で
二酸化チタンを用いて接触時間〉０．１秒間で非常に低
い残留含量＜０．１ｍｇ／Ｎｍ３まで化学収着させる。 吸収剤／触媒−材料の再生は化学収着された化合物の加
水分解により水の供給により２５０〜６００℃に温度を
高めて行なう。その際にＡＫＭはその弗素含量をＨＦと
して遊離する。ＡＦが元素の炭素、窒素、酸素、硫黄、
塩素、臭素、沃素及び／又はキセノンだけを含有する場
合、吸収剤／触媒−材料の完全な再生は次に例示した反
応式により可能である：ＣＯＦ　　−１−ＨＯ、、＋　
Ｃｏ２＋　　２ＨＦ　　　　　　　　（８）２ＮＦ　　
　＋３ＨＯ−＋　ＮＯ＋　　Ｎｏ　　＋　　６ＨＦ　　
　　　（９）ＯＦ　　　　　＋　　ＨＯ→　Ｏ＋　ＨＦ
　　　　　　　　　　　　、　　　　（１０）ＳＦ＋Ｈ
○→ＳＯ２＋４ＨＦ（１１） ２ＣＩＦ　　＋５ＨＯ−＋　Ｃ１＋　　２．５０２＋１
０ＨＦ　　（１２）２ＢｒＦ　　＋　５ＨＯ−＋　Ｂｒ
２＋　　２．５０２　＋　ｌ０ＨＦ　　（１３）２ＩＦ
　　＋７ＨＯ→Ｉ　　＋　３．５０２＋１４ＨＦ　　（
１４）ＸｅＦ　　　　＋　　ＨＯ→　Ｘｅ　　　十　　
０．５　０　　＋　ＨＦ　　　　　　（１５）ＡＦが、
不揮発性酸化物を形成する元素を含有する場合、吸収剤
／触媒−材料の部分再生がＨＦの遊離下に可能である、
例えばＷＦ　＋　３ＨＯ、ＷＯ３＋６ＨＦ 不揮発性酸化物−この場合はＷＯ２−は吸収剤／触媒−
材料中に残留する。 ［００２２］ 元素の炭素、窒素、酸素、硫黄、塩素、臭素、沃素及び
／又はキセノンを含有する無機弗化物の除去は気相中で
、前記の化合物を含有するガス混合物に全弗素含量ｎモ
ルに対して水蒸気少なくともｎ　／　２モルを供給し、
主成分として（〉７０％）二酸化チタンを含有する吸収
剤／触媒−材料と接触させ、かつ温度１５０〜６００℃
、接触時間０．０５〜１５０秒間で操作することにより
実施する。化学反応は反応（８）〜（１５）に相当する
。 ［００２３］ 下記の例８に関する実、験装置を図示した添付図面によ
り装置について説明する［００２４］ ガス混合物からＦ２及びＡＦを除去するための装置は、
精製すべきガス混合物１０を含有する容器１１より成り
、この容器１１は真空ポンプ１２の吸引側１４と結合し
ている。真空ポンプ１２によりガス混合物１０は、主に
ＴｉＯ２より成る円筒状吸収剤／触媒床１３中にポンプ
装入される。ここでガス混合物１０がらの無機弗化物及
び弗素は下記の実施例に相応して反応する。最後に、床
１３の出口１８でこれらの成分から精製されたガス混合
物１６が流出する。 ［００２５］ 真空ポンプ１２は弁２０を介してポンプ洗浄用洗浄ガス
管１７に接続可能である。洗浄ガス、殊に不活性ガスも
同様に吸収剤／触媒床１３を通して案内され、これによ
り、場合により不活性ガスに随伴するＦ２又はＡＦの残
分を管系がら除去する。 ［００２６］

【実施例】

例１ ペレット状（直径１〜３ｍｍ）の大体の組成がＴ　ｉ０
２・０．２Ｈ２０でありかつＢＥＴ表面積（比表面積、
Ｂｒｕｎａｕｅｒ、Ｅｍｍｅｔ、Ｔｅ　ｌ　ｌｅｒの方
法により測定）２５０ｍ／ｇのＴｉＯ３に対して固定床
（直径８０ｍｍＸ高さ３８０ｍｍ）中ＲＴで、弗素１容
量％、残留窒素を含有する廃ガスを流動させる。 接触時間は１０秒間である。吸収剤／触媒の後で残留弗
素濃度がトレーガ小管（Ｄｒａｅｇｅｒｒｏｅｈｒｃｈ
ｅｎ）で〈１容量ｐｐｍ及び質量分光計で＜０゜１容量
ｐｐｍと測定される。廃ガスは無臭である。弗素０．１
容量％を含有する廃ガスでも同じ結果が得られる。弗素
約２モルの吸収後に吸収剤は飽和になった。その後、弗
素濃度は迅速にｌｐｐｍを土建る数値に上昇する。 ［００２７］ 例２ 円筒状固定床（直径８０　Ｘ　３８０ｍｍ）中ＲＴで、
ペレット形（ｄ　＝　２〜４　ｍを含有する廃ガスを流
動させる。 ［００２８］ 吸収剤の通過後、残留窒素濃度はトレーガ小管を用いて
測定すると＜ｌｐｐｍである。弗素３４ｇの吸収後に、
吸収剤は飽和になった。４５０℃に２時間加熱しかつ湿
気を導通することにより吸収剤はＨＦの放出下に再生さ
れる。 ［００２９］ 例３ ＢＥＴ表面積７０ｍ／ｇを有するペレット形（ｄ２〜４
ｍｍ）（７）ＴｉＯ２を通して円筒状固定床（直径９０
　Ｘ　２８０ｍｍ）中で、弗素０．１容量％、水蒸気１
容量％、残留空気を含有する廃ガスを流動させる。接触
時間は２秒間である。温度４５０℃で弗素をＨＦと０２
に接触的に加水分解する。廃ガス中の弗素残分はＭＳ分
析により＜０．ｌｐｐｍである。 ［００３０］ 例４ ＢＥＴ表面積２５０　ｍ２７　ｇでペレット形（直径１
〜３ｍｍ）の大体の組成ＴｉＯ−０，２ＨＯのＴｉＯ２
を通して、固定床（直径８０　Ｘ　３８０ｍｍ）中ＲＴ
で窒素、酸素、アルゴン及び／又は弗素における次の弗
化物それぞれ０．１容量％を含有する廃ガスを流動させ
る：、ＨＦ、ＢＦ　　ＣＯＦ２．ＣＦ３０Ｆ、０３′ Ｆ２，０２Ｆ２．ＳｉＦ４．ＰＦ５．ＰＯＦ３．ＳＦ４
．ＳＯＦ２．ＳＯＦ４．ＣＩＦＣＩＦ　　ＣＩＦ　　Ｃ
ｌ０Ｆ　　Ｃｌ０Ｆ、ＧｅＦ　　ＡｓＦ　　、ＳｅＦ６
．Ｂｒ３’　　　　　５’　　　　　　　３′２　　　
　　　４′５′Ｆ、ＢｒＦ　　ＢｒＦ　　ＫｒＦ　　Ｓ
ｂＦ　　ＴｅＦ　　　工Ｆ　　　ＩＦ　　ＸｅＦ２゜３
・　　　　５・　　　　２・　　　　５・　　　　６・
　　　５・　　　７・ＸｅＦ　　ＸｅＦ　　Ｘｅ０Ｆ　
　ＶＦ　　ＶＯＦ　　ＣｒＦ　　Ｃｒ０２Ｆ２．ＣｒＯ
４′６′４＝　　　　５＝　　　　　３＝　　　　　５
′Ｆ　　ＭｏＦ　　ＷＦ　　ＲｅＦ　　ＲｅＦ７．ＵＦ
６゜４’　　　　　　６’　　　　６’　　　　　　６
′［００３１］ 接触時間は５秒間である。吸収剤の通過後、２ｍキュベ
ツトを用いるＦＴＩＲガス分析によりこれらの弗化物の
いずれもが検出されない。 ［００３２］ 例５ 円筒状固定床（直径８０　Ｘ　３８０ｍｍ）中ＲＴで、
窒素、酸素及び／又はアルゴンにおける次の弗化物１容
量％を含有する廃ガスを流動させる：ＨＦ、Ｃ０ＦＯＦ
　　ＯＦ　　ＩＦ　　ＳＯＦ２．ＣＩＦ、ＣＩＦ　　Ｃ
１○Ｆ　　ＣｌＦ２′２’　　２２’　　　５’　　　
　　　　　　　　　　５′　　　　３′３′ＣＩ　ＯＦ
　、　Ｂ　ｒ　Ｆ　、　Ｂ　ｒ　Ｆ　、３−　Ｂ　ｒ　
Ｆ　５．　Ｋ　ｒ　Ｆｓ、　Ｉ　Ｆ　ｓ、　Ｉ　Ｆ　’
７’　Ｘ　ｅ　Ｆ　６．　ＸｅＯＦ４゜ ［００３３］ 接触時間は１０秒間である。吸収剤の通過後、２ｍキュ
ベツトを用いてＦＴＩＲガス分析することによりこれら
の弗化物のいずれも検出されない。４５０℃に２時間加
熱しかつ湿気を導通することにより、吸収剤／触媒はＨ
Ｆ及び他の物質の放出後に再生される。 ［００３４］ 例６ ペレット形（直径２〜４ｍｍ）でＢＥＴ表面積７０ｍ／
ｇのＴｉＯ３を通して円筒状固定床（直径８０　Ｘ　３
８０ｍｍ）中湿度１００〜２５０℃で、窒素、酸素及び
／又はアルゴン中に次の弗化物１容量％を含有する廃ガ
スを流動させる：ＮＦ　ＣＦＯＦ、ＳＯＦ　Ｃｌ０３Ｆ
、Ｎ０Ｆ３．■ＯＦ５゜３’３　　　　　２２′ ［００３５］ 接触時間は５秒間である。吸収剤／触媒の通過後、２ｍ
キュベツトを用いてＦＴＩＲガス分析するとこれらの弗
化物のいずれも検出されない。４５０℃に２時間加熱し
かつ湿気を導通することにより吸収剤はＨＦの放出下に
再生される。 ［００３６］ 例７ ペレット形（直径２〜４ｍｍ）でＢＥＴ表面積７．０ｍ
／ｇのＴｉＯ２を通して円筒状固定床（直径９０　Ｘ　
２８０ｍｍ）中で次の弗化物ＮＦ　　ＣＦ３０Ｆ。 ３′ ＳＯＦ　Ｃ１０３Ｆ、Ｎ０Ｆ３．■ＯＦ５０．１％並び
に水蒸気１％、残留２２′ 窒素、酸素及び／又はアルゴンを含有する廃ガスを流動
させる。接触時間は２秒間である。温度２５０〜６００
℃、殊に４５０℃で弗化物の接触的加水分解を行ない、
炭素、硫黄及び窒素のガス状酸化物、元素状ハロゲン及
びＨＦを生成する。弗化物はＦＴＩＲガス分析によると
もはや検出されない。 ［００３７］ 例８ ２００１−容器１１中の窒素中の５％弗素の混合物を用
いて行なった合成樹脂のバッチ式弗素化により生じな、
弗素０．６％、ＨＦ１．８％及びＣＯＦ２０゜１％を含
有する廃ガス１０の除去を、１６Ｎｍ３／ｈ吸引率の弗
素固定実施法（ペルフルオロポリアルキルエーテル油）
で２工程滑り羽根型回転ポンプを用いて弗素化容器１１
を排気して行なう。容器１１は５分間で１０００ミリバ
ールから１０−２ミリバールに排気される。滑り羽根型
回転ポンプ１２により圧縮された廃ガス１０を、ペレッ
ト形のＴｉＯ２・０．２Ｈ２０（直径１〜３ｍｍ、ＢＥ
Ｔ表面積２５０ｍ２／ｇ）２５１を充填した高さ４００
ｍｍの円筒状吸収剤床１３を通してポンプ流動させる。 吸収剤１３を通過した後の廃ガス１−６はＭＳ分析によ
りＦ２＜０．ｌｐｐｍ、ＨＦ＜ｌｐｐｍ及びＣＯＦ２＜
０．ｌｐｐｍを含有する。 ［００３８］ 例８に対する比較例 例８に記載の吸収剤１３を活性アルミナ（γ−Ａ１２０
３、ＢＥＴ表面積２００ｍ２／ｇ）で充填すると、例８
の条件下に、弗素０．５％、ＨＦ０．１％及びＣＯＦ２
０．０５％を含有する廃ガスが得られる。 ［００３９］ 例９ 本例では、弗素燃焼の原理により作動する元素分析器の
廃ガスの除去について記載する。分析１回当り、未反応
弗素（２〜１０ミリモル）と共に最大濃度２ミリモルで
次の弗化物を含有し得る廃ガスが生じる：ＨＦ、ＢＦ３
．ＣＦ３０Ｆ、ＳｉＦ４．ＷＦ５，５０２Ｆ２．ＣｌＦ
３．ＣｌＦ５．ＧｅＦ４．ＡｓＦ５．ＳｉＦ４．ＢｒＦ
５．ＳｂＦ５．ＴａＦ５．ＩＦ７．ＸｅＦ４．ＸｅＦ６
．ＭｏＦ６．ＷＦ６．ＲｅＦ（直径１〜３ｍｍ、ＢＥＴ
表面積２５０ｍ２／ｇ）で含有する３１容量の円筒状吸
収体（直径８０ｍｍ）中を流動させる。 ［００４０１ 吸収体の出口では弗素並びに前記の弗化物はＭＳ分析に
より０．ｌｐｐｍを土建る範囲では検出されない。吸収
体は少なくとも３０００回の分析もしくはポンプサイク
ルを可能にする能力を有する。 【００４月 例１０ 例８及び例９の真空ポンプの分解、油交換又は長時間の
停止前に、ポンプを不活性ガス（窒素、アルゴン）で洗
浄し、カリ弗素及び／又は無機弗化物を含有する洗浄ガ
スをＴｉＯ３吸収体中をポンプ流動させる。この洗浄工
程でＭＳ分析により、廃ガス中の全弗素濃度は１ｍｇ／
Ｎｍ３より低く低下した。 ［００４２］ 例１０に対する比較例 真空ポンプの排出接続管片の後方に設けた吸収体を活性
アルミナで充填すると、室温で、強く稀釈された弗素及
び／又は弗化物を含有する洗浄ガスの極く僅かな精製だ
けが行なわれる。ＭＳ分析により吸収体の後方で１００
ｍｇ／Ｎｍ３を土建る全弗素濃度が認められた。 ［００４３］ 例１１ 弗素１８０ｍｇを含有するアンプルをＴ　１０２ペレツ
）　（直径０．２〜２ｍｍＢＥＴ表面積２５０ｍ２／ｇ
）５ｇと一緒にポリエチレン二重袋中に溶接封入する。 アンプルを破くと、流出する弗素はＴｉＯ２吸収剤材料
により結合される。弗素流出から５分後に袋を開放する
。トレーガ小管により残留弗素濃度く１容量％が測定さ
れた。弗素臭は知覚できなかった。

【図面の簡単な説明】

【回目 例８の実、験装置を示した暗示図である。 【符号の説明】 １０　ガス混合物 １１　容器 真空ポンプ 吸収剤／触媒−材料 吸引側 圧力側

【書類名】

図面

【図１】

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弗素及び／又は無機弗化物を含有する精製
   すべきガス混合物を、主成分として二酸化チタンを含有
   する吸収剤及び／又は触媒−材料（ＡＫＭ）と接触させ
   ることを特徴とする、ガスから弗素及び／又は無機弗化
   物を除去する方法。
2. 【請求項２】精製すべきガス混合物を温度−２００〜２
   ５０℃、弗素もしくは無機弗化物の分圧１０＾−＾５ミ
   リバール〜１バール及び接触時間少なくとも０．１秒間
   でＡＫＭ中を通すことを特徴とする請求項１記載の方法
   。
3. 【請求項３】負荷されたＡＫＭの再生に当りＡＫＭを水
   蒸気又は水蒸気含有ガスにより２５０〜６００℃で処理
   し、ＡＫＭを断続的に、温度を２５０〜６００℃に高め
   かつ水を蒸気及び／又は湿気の形で供給することにより
   再生し、弗素及び／又は元素の炭素、窒素、酸素、硫黄
   、塩素、臭素、沃素及び／又はキセノンの弗化物を含有
   する精製すべきガス混合物の場合、全弗素含量ｍモルに
   対して少なくともｎ／２モルの水蒸気を供給し、かつ温
   度１００〜６００℃及び接触時間０．０５〜１００秒間
   を適用することを特徴とする請求項１又は２記載の方法
   。
4. 【請求項４】吸収剤／触媒−材料を含有する請求項１記
   載の方法を実施するための装置において、吸収剤／触媒
   −材料（１３）が主成分として二酸化チタンを含有する
   ことを特徴とする装置。
5. 【請求項５】ＡＫＭの少なくとも７０％が二酸化チタン
   より成り、ＡＫＭのＢＥＴ表面積が１０〜３５０ｍ＾２
   ／ｇであり、ＡＫＭを吸収剤として使用する場合はＢＥ
   Ｔ表面積が少なくとも２０ｍ＾２／ｇであり、ＡＫＭを
   触媒として使用する場合はＢＥＴ表面積が７０ｍ＾２／
   ｇを下廻ることを特徴とする請求項４記載の装置。
6. 【請求項６】吸収剤／触媒床（１３）がペレット状の吸
   収剤／触媒−材料より形成され、ＡＫＭ（１３）に耐食
   性真空ポンプ（１２）が設置されており、その吸引側（
   １４）は精製すべきガス混合物（１０）を包含する容器
   （１１）及び洗浄ガス溜め（１７）と選択的に接続可能
   でありかつその圧力側（１５）は吸収剤／触媒床（１３
   ）に接続していることを特徴とする請求項４又は５記載
   の装置。