JPH04121662A - 超音波顕微鏡の走査方式 - Google Patents

超音波顕微鏡の走査方式

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Publication number
JPH04121662A
JPH04121662A JP2242023A JP24202390A JPH04121662A JP H04121662 A JPH04121662 A JP H04121662A JP 2242023 A JP2242023 A JP 2242023A JP 24202390 A JP24202390 A JP 24202390A JP H04121662 A JPH04121662 A JP H04121662A
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JP
Japan
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scanning
axis
movement
sub
ultrasonic sensor
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JP2242023A
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Inventor
Toshihiro Kimura
敏宏 木村
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Hitachi Construction Machinery Co Ltd
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Hitachi Construction Machinery Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、超音波顕微鏡の走査方式に関し、詳しくは
、超音波顕微鏡のスキャナにおける走査σ上がりの速度
変動の影響を受は難く、歪みのない測定画像が得られる
ような走査方式に関する。
[従来の技術] 超音波顕微鏡の全体的な構成は、通常、第5図に示す通
りである。
図において、20は、超音波顕微鏡であって、測定v1
横系21と、これの駆動を制御するコントローラ22、
測定機構系21のX主走査軸(横軸)に固定された超音
波センサ(圧電素子+レンズ)23と、このセンサを駆
動し、ここからエコー受信信号を受ける超音波測定部2
4、超音波測定部24からの測定値を受けるA/D変換
部25、A/D変換部25から測定データを読込んでそ
の画像メモリに記憶し、かつ、…1記のコントローラ2
2を制御する画像処理部26、そして、画像処理部26
で生成されたビデオ信号を受けて画像を表示するCRT
デイスプレィ(CRT)27と11えていて、A/D変
換部25と画像処理部26とCRT27とで画像処理装
置を構成している。
超音波測定部24は、通常、超音波センサ23を駆動し
、エコー受信信号を受けるパルサΦレシーバと、エコー
のピーク値を検出するピークディテクタなどを備えてい
る。A/D変換部25は、コントローラ22から主走査
軸の位置を示す位置パルスを受けて超音波測定部24か
ら送出される測定値を、例えば、主走査軸であるX軸方
向(横軸方向)の位置パルスに応じてA/D変換部25
によりA/D変換してそのサンプル値を一時記憶する。
コントローラ22は、画像処理部26により制御されて
試料位置決め系のXY移動機構と試料走査制御系のxy
z移動機構とを駆動制御する。これら移動機構により決
定されるXY座標系とxy2座標系のうちのxyの座標
関係とは、同一平面。1−にあって、XYの6値が位置
決め用の粗いピッチでの座標位置を占めるのに対してx
yの6値がXYにおいて決定されたある座標位置を基準
として細かい位置決めを行い、かつ、Xy二次元走査の
場合には、その走査位置を選択する座標位置を与える。
このようなことから、移動制御1・、からは、通常、X
Yを粗動移動の座標系とし、xyを微動移動の座標系と
している。
そこで、測定機構系21には、超音波センサ23の直下
に試料の測定部分を位置決めするXY移動テーブル28
と、試料の測定位置の中心を超音波センサ23の直下に
位置づけかつその中心を中心としてxy走査を行うX方
向走査軸30とy方向走査テーブル29とが設けられて
いる。
ここで、X方向走査軸30は、超音波センサ23が固定
されていて、X軸部動部31によりX方向に進退駆動さ
れ、X軸部動部31は、2方向移動軸32に取付られ、
X方向走査軸30とともにその全体が移動する。一方、
y方向走査テーブル29は、XY移動テーブル28のY
方向移動テーブル28b上に支承され、その下側にXY
移動テーブル28のX方向移動テーブル28aが設けら
れている。なお、X方向移動テーブル28aと2方向移
動軸32は、それぞれベース33に固定されている。そ
して、コントローラ22がこれら各テーブルと移動軸、
走査軸とをそれぞれ駆動する。
画像処理部26は、コントローラ22を介してXY移動
テーブル28を制御して試料のうちから測定したい領域
を超音波センサ23の直下に位置決めさせる。また、コ
ントローラ22を介して×y定走査行い、選択された測
定領域に対してxy右方向水平面あるいはXZI  y
z右方向垂直面において試料を走査して超音波センサ2
3.超音波測定部24を介してその測定データを得て、
これをA/D変換部25によりデジタル値に変換する。
画像処理部26は、この測定データを読込み、画像メモ
リに転送してそれに基づいてビデオ信号を生成して測定
画像をCRT27に出力して表示させる。
ところで、超音波顕微鏡のスキャナは、従来、走査用と
して、X軸にボイスコイル、y軸または2軸(垂直軸)
にパルスモータを用いているものが多いが、脈動が少な
いという理由から最近では走査用のy軸、2軸(副走査
軸)にDCモータが使われてきている。なお、位置決め
用としてのX軸(横軸)、y軸(縦軸)−には粗動用と
してパルスモータが用いられることが多い。
[解決しようとする課題] しかし、I)Cモータを走査用の副走査軸の軸駆動源と
した場合には、立上がりから一定速度に達するまでに時
間がかかる欠点がある。しかも、超音波顕微鏡における
走査範囲は、測定画像の拡大率や縮小率で変化するため
に走査速度が一定になるまでの時間がまちまちである。
このようなことから副走査の速度が一定になる前に装置
が測定状態に入ることがしばしばある。そのような場合
には、y軸とy軸(2軸)の速度が合わないために表示
された画像が歪む問題がある。
また、従来の超音波顕微鏡でパルスモータやDCモータ
を走査用の軸駆動源とした場合には、股に軸の分解能を
細かくしである。そのためにその最高スピードが高く採
れない。そこで、走査中心に一旦位置決めした超音波セ
ンサをxy走査開始時に、走査開始点(初期位置)に移
動させるまでに時間がかかる欠点がある。
この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、スキャナの走査立上がりの速度変動の影響
を受は難く、かつ、測定を開始してから短時間に歪みの
ない画像が表示できる超音波顕微鏡の走査方式を提供す
ることを目的とする。
[課題を解決するための手段コ このような目的を達成するためのこの発明の走査方式の
特徴は、走査中心点に前記超音波センサを位置決めし、
さらに、走査における副走査軸に対応する粗動二次元移
動機構の移動軸を走査中心点からΔMだけ移動させて、
この点から微動二次元移動機構による走査を行い、副走
査軸がΔmだけ移動したときに測定データの採取を開始
するものであって、ΔMと前記Δmとは、 ΔM絢S/2+Δm の関係にあって、Δmが副走査軸の移動速度がほぼ一定
になるまでの距離とされ、Sが副走査軸の移動方向の走
査範囲とされているものである。
[作用] このように、粗動動作で、副走査軸方向の座標位置を走
査範囲の外側から副走査軸の助走距離6m分だけずれた
位置に位置決めしておき、ここから走査を開始するよう
にすることで副走査軸が一定速度となってから走査範囲
に入ることができ、かつ、位置決めから走査開始までの
時間を短縮することができる。また、実際の測定データ
の採取が副走査を行ってその速度がほぼ一定となるΔm
後からであるので、Xy定走査安定してから測定データ
を採取でき、測定画像が歪んだすせずに正確な画像を表
示することができる。
[実施例コ 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。
第1図は、この発明の超音波顕微鏡の走査方式を適用し
た要部のブロック図であり、第2図は、その測定データ
採取開始信号の発生についてのタイミングチャート、第
3図は、その走査処理のフローチャート、第4図は、そ
の位置決めから走査までの動作の説明図である。なお、
第5図に示すものと同等なものは同一の符号で示す。
第1図において、1は、超音波顕微鏡であって、測定機
構系21のy軸を副走査軸とした例(X方向が主走査軸
)を示している。y方向走査テーブル29は、移動ステ
ージ10とy軸用送りねじ11と、この送りねじ11に
結合されたy軸駆動用のDCモータ13、その駆動軸に
結合されたロータリエンコーダ(エンコーダ)12とを
有している。
エンコーダ12は、通常、その回転方向を示すためにπ
/2位相だけ位相のずれたA相とB相の2相クロツク(
パルス)を発生する。第2図(a)(b)がそのパルス
である。これらA相、B相のパルスを位置パルス生成回
路14に入力する。
位置パルス生成回路14は、A相、B相の立上がり、立
ドがりてパルスを発生するA/B相アップ/ダウンパル
ス発生回路14aとOR回路14bとで構成されていて
、X軸系を主走査軸とすると、これと同期を採るために
、X軸走査系のX軸位置パルス検出回路2から超音波セ
ンサ23の走査位置を示す位置パルス2aをクロックと
して受けてこれに同期して(一定置きのクロックで定期
的に同期を採ることでもよい)第2図(C)に示すy軸
方向の位置パルス3を発生する。
位置パルス生成回路14から構成される装置パルス3は
、カウンタ回路15に入力され、カウンタ回路15がこ
れをプリセット値分カウントしてそのカウント終了後に
出力信号4(第2図(d)参照)を発生してこれをA/
D変換部25へ出力する。ここで、カウンタ回路15は
、プリセットカウンタ等を備えていて、画像処理部26
によりそのプリセット値が設定される。
A/D変換部25は、A/D変換回路(A/D)25a
とX軸方向の1ライン分の表示画素データを記憶する1
ラインメモリ25bとを備えていて、カウンタ回路15
の出力信号4を測定データ採取開始信号(画像人力イネ
ーブル信号)として受ける。そして、同図(e)に示す
ように、これを開始信号として超音波測定部24からの
測定データをA/D変換してX軸方向の各サンプル値を
1ラインメモリ25bに順次記憶する。その結果、測定
画像は、カウンタ回路15の出力時点でその採取が開始
される。
具体的には、例えば、画像処理部26のMPU5によっ
て、カウンタ回路15に“10″の数(/(がプリセッ
ト値として設定されていたとすると、カウンタ回路15
は、位置パルス発生回路14からの位置パルスが10回
(ると、A/D変換部25に画像人力イネーブル信号(
出力信号4)を出力する。このとき位置パルス3がy軸
の移動距離として0.1μm単位で出力されているとす
るならば、言い換えれば、y軸の分解能が0.1μm/
パルスのときには、Xy走査開始からy軸が1OX0.
1=1μm移動したときに1ラインメモIJ 25 b
の画像入力がネーブルとなり、画像入力が開始されるこ
とになる。そこで、カウンタ回路15のプリセット値を
選択することにより画像入力開始点をその分解能で決定
されるy軸の任意位置に設定することができる。
画像処理部26は、MPU5とメモリ6と画像メモリ7
、そしてインタフェース8等を有していて、メモリ6に
はスキャナ制御プログラム6aとΔVM索テーブル6b
等が格納されている。MPU5は、X軸位置パルス検出
回路2からの位置ノクルスを受けて、それをカウントし
て、それが、例えば、400個となり、X方向1ライン
分終了した時点で1ラインメモリ25bからX方向1ラ
イン分のデータを読込み、それをそのときのy軸方向の
表示アドレス(あるいはz軸方向の表示アドレス)の画
像メモリ7の位置のX方向の1ラインに記憶する。そし
て、画像メモリ28bのy軸(2軸)方向のアドレスを
更新する。
そこで、次の1ラインのデータが超音波測定部24から
得られたときに前記と同様な動作によりA/D変換部2
5が1ライン分の測定データを1ラインメモリに記憶し
、それを画像処理部26がその画面メモリ7に転送し、
これを繰り返すことで1画面分のデータが画像メモリ7
に記憶される。
これと同時にMPU5は、画面メモリ7のデータをビデ
オインターフェイスを介してビデオ信号としてCRT2
7に送出してその内容を表示する。
スキャナ制御プログラム6aは、これをMPU5が実行
することで、第4図の動作に従って走査の中心位置に位
置決めされた超音波センサ23を走査初期位置に粗動動
作で移動して位置決めするとともに、カウンタ回路15
にそのカウント値Nyを設定し、さらに、その後にxy
定走査開始させる。このことにより測定データの採取が
開始されるy軸の位置が走査初期位置からΔyずれた位
置になる。ただし、 Δy=NyxBy       ・・・・・・(+)こ
こで、Δy:y軸が一定速度になるまでの助走距離であ
り、その単位はμm(特許請求の範囲のΔmに対応)、
Ny:カウンタ回路15へのプリセット値、By:y軸
の分解能であり、その単位はμm/パルスである。した
がって、Δyが既知であれば、これ上りカウンタ回路1
5に設定する数値Nyを算出してこれをカウンタ回路1
5にプリセット値として設定することでy軸における測
定データの採取位置を決定できる。
なお、この場合のΔyは、DCモータ13によるy軸の
駆動速度(移動ステージ10)が一定になるのに十分な
距離として与えられる。ここでは、このΔyを外部から
設定された各走査範囲S(第4図参照)に対応して設定
する。そのためのテーブルがΔy検索テーブル6bであ
る。
次に、第3図、第4図に従ってxy定走査全体的な処理
を説明する。なお、ここでは、走査の初期位置への移動
を、y軸ではなく粗動用のY軸で行う。Y軸は、位置決
め用であり、パルスモータにより駆動することが多く、
その分解能は粗いが走査用のy軸に比べてその移動速度
は高速である。
したがって、走査初期位置への超音波センサ23の設定
は、従来よりも高速に行える。
この初期位置への位置決めのために、MPU5は、まず
、Y軸の初期位置への移動量ΔY(特許請求範囲のΔM
に相当)を計算する。この初期位置は、第4図に示すよ
うに、設定されたxyの走査範囲Sより67分外側に設
定されなければならい。そして、これによりy軸が走査
範囲Sに入るまでにその速度が一定になる助走距離Δy
を確保することができる。
さて、Y軸の初期位置への移動量ΔYは、次の式で表さ
れる。
ΔY=S/2+Δy       ・・・・・・(2)
ただし、Sは、y軸方向の走査範囲の幅である。
今、仮に、超音波センサ23の位置がXY移動テーブル
28と、X方向走査軸30(その移動はX軸駆動部31
による)及びy方向走査テーブル29により第4図に示
す走査中心点Mに位置決めされているとすると、 ΔY=NY XBY         ・・・・・・(
3)ただし、NYは、中心点MからのY軸の移動パルス
数であり、BYは、Y軸分解能9μm/パルスである。
その結果、(2)式、(3)式よりY軸がΔY移動する
パルスの数NYは、 ・・・・・・(4) となる。
したがって、S/2BY 、!:Ny XBy /BY
の値が整数となるように設定しておけば、NYが整数値
となる。それには、SとNy  (又はΔy)とをNY
が整数値となような値にあらかじめ選択しておけばよい
。Sは、外部から選択するので、その選択範囲をNYが
整数値を採るような値になるようすればよく、また、N
yは、BYとByとを整数倍関係にすればよい。
以上のことから、第3図の処理において、まず、走査範
囲Sが指定されると、ステップ■でMPU5は、位置決
め処理プログラムを実行して走査中心として選択された
第4図の位置決め点Mへ超音波センサ23を位置決めす
る。次にステップ■でMPU5は、スキャナ制御プログ
ラム6aを実行してΔy検索テーブル6bを参照し、そ
のときの走査範囲SからΔyを検索する。そして、ステ
ップ■でカウンタ回路15に設定する数値Ny  (=
Δy/By)を算出してカウンタ回路15に送出する。
これによりカウンタ回路15のプリセット値が数値Ny
になる。
次のステップ■で前記(4)式からNYを算出してその
パルスモータにNY分の位置パルスを送出する制御をコ
ントローラ22を介して行う。これによりY方向移動テ
ーブル28b(Y軸)を粗動動作でΔYだけ図面では下
側に移動させる。その結果、超音波センサ23の位置は
、逆に点Mから1〕側の初期位置の点Nへと移動するこ
とになる。
次に、ステップ■でMPU5は、コントローラ22を制
御してこの点Nの位置からxy定走査開始させる。その
結果、点Nからxy力方向走査が行われ、点Nからy方
向走査テーブル29(y軸)が67分だけ移動したとき
にカウンタ回路15から出力信号4(画面人力イネーブ
ル信号)が出力されて第4図の点Pの位置から11定植
がA/D変換部25のA / I)変換回路25aでA
/D変換されて1ラインメモリ25bに順次記憶され、
それ7’l(MPU5により画像メモリ7にX方向1ラ
インごとに転送される。なお、この場合、点Pから測定
データを採取するには、両像人力イネーブル信号を受け
てかつX軸方向の最初の位置パルスをX軸位置パルス検
出回路2から受けてA/D変換を開始すればよい。
次にステップ■で画像スキャン終了か否かを1ラインメ
モリ25bからの転送回数あるいはy軸方向(Z軸方向
)の画像メモリ7のアドレス更新値を判定することで行
う。この判定の結果、走査範囲Sにおける画像取込み処
理が終了すると、その時点で、次のステップ■において
、X方向走査軸30(y軸)とy方向走査テーブル29
(y軸〕とを駆動してxy軸を元の位置に戻して超音波
センサ23を点Nに位置付ける処理を行うと同時にY方
向移動テーブル28b(Y軸)をステップ■とは逆方向
にΔYだけ移動させて超音波センサ23の位置を元の点
Mの位置に戻す処理をする。このように同時移動処理を
することで、走査終了時点から元の中心Mの位置に戻る
時間を短縮できる。
すなわち、微動のy軸と粗動のY軸が同時に戻り移動を
するので遅いy軸の動作時間の内にすでに速いY軸側を
元に戻すことができる。したがって、Y軸の点Nから6
7分だけ移動して点Mに戻る戻り時間は全体の戻り動作
時間に全く影響を与えない。
次に、ステップ■でA/D変換部25の1ラインメモリ
25bから測定データをMPU5が読込み、それを繰り
返して画像メモリ7に1画面分の測定データか転送され
る。これと同時にMPU5により画像メモリ7のデータ
がビデオ信号に変換されて点Mを中心とした画像として
CRT27の画面−りに表示される。なお、第4図にお
いて示す■、■、■は前記の各ステップを示している。
以上の処理により、画像の人力開始は、y軸方向におい
て、必ず、中心点MからS/2 (S :走査範囲)だ
けずれた点から始まり、また、初期位置までの移動が粗
動制御系のY軸で行われるので走査全体が高速化される
また、どの走査範囲に対しても、Δy検索テーブル6b
を検索することにより、適切なΔyが得られるので、中
心点Mは、走査範囲Sによらず、固定位置となり、拡大
・縮小をくり返しても、常に中心点Mを中心として拡大
・縮小された正しい映像を得ることができる。
なお、Δy検索テーブルにおける走査範囲SとΔyとの
関係は、あらかじめ実験により各走査範囲S対応にy軸
の移動速度が一定となる距離として求めておけばよい。
また、以上の処理は、y軸を主走査軸として副走査軸の
y軸について説明しているが、これはy軸を副走査軸と
した場合についても同様である。
以上説明してきたが、この実施例のΔy@索テーブルは
、これに対応する位置パルス数であるNyを直接検索す
るものであってもよい。さらに、NYもこのとき同時に
得るようにしてもよい。このようにすれば、ステップ■
やステップ■の演算処理は不要になる。
実施例では、画像人力イネーブル信号をカウンタ回路1
5により発生するようにしているので、MPU5により
プログラム処理で行う場合よりもカウント動作が高速に
なり、その分だけ、MPU5は、その空き時間を別な仕
事に割当てることができる。これは、特に、マルチプロ
グラミングを適用した場合に有効となる。なお、Δyに
ついてのカウント動作は、カウント回路でなく、必要に
応じてMPU側で行うようにしてもよいことはもちろん
である。
また、実施例では、主走査軸をy軸として残りのy軸や
y軸を副走査軸としているが、主走査軸と副走査軸とは
、どの軸を選択してもよい。
実施例では、測定位置から粗動移動でΔYだけ超音波セ
ンサの位置をずらせるようにしているが、この場合のΔ
Yは、ΔY=S/2+Δyの式によっている。しかし、
実際には、走査範囲Sに多少のずれが許容できるので、
ΔYLqS/2+Δyであってもよく、走査範囲SとΔ
yの関係が正確に整数倍である必要はない。さらに、Δ
Yの移動は、実施例では、超音波センサを、−旦、走査
中心に位置決めした後にΔY分離れた走査初期位置に移
動するようにしているが、副走査軸方向においては走査
中心点へ位置決めすることなく、前記走査中心への位置
決めに対して67分だけずれた形で直接走査初期位置に
位置決めするようにしてもよい。
実施例では、画像人力イネーブル信号を受けてA/D変
換部に測定データを取込む処理を開始しているが、画像
入力イネーブル信号を超音波測定部に入力してこれを動
作させて超音波の送受信を開始させるようにしてもより
、認するにこの発明では、画像人力イネーブル信号の発
生とともに測定データが採取できればよい。
また、実施例では、A/D変換部で測定データのサンプ
ル値を1ラインメモリに記憶しているが、これは、1画
面分のメモリであってもよく、また、このようなメモリ
を設けることなく、A/D変換されたサンプル値をその
まま画像処理部に入力するようにしてもい。さらに、A
/D変換部にメモリを設けた場合には画像処理部の画像
メモリとの間をDMAコントローラで結合してこれらの
間のデータ転送をDMA転送してもよい。
[発明の効果] このようにこの発明にあっては、粗動動作で、副走査軸
方向の座標位置を走査範囲の外側から副走査軸の助走距
離Δm分だけずれた位置に位置決めしておき、ここから
走査を開始するようにすることで副走査軸が一定速度と
なってから走査範囲に入ることができ、かつ、位置決め
から走査開始までの時間を短縮することができる。また
、実際の測定データの採取が副走査を行ってその速度が
ほぼ一定となるΔm後からであるので、Xy定走査安定
してから測定データを採取でき、測定画像が歪んだすせ
ずに正確な画像を表示することができる。
その結果、画像表示までの待ち時間が少なくて済む。ま
た、Δmを選択することにより、画面の中心を変えない
で、画像の拡大舎縮小が可能になり、xy走査ビードが
変わっても見る画像が変化しない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の超音波顕微鏡の走査方式を適用し
た要部のブロック図であり、第2図は、その測定データ
採取開始信号の発生についてのタイミングチャート、第
3図は、その走査処理のフローチャート、第4図は、そ
の位置決めから走査までの動作の説明図、第5図は、超
音波顕微鏡の全体的な構成図である。 1.20・・・超音波顕微鏡、2・・・X軸位置パルス
検出回路、5・・・マイクロプロセッサ(MPU)、6
・・・メモリ、6a・・・スキャナ制御プログラム、6
b・・・Δy検索テーブル、 7・・・画像メモリ、8・・・インタフェース、10・
・・y (z)軸移動ステージ、11・・・y (z)
軸用送りねじ、12・・・ロータリエンコーダ、13・
・・DCモータ、 14・・・位置パルス生成回路、 21・・・測定機構系、22・・・コントローラ、23
・・・超音波センサ、24・・・超音波測定部、25−
A/D変換部、25 a ・・・A/ D変換回路、2
5b・・・1ラインメモリ、26・・・画像処理部。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)超音波センサと試料との位置関係を決める粗動二
    次元移動機構とこの粗動二次元移動機構と同じ平面にお
    いて前記粗動に対して微動で移動し、前記超音波センサ
    と前記試料とを相対的に移動させ、かつ、前記超音波セ
    ンサにより前記試料を走査する移動動作を行う微動二次
    元移動機構とを有する超音波顕微鏡において、走査中心
    点に前記超音波センサを位置決めし、さらに、前記走査
    における副走査軸に対応する前記粗動二次元移動機構の
    移動軸を前記走査中心点からΔMだけ移動させて、この
    点から前記微動二次元移動機構による走査を行い、前記
    副走査軸がΔmだけ移動したときに測定データの採取を
    開始するものであって、前記ΔMと前記Δmとは、 ΔM≒S/2+Δm の関係にあって、Δmが前記副走査軸の移動速度がほぼ
    一定になるまでの距離とされ、Sが副走査軸の移動方向
    の走査範囲であることを特徴とする超音波顕微鏡の走査
    方式。
  2. (2)副走査軸の移動は、DCモータにより駆動される
    ことを特徴とする請求項1記載の超音波顕微鏡の走査方
    式。
  3. (3)ΔMの移動による位置決めについては、副走査軸
    方向において走査中心点へ位置決めすることなしに、前
    記走査中心への位置決めに対してΔM分だけずれた形で
    直接行われることを特徴とする請求項1記載の超音波顕
    微鏡の走査方式。
  4. (4)Δmは、走査範囲Sに対応してテーブル化されて
    記憶されていて、選択された走査範囲Sに応じてこのテ
    ーブルを検索することで得ることを特徴とする請求項1
    記載の超音波顕微鏡の走査方式。
JP2242023A 1990-09-12 1990-09-12 超音波顕微鏡の走査方式 Pending JPH04121662A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008066611A (ja) * 2006-09-11 2008-03-21 Hitachi High-Technologies Corp 検査装置および検査方法
JP2011106949A (ja) * 2009-11-17 2011-06-02 Toray Eng Co Ltd 超音波画像装置

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