JPH04121662A - 超音波顕微鏡の走査方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、超音波顕微鏡の走査方式に関し、詳しくは
、超音波顕微鏡のスキャナにおける走査σ上がりの速度
変動の影響を受は難く、歪みのない測定画像が得られる
ような走査方式に関する。

［従来の技術］ 超音波顕微鏡の全体的な構成は、通常、第５図に示す通
りである。

図において、２０は、超音波顕微鏡であって、測定ｖ１
横系２１と、これの駆動を制御するコントローラ２２、
測定機構系２１のＸ主走査軸（横軸）に固定された超音
波センサ（圧電素子＋レンズ）２３と、このセンサを駆
動し、ここからエコー受信信号を受ける超音波測定部２
４、超音波測定部２４からの測定値を受けるＡ／Ｄ変換
部２５、Ａ／Ｄ変換部２５から測定データを読込んでそ
の画像メモリに記憶し、かつ、…１記のコントローラ２
２を制御する画像処理部２６、そして、画像処理部２６
で生成されたビデオ信号を受けて画像を表示するＣＲＴ
デイスプレィ（ＣＲＴ）２７と１１えていて、Ａ／Ｄ変
換部２５と画像処理部２６とＣＲＴ２７とで画像処理装
置を構成している。

超音波測定部２４は、通常、超音波センサ２３を駆動し
、エコー受信信号を受けるパルサΦレシーバと、エコー
のピーク値を検出するピークディテクタなどを備えてい
る。Ａ／Ｄ変換部２５は、コントローラ２２から主走査
軸の位置を示す位置パルスを受けて超音波測定部２４か
ら送出される測定値を、例えば、主走査軸であるＸ軸方
向（横軸方向）の位置パルスに応じてＡ／Ｄ変換部２５
によりＡ／Ｄ変換してそのサンプル値を一時記憶する。

コントローラ２２は、画像処理部２６により制御されて
試料位置決め系のＸＹ移動機構と試料走査制御系のｘｙ
ｚ移動機構とを駆動制御する。これら移動機構により決
定されるＸＹ座標系とｘｙ２座標系のうちのｘｙの座標
関係とは、同一平面。１−にあって、ＸＹの６値が位置
決め用の粗いピッチでの座標位置を占めるのに対してｘ
ｙの６値がＸＹにおいて決定されたある座標位置を基準
として細かい位置決めを行い、かつ、Ｘｙ二次元走査の
場合には、その走査位置を選択する座標位置を与える。

このようなことから、移動制御１・、からは、通常、Ｘ
Ｙを粗動移動の座標系とし、ｘｙを微動移動の座標系と
している。

そこで、測定機構系２１には、超音波センサ２３の直下
に試料の測定部分を位置決めするＸＹ移動テーブル２８
と、試料の測定位置の中心を超音波センサ２３の直下に
位置づけかつその中心を中心としてｘｙ走査を行うＸ方
向走査軸３０とｙ方向走査テーブル２９とが設けられて
いる。

ここで、Ｘ方向走査軸３０は、超音波センサ２３が固定
されていて、Ｘ軸部動部３１によりＸ方向に進退駆動さ
れ、Ｘ軸部動部３１は、２方向移動軸３２に取付られ、
Ｘ方向走査軸３０とともにその全体が移動する。一方、
ｙ方向走査テーブル２９は、ＸＹ移動テーブル２８のＹ
方向移動テーブル２８ｂ上に支承され、その下側にＸＹ
移動テーブル２８のＸ方向移動テーブル２８ａが設けら
れている。なお、Ｘ方向移動テーブル２８ａと２方向移
動軸３２は、それぞれベース３３に固定されている。そ
して、コントローラ２２がこれら各テーブルと移動軸、
走査軸とをそれぞれ駆動する。

画像処理部２６は、コントローラ２２を介してＸＹ移動
テーブル２８を制御して試料のうちから測定したい領域
を超音波センサ２３の直下に位置決めさせる。また、コ
ントローラ２２を介して×ｙ定走査行い、選択された測
定領域に対してｘｙ右方向水平面あるいはＸＺＩ　　ｙ
ｚ右方向垂直面において試料を走査して超音波センサ２
３．超音波測定部２４を介してその測定データを得て、
これをＡ／Ｄ変換部２５によりデジタル値に変換する。

画像処理部２６は、この測定データを読込み、画像メモ
リに転送してそれに基づいてビデオ信号を生成して測定
画像をＣＲＴ２７に出力して表示させる。

ところで、超音波顕微鏡のスキャナは、従来、走査用と
して、Ｘ軸にボイスコイル、ｙ軸または２軸（垂直軸）
にパルスモータを用いているものが多いが、脈動が少な
いという理由から最近では走査用のｙ軸、２軸（副走査
軸）にＤＣモータが使われてきている。なお、位置決め
用としてのＸ軸（横軸）、ｙ軸（縦軸）−には粗動用と
してパルスモータが用いられることが多い。

［解決しようとする課題］ しかし、Ｉ）Ｃモータを走査用の副走査軸の軸駆動源と
した場合には、立上がりから一定速度に達するまでに時
間がかかる欠点がある。しかも、超音波顕微鏡における
走査範囲は、測定画像の拡大率や縮小率で変化するため
に走査速度が一定になるまでの時間がまちまちである。

このようなことから副走査の速度が一定になる前に装置
が測定状態に入ることがしばしばある。そのような場合
には、ｙ軸とｙ軸（２軸）の速度が合わないために表示
された画像が歪む問題がある。

また、従来の超音波顕微鏡でパルスモータやＤＣモータ
を走査用の軸駆動源とした場合には、股に軸の分解能を
細かくしである。そのためにその最高スピードが高く採
れない。そこで、走査中心に一旦位置決めした超音波セ
ンサをｘｙ走査開始時に、走査開始点（初期位置）に移
動させるまでに時間がかかる欠点がある。

この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、スキャナの走査立上がりの速度変動の影響
を受は難く、かつ、測定を開始してから短時間に歪みの
ない画像が表示できる超音波顕微鏡の走査方式を提供す
ることを目的とする。

［課題を解決するための手段コ このような目的を達成するためのこの発明の走査方式の
特徴は、走査中心点に前記超音波センサを位置決めし、
さらに、走査における副走査軸に対応する粗動二次元移
動機構の移動軸を走査中心点からΔＭだけ移動させて、
この点から微動二次元移動機構による走査を行い、副走
査軸がΔｍだけ移動したときに測定データの採取を開始
するものであって、ΔＭと前記Δｍとは、 ΔＭ絢Ｓ／２＋Δｍ の関係にあって、Δｍが副走査軸の移動速度がほぼ一定
になるまでの距離とされ、Ｓが副走査軸の移動方向の走
査範囲とされているものである。

［作用］ このように、粗動動作で、副走査軸方向の座標位置を走
査範囲の外側から副走査軸の助走距離６ｍ分だけずれた
位置に位置決めしておき、ここから走査を開始するよう
にすることで副走査軸が一定速度となってから走査範囲
に入ることができ、かつ、位置決めから走査開始までの
時間を短縮することができる。また、実際の測定データ
の採取が副走査を行ってその速度がほぼ一定となるΔｍ
後からであるので、Ｘｙ定走査安定してから測定データ
を採取でき、測定画像が歪んだすせずに正確な画像を表
示することができる。

［実施例コ 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。

第１図は、この発明の超音波顕微鏡の走査方式を適用し
た要部のブロック図であり、第２図は、その測定データ
採取開始信号の発生についてのタイミングチャート、第
３図は、その走査処理のフローチャート、第４図は、そ
の位置決めから走査までの動作の説明図である。なお、
第５図に示すものと同等なものは同一の符号で示す。

第１図において、１は、超音波顕微鏡であって、測定機
構系２１のｙ軸を副走査軸とした例（Ｘ方向が主走査軸
）を示している。ｙ方向走査テーブル２９は、移動ステ
ージ１０とｙ軸用送りねじ１１と、この送りねじ１１に
結合されたｙ軸駆動用のＤＣモータ１３、その駆動軸に
結合されたロータリエンコーダ（エンコーダ）１２とを
有している。

エンコーダ１２は、通常、その回転方向を示すためにπ
／２位相だけ位相のずれたＡ相とＢ相の２相クロツク（
パルス）を発生する。第２図（ａ）（ｂ）がそのパルス
である。これらＡ相、Ｂ相のパルスを位置パルス生成回
路１４に入力する。

位置パルス生成回路１４は、Ａ相、Ｂ相の立上がり、立
ドがりてパルスを発生するＡ／Ｂ相アップ／ダウンパル
ス発生回路１４ａとＯＲ回路１４ｂとで構成されていて
、Ｘ軸系を主走査軸とすると、これと同期を採るために
、Ｘ軸走査系のＸ軸位置パルス検出回路２から超音波セ
ンサ２３の走査位置を示す位置パルス２ａをクロックと
して受けてこれに同期して（一定置きのクロックで定期
的に同期を採ることでもよい）第２図（Ｃ）に示すｙ軸
方向の位置パルス３を発生する。

位置パルス生成回路１４から構成される装置パルス３は
、カウンタ回路１５に入力され、カウンタ回路１５がこ
れをプリセット値分カウントしてそのカウント終了後に
出力信号４（第２図（ｄ）参照）を発生してこれをＡ／
Ｄ変換部２５へ出力する。ここで、カウンタ回路１５は
、プリセットカウンタ等を備えていて、画像処理部２６
によりそのプリセット値が設定される。

Ａ／Ｄ変換部２５は、Ａ／Ｄ変換回路（Ａ／Ｄ）２５ａ
とＸ軸方向の１ライン分の表示画素データを記憶する１
ラインメモリ２５ｂとを備えていて、カウンタ回路１５
の出力信号４を測定データ採取開始信号（画像人力イネ
ーブル信号）として受ける。そして、同図（ｅ）に示す
ように、これを開始信号として超音波測定部２４からの
測定データをＡ／Ｄ変換してＸ軸方向の各サンプル値を
１ラインメモリ２５ｂに順次記憶する。その結果、測定
画像は、カウンタ回路１５の出力時点でその採取が開始
される。

具体的には、例えば、画像処理部２６のＭＰＵ５によっ
て、カウンタ回路１５に“１０″の数（／（がプリセッ
ト値として設定されていたとすると、カウンタ回路１５
は、位置パルス発生回路１４からの位置パルスが１０回
（ると、Ａ／Ｄ変換部２５に画像人力イネーブル信号（
出力信号４）を出力する。このとき位置パルス３がｙ軸
の移動距離として０．１μｍ単位で出力されているとす
るならば、言い換えれば、ｙ軸の分解能が０．１μｍ／
パルスのときには、Ｘｙ走査開始からｙ軸が１ＯＸ０．
１＝１μｍ移動したときに１ラインメモＩＪ　２５　ｂ
の画像入力がネーブルとなり、画像入力が開始されるこ
とになる。そこで、カウンタ回路１５のプリセット値を
選択することにより画像入力開始点をその分解能で決定
されるｙ軸の任意位置に設定することができる。

画像処理部２６は、ＭＰＵ５とメモリ６と画像メモリ７
、そしてインタフェース８等を有していて、メモリ６に
はスキャナ制御プログラム６ａとΔＶＭ索テーブル６ｂ
等が格納されている。ＭＰＵ５は、Ｘ軸位置パルス検出
回路２からの位置ノクルスを受けて、それをカウントし
て、それが、例えば、４００個となり、Ｘ方向１ライン
分終了した時点で１ラインメモリ２５ｂからＸ方向１ラ
イン分のデータを読込み、それをそのときのｙ軸方向の
表示アドレス（あるいはｚ軸方向の表示アドレス）の画
像メモリ７の位置のＸ方向の１ラインに記憶する。そし
て、画像メモリ２８ｂのｙ軸（２軸）方向のアドレスを
更新する。

そこで、次の１ラインのデータが超音波測定部２４から
得られたときに前記と同様な動作によりＡ／Ｄ変換部２
５が１ライン分の測定データを１ラインメモリに記憶し
、それを画像処理部２６がその画面メモリ７に転送し、
これを繰り返すことで１画面分のデータが画像メモリ７
に記憶される。

これと同時にＭＰＵ５は、画面メモリ７のデータをビデ
オインターフェイスを介してビデオ信号としてＣＲＴ２
７に送出してその内容を表示する。

スキャナ制御プログラム６ａは、これをＭＰＵ５が実行
することで、第４図の動作に従って走査の中心位置に位
置決めされた超音波センサ２３を走査初期位置に粗動動
作で移動して位置決めするとともに、カウンタ回路１５
にそのカウント値Ｎｙを設定し、さらに、その後にｘｙ
定走査開始させる。このことにより測定データの採取が
開始されるｙ軸の位置が走査初期位置からΔｙずれた位
置になる。ただし、 Δｙ＝ＮｙｘＢｙ　　　　　　　・・・・・・（＋）こ
こで、Δｙ：ｙ軸が一定速度になるまでの助走距離であ
り、その単位はμｍ（特許請求の範囲のΔｍに対応）、
Ｎｙ：カウンタ回路１５へのプリセット値、Ｂｙ：ｙ軸
の分解能であり、その単位はμｍ／パルスである。した
がって、Δｙが既知であれば、これ上りカウンタ回路１
５に設定する数値Ｎｙを算出してこれをカウンタ回路１
５にプリセット値として設定することでｙ軸における測
定データの採取位置を決定できる。

なお、この場合のΔｙは、ＤＣモータ１３によるｙ軸の
駆動速度（移動ステージ１０）が一定になるのに十分な
距離として与えられる。ここでは、このΔｙを外部から
設定された各走査範囲Ｓ（第４図参照）に対応して設定
する。そのためのテーブルがΔｙ検索テーブル６ｂであ
る。

次に、第３図、第４図に従ってｘｙ定走査全体的な処理
を説明する。なお、ここでは、走査の初期位置への移動
を、ｙ軸ではなく粗動用のＹ軸で行う。Ｙ軸は、位置決
め用であり、パルスモータにより駆動することが多く、
その分解能は粗いが走査用のｙ軸に比べてその移動速度
は高速である。

したがって、走査初期位置への超音波センサ２３の設定
は、従来よりも高速に行える。

この初期位置への位置決めのために、ＭＰＵ５は、まず
、Ｙ軸の初期位置への移動量ΔＹ（特許請求範囲のΔＭ
に相当）を計算する。この初期位置は、第４図に示すよ
うに、設定されたｘｙの走査範囲Ｓより６７分外側に設
定されなければならい。そして、これによりｙ軸が走査
範囲Ｓに入るまでにその速度が一定になる助走距離Δｙ
を確保することができる。

さて、Ｙ軸の初期位置への移動量ΔＹは、次の式で表さ
れる。

ΔＹ＝Ｓ／２＋Δｙ　　　　　　　・・・・・・（２）
ただし、Ｓは、ｙ軸方向の走査範囲の幅である。

今、仮に、超音波センサ２３の位置がＸＹ移動テーブル
２８と、Ｘ方向走査軸３０（その移動はＸ軸駆動部３１
による）及びｙ方向走査テーブル２９により第４図に示
す走査中心点Ｍに位置決めされているとすると、 ΔＹ＝ＮＹ　ＸＢＹ　　　　　　　　　・・・・・・（
３）ただし、ＮＹは、中心点ＭからのＹ軸の移動パルス
数であり、ＢＹは、Ｙ軸分解能９μｍ／パルスである。

その結果、（２）式、（３）式よりＹ軸がΔＹ移動する
パルスの数ＮＹは、 ・・・・・・（４） となる。

したがって、Ｓ／２ＢＹ　、！：Ｎｙ　ＸＢｙ　／ＢＹ
の値が整数となるように設定しておけば、ＮＹが整数値
となる。それには、ＳとＮｙ　　（又はΔｙ）とをＮＹ
が整数値となような値にあらかじめ選択しておけばよい
。Ｓは、外部から選択するので、その選択範囲をＮＹが
整数値を採るような値になるようすればよく、また、Ｎ
ｙは、ＢＹとＢｙとを整数倍関係にすればよい。

以上のことから、第３図の処理において、まず、走査範
囲Ｓが指定されると、ステップ■でＭＰＵ５は、位置決
め処理プログラムを実行して走査中心として選択された
第４図の位置決め点Ｍへ超音波センサ２３を位置決めす
る。次にステップ■でＭＰＵ５は、スキャナ制御プログ
ラム６ａを実行してΔｙ検索テーブル６ｂを参照し、そ
のときの走査範囲ＳからΔｙを検索する。そして、ステ
ップ■でカウンタ回路１５に設定する数値Ｎｙ　　（＝
Δｙ／Ｂｙ）を算出してカウンタ回路１５に送出する。

これによりカウンタ回路１５のプリセット値が数値Ｎｙ
になる。

次のステップ■で前記（４）式からＮＹを算出してその
パルスモータにＮＹ分の位置パルスを送出する制御をコ
ントローラ２２を介して行う。これによりＹ方向移動テ
ーブル２８ｂ（Ｙ軸）を粗動動作でΔＹだけ図面では下
側に移動させる。その結果、超音波センサ２３の位置は
、逆に点Ｍから１〕側の初期位置の点Ｎへと移動するこ
とになる。

次に、ステップ■でＭＰＵ５は、コントローラ２２を制
御してこの点Ｎの位置からｘｙ定走査開始させる。その
結果、点Ｎからｘｙ力方向走査が行われ、点Ｎからｙ方
向走査テーブル２９（ｙ軸）が６７分だけ移動したとき
にカウンタ回路１５から出力信号４（画面人力イネーブ
ル信号）が出力されて第４図の点Ｐの位置から１１定植
がＡ／Ｄ変換部２５のＡ　／　Ｉ）変換回路２５ａでＡ
／Ｄ変換されて１ラインメモリ２５ｂに順次記憶され、
それ７’ｌ（ＭＰＵ５により画像メモリ７にＸ方向１ラ
インごとに転送される。なお、この場合、点Ｐから測定
データを採取するには、両像人力イネーブル信号を受け
てかつＸ軸方向の最初の位置パルスをＸ軸位置パルス検
出回路２から受けてＡ／Ｄ変換を開始すればよい。

次にステップ■で画像スキャン終了か否かを１ラインメ
モリ２５ｂからの転送回数あるいはｙ軸方向（Ｚ軸方向
）の画像メモリ７のアドレス更新値を判定することで行
う。この判定の結果、走査範囲Ｓにおける画像取込み処
理が終了すると、その時点で、次のステップ■において
、Ｘ方向走査軸３０（ｙ軸）とｙ方向走査テーブル２９
（ｙ軸〕とを駆動してｘｙ軸を元の位置に戻して超音波
センサ２３を点Ｎに位置付ける処理を行うと同時にＹ方
向移動テーブル２８ｂ（Ｙ軸）をステップ■とは逆方向
にΔＹだけ移動させて超音波センサ２３の位置を元の点
Ｍの位置に戻す処理をする。このように同時移動処理を
することで、走査終了時点から元の中心Ｍの位置に戻る
時間を短縮できる。

すなわち、微動のｙ軸と粗動のＹ軸が同時に戻り移動を
するので遅いｙ軸の動作時間の内にすでに速いＹ軸側を
元に戻すことができる。したがって、Ｙ軸の点Ｎから６
７分だけ移動して点Ｍに戻る戻り時間は全体の戻り動作
時間に全く影響を与えない。

次に、ステップ■でＡ／Ｄ変換部２５の１ラインメモリ
２５ｂから測定データをＭＰＵ５が読込み、それを繰り
返して画像メモリ７に１画面分の測定データか転送され
る。これと同時にＭＰＵ５により画像メモリ７のデータ
がビデオ信号に変換されて点Ｍを中心とした画像として
ＣＲＴ２７の画面−りに表示される。なお、第４図にお
いて示す■、■、■は前記の各ステップを示している。

以上の処理により、画像の人力開始は、ｙ軸方向におい
て、必ず、中心点ＭからＳ／２　（Ｓ　：走査範囲）だ
けずれた点から始まり、また、初期位置までの移動が粗
動制御系のＹ軸で行われるので走査全体が高速化される
。

また、どの走査範囲に対しても、Δｙ検索テーブル６ｂ
を検索することにより、適切なΔｙが得られるので、中
心点Ｍは、走査範囲Ｓによらず、固定位置となり、拡大
・縮小をくり返しても、常に中心点Ｍを中心として拡大
・縮小された正しい映像を得ることができる。

なお、Δｙ検索テーブルにおける走査範囲ＳとΔｙとの
関係は、あらかじめ実験により各走査範囲Ｓ対応にｙ軸
の移動速度が一定となる距離として求めておけばよい。

また、以上の処理は、ｙ軸を主走査軸として副走査軸の
ｙ軸について説明しているが、これはｙ軸を副走査軸と
した場合についても同様である。

以上説明してきたが、この実施例のΔｙ＠索テーブルは
、これに対応する位置パルス数であるＮｙを直接検索す
るものであってもよい。さらに、ＮＹもこのとき同時に
得るようにしてもよい。このようにすれば、ステップ■
やステップ■の演算処理は不要になる。

実施例では、画像人力イネーブル信号をカウンタ回路１
５により発生するようにしているので、ＭＰＵ５により
プログラム処理で行う場合よりもカウント動作が高速に
なり、その分だけ、ＭＰＵ５は、その空き時間を別な仕
事に割当てることができる。これは、特に、マルチプロ
グラミングを適用した場合に有効となる。なお、Δｙに
ついてのカウント動作は、カウント回路でなく、必要に
応じてＭＰＵ側で行うようにしてもよいことはもちろん
である。

また、実施例では、主走査軸をｙ軸として残りのｙ軸や
ｙ軸を副走査軸としているが、主走査軸と副走査軸とは
、どの軸を選択してもよい。

実施例では、測定位置から粗動移動でΔＹだけ超音波セ
ンサの位置をずらせるようにしているが、この場合のΔ
Ｙは、ΔＹ＝Ｓ／２＋Δｙの式によっている。しかし、
実際には、走査範囲Ｓに多少のずれが許容できるので、
ΔＹＬｑＳ／２＋Δｙであってもよく、走査範囲ＳとΔ
ｙの関係が正確に整数倍である必要はない。さらに、Δ
Ｙの移動は、実施例では、超音波センサを、−旦、走査
中心に位置決めした後にΔＹ分離れた走査初期位置に移
動するようにしているが、副走査軸方向においては走査
中心点へ位置決めすることなく、前記走査中心への位置
決めに対して６７分だけずれた形で直接走査初期位置に
位置決めするようにしてもよい。

実施例では、画像人力イネーブル信号を受けてＡ／Ｄ変
換部に測定データを取込む処理を開始しているが、画像
入力イネーブル信号を超音波測定部に入力してこれを動
作させて超音波の送受信を開始させるようにしてもより
、認するにこの発明では、画像人力イネーブル信号の発
生とともに測定データが採取できればよい。

また、実施例では、Ａ／Ｄ変換部で測定データのサンプ
ル値を１ラインメモリに記憶しているが、これは、１画
面分のメモリであってもよく、また、このようなメモリ
を設けることなく、Ａ／Ｄ変換されたサンプル値をその
まま画像処理部に入力するようにしてもい。さらに、Ａ
／Ｄ変換部にメモリを設けた場合には画像処理部の画像
メモリとの間をＤＭＡコントローラで結合してこれらの
間のデータ転送をＤＭＡ転送してもよい。

［発明の効果］ このようにこの発明にあっては、粗動動作で、副走査軸
方向の座標位置を走査範囲の外側から副走査軸の助走距
離Δｍ分だけずれた位置に位置決めしておき、ここから
走査を開始するようにすることで副走査軸が一定速度と
なってから走査範囲に入ることができ、かつ、位置決め
から走査開始までの時間を短縮することができる。また
、実際の測定データの採取が副走査を行ってその速度が
ほぼ一定となるΔｍ後からであるので、Ｘｙ定走査安定
してから測定データを採取でき、測定画像が歪んだすせ
ずに正確な画像を表示することができる。

その結果、画像表示までの待ち時間が少なくて済む。ま
た、Δｍを選択することにより、画面の中心を変えない
で、画像の拡大舎縮小が可能になり、ｘｙ走査ビードが
変わっても見る画像が変化しない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の超音波顕微鏡の走査方式を適用し
た要部のブロック図であり、第２図は、その測定データ
採取開始信号の発生についてのタイミングチャート、第
３図は、その走査処理のフローチャート、第４図は、そ
の位置決めから走査までの動作の説明図、第５図は、超
音波顕微鏡の全体的な構成図である。 １．２０・・・超音波顕微鏡、２・・・Ｘ軸位置パルス
検出回路、５・・・マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、６
・・・メモリ、６ａ・・・スキャナ制御プログラム、６
ｂ・・・Δｙ検索テーブル、 ７・・・画像メモリ、８・・・インタフェース、１０・
・・ｙ　（ｚ）軸移動ステージ、１１・・・ｙ　（ｚ）
軸用送りねじ、１２・・・ロータリエンコーダ、１３・
・・ＤＣモータ、 １４・・・位置パルス生成回路、 ２１・・・測定機構系、２２・・・コントローラ、２３
・・・超音波センサ、２４・・・超音波測定部、２５−
Ａ／Ｄ変換部、２５　ａ　・・・Ａ／　Ｄ変換回路、２
５ｂ・・・１ラインメモリ、２６・・・画像処理部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）超音波センサと試料との位置関係を決める粗動二
   次元移動機構とこの粗動二次元移動機構と同じ平面にお
   いて前記粗動に対して微動で移動し、前記超音波センサ
   と前記試料とを相対的に移動させ、かつ、前記超音波セ
   ンサにより前記試料を走査する移動動作を行う微動二次
   元移動機構とを有する超音波顕微鏡において、走査中心
   点に前記超音波センサを位置決めし、さらに、前記走査
   における副走査軸に対応する前記粗動二次元移動機構の
   移動軸を前記走査中心点からΔＭだけ移動させて、この
   点から前記微動二次元移動機構による走査を行い、前記
   副走査軸がΔｍだけ移動したときに測定データの採取を
   開始するものであって、前記ΔＭと前記Δｍとは、 ΔＭ≒Ｓ／２＋Δｍ の関係にあって、Δｍが前記副走査軸の移動速度がほぼ
   一定になるまでの距離とされ、Ｓが副走査軸の移動方向
   の走査範囲であることを特徴とする超音波顕微鏡の走査
   方式。
2. （２）副走査軸の移動は、ＤＣモータにより駆動される
   ことを特徴とする請求項１記載の超音波顕微鏡の走査方
   式。
3. （３）ΔＭの移動による位置決めについては、副走査軸
   方向において走査中心点へ位置決めすることなしに、前
   記走査中心への位置決めに対してΔＭ分だけずれた形で
   直接行われることを特徴とする請求項１記載の超音波顕
   微鏡の走査方式。
4. （４）Δｍは、走査範囲Ｓに対応してテーブル化されて
   記憶されていて、選択された走査範囲Ｓに応じてこのテ
   ーブルを検索することで得ることを特徴とする請求項１
   記載の超音波顕微鏡の走査方式。