JPH04120288A - 電鋳加工用治具 - Google Patents
電鋳加工用治具Info
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- JPH04120288A JPH04120288A JP23794690A JP23794690A JPH04120288A JP H04120288 A JPH04120288 A JP H04120288A JP 23794690 A JP23794690 A JP 23794690A JP 23794690 A JP23794690 A JP 23794690A JP H04120288 A JPH04120288 A JP H04120288A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はCD、LD等のデジタル情報記録媒体、LPレ
コード等のアナログ情報記録媒体としての円盤状記録媒
体を成形するためのスタンパ電鋳用治具に関し、特に文
書ファイル用光ディスクの基板成形に使用するスタンパ
の電鋳加工用治具に関する。
コード等のアナログ情報記録媒体としての円盤状記録媒
体を成形するためのスタンパ電鋳用治具に関し、特に文
書ファイル用光ディスクの基板成形に使用するスタンパ
の電鋳加工用治具に関する。
(従来の技術)
CD、LD等の円盤状光情報記録媒体、LPレコード等
の円盤状アナログ情報記録媒体を成形する際に使用する
従来のスタンパの電鋳加工方法においては、マスターを
電鋳加工用治具上に搭載し、複製電鋳板であるマザーを
電鋳加工した後、該マザーをマスターの代わりに電鋳加
工用治具上に搭載し、このマザーを元にサン(スタンパ
)を製造することが行なわれている。
の円盤状アナログ情報記録媒体を成形する際に使用する
従来のスタンパの電鋳加工方法においては、マスターを
電鋳加工用治具上に搭載し、複製電鋳板であるマザーを
電鋳加工した後、該マザーをマスターの代わりに電鋳加
工用治具上に搭載し、このマザーを元にサン(スタンパ
)を製造することが行なわれている。
第9図乃至第12図は従来から一般に芙施されているス
タンパの電鋳加工用治具の構造の概要と、複製板の電鋳
加工方法を示す説明図である。
タンパの電鋳加工用治具の構造の概要と、複製板の電鋳
加工方法を示す説明図である。
なお、マスターからマザーを得る工程と、マザーからサ
ンを得る工程とはほぼ同様であるため、ここでは主とし
てマザーからサンを得る工程を説明する。
ンを得る工程とはほぼ同様であるため、ここでは主とし
てマザーからサンを得る工程を説明する。
第9図に示すように円盤状の回転電鋳治具本体101a
は、その表面側に縁部132と凹部133とを形成し、
その裏面中央には回転軸固定ネジ104が連結するボス
部105が形成される。ボス部105を図示しない回転
駆動機構に連結することにより回転電鋳治具本体101
aは回転駆動される。また、回転軸固定ネジ104は、
図示を省略した電源部に連通ずる。縁部132及び凹部
133の底面には導電層134が設けられ、回転軸固定
ネジ104と電気的に接続する。
は、その表面側に縁部132と凹部133とを形成し、
その裏面中央には回転軸固定ネジ104が連結するボス
部105が形成される。ボス部105を図示しない回転
駆動機構に連結することにより回転電鋳治具本体101
aは回転駆動される。また、回転軸固定ネジ104は、
図示を省略した電源部に連通ずる。縁部132及び凹部
133の底面には導電層134が設けられ、回転軸固定
ネジ104と電気的に接続する。
外周挟持枠体108aは図示のように、断面が逆り字状
の外周リング109aと、回転電鋳軸本体101a側に
連結される固定板110とから成り、固定板110の鍔
111は外周リング109aの内周溝115aに嵌着係
合する。
の外周リング109aと、回転電鋳軸本体101a側に
連結される固定板110とから成り、固定板110の鍔
111は外周リング109aの内周溝115aに嵌着係
合する。
マザー電鋳時に使用した外周メタルリングに端縁が固着
して一体化したものを外周枠体108aと固定板110
の間に配置させる。符号137は、プラスチックスペー
サである。
して一体化したものを外周枠体108aと固定板110
の間に配置させる。符号137は、プラスチックスペー
サである。
前記マザー電鋳基板136はその外周縁全周を包囲する
メタルリング135を介して導電層134に導通した状
態で回転電鋳治具本体101a上に搭載される。また、
外周メタルリング135の上面にはサン複製用の外周メ
タルリング138が載置される。
メタルリング135を介して導電層134に導通した状
態で回転電鋳治具本体101a上に搭載される。また、
外周メタルリング135の上面にはサン複製用の外周メ
タルリング138が載置される。
外周枠体108aは、外周リング109aの突起部13
9を複製用外周メタルリング138に当接させるととも
に、固定板110の鍔111を内周溝115aに係止し
た状態で回転電鋳治具本体Iotaに係着されるため、
電鋳用リング135及び複製用外周メタルリング138
は外周枠体108aによって回転電鋳治具本体101a
側に押圧されて固定保持されることとなる。
9を複製用外周メタルリング138に当接させるととも
に、固定板110の鍔111を内周溝115aに係止し
た状態で回転電鋳治具本体Iotaに係着されるため、
電鋳用リング135及び複製用外周メタルリング138
は外周枠体108aによって回転電鋳治具本体101a
側に押圧されて固定保持されることとなる。
以上の状態で前記マザー電鋳基板136に電鋳液を接触
させながら導電層134に通電することにより、マザー
電鋳基板136上には所定の電鋳厚みを有するサン14
0(第10図)が形成される。サン140の外縁部は外
周メタルリング138の内面に付着し、一体的構造のも
のとなる。
させながら導電層134に通電することにより、マザー
電鋳基板136上には所定の電鋳厚みを有するサン14
0(第10図)が形成される。サン140の外縁部は外
周メタルリング138の内面に付着し、一体的構造のも
のとなる。
第10図は、第9図に示した電鋳加工用治具の主要部を
拡大表示した断面図である。
拡大表示した断面図である。
上記従来のマザー及びサンの製造方法において問題とな
るのは次の点である。
るのは次の点である。
即ち、第11図及び第12図は、前記の電鋳加工用治具
によりマザーな電鋳用基板として用いて製作した場合の
マザー電鋳基板136とサンエ40との係合状態を示す
ものであるが、両者の外周メタルリング135.136
は、外周枠体108aにより単に通電接触されているだ
けで互いに固着されていない、そのため、両者は第11
図のように互いに接触した状態に保持されず、マザー電
鋳基板136、サン140の応力反りや洗身時の外力の
作用により第12図のように容易に剥れが生じる。即ち
、マザー電鋳基板136と複製サン板140との外周側
から信号ビットの形成されるグループのある内周側に向
かって部分剥れが生じる。
によりマザーな電鋳用基板として用いて製作した場合の
マザー電鋳基板136とサンエ40との係合状態を示す
ものであるが、両者の外周メタルリング135.136
は、外周枠体108aにより単に通電接触されているだ
けで互いに固着されていない、そのため、両者は第11
図のように互いに接触した状態に保持されず、マザー電
鋳基板136、サン140の応力反りや洗身時の外力の
作用により第12図のように容易に剥れが生じる。即ち
、マザー電鋳基板136と複製サン板140との外周側
から信号ビットの形成されるグループのある内周側に向
かって部分剥れが生じる。
その為、電鋳液や各種の処理波及、び空気中の塵埃等が
前記グループ等に付着し基板面が汚損されるとともに基
板表面が変質したり、基板間のこすれによる信号ビット
の変形等が発生する。
前記グループ等に付着し基板面が汚損されるとともに基
板表面が変質したり、基板間のこすれによる信号ビット
の変形等が発生する。
更に、電鋳加工後に裏打ち板を接着させる工程において
裏打ち板の圧着によって信号ピットにつぶれ変形が生じ
る。
裏打ち板の圧着によって信号ピットにつぶれ変形が生じ
る。
以上のように従来技術では剥れが発生し易く、高品質の
光デイスク用のスタンパが複製できない問題点があった
。なお、第11図及び第12図は、マザーとサンとの間
の問題点として説明したが、マスターとマザーとの間に
も前記と同様な問題が生じる。
光デイスク用のスタンパが複製できない問題点があった
。なお、第11図及び第12図は、マザーとサンとの間
の問題点として説明したが、マスターとマザーとの間に
も前記と同様な問題が生じる。
(発明の目的)
本発明は以上の問題点を解決すべく提案されたものであ
り、外周部の剥離がなく、基板表面の汚損、変質や信号
ビットのつぶれ変形等が発生せず、高品質のスタンパが
得られると共に、スタンパとしても必要、且つ充分な厚
みを有し、取り扱いも容易にできるスタンパの電鋳加工
用治具を提供することを目的としている。
り、外周部の剥離がなく、基板表面の汚損、変質や信号
ビットのつぶれ変形等が発生せず、高品質のスタンパが
得られると共に、スタンパとしても必要、且つ充分な厚
みを有し、取り扱いも容易にできるスタンパの電鋳加工
用治具を提供することを目的としている。
(発明の構成)
上記目的を達成するため本発明は、円板状の回転電鋳治
具本体と、この回転電鋳治具本体表面上に添設した大径
の通電円板と、該通電円板上に同軸状に載置される小径
の裏打ち板と、該裏打ち板の表面に接着された大径の電
鋳用基板と、該裏打ち板の外径方向に突出した通電円板
と電鋳用基板との間に形成される空所内に収納されて通
電円板と電鋳用基板とを通電させる通電リングとを備え
たことを特徴としている。
具本体と、この回転電鋳治具本体表面上に添設した大径
の通電円板と、該通電円板上に同軸状に載置される小径
の裏打ち板と、該裏打ち板の表面に接着された大径の電
鋳用基板と、該裏打ち板の外径方向に突出した通電円板
と電鋳用基板との間に形成される空所内に収納されて通
電円板と電鋳用基板とを通電させる通電リングとを備え
たことを特徴としている。
また、本発明においては、上記通電リングは、プラスチ
ック絶縁体リングの表裏両面に導電リング板を添設した
状態で、両導電リング板間を導電性のネジで連結固定導
通化した構成であるとともに、該通電リングの外径側の
前記空所内に気密的に嵌着したゴムリングにより前記通
電リング、前記鋳電用基板の周縁部及び裏面を電鋳浴液
から隔離したことを特徴としている。
ック絶縁体リングの表裏両面に導電リング板を添設した
状態で、両導電リング板間を導電性のネジで連結固定導
通化した構成であるとともに、該通電リングの外径側の
前記空所内に気密的に嵌着したゴムリングにより前記通
電リング、前記鋳電用基板の周縁部及び裏面を電鋳浴液
から隔離したことを特徴としている。
また、本発明の他の実施例においては、上記通電リング
は、プラスチック絶縁体リングの貫通孔内に板バネ材か
ら成る通電端子を挿通してからコ字状に屈曲させること
により、前記通電円板と鋳電用基板との間を導通させた
ことを特徴としている。
は、プラスチック絶縁体リングの貫通孔内に板バネ材か
ら成る通電端子を挿通してからコ字状に屈曲させること
により、前記通電円板と鋳電用基板との間を導通させた
ことを特徴としている。
更に、本発明は、前記回転電鋳治具本体の外周縁部に着
脱自在な外周挟持枠な備え、該外周挟持枠に取付けたO
リングが前記電鋳用基板の外周縁部上面に圧接したとき
に該Oリングの内外な水密気密的に遮断することを特徴
としている。
脱自在な外周挟持枠な備え、該外周挟持枠に取付けたO
リングが前記電鋳用基板の外周縁部上面に圧接したとき
に該Oリングの内外な水密気密的に遮断することを特徴
としている。
以下、添付図面に示した好適な実施例に基づいて本発明
の詳細な説明する。
の詳細な説明する。
第1図fal及び[blは本発明を適用した電鋳加工用
治具の縦断面図及びその一部透視平面図、第2図及び第
3図(a) (blは要部の拡大構成説明図である。
治具の縦断面図及びその一部透視平面図、第2図及び第
3図(a) (blは要部の拡大構成説明図である。
この電鋳用治具は、電鋳用治具本体lの外周縁部に外周
挟持枠17を着脱自在に取付けるとともに、電鋳用治具
本体1の上「に支持した裏打ち板5及び電鋳用基板(マ
スター又はマザー)6等を、電鋳用治具本体1と外周挟
持$/:17によって挟圧保持可能とし、更に外周挟持
枠17を治具本体1上に密着させない状態における電鋳
により薄膜シール形成してから、外周挟持枠17を治具
本体上に密着させた状態における電鋳により該薄膜シー
ル上にスタンパ用の電鋳層を形成することにより周縁部
の剥離することのない電鋳層を形成することを可能とし
た点が特徴的である。
挟持枠17を着脱自在に取付けるとともに、電鋳用治具
本体1の上「に支持した裏打ち板5及び電鋳用基板(マ
スター又はマザー)6等を、電鋳用治具本体1と外周挟
持$/:17によって挟圧保持可能とし、更に外周挟持
枠17を治具本体1上に密着させない状態における電鋳
により薄膜シール形成してから、外周挟持枠17を治具
本体上に密着させた状態における電鋳により該薄膜シー
ル上にスタンパ用の電鋳層を形成することにより周縁部
の剥離することのない電鋳層を形成することを可能とし
た点が特徴的である。
即ち、第1図に示すように円板状の回転電鋳治具本体1
は、表面側に同軸状に添設した薄板状の導電性材料から
成る通電円板2と、裏面中央に突設した回転軸固定ネジ
(導電材料)3を有したボス部4とを有する8回転電鋳
治具本体1は、ボス部4を図示しない回転機構に連結す
ることにより、ボス部4を中心として回転駆動される。
は、表面側に同軸状に添設した薄板状の導電性材料から
成る通電円板2と、裏面中央に突設した回転軸固定ネジ
(導電材料)3を有したボス部4とを有する8回転電鋳
治具本体1は、ボス部4を図示しない回転機構に連結す
ることにより、ボス部4を中心として回転駆動される。
また、回転軸固定ネジ3は、図示を省略した電鋳用の電
源部に電気的に接続され、回転軸固定ネジ3を介して通
電円板2に電流を供給する。
源部に電気的に接続され、回転軸固定ネジ3を介して通
電円板2に電流を供給する。
通電円板2上に同軸状に載置される小径の裏打ち板5は
下面のネジ孔9(例えば90度間隔で4か所に形成)に
、回転電鋳治具本体1を貫通したステンレスイモネジ8
の先端を螺着することにより固定されるとともに、該イ
モネジ8の下端部は液シール0リング10を介してプラ
スチックキャツブナツト11により回転電鋳治具本体1
下面に締付は固定される。
下面のネジ孔9(例えば90度間隔で4か所に形成)に
、回転電鋳治具本体1を貫通したステンレスイモネジ8
の先端を螺着することにより固定されるとともに、該イ
モネジ8の下端部は液シール0リング10を介してプラ
スチックキャツブナツト11により回転電鋳治具本体1
下面に締付は固定される。
裏打ち板5の表面に接着された電鋳用基板(マスターま
たはマザー)6は、下方に位置する通電円板2とほぼ同
径であるため、その周縁部は裏打ち板5の外径方向に突
出している0通電円板2と電鋳用基板6の突出した外周
縁部間の環状空隙には環状の通電リング7を介挿すると
ともにその適所を金属ネジ15で固定する。
たはマザー)6は、下方に位置する通電円板2とほぼ同
径であるため、その周縁部は裏打ち板5の外径方向に突
出している0通電円板2と電鋳用基板6の突出した外周
縁部間の環状空隙には環状の通電リング7を介挿すると
ともにその適所を金属ネジ15で固定する。
通電リング7は、環状のプラスチックリング体12の表
裏を導電リング板13.14によって挟んだ状態でこれ
らを金属ネジ15で連結固定導通化した構成を有する0
通電リング7の外径方向に形成される環状の空所内には
、その全周に亙って断面T型のゴムリング16を嵌着し
、このゴムリング16によって通電円板2、導電リング
板1314及び電鋳用基板6の裏面を電鋳液からシール
して電鋳層が電鋳用基板6の表面と外周端部以外に形成
されることを防止している。
裏を導電リング板13.14によって挟んだ状態でこれ
らを金属ネジ15で連結固定導通化した構成を有する0
通電リング7の外径方向に形成される環状の空所内には
、その全周に亙って断面T型のゴムリング16を嵌着し
、このゴムリング16によって通電円板2、導電リング
板1314及び電鋳用基板6の裏面を電鋳液からシール
して電鋳層が電鋳用基板6の表面と外周端部以外に形成
されることを防止している。
このように回転電鋳治具本体1上面に対する組付けを行
なった後で、アクリル等のプラスチック材から成る環状
の外周挟持枠17を回転電鋳治具本体1の最外周縁部に
沿って組み付ける。
なった後で、アクリル等のプラスチック材から成る環状
の外周挟持枠17を回転電鋳治具本体1の最外周縁部に
沿って組み付ける。
外周挟持枠17は、挟持枠本体17aと、挟持枠本体1
7aの内周面に沿って可動に支持された可動リング状締
付具26とから概略構成される。
7aの内周面に沿って可動に支持された可動リング状締
付具26とから概略構成される。
挟持挟持枠本体17aの内周面の下部には内周溝18が
形成されるとともに、中間の段差部の下面の凹所内には
ウレタンOリング21が配置されている。符号19は、
回転電鋳治具本体lの下面周縁部に同軸状に配置される
ステンレス製の固定リングであり、固定リング19は回
転電鋳治具本体1の底面に接する内径端部19aと、中
央のネジ穴を貫通して先端で回転電鋳治具本体lの底面
に圧接する固定ネジ20と、内周溝18に嵌着する外径
端部19bとを有する。固定リング19の外径端部は、
例えば歯車のように周方向に所定間隔をおいて形成した
複数の凹凸から構成する。固定リング19は周方向へ回
転可能であり、外径端部19bを内周溝18の図示しな
い欠落部から挿入して内周溝から脱落しない位置に回動
した上で固定ネジ20によって締付けることにより、外
径端部19bを図面下方へ拡開させて0リング21を回
転電鋳治具本体1上面に圧着させる。この操作により、
外周挟持枠17を回転電鋳治具本体1の周縁部に固定す
ることができる。
形成されるとともに、中間の段差部の下面の凹所内には
ウレタンOリング21が配置されている。符号19は、
回転電鋳治具本体lの下面周縁部に同軸状に配置される
ステンレス製の固定リングであり、固定リング19は回
転電鋳治具本体1の底面に接する内径端部19aと、中
央のネジ穴を貫通して先端で回転電鋳治具本体lの底面
に圧接する固定ネジ20と、内周溝18に嵌着する外径
端部19bとを有する。固定リング19の外径端部は、
例えば歯車のように周方向に所定間隔をおいて形成した
複数の凹凸から構成する。固定リング19は周方向へ回
転可能であり、外径端部19bを内周溝18の図示しな
い欠落部から挿入して内周溝から脱落しない位置に回動
した上で固定ネジ20によって締付けることにより、外
径端部19bを図面下方へ拡開させて0リング21を回
転電鋳治具本体1上面に圧着させる。この操作により、
外周挟持枠17を回転電鋳治具本体1の周縁部に固定す
ることができる。
第2図及び第3図(a) fb)に示すように外周挟
持枠17の外周面の上部には周方向全長に亙る同輪状の
外周溝部22が形成されている。外周溝部22内には全
周に互って回転リング23が相対回転可能に嵌着されて
おり、回転リング23の適所(例えば6か所或は12か
所)には窓25が径方向に向かって貫通形成され、この
窓内には爪24が内外径方向へ進退可能に挿入されてい
る。窓25の更に内径側には外周挟持枠17の内周面へ
貫通する穴17b(外周挟持枠17の周方向全長或は窓
25よりも長い周方同長を有する)が形成されている。
持枠17の外周面の上部には周方向全長に亙る同輪状の
外周溝部22が形成されている。外周溝部22内には全
周に互って回転リング23が相対回転可能に嵌着されて
おり、回転リング23の適所(例えば6か所或は12か
所)には窓25が径方向に向かって貫通形成され、この
窓内には爪24が内外径方向へ進退可能に挿入されてい
る。窓25の更に内径側には外周挟持枠17の内周面へ
貫通する穴17b(外周挟持枠17の周方向全長或は窓
25よりも長い周方同長を有する)が形成されている。
爪24の内端下部には被ガイド突起24aが突設される
とともに、この被ガイド突起24aは、穴17b底面上
に傾斜して形成したガイド溝17c内に突出している。
とともに、この被ガイド突起24aは、穴17b底面上
に傾斜して形成したガイド溝17c内に突出している。
爪24の外周端面に対して、図示しない電解槽の蓋部か
ら押圧棒が突出してくると、爪24はガイド溝170に
沿って押し込まれて行く。爪24が押し込まれる過程に
おいて、爪24は矢印へ方向へ回転する回転電鋳治具本
体1と相対回転を起こして回転リングなり方向へ相対回
転させる。爪24が更に押し込まれ続けると、最終的に
は被ガイド突起24aがガイド溝17cの内径側終端部
17c゛に達する。
ら押圧棒が突出してくると、爪24はガイド溝170に
沿って押し込まれて行く。爪24が押し込まれる過程に
おいて、爪24は矢印へ方向へ回転する回転電鋳治具本
体1と相対回転を起こして回転リングなり方向へ相対回
転させる。爪24が更に押し込まれ続けると、最終的に
は被ガイド突起24aがガイド溝17cの内径側終端部
17c゛に達する。
このとき、爪24は回転リング23及び前記棒と非干渉
状態になる(回転リング23とは干渉していてもよい)
、このように爪24が第2図(alの実線位置から点線
位置まで押し込まれる過程で回転リング23が周方向へ
所定角度回転させられる。
状態になる(回転リング23とは干渉していてもよい)
、このように爪24が第2図(alの実線位置から点線
位置まで押し込まれる過程で回転リング23が周方向へ
所定角度回転させられる。
外周挟持枠17の内周上部から内方へ突出した突部17
dの直下にはリング状昇降片(昇降リング)26が外周
挟持枠17に対して相対昇降可能に支持されている。即
ち、昇降リング26の外周面からはSUS棒27が前記
穴17b内に突設されるとともに、その先端は回転リン
グ23の内周面28(第3図(b))の傾斜溝29内に
嵌入している。従って、爪24が被ガイド溝17cに沿
って内径方向へ移動することにより、回転リング23が
回転電鋳治具本体lと逆方向へ相対回転すると、SUS
棒2棒先7先端斜溝29に沿って下降方向へ移動するた
め、昇降リング26は回転電鋳治具本体1上に下降する
。昇降リング26の内周面には板バネ26aを介して所
定厚を有する軟質ゴムリング30が固定されるとともに
、軟質ゴムリング30の下面にはφ3mm程度のウレタ
ンOリング31が全周に亙って接着固定されている。
dの直下にはリング状昇降片(昇降リング)26が外周
挟持枠17に対して相対昇降可能に支持されている。即
ち、昇降リング26の外周面からはSUS棒27が前記
穴17b内に突設されるとともに、その先端は回転リン
グ23の内周面28(第3図(b))の傾斜溝29内に
嵌入している。従って、爪24が被ガイド溝17cに沿
って内径方向へ移動することにより、回転リング23が
回転電鋳治具本体lと逆方向へ相対回転すると、SUS
棒2棒先7先端斜溝29に沿って下降方向へ移動するた
め、昇降リング26は回転電鋳治具本体1上に下降する
。昇降リング26の内周面には板バネ26aを介して所
定厚を有する軟質ゴムリング30が固定されるとともに
、軟質ゴムリング30の下面にはφ3mm程度のウレタ
ンOリング31が全周に亙って接着固定されている。
昇降片26内周面と軟質ゴムリング30との間には弾性
変形用のスペースSが形成される。
変形用のスペースSが形成される。
以上のように全ての組付けを完了した状態で図示しない
回転機構に装着して、これら全体を電鋳浴液中に浸漬す
る。この電鋳工程は2つのステップから構成される。
回転機構に装着して、これら全体を電鋳浴液中に浸漬す
る。この電鋳工程は2つのステップから構成される。
まず第1のステップでは、第2図のように昇降片26を
上昇させた状態で、電鋳用基板6の表面と外周端部だけ
にシール効果を得るに足る薄い膜厚(例えば、50〜6
0LLm)を電鋳により形成する。続いて第2のステッ
プでは、前記図示しない棒により爪24を押し込んで回
転リング23を動的に回転させることにより昇降片26
を降下させてOリング31を電鋳用基板6の上面に圧着
させる(第3図fal (b) ) 、この状態で更
に電鋳を続行すると、0リング31の内径側に位置する
電鋳基板6上にスタンバの膜厚に相当する電鋳層32(
例えば、0 、2〜0 、4 m m )を形成するこ
とができる。
上昇させた状態で、電鋳用基板6の表面と外周端部だけ
にシール効果を得るに足る薄い膜厚(例えば、50〜6
0LLm)を電鋳により形成する。続いて第2のステッ
プでは、前記図示しない棒により爪24を押し込んで回
転リング23を動的に回転させることにより昇降片26
を降下させてOリング31を電鋳用基板6の上面に圧着
させる(第3図fal (b) ) 、この状態で更
に電鋳を続行すると、0リング31の内径側に位置する
電鋳基板6上にスタンバの膜厚に相当する電鋳層32(
例えば、0 、2〜0 、4 m m )を形成するこ
とができる。
電鋳終了後は、回転リング23を人手によりへ方向へ回
転させることにより、昇降片26を上昇させて初期位置
に復帰させることができる。
転させることにより、昇降片26を上昇させて初期位置
に復帰させることができる。
以上のように本発明によれば、平面維持用の裏打ち板5
を接着した電鋳基板6を回転電鋳治具本体1に固定する
に際して、治具本体1の外周縁に着脱される外周挟持枠
17を用いて治具本体1、裏打ち板5及び電鋳基板6を
同時に挟圧保持するようにしたため、治具本体1に対す
る固定を安定性及び通電性良好に実現し、電鋳用基板6
の外周端面を含む表面以外は金属部材が液シールされ、
必要部位にのみ電鋳層32を形成することができる。
を接着した電鋳基板6を回転電鋳治具本体1に固定する
に際して、治具本体1の外周縁に着脱される外周挟持枠
17を用いて治具本体1、裏打ち板5及び電鋳基板6を
同時に挟圧保持するようにしたため、治具本体1に対す
る固定を安定性及び通電性良好に実現し、電鋳用基板6
の外周端面を含む表面以外は金属部材が液シールされ、
必要部位にのみ電鋳層32を形成することができる。
また、プラスチック材12を挟んだ状態で導電リング1
3.14を固定ネジ15で導通化したため、従来の金属
体一体型通電リングに比して軽量化を図ることができ、
外周の空所内に挿着したゴムリング16のシール効果に
より導電リング13.14の導体部、通電円板2及び電
鋳用基板6裏面に対して電鋳層が形成される事態を防止
することができる。
3.14を固定ネジ15で導通化したため、従来の金属
体一体型通電リングに比して軽量化を図ることができ、
外周の空所内に挿着したゴムリング16のシール効果に
より導電リング13.14の導体部、通電円板2及び電
鋳用基板6裏面に対して電鋳層が形成される事態を防止
することができる。
第2図のように昇降片26を上昇させた状態で全面シー
ル電鋳を行なった後で、昇降片26を下降させてOリン
グ31を電鋳用基板6の外周側上面に圧着して、電鋳を
行なうことにより0リング内側の基板上にだけスタンパ
の膜厚に相当する肉厚の金属層を効率よく形成すること
ができる。
ル電鋳を行なった後で、昇降片26を下降させてOリン
グ31を電鋳用基板6の外周側上面に圧着して、電鋳を
行なうことにより0リング内側の基板上にだけスタンパ
の膜厚に相当する肉厚の金属層を効率よく形成すること
ができる。
なお、板バネ26aの弾性変形により、0リング31の
圧着時にゴムリング30とOリング31はスペースSを
縮めるように外径方向へ変形する。このため、0リング
内外の水密気密性をより高めることができる。
圧着時にゴムリング30とOリング31はスペースSを
縮めるように外径方向へ変形する。このため、0リング
内外の水密気密性をより高めることができる。
このように全面薄膜シールと、Oリング内側だけのスタ
ンパ部電鋳膜形成の2段階の電鋳を行なった結果、第4
図及び第5図に示すように電鋳層32上に接着した裏打
ち板36による剥離時においても、外周部のシール電鋳
層35.35aの剥離防止効果により電鋳界面が剥離す
ることがない、剥離時に、外周端部を所定幅(例えば1
mm程度)ハサミ等でカットして35a部を除去すると
、薄肉の電鋳層35部分から容易に剥離することができ
る。
ンパ部電鋳膜形成の2段階の電鋳を行なった結果、第4
図及び第5図に示すように電鋳層32上に接着した裏打
ち板36による剥離時においても、外周部のシール電鋳
層35.35aの剥離防止効果により電鋳界面が剥離す
ることがない、剥離時に、外周端部を所定幅(例えば1
mm程度)ハサミ等でカットして35a部を除去すると
、薄肉の電鋳層35部分から容易に剥離することができ
る。
次に、第6図、第7図及び第8図は本発明の第2の実施
例の構成を示す縦断面図、シール用電鋳時の構成説明図
及び電鋳層形成時の構成説明図である。
例の構成を示す縦断面図、シール用電鋳時の構成説明図
及び電鋳層形成時の構成説明図である。
この実施例における電鋳用治具は、電鋳用治具本体1の
外周縁部に外周挟持枠47を着脱自在に取付けるととも
に、電鋳用治具本体lの上面に支持した裏打ち板5及び
電鋳用基板(マスター又はマザー)6等を、1!鋳用治
具本体1と外周挟持枠47によって挟圧保持可能とし、
更に外周挟持枠47を治具本体1上に密着させない状態
における電鋳により薄膜シール形成してから、外周挟持
枠47を治具本体上に密着させた状態における電鋳によ
り該薄膜シール上にスタンバ用の電鋳層を形成すること
により周縁部の剥離することのない電鋳層を形成するこ
とを可能とした点が特徴的である。
外周縁部に外周挟持枠47を着脱自在に取付けるととも
に、電鋳用治具本体lの上面に支持した裏打ち板5及び
電鋳用基板(マスター又はマザー)6等を、1!鋳用治
具本体1と外周挟持枠47によって挟圧保持可能とし、
更に外周挟持枠47を治具本体1上に密着させない状態
における電鋳により薄膜シール形成してから、外周挟持
枠47を治具本体上に密着させた状態における電鋳によ
り該薄膜シール上にスタンバ用の電鋳層を形成すること
により周縁部の剥離することのない電鋳層を形成するこ
とを可能とした点が特徴的である。
即ち、第6図に示すように円板状の回転電鋳治具本体1
は、表面側に同軸状に添設した薄板状の導電性材料から
成る通電円板2と、裏面中央に突設した回転軸固定ネジ
(導電材料)3を有したボス部4とを有する。回転電鋳
治具本体1は、ボス部4を図示しない回転機構に蓮結す
ることにより、ボス部4を中心として回転駆動される。
は、表面側に同軸状に添設した薄板状の導電性材料から
成る通電円板2と、裏面中央に突設した回転軸固定ネジ
(導電材料)3を有したボス部4とを有する。回転電鋳
治具本体1は、ボス部4を図示しない回転機構に蓮結す
ることにより、ボス部4を中心として回転駆動される。
また、回転軸固定ネジ3は、図示を省略した電鋳用の電
源部に電気的に接続され、回転軸固定ネジ3を介して通
電円板2に電流を供給する。
源部に電気的に接続され、回転軸固定ネジ3を介して通
電円板2に電流を供給する。
通電円板2上に同軸状に載置される小径の裏打ち板5は
下面のネジ孔9(例えば90度間隔で4か所に形成)に
、回転電鋳治具本体1を貫通したステンレスイモネジ8
の先端を螺着することにより固定されるとともに、該イ
モネジ8の下端部は液シール0リング10を介してプラ
スチックキャップナツト11により回転電鋳治具本体1
下面に締付は固定される。
下面のネジ孔9(例えば90度間隔で4か所に形成)に
、回転電鋳治具本体1を貫通したステンレスイモネジ8
の先端を螺着することにより固定されるとともに、該イ
モネジ8の下端部は液シール0リング10を介してプラ
スチックキャップナツト11により回転電鋳治具本体1
下面に締付は固定される。
裏打ち板5の表面に接着された電鋳用基板(マスターま
たはマザー)6は、下方に位置する通電円板2とほぼ同
径であるため、その周縁部は裏打ち板5の外径方向に突
出している0通電円板2と電鋳用基板6の突出した外周
縁部間の環状空隙には該空隙全体を埋めるように環状の
通電リング7を介挿する。
たはマザー)6は、下方に位置する通電円板2とほぼ同
径であるため、その周縁部は裏打ち板5の外径方向に突
出している0通電円板2と電鋳用基板6の突出した外周
縁部間の環状空隙には該空隙全体を埋めるように環状の
通電リング7を介挿する。
通電リング7は、アクリル等の環状のプラスチックリン
グ体12を肉厚方向に貫通する貫通孔12aを所定の周
方向間隔をおいて有するとともに、貫通孔12aの軸方
向両端縁部には凹所な有する。各貫通孔12aにはNf
、ステンレス等の金属板バネ材50を挿通してから図示
のようにコ字状に折曲げて通電端子50とし、この通電
端子5oを介して通電円板2と電鋳用基板6の突出縁部
同志を電気的に接続する。
グ体12を肉厚方向に貫通する貫通孔12aを所定の周
方向間隔をおいて有するとともに、貫通孔12aの軸方
向両端縁部には凹所な有する。各貫通孔12aにはNf
、ステンレス等の金属板バネ材50を挿通してから図示
のようにコ字状に折曲げて通電端子50とし、この通電
端子5oを介して通電円板2と電鋳用基板6の突出縁部
同志を電気的に接続する。
このように電鋳用基板6を上面に固定した回転電鋳治具
本体1は固定ネジ3を図示しない回転軸に固定すること
によって回転機構と連結されて回転駆動されるが、回転
軸の取付けに先立って固定リング19を電鋳治具本体1
の下面(第8図に示した位置)に配置する。なお、この
時点では外周挟持枠47は取付けない、固定リング19
の構成は上記第1の実施例と同様であるので重複した説
明は省略する。なお、固定リング19を図示しない電解
檀蓋真面に設けた係止用フックに固定することにより、
電鋳用基板6を該蓋裏面に取付けることができる。
本体1は固定ネジ3を図示しない回転軸に固定すること
によって回転機構と連結されて回転駆動されるが、回転
軸の取付けに先立って固定リング19を電鋳治具本体1
の下面(第8図に示した位置)に配置する。なお、この
時点では外周挟持枠47は取付けない、固定リング19
の構成は上記第1の実施例と同様であるので重複した説
明は省略する。なお、固定リング19を図示しない電解
檀蓋真面に設けた係止用フックに固定することにより、
電鋳用基板6を該蓋裏面に取付けることができる。
この状態で電解槽蓋を閉じると、蓋裏面の回転電鋳治具
本体lは、陽極と対向する位置において電解浴液中に浸
漬され、必要な回転速度で回転される。電源をONLで
通電するとネジ部3、電鋳治具本体1、通電円板2、通
電端子50を経て電鋳用基板6に通電し、電鋳用基板6
上に電鋳膜が形成される。ここに形成された電鋳膜は電
鋳用基板6表面及び端部にかけて形成されるシール用薄
膜である。こうして第1ステツプの電鋳(シール用膜形
成工程)を終了する。
本体lは、陽極と対向する位置において電解浴液中に浸
漬され、必要な回転速度で回転される。電源をONLで
通電するとネジ部3、電鋳治具本体1、通電円板2、通
電端子50を経て電鋳用基板6に通電し、電鋳用基板6
上に電鋳膜が形成される。ここに形成された電鋳膜は電
鋳用基板6表面及び端部にかけて形成されるシール用薄
膜である。こうして第1ステツプの電鋳(シール用膜形
成工程)を終了する。
次に、アクリル等のプラスチック材料から成る環状の外
周挟持枠47を、回転軸を停止して電解槽蓋を開放した
状態で回転電鋳治具本体l上に被せる。外周挟持枠47
は、断面逆り字状をなし、垂下した側片47aの内周面
には周方向に沿って延びる内周溝15が形成されてこの
溝lS内に前記固定リング19の外径端部19bが嵌合
する点は上記実施例と同様である。外周挟持枠47の水
平片47bの下面には環状の凹所5.1.52が形成さ
れるとともに各凹所51.52内には夫々0リング53
.54が接着固定されている0図示のように外周挟持枠
47を被せた状態で固定ネジ20を締付けたときに0リ
ング53.54が夫々回転電鋳治具1上面及び電鋳用基
板6上の適所に圧着されて各0リングの内外を水密気密
的に遮断する。従って、凹所51と52を形成した各面
間の段差は、上記圧着に適するように設定する。
周挟持枠47を、回転軸を停止して電解槽蓋を開放した
状態で回転電鋳治具本体l上に被せる。外周挟持枠47
は、断面逆り字状をなし、垂下した側片47aの内周面
には周方向に沿って延びる内周溝15が形成されてこの
溝lS内に前記固定リング19の外径端部19bが嵌合
する点は上記実施例と同様である。外周挟持枠47の水
平片47bの下面には環状の凹所5.1.52が形成さ
れるとともに各凹所51.52内には夫々0リング53
.54が接着固定されている0図示のように外周挟持枠
47を被せた状態で固定ネジ20を締付けたときに0リ
ング53.54が夫々回転電鋳治具1上面及び電鋳用基
板6上の適所に圧着されて各0リングの内外を水密気密
的に遮断する。従って、凹所51と52を形成した各面
間の段差は、上記圧着に適するように設定する。
固定ネジ20を締付けて0リング53.54を夫々回転
電鋳治具1上面及び電鋳用基板6上に圧着した状態で、
再び電鋳を開始すると、0リング52の内側に位置する
電鋳用基板6上にのみスタンバとして必要な厚みを有す
る電鋳層56を形成する。
電鋳治具1上面及び電鋳用基板6上に圧着した状態で、
再び電鋳を開始すると、0リング52の内側に位置する
電鋳用基板6上にのみスタンバとして必要な厚みを有す
る電鋳層56を形成する。
以上のように第1のステップでは、電鋳用基板6の外周
端面を含む表面にだけシール膜を形成する。このとき、
電鋳用基板6の外周端に形成される空所内にはプラスチ
ック製の通電用リングを7を固定するとともに通電端子
50により上下を導通せしめるため、電鋳時には通電端
子50に軽度の電鋳層が形成されるに過ぎず、治具保守
のために析出層を酸溶解除去する等の煩雑な処理を不要
とし、何度でも連続使用可能である。
端面を含む表面にだけシール膜を形成する。このとき、
電鋳用基板6の外周端に形成される空所内にはプラスチ
ック製の通電用リングを7を固定するとともに通電端子
50により上下を導通せしめるため、電鋳時には通電端
子50に軽度の電鋳層が形成されるに過ぎず、治具保守
のために析出層を酸溶解除去する等の煩雑な処理を不要
とし、何度でも連続使用可能である。
シール膜の形成を目的とした第1のステップ後に外周挟
持枠47を電鋳用基板6の上方から被せれば装着が完了
するため、治具本体を回転軸から取外す等の作業が不要
である。
持枠47を電鋳用基板6の上方から被せれば装着が完了
するため、治具本体を回転軸から取外す等の作業が不要
である。
このように全面薄膜シールと、0リング52の内側だけ
のスタンパ部電鋳膜形成の2段階の電鋳を行なった結果
、第4図及び第5図に示すように電鋳層32上に接着し
た裏打ち扱36による剥離時においても、外周部のシー
ル電鋳層35.35aの剥離防止効果により電鋳界面が
剥離することがない、剥離時に、外周端部を所定幅(例
えば1mm程度)ハサミ等でカットして35a部を除去
すると、薄肉の電鋳層35部分から容易に剥離すること
ができる。
のスタンパ部電鋳膜形成の2段階の電鋳を行なった結果
、第4図及び第5図に示すように電鋳層32上に接着し
た裏打ち扱36による剥離時においても、外周部のシー
ル電鋳層35.35aの剥離防止効果により電鋳界面が
剥離することがない、剥離時に、外周端部を所定幅(例
えば1mm程度)ハサミ等でカットして35a部を除去
すると、薄肉の電鋳層35部分から容易に剥離すること
ができる。
(発明の効果)
以上のように本発明によれば、外周部の剥離がなく、基
板表面の汚損、変質や信号ビットのつぶれ変形等が発生
せず、高品質のスタンバが得られると共に、スタンバと
しても必要、且つ充分な厚みを有し、取り扱いも容易に
できる。
板表面の汚損、変質や信号ビットのつぶれ変形等が発生
せず、高品質のスタンバが得られると共に、スタンバと
しても必要、且つ充分な厚みを有し、取り扱いも容易に
できる。
第1図fal及びfblは本発明を適用した電鋳加工用
治具の縦断面図及びその一部透視平面図、第2図及び第
3図(al (blは要部の拡大構成説明図、第4図
及び第5図は電鋳用基板からスタンバ(電鋳層)を剥離
する状態の説明図、第6図、第7図及び第8図は本発明
の第2の実施例の構成を示す縦断面図、シール用電鋳時
の構成説明図及び電鋳層形成時の構成説明図、第9図、
第10図、第11図及び第12図は従来例の説明図であ
る。 1・・・回転電鋳用治具本体 2・・・通電円板3・・
・回転軸固定ネジ(導電材料) 4・・・ボス部 5・
・・裏打ち板 6・・・電鋳用基板(マスターまたはマ
ザー) 7・パ・通電リング8・・・ステンレスイモネ
ジ 9・・・ネジ孔lO・・・液シール0リング 11
・・・プラスチックキャップナツト 12・・・プラス
チックリング体 13.14・・・導電リング 15・
・・金属ネジ 16・・・ゴムリング 17・・・外周
挟持枠 17a・・・枠本体 17b・・・穴17c・
・・ガイド溝 18・・・内周溝19・・・固定リング
20・・・固定ネジ 21・・・ウレタン0リング
22・・・外周溝部23・・・回転リング 24・・・
爪 24a・・・被ガイド突起 25・・・窓 26・
・・昇降リング 27・・・SUS棒 29・・・傾斜
溝 30・・・軟質ゴムリング 47・・・外周挟持枠
5o・・・通電端子
治具の縦断面図及びその一部透視平面図、第2図及び第
3図(al (blは要部の拡大構成説明図、第4図
及び第5図は電鋳用基板からスタンバ(電鋳層)を剥離
する状態の説明図、第6図、第7図及び第8図は本発明
の第2の実施例の構成を示す縦断面図、シール用電鋳時
の構成説明図及び電鋳層形成時の構成説明図、第9図、
第10図、第11図及び第12図は従来例の説明図であ
る。 1・・・回転電鋳用治具本体 2・・・通電円板3・・
・回転軸固定ネジ(導電材料) 4・・・ボス部 5・
・・裏打ち板 6・・・電鋳用基板(マスターまたはマ
ザー) 7・パ・通電リング8・・・ステンレスイモネ
ジ 9・・・ネジ孔lO・・・液シール0リング 11
・・・プラスチックキャップナツト 12・・・プラス
チックリング体 13.14・・・導電リング 15・
・・金属ネジ 16・・・ゴムリング 17・・・外周
挟持枠 17a・・・枠本体 17b・・・穴17c・
・・ガイド溝 18・・・内周溝19・・・固定リング
20・・・固定ネジ 21・・・ウレタン0リング
22・・・外周溝部23・・・回転リング 24・・・
爪 24a・・・被ガイド突起 25・・・窓 26・
・・昇降リング 27・・・SUS棒 29・・・傾斜
溝 30・・・軟質ゴムリング 47・・・外周挟持枠
5o・・・通電端子
Claims (4)
- (1)円板状の回転電鋳治具本体と、この回転電鋳治具
本体表面上に添設した大径の通電円板と、該通電円板上
に同軸状に載置される小径の裏打ち板と、該裏打ち板の
表面に接着された大径の電鋳用基板と、該裏打ち板の外
径方向に突出した通電円板縁部と電鋳用基板縁部との間
に形成される空所内に収納されて通電円板と電鋳用基板
とを通電させる通電リングとを備えたことを特徴とする
電鋳加工用治具。 - (2)請求項(1)記載の通電リングは、プラスチック
絶縁体リングの表裏両面に導電リング板を添設した状態
で、両導電リング板間を導電性のネジで連結固定導通化
した構成であるとともに、該通電リングの外径側の前記
空所内に気密的に嵌着したゴムリングにより前記通電リ
ング、前記鋳電用基板の周縁部及び裏面を電鋳浴液から
隔離したことを特徴とする請求項(1)記載の電鋳加工
用治具。 - (3)請求項(1)記載の通電リングは、プラスチック
絶縁体リングの貫通孔内に板バネ材から成る通電端子を
挿通してからコ字状に屈曲させることにより、前記通電
円板と鋳電用基板との間を導通させたことを特徴とする
請求項(1)記載の電鋳加工用治具。 - (4)前記回転電鋳治具本体の外周縁部に着脱自在な外
周挟持枠を備え、該外周挟持枠に取付けたOリングが前
記電鋳用基板の外周縁部上面に圧接したときに該Oリン
グの内外を水密気密的に遮断することを特徴とする請求
項(1)又は(2)記載の電鋳加工用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23794690A JPH04120288A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 電鋳加工用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23794690A JPH04120288A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 電鋳加工用治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04120288A true JPH04120288A (ja) | 1992-04-21 |
Family
ID=17022807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23794690A Pending JPH04120288A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 電鋳加工用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04120288A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0799909A1 (de) * | 1996-04-01 | 1997-10-08 | Sono press, PRODUKTIONSGESELLSCHAFT FÜR TON- UND INFORMATIONSTRÄGER mbH | Galvanische Abscheidungszelle mit einem Trägerhalter |
US6120657A (en) * | 1995-06-27 | 2000-09-19 | Toolex Alpha Ab | Device for transmitting electric current to disc elements in surface-coating thereof |
US6343793B1 (en) | 1997-11-13 | 2002-02-05 | Novellus Systems, Inc. | Dual channel rotary union |
-
1990
- 1990-09-07 JP JP23794690A patent/JPH04120288A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP0799909A1 (de) * | 1996-04-01 | 1997-10-08 | Sono press, PRODUKTIONSGESELLSCHAFT FÜR TON- UND INFORMATIONSTRÄGER mbH | Galvanische Abscheidungszelle mit einem Trägerhalter |
WO1997037060A1 (de) * | 1996-04-01 | 1997-10-09 | Sono Press Produktionsgesellschaft Für Ton- Und Informationsträger Mbh | Galvanische abscheidungszelle mit einem trägerhalter |
US5997701A (en) * | 1996-04-01 | 1999-12-07 | Sono Press Produktionsgesellschaft Fur Ton-Und Informationstrager Mbh | Galvanic deposition cell with a substrate holder |
CN1094157C (zh) * | 1996-04-01 | 2002-11-13 | 声音和信息载体股份有限公司索诺布累斯生产公司 | 具有基体支架的电镀沉积室 |
US6343793B1 (en) | 1997-11-13 | 2002-02-05 | Novellus Systems, Inc. | Dual channel rotary union |
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