JPH04116585A - ラベル識別装置およびそれに使用されるラベル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ラベル識別装置、特に半導体ウェハ、磁気デ
ィスク、光ディスク等の生産工程で用いられるキャリア
に添付されるラベルの識別装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のラベル識別装置は、キャリアにバーコー
ドラベルを添付し、これの光学式のバーコードリーダで
読み取るバーコード技術が広く用いられている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のラベル識別装置は、バーコードラベル自
体が紙またはプラスチックで作られているため、アニー
リング工程、エツチング工程など高温の加熱や強い化学
処理が施される工程においては使用できないという欠点
があった。

バーコードラベルを耐熱性や耐化学処理に優れた金属、
セラミック、ガラスなどで作成し、その表面にバーフー
ドを印刷しても、加熱や化学処理により表面状態が強い
影響を受け、印刷されたバーコードの反射率やコントラ
ストの低下、変色をおこし、バーコードリーダによる確
認率の低下が避けられないという欠点があった。

このような欠点は、バーコードに限らず、光学的な識別
技術においても回避できない。例えば、金属板に穴を開
け、この穴を光センサで検出する場合でも表面状態に影
響を受ける。

接触式識別技術、例えば金属板に穴を開はピンの接触に
より穴の有無を検出する方法は、ピンと金属板との接触
にともない塵が発生する恐るがあり、採用できない。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によるラベル識別装置は、耐熱性および耐化学処
理性に優れた材料で作られ、表面上に配置された複数の
パターン検出位置における検出用穴の有無により情報を
表すラベルと、前記検出用穴を検出する手段とを有する
。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例を示した図面を参照して、詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す模式図である。本実施
例で使用される超音波反射ラベルにおいては、一定の規
則で表面上に配置された複数のビット検出位置１〜８に
おける検出用穴９の有無により情報が表される。本実施
例のラベル識別装置は、ビット検出位置１〜８と対応す
る位置に配置された８個の高周波型超音波距離センサ１
工〜１８と、超音波センサ１１〜１８によりビットを検
出するタイミングを制御する制御部８３とを有する。

超音波反射ラベル１０は、第４図に示すように、ウェハ
キャリア９２の側面に取り付ける。

第２図は高周波型超音波距離センサ１１〜１８の組立を
示す斜視図である。高周波型超音波距離センサ１１〜１
８は、例えば、セラミックのような硬質で摩耗しにくく
塵の飛びにくい材料で作られた枠２１の内側に規則的に
配置されている。超音波センサ１１〜１８と枠２１との
間は、例えばグラスウールのような柔かくて空気を含ん
でいる材料で作られた超音波吸収材３１で満たされてい
る。各々の超音波距離センサは対象物までの距離のデー
タではなく、設定された距離であるか否かを出力する。

本実施例では、１０〜５０ｃ＋ｎの距離を２ｍｍの制度
で検出できる高周波型超音波距離センサ、例えば■村田
製作所ＭＡ２００Ａ１を使用する。

第３図は、第１図に示す超音波反射ラベル１０の詳細を
示す平面図である。超音波反射ラベル１０は、セラミッ
クのような耐熱性および耐化学処理性に優れた材料で作
成され、検出用穴９の深さは最低でも：３ｎｍ３工とす
る。

ビット検出位置１〜８は、超音波距離センサ１１〜１８
の相互干渉を考慮し横に一列に、予め一定の間隔で並べ
られており、どのビットが何ビット目に対応しているか
は直ちに知ることができる。ビット検出位置は１〜８が
それぞれ１ビツト目〜８ビツト目に対応している。

各ビット検出位置は検出用穴９が開いている場合と、開
いていない場合があり、それぞれ論理値「０」および「
１」とする。

超音波距離センサ１１〜１８は、超音波反射ラベル１０
のビット検出位置１〜８に対応する位置に配置されてい
る。すなわち、対応する超音波距離センサが対応するビ
ット検出位置に正対するように作られている。

第１図を参照して、本実施例の動作を説明する。

検出時には、超音波反射ラベル１０が超音波距離センサ
１１〜１８と一定の距離だけ離され、かつラベル１０上
のピッ）％出位置１〜８とセンサ１１〜１８とが対応す
るように配置される。

検出位置３．５．７では、検出用穴が開けられていない
ので、超音波距離センサ１３．１５．１７はセンサ出力
線４３．４５．４７には論理値「１」を出力する。

これに対し、検出位置１．２．４．６．８では、検出用
穴が開けられているので、超音波距離センサ１１．１２
．１４．１６．１８はセサ出力線４１．４２．４４．４
Ｂ、４８に論理値「０」を出力する。

このように、センサ出力線２１〜２８の出力は上位ビッ
トから順に示せばｒｏｏｌｏｌｏｌｏＪとなり、超音波
反射ラベルに付与されていた情報を再現したことになる
。

ビット検出の際、超音波距離センサが隣接しているため
超音波の相互干渉が避けられない。そこで、本実施例に
おいては、ビットを検出するタイミングをずらしている
。すなわち、制御部８３によりそれぞれの超音波距離セ
ンサ１１〜１８がビットを検出するタイミングを制御す
る。超音波センサから送信された超音波が、相互干渉に
よる影響が無視できる程度に超音波が充分減衰するのに
必要な時間だけずらして検出するようにすればよい。

例えば、１番目は２ビツト目および６ビツト目、２番目
は４ビツト目および８ビツト目、３番目は１ビツト目お
よび５ビツト目、４番目は３ビツト目および７ビツト目
を検出する。この場合、常に、次に検出するビットが隣
りのビットとならないので、相互干渉による影響も少な
く時差を短くすることが可能となる。

超音波反射ラベルにより反射された超音波が超音波セン
サ側で再度反射することによる検出精度の低下を避ける
ために、超音波吸収材３１により超音波の反射波を吸収
する。

超音波距離センサのセンサ出力線４１〜４８の信号は微
弱であり、また波形が乱れているので、信号の増幅およ
び整形のためにゾーフクィ８１を通し、検出出力線５１
〜５８上に安定した信号を得る。

エンコーダ８２は、検出出力線５１〜５８の信号を必要
に応じ別の形に変換し出力線７１へ出力する。

出力線７１は本ラベル識別装置の出力信号を導き出し、
コンピュータ等の他の信号処理装置に接続するための導
線である。

本実施例では、超音波の相互干渉を避けるためにビット
を検出するタイミングをずらしているが、隣接する超音
波センサの発信周波数を異ならせてもよい。この場合、
制御部８３によりそれぞれの超音波センサ１１〜１８の
発信周波数を制御する。すべての隣り合う超音波センサ
の超音波ができるだけ互いに干渉しにくいような周波数
にそれぞれ設定する。

本実施例では、接触しないでビットを検出するので、接
触による塵の発生はなく、清浄な状態で識別処理ができ
るという効果がある。

〔発明の効果〕

は発明のラベル識別装置は、熱処理、化学処理によりラ
ベルの反射率、コントラスト、色などの変化しても表面
の形状が変化しないので、それにより識別能力が影響を
受けないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す模式図、第２図は第１
図に示した超音波反射ラベルの詳細を示す平面図、第３
図は高周波型超音波距離センサの斜視図、第４図は第２
図に示した超音波反射ラベルの使用例を示す斜視図であ
る。 １〜８・・・ビット検出位置、９・・・検出用穴、１０
・・・超音波反射ラベル、１１〜１８・・・高周波型超
音波距離センサ、２１・・・枠、３１・・・超音波吸収
材、４１〜４８・・・センサ出力線、５１〜５８・・・
検出出力線、６１〜６８・・・制御信号線、７１・・・
出力線、７２・・・入力線、８１・・・増幅器、８２・
・・エンコーダ、８３・・・制御部、９１・・・ウェハ
、９２・・・ウェハキャリア。 代理人　弁理士　　内　原　　晋 釆 躬 第 図 茅 閉 ７／晶川放型Ｈモ沢Ｗヒ山■Ｐ）刀］ 第 を 開

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、耐熱性および耐化学処理性に優れた材料で作られ、
   表面上に配置された複数のパターン検出位置における検
   出用穴の有無により情報を表すラベルと、 前記検出用穴を検出する手段と、 を有することを特徴とするラベル識別装置。 ２、前記検出手段が、パターン検出位置に対応する位置
   に配置された複数個の超音波距離センサを有する請求項
   １記載のラベル識別装置。 ３、前記複数個の超音波センサが異なるタイミングで超
   音波を発信する請求項２記載のラベル識別装置。 ４、前記複数個の超音波距離センサのうち互いに隣り合
   うセンサが、異なる周波数の超音波を発信する請求項２
   記載のラベル識別装置。 ５、耐熱性および耐化学処理性に優れた材料で作られ、
   表面上に配置された複数のパターン検出位置における検
   出用穴の有無により情報を表すことを特徴とするラベル
   。