JPH04116351U - 誘導プラズマ質量分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高温加熱され、イオン化されたサンプルをプ
ラズマインターフェースを介して、真空チェンバ内に設
けられた四重極マスフィルタで質量別に検出する誘導プ
ラズマ質量分析装置に関し、装置が小型軽量となり、油
拡散ポンプも小型のものでよい誘導プラズマ質量分析装
置を提供することを目的とする。 【構成】 真空チェンバを対向する二面が開放された本
体１１と開方面に取り付けられる第１および第２のプレ
ート１２，１３より構成し、真空ポンプ１９，２０を第
１のプレートにダイレクトに取り付けるように構成す
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、高温加熱され、イオン化されたサンプルをプラズマインターフェー スを介して、真空チェンバ内に設けられた四重極マスフィルタで質量別に検出す る誘導プラズマ質量分析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、誘導プラズマ質量分析計における真空チェンバは図２および図３に示す ような構造となっている。

【０００３】 図２において、真空チェンバ１はステンレスの管を加工・溶接して形成されて いる。

【０００４】 図３において、真空チェンバ２はアルミニウムの中空鍛造ブロックを切削加工 を行うことにより形成されている。

【０００５】 そして、これら真空チェンバ１，２の内部は３室に分割され、第１の室は図示 しないロータリポンプで、第２および第３の室は油拡散ポンプ４，５で各室に真 空状態を施すようにしている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記構成の真空チェンバ１，２に対して各油拡散ポンプ４，５の取り 付けは、各油拡散ポンプ４，５に対向して直管部１ａ，１ｂおよび２ａ，２ｂを 形成し、この直管部１ａ，１ｂおよび２ａ，２ｂの先端部をフランジを介して取 り付ける構造にしていた。

【０００７】 よって、装置全体の構造が大型化し、重量も大きいという問題点がある。

【０００８】 又、直管部１ａ，１ｂおよび２ａ，２ｂがあるので、管排気抵抗により、各油 拡散ポンプ４，５も大型のものが必要となるという問題点がある。

【０００９】 本考案は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、装置が小型軽量 となり、しかも、油拡散ポンプも小型のものでよい誘導プラズマ質量分析装置を 提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決する本考案は、高温加熱され、イオン化されたサンプルをプラ ズマインターフェースを介して、真空チェンバ内に設けられた四重極マスフィル タで質量別に検出する誘導プラズマ質量分析装置において、前記真空チェンバを 、対向する二面が開放され、内壁側は、イオンレンズ，四重極マスフィルタ，検 出器等を支持し、外壁側にはこれらイオンレンズ，四重極マスフィルタ，検出器 等のコネクタ部が配設される本体と、該本体の一方の開放面に取り付けられ、該 開放面を密封し、真空ポンプとの接続フランジ部を有する第１のプレートと、前 記本体の他方の開放面に取り付けられ、該開放面を密封する第２のプレートとを 設けたものである。

【００１１】

【作用】

本考案の誘導プラズマ質量分析装置において、真空ポンプは第１のプレートに ダイレクトに取り付けられるので、装置が小型軽量となり、しかも、管排気抵抗 も少なくなるので油拡散ポンプも小型のものでよい。

【００１２】

【実施例】

次に図面を用いて本考案の一実施例を説明する。図１は本考案の第１の実施例 を説明する構成図である。この図において、真空チェンバは、本体１１と第１の プレート１２と第２のプレート１３とより構成されている。

【００１３】 本体１１は、対向する二面が開放され、内壁Ｉ側は、イオンレンズホルダ１４ ，四重極マスフィルタ１５，検出器１６等を支持し、外壁Ｕ側にはこれらイオン レンズ１４，四重極マスフィルタ１５，検出器１６等のコネクタ１４′，１５′ ，１６′が配設され、更に、外壁Ｕには第１室であるフォアチェンバとの接続用 の穴１７が穿設されている。

【００１４】 第１のプレート１２は、本体１１の一方の開放面に取り付けられ、本体１１の 開放面との対向面の周縁部近傍には溝１２ａが全周にわたって穿設され、この溝 １２ａにはシールゴム１８が配設されている。そして、第１および第２の真空ポ ンプ（油拡散ポンプ）１９，２０に接続される第１および第２のフランジ部２１ ，２２が形成されている。

【００１５】 これら第１および第２のフランジ部２１，２２は中央部に穴２１ａ，２２ａが 穿設され、これら穴２１ａ，２２ａの近傍には、外部に向かって突出するスタッ ドボルト２３，２４が取り付けられている。これらスタッドボルト２３，２４を 用いて、第１および第２の真空ポンプ１９，２０が取り付けられる。

【００１６】 そして、第１のプレート１２と本体１１の取り付けは、図示しないボルトを用 いて行われる。

【００１７】 一方、本体１１の第２のプレートとの対向端面には、溝１１ａが全周にわたっ て穿設され、この溝１１ａにシールゴム２５が配設されている。そして、第２の プレート１３と本体との取り付けは図示しないねじ等を用いて行われる。

【００１８】 上記構成によれば、第１および第２の真空ポンプ１９，２０を真空チェンバに ダイレクトに取り付けたことにより、装置が小型軽量となり、しかも、真空チェ ンバと真空ポンプとの間の管排気抵抗も少なくなるので油拡散ポンプも小型のも のでよくなる。

【００１９】 尚、本考案は、上記実施例に限るものではない。例えば、真空ポンプと真空チ ェンバとの取り付けは、上記実施例では、スタッドボルトを用いたが、他に、第 １のプレート１２に真空ポンプ１９，２０のフランジ部を挟持する爪状部材を設 けるようにしてもよい。

【００２０】 又、本体１１のみでイオンレンズホルダ１４，四重極マスフィルタ１５，検出 器１６等を支持するようにしたが、第１又は第２のプレート１２，１３にもこれ らを支持する機構を設けてもよい。

【００２１】

【考案の効果】

以上述べたように本考案によれば、装置が小型軽量となり、しかも、管排気抵 抗も少なくなるので油拡散ポンプも小型のものでよい誘導プラズマ質量分析装置 を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案の第１の実施例を説明する構成図
である。

【図２】従来の誘導プラズマ質量分析計における真空チ
ェンバの構成図である。

【図３】従来の誘導プラズマ質量分析計における真空チ
ェンバの構成図である。

【符号の説明】

１１ 本体 １２ 第１のプレート １３ 第２のプレート １９ 第１の真空ポンプ ２０ 第２の真空ポンプ ２１ 第１のフランジ部 ２２ 第２のフランジ部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 高温加熱され、イオン化されたサンプル
   をプラズマインターフェースを介して、真空チェンバ内
   に設けられた四重極マスフィルタで質量別に検出する誘
   導プラズマ質量分析装置において、前記真空チェンバ
   を、対向する二面が開放され、内壁側は、イオンレン
   ズ，四重極マスフィルタ，検出器等を支持し、外壁側に
   はこれらイオンレンズ，四重極マスフィルタ，検出器等
   のコネクタ部をが配設される本体（１１）と、該本体
   （１１）の一方の開放面に取り付けられ、該開放面を密
   封し、真空ポンプ（１９，２０）との接続フランジ部
   （２１，２２）を有する第１のプレート（１２）と、前
   記本体（１１）の他方の開放面に取り付けられ、該開放
   面を密封する第２のプレート（１３）と、から構成する
   ことを特徴とする誘導プラズマ質量分析装置。