JPH04115157A - 超音波検査装置の傾斜調整方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超音波ビームの走査により検査を行なう超音
波検査装置の傾斜調整方法および装置に関する。

〔従来の技術〕

近年、医療分野における体内の診断や工業分野における
物品の検査等に電子走査方式の超音波検査装置が用いら
れている。第２図を用いてこのような検査装置の概略を
第８図により説明する。

第８図は超音波検査装置のアレイ探触子の構成図である
。超音波検査装置は、アレイ探触子１と装置本体（図示
せず）により構成され、両者の信号連絡は探触子ケーブ
ル２によって行なわれる。

アレイ探触子１は、その下部に一直線状に配置されたア
レイ振動子群を有する。図で、アレイ振動子群は６４個
のアレイ振動子Ａ　１　””　Ａ　６４で構成されてい
る。このようなアレイ探触子１の構成において、アレイ
振動子Ａ１〜Ａ６を一群として選択し、それらアレイ振
動子Ａ１〜Ａ８のそれぞれを所定の遅延時間を与えて励
振させると、各アレイ振動子から放射される超音波は１
つの電子集束ビームＦ１となる。即ち、ビームＦ１によ
る超音波の送受信が行なわれる。次にアレイ振動子Ａ２
〜Ａ、を一群として選択することにより同様にビームＦ
２を得る。以下、選択するアレイ振動子群を１つずつシ
フトしてゆくことにより超音波ビームの電子走査が実行
される。なお、走査の最後のビームはビームＦｓｔであ
る。

次に、上記装置を用いた被検体の探傷について説明する
。第９図はアレイ探触子と被検体、４はアレイ探触子１
と被検体３の間に介在する水である。被検体３の探傷は
アレイ振動子面と被検体３表面とが平行な状態で行なわ
れるが、図では両者は平行ではなく、角度θだけ傾いて
いる。アレイ探触子１はアレイ振動子の配列方向に長い
ため、少しの角度θでも左右両端では水を介在する両者
間の距離（水距離）に差異が生ずる。

ここで、当該水距離の差について説明する。例えば、第
９図において、アレイ振動子Ａ１＝Ａ６４の超音波周波
数が５ＭＨｚ、各アレイ振動子の配列ピッチが１ｆｉと
する。このとき、水中での波長λは約０．３ｆｌとなり
、両端の電子集束ビームＦ１、ＦＳ？のビーム間距離は
５６ｍとなる。この条件で両者間の傾斜がθ＝０．３’
であるとすると、各ビームＦ＋　、Ｆｓｔの各位置での
水距離には０．３ｍ（１波長分）の差が生ずる。

被検体３へのビーム入射条件を電子集束ビームＦ１〜Ｆ
２．の各位置で同条件にするためには、それら各位置で
水距離にできるだけ差が生しないようにする必要がある
。

以下、アレイ振動子面と被検体３表面間の傾斜θを補正
する従来方法の１例を説明する。まずアレイ振動子ＡＩ
のみで超音波を送信し、被検体３表面で反射させ、これ
を同じアレイ振動子Ａ、のみで受信する。この状態が第
９図にビームＢ＋の送信、反射として示されている。こ
れを繰返し、オシロスコープ等でビームＢＩの波形をモ
ニターする。次に同様の処理をアレイ振動子Ａ６ａのみ
で行なう。この場合のビームは符号Ｂｂａで示されてい
る。

次いで、これら２つの波形の波高ピーク値の時間間隔が
少なくなるように、アレイ探触子１または被検体３を載
置した台を傾けることにより、傾斜θを補正する。

〔発明が解決しようとする課題〕

今、上記従来方法により、ビームＢ１とビームλ Ｂ６４の水距離の差を水中での波長の半分（−）以下に
することを考える。超音波の往復伝搬時間をｔ、往復伝
搬距離をｌ、水中の音速をＶとすると、ｔ　＝ ■ が成り立つ。両ビームＢ　Ｉ　ｒ　　８６４の伝搬時間
差をΔｔ、伝搬距離差をΔｌとすると λ 距離差が水中での波長の半分（−）になったとすすると
、 λ Δ　ｔ　＝ ■ となる。

ここで、−１−記（３）式における時間Δｔの実際の値
について考える。水中での音速■はＶ　＝　１５００　
（ｍ／ｓ）であり、波長λはλ−Ｖ／ｆで表わされる。

今、ｆ　＝　５　Ｍｆ（ｚ、ｆ　＝２５ＭＩＬ：、　ｆ
　＝１００　ＭＨｚの３つの場合を考えると ｆ＝　　５ＭＨｚ（λ−０，３ｍ）のとき、Δｔ　＝　
２００ｎｓｅｃｆ＝　２５ＭＨｚ（λ−０．０６ｍｍ）
のとき、Δｔ＝　４０ｎｓｅｃｆ　＝　１００Ｍ　Ｈｚ
　（λ−０，０１５ｍ）のとき、Δｔ　＝　１０ｎｓｅ
ｃとなる。

このように超音波周波数が高くなるほど伝搬時間差Δｔ
は小さくなり、数１０ｎｓｅｃオーダーになるとオシロ
スコープを観察しながら、時間差が小さくなるように角
度θを調整するのは極めて困難になる。一方、上記オシ
ロスコープを用いる手段の代わりに波形デジタイザ等を
用いて時間差Δｔを自動的に計測する方法も考えられる
が、この手段では高速なＡ／Ｄ変換を用いたハードウェ
アが必要となりコストが嵩み過ぎて実用的ではない。

本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
アレイ振動子面と超音波反射面との、相対的な傾斜を、
高価な装置を用いることなく１、かつ、高精度で補正す
ることができる超音波検査装置の傾斜調整方法および装
置を捉供するにある。

〔課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため、本発明は、少なくとも１つ
の方向に配列されたアレイ振動子群より成るアレイ探触
子を備えた超音波検査装置において、１方向配列上にあ
る前記アレイ振動子群の各アレイ振動子のうち基準とな
るアレイ振動子を設定し、この基準となるアレイ振動子
以外のアレイ振動子のうち所定のアレイ振動子を複数設
定し、前記基準となるアレイ振動子と前記所定のアレイ
振動子の１個ずつを組として、それぞれの組のアレイ振
動子を同時に励振させ、超音波を超音波反射面に照射し
、この超音波反射面から反射した反射波によって前記基
準となるアレイ振動子と前記所定のアレイ振動子から得
られる受信波を加算して、前記所定のアレイ振動子の数
に対応して得られた前記加算後の受信波の波高値の変動
周期に基づいて、アレイ振動子の配列方向における前記
各アレイ振動子面と超音波反射面との傾斜を調整するこ
とを特徴とする。

さらに他の発明は、上記の方法を実施するため、少なく
とも１つの方向に配列されたアレイ振動子群より成るア
レイ探触子を備えた超音波検査装置において、前記アレ
イ振動子群のうち予め定められた基準となるアレイ振動
子の受信信号を出力する基準振動子信号出力手段と、前
記基準となるアレイ振動子以外の複数設定された所定の
各アレイ振動子の受信信号を出力する走査信号出力手段
と、前記基準振動子信号出力手段および前記走査信号出
力手段で出力される受信信号を加算する加算手段と、こ
の加算手段により得られた波高値の変動周期に基づいて
前記アレイ振動子の配列方向における各アレイ振動子面
と超音波反射面との傾斜の大きさを判断する判断手段と
を設けたことを特徴とする。

〔作用〕

１方向に配列されたアレイ振動子群のうちから１つのア
レイ振動子を基準として設定する。一方、他のアレイ振
動子のうちから複数の所定のアレイ振動子を設定し、基
準となるアレイ振動子と、所定のアレイ振動子の１つと
を同時に励振する。これにより各アレイ振動子から超音
波が超音波反射面に照射され、それらの反射波の受信波
が加算手段により加算されて波高値が求められる。この
ようにして得られた波高値の周期変動に基づいて、アレ
イ振動子面と超音波反射面との相対的傾斜の大きさが判
断され、この判断にしたがって当該傾斜が調整される。

〔実施例〕

以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第１図ｆａ）〜（Ｃ）は本発明の実施例に係る超音波検
査装置の傾斜調整方法を説明する波形図である。

今、第８図に示すアレイ振動子群のうちの１つ、例えば
アレイ振動子Ａ、にバースト波電圧を与えて励振し、反
射面から戻った超音波の受信波（エコー波）が第１図（
ａｌに示す波形であるとする。なお、各図で、横軸には
時間、縦軸にはエコー波の振幅レベルがとっである。

ここで、各アレイ振動子の面と被検体の反射面との相対
的傾きθが０”（平行）の状態において、例えばアレイ
振動子Ｂ＋　、Ｂ６４を同時に励振し、それらの各エコ
ー波を加算すると、その波形は第１図（ｂ）に示すよう
に、第１図（ａ）に示す波形と比較して各時間での振幅
値が２倍となる。

一方、アレイ振動子Ａ　６４と反射面との間の水距離が
、アレイ振動子Ａ、と反射面との間の水距離よりλ／４
だけ長い状態で両面が相対的に傾いている場合、上記と
同じくアレイ振動子Ａ＋　、　ＡＩ、４を同時に励振し
、それらの各エコー波を加算すると、その波形は第１図
（Ｃ）に示す波形となる。即ち、両波形は互いに打ち消
す態様で干渉し、波形の中央点では正（＋）と負（−）
が完全に打ち消しあっている。ここで、第１図（ａｌ、
　（ｂ）、　（Ｃ１に示す波形のそれぞれの正のピーク
値をＶ、、Ｖｂ、ＶＣとすると、 Ｖｂ＝２ｖ、、およびＶ、＜Ｖ、　となる。ナオ、図の
波形例においては、ＶＣ＃Ｖ、／３　　となっている。

第２図は傾きの変化に対する第１図（ｂｌ、　（Ｃ）に
示すような加算波形のピーク値の変化を示すグラフであ
る。図で、横軸には（（アレイ振動子Ｅ３．の水距離）
−（アレイ振動子Ｂ１の水距離））の長さを波長λを基
準に表わした値がとってあり、又、縦軸には第１図（ａ
）に示すピーク値Ｖ、（アレイ振動子Ａ、のみ励振した
場合の正のピーク値）を１としたときの波高値の大きさ
を表わした値がとっである。なお、第２図における点す
、　　ｃは第１図（ｂ）、　（Ｃ１に示す波形の場合に
対応している。又、この波形の両端の平坦部（値ｌの部
分）は２つのエコー波に干渉がない、もしくは一部分干
渉するが、加算波形のピーク値には影響を与えない領域
であることを示している。

図から明らかなように、アレイ振動子ＢＩ、Ｂ６４のエ
コー波による干渉波は、傾きθ＝０（水距離差−０）の
場合を中心としである範囲で極大、極小値をもつ。隣接
する極大点（または極小点）間点の間隔は−である。

本実施例では、以上の現象を利用して、傾きθを補正す
るものである。以下、その方法について説明する。

最初に、第８．９図に示すアレイ振動子Ａ１とアレイ振
動子Ａ２とを同時に励振し、それらのビームＢ、、Ｂ、
を波形加算し、その加算波形のピーク値を得る。

次いで、アレイ振動子Ａ１とアレイ振動子Ａ。

とを同時に励振し、同様にして加算波形のピーク値を得
る。このように、アレイ振動子Ａ、を基準のアレイ振動
子として固定しておき、他のアレイ振動子を順次選択し
、その選択の都度、当該選択されたアレイ振動子とアレ
イ振動子Ａ、とを同時励振させて両者の加算波形のピー
ク値を得る動作を行なう。そして、最後にアレイ振動子
Ａ１．Ａ６４について同様の動作が行なわれ、結局、こ
の動作は６３回実行される。以上の動作の際、各波形の
ピーク値はモニターの座標上にプロットされていく。

第３図ｆａ）〜（Ｃ）は上記動作により得られたモニタ
上のプロット波形を示す波形図である。各図で、横軸に
はアレイ振動子Ａ２〜Ａ　ｂ　ａを走査するときの走査
番号が、縦軸には得られた最大エコー高さ（ピーク値）
がとっである。第３１Ｊｆａ＞に示す波形は極大点が、
符号Ｍｌ、Ｍｚで示されるように２つ存在する。第２図
およびその説明から判るように、極大点が２つあるのは
、各アレイ振動子ＡＩＡｈａに対応する水距離の差がλ
　（２×λ／２）以上あることを意味する。

そこで、モニタ上で第３図（ａ）に示す波形を観察しな
がら、極大点Ｍ＋　、Ｍｚ相互の間隔が拡がるように傾
きθを変更してゆく。なお、極大点間隔が拡がるのは上
記水距離の差が小さくなることを、逆に、極大点間隔が
狭くなるのは上記水距離の差が大きくなることを、それ
ぞれ意味する。このように傾きθを変更してゆくと、波
形は第３図（ｂｌに示すような波形となる。この波形で
は、極大点が符号Ｍ、で示されるように１つとなる。こ
の状態は、第２図から判るように、アレイ振動子ＡＩ　
。

Ａ６４に対応する水距離の差がλ／２以上存在すること
を意味する。この状態からさらに傾きθを変更してゆく
と、波形は第３図（Ｃ）に示す波形となる。

この波形には、極大点が観察されず、かつ、極小点も観
察されないので、第２図から、アレイ振動子Ａ＋　、Ａ
６４に対応する水距離の差はλ／４以下であることが判
る。

第３図ｉｃ＋に示す波形を生しる状態から、さらに当該
波形の傾斜が小さくなるように傾きθを微小変更してゆ
くと、より一層水距離の差を小さくして傾きθを０にす
ることが可能であるが、実用上は第３図（Ｃ１に示すよ
うに、極小点が観察されない上記のように、アレイ振動
子Ａ２〜Ａ６４の走査を行ない、アレイ振動子Ａ、　と
同時励振させて両者のエコー波の加算波形のピーク値を
プロットしてゆく動作は、第３図（ａ）〜（Ｃ１に示す
波形を得る動作、即ち傾きθの補正動作の間、繰返して
実行され、「傾き補正動作完了」を意味する外部指令の
出力ではしめて停止される。なお、上記走査は極めて高
速で実行されるので、第３図ｆａｒ〜（Ｃ）のプロント
点の描画も高速で行なわれる。

このように、本実施例では、アレイ振動子Ａ２〜Ａ６４
を走査し、その走査により選択されたアレイ振動子と、
アレイ振動子Ａ、とを同時励振させ、そのエコー波を加
算し、加算波形のピーク値をプロットし、そのプロット
波形により傾きθを判断し、これを補正するようにした
ので、従来方法のように、超音波の伝搬時間差を高精度
に読取る必要はなく、容易にかつ精度良く傾きを補正す
ることができる。

第４図は本発明の実施例に係る超音波検査装置の傾斜調
整装置のブロック図である。図で、ｌは第８図に示すも
のと同じアレイ探触子である。６は多数のフリップフロ
ップ回路（ＦＦ回路）より成るシフトレジスタ、７はシ
フトレジスタ６をシフトさせてゆく信号発生器である。

８はバルサレシーバであり、アレイ探触子ｌの各アレイ
振動子Ａ、〜Ａ６４のそれぞれに接続されそれら各アレ
イ振動子にバースト波電圧を与えて励振させるバルサ、
および各アレイ振動子Ａ　Ｉ”　Ａ　ｈａのそれぞれに
接続されそれら各アレイ振動子からのエコー波を受信す
るレシーバで構成されている。９はパルサレシーバ８の
レシーバから出力される信号を加算する加算器、１０は
加算器９で得られた出力波形のピーク値（例えば正のピ
ーク値）を検出するピーク［［，１１はマイクロコンピ
ュータより成りピーク検出器ＩＯの出力をプロットして
得られる波形を処理する波形処理部、１２は当該波形を
表示する表示装置である。

第５図は第４図に示すシフトレジスタ６のブロック図で
ある。図で、ＦＦＩ〜ＦＦ６４はＤ型のフリップフロッ
プ回路、Ｄはフリップフロップ回路ＦＦＩの端子ｐに入
力される入力信号、ＣＫは各フリップフロップ回路の端
子ＣＫに入力されるクロック信号、ＣＬ　Ｒ１はフリッ
プフロップ回路ＦＦＩの端子ＣＬＲに入力されるクリア
信号、ＣＬＲ２は各フリップフロップ回路ＦＦ２〜ＦＦ
６４の端子ＣＬＲに入力されるクリア信号を示す。

０１〜Ｑ６４は各フリップフロップ回路ＦＦＩ〜ＦＦ６
４の出力信号を示し、これら出力信号Ｑ１〜Ｑ６４が対
応する各パルサ、レシーバに動作タイミングを与える信
号となる。

ここで、前述の傾斜補正方法を実施するための本実施例
の動作を第６図（ａ）〜（ｈ）に示すタイムヂャートを
参照しながら説明する。図で、各信号に付された符号は
第５図に示す各信号に付されたものと同一であり、ＣＲ
＋　、ＣＲ２、・・・・・・・・・・・・はクリア信号
ＣＬＲ１の各時刻における信号、ＣＫ＋　、ＣＫ２・・
・・・・・・・・・・はクロック信号ＣＫの各時刻にお
ける信号を示す。

最初に、クリア信号ＣＬＲ１、ＣＬＲ２が入力され、出
力信号Ｑ１〜Ｑ６４はすべて低レベル「０−１となる。

次に、クロック信号ＣＫ、、ＣＫ２が連続して入力され
る。これにより、第６図（ｄ）、（ｅ）に示すように、
最初信号Ｑ１が、次いで信号Ｑ２が高レベル「１」にな
る。この状態で所定時間後、クリア信号ＣＲ，が入力さ
れ、フリップフロップ回路ＦＦＩの出力Ｑ１が低レベル
「０」になる。クロック信号ＣＫ　ｔの出力からクリア
信号ＣＲ，の出力までの期間が領域Ｓ１で示されている
。この領域Ｓ、は信号Ｑ１と信号Ｑ２とが同時に出力さ
れている期間、即ちアレイ振動子Ａ、とアレイ振動子Ａ
２の励振と受信とが同時に行われている期間である。ク
リア信号ＣＲｚの出力の直後、クロック信号ＣＫ、が出
力され、このクロック信号ＣＫ、により、第６図（ｅ）
、（ｆ）に示すように、フリップフロップ回路ＦＦ２の
出力Ｑ２が低レベル「０」になると同時に、フリップフ
ロップ回路ＦＦＩ、ＦＦ３の出力Ｑ１、Ｃ３が同時に高
レベル「１」になる。即ち、アレイ振動子Ａ＋　、Ａ！
の励振、受信が、アレイ振動子Ａ　＋　、Ａ　ｘの励振
、受信にシフトされたこととなる。以下、同様の動作に
より、アレイ振動子Ａと他のアレイ振動子との励振、受
信が順次シフトされてゆく。なお、この間、信号りは高
レベル「１」の状態に保持されている。

このようにして、バルサレシーバ８からは、アレイ振動
子Ａ１と他のアレイ振動子のエコー信号が順次出力され
てゆく。加算器９はこれら出力された２つの信号を加算
し、ピーク検出器１０は加算器９での加算により得られ
た波形のピーク値を検出する。

波形処理部１工はピーク検出器１０の出力に基づいて、
これを表示装置１２にプロットしてゆくとともに、シフ
トレジスタ６による一走査期間における波形、即ち第３
図（ａ）〜（Ｃ１に示すものに相当する波形を分析し、
極大点や極小点の有無、傾き角度等を判断し、この判断
に基づき被検体３を載置した台の傾きを自動的に補正す
る信号を出力する。上記分析の一例として、上記波形を
ＦＦＴ　（高速フーリエ変換）を用いて処理し、パワー
スペクトルの基本周波数を求め、この基本周波数がＤＣ
（直流）成分に近付くように傾き補正の信号を出力する
。さらに、上記ピーク周波数から傾き角度θを演算する
こともできる。

ところで、本実施例に使用されるシフトレジスタ６、信
号発生器７、パルサレシーバ８、加算器９、ピーク検出
器１０および表示装置１２はいずれも本来超音波検査装
置に備えられているものである。

したがって、本実施例では、波形処理部１１に相当する
マイクロコンピュータのプログラムを変更し、かつ、従
来の超音波検査装置に新たにクリア信号ＣＬＲｌ用の信
号線を付加するだけでよいので、傾斜調整装置を極めて
安価に構成することができる。

なお、通常の電子走査時においては、クリア信号ＣＬＲ
１、ＣＬＲ２は同一信号であり、信号りは高レベルｒｌ
Ｊになったり低レベル「０」になったりする。

第７図は本発明の他の実施例に係る超音波検査装置の傾
斜調整装置のブロック図である。図で、第４図に示す部
分と同−又は等価な部分には同一符号が付しである。本
実施例は、さきの実施例のものが各アレイ振動子Ａ　Ｉ
−Ａ　６４にそれぞれパルサおよびレシーバを接続した
構成を有していたのに対して、バルサ８１を共通とし、
かつ、アレイ振動子Ａ１にレシーバ８２を、アレイ振動
子Ａ２〜Ａ６４に共通のレシーバ８３を接続した点で相
違するが、その他の構成は同じである。

本実施例においては、アレイ振動子Ａ２〜Ａ６（はシフ
トレジスタ６により繰返し走査され、バルサ８により励
振され、レシーバ８３にそのエコー波を出力する。一方
、アレイ振動子Ａ１はシフトレジスタ６により選択され
たアレイ振動子と同時にパルサ８１により励振され、そ
のエコー波をレシーバ８２に出力する。加算器９はレシ
ーバ８２．８３の信号を加算する。以後の処理はさきの
実施例の処理と同じであり、又、本実施例の効果もさき
の実施例の効果と同じである。

なお、上記実施例の説明では、最左端のアレイ振動子Ａ
Ｉを基準のアレイ振動子とし、これに隣接するアレイ振
動子Ａ、から最右端のアレイ振動子Ａ６４までを順次走
査する例について説明したが、これに限ることはなく、
中途のアレイ振動子を基準のアレイ振動子に設定しても
よく、又、基準となるアレイ振動子以外のアレイ振動子
のうち適宜の数を設定してもよい。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明では、基準のアレイ振動子を
定め、他のアレイ振動子を走査し、基準のアレイ振動子
と走査により選択されたアレイ振動子とを同時に励振し
、両者のエコー波を加算し、その加算波形のピーク値を
プロットして得た波形に基づいてアレイ振動子面と超音
波反射面との傾きを補正するようにしたので、何等高価
な部品を付加することなく、当該傾きを高精度で容易に
補正することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂｌ、（Ｃ）および第２図は本発明の
実施例に係る超音波検査装置の傾斜調整方法を説明する
波形図、第３図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ１はそれぞれ異な
る傾きにおいて住じるピーク値の波形図、第４図は本発
明の実施例に係る超音波検査装置の傾斜調整装置のブロ
ック図、第５図は第４図に示すシフトレジスタのブロッ
ク図、第６図（ａ）〜（ｈ）は第５図に示すシフトレジ
スタの動作を説明するタイムチャート、第７図は本発明
の他の実施例に係る超音波検査装置の傾斜調整装置のブ
ロック図、第８図はアレイ探触子の構成図、第９図はア
レイ探触子と被検体の配置関係を説明する説明図である
。 １・・・・・・アレイ探触子、３・・・・・・被検体、
６・・・・・・シフトレジスタ、８・・・・・・パルサ
、９，１０・・・・・・Ｌ’／　−バ、１１・・・・・
・加算器、１２・・・・・・ピーク検出器、１３・旧・
・波形処理部、１４・・・・・・表示装置、Ａ、〜Ａ　
６４・・・・・・アレイ振動子。 第１図 第２図 力（了巨窟庄　ラＥ Ｆ衾８号 第 図 第 図 ト１ ヒ５７

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも１つの方向に配列されたアレイ振動子
   群より成るアレイ探触子を備えた超音波検査装置におい
   て、１方向配列上にある前記アレイ振動子群の各アレイ
   振動子のうち基準となるアレイ振動子を設定し、この基
   準となるアレイ振動子以外のアレイ振動子のうち所定の
   アレイ振動子を複数設定し、前記基準となるアレイ振動
   子と前記所定のアレイ振動子の１個ずつを組として、そ
   れぞれの組のアレイ振動子を同時に励振させ、超音波を
   超音波反射面に照射し、この超音波反射面から反射した
   反射波によって前記基準となるアレイ振動子と前記所定
   のアレイ振動子から得られる受信波を加算して、前記所
   定のアレイ振動子の数に対応して得られた前記加算後の
   受信波の波高値の変動周期に基づいて、アレイ振動子の
   配列方向における前記各アレイ振動子面と超音波反射面
   との傾斜を調整することを特徴とする超音波検査装置の
   傾斜調整方法。
2. （２）少なくとも１つの方向に配列されたアレイ振動子
   群より成るアレイ探触子を備えた超音波検査装置におい
   て、前記アレイ振動子群のうち予め定められた基準とな
   るアレイ振動子の受信信号を出力する基準振動子信号出
   力手段と、前記基準となるアレイ振動子以外の複数設定
   された所定の各アレイ振動子の受信信号を出力する走査
   信号出力手段と、前記基準振動子信号出力手段および前
   記走査信号出力手段で出力される受信信号を加算する加
   算手段と、この加算手段により得られた波高値の変動周
   期に基づいて前記アレイ振動子の配列方向における各ア
   レイ振動子面と超音波反射面との傾斜の大きさを判断す
   る判断手段とを設けたことを特徴とする超音波検査装置
   の傾斜調整装置。