JPH04112255U - 原板見当合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 長尺の原板に対して行う見当合わせの精度が
維持できる原板見当合わせ装置を提供する。 【構成】 原板見当合わせ装置は、複数のレジスタマー
クＭ１〜Ｍ４が形成された原板Ｘに対して見当合わせを
行うための装置である。この装置は、原板Ｘを載置可能
なテーブル１と、レジスタマークを検出する複数個のＣ
ＣＤカメラ２〜４と、ＣＣＤカメラ２〜４の信号に基づ
きテーブル１の平面に沿って原板Ｘを移動させその位置
決めを行う位置決め手段とを備えている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、見当合わせ装置、特に、複数のレジスタマークが形成された原板に 対して見当合わせを行うための原板見当合わせ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及びその課題】

例えば、多色平版印刷では、複数の色成分のそれぞれに相当する印刷版を準備 し、これらを用いた多色重ね刷りによって印刷物を得る。したがって、例えば、 イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）及び墨（Ｋ）の各インキの重ね 刷りによってカラー印刷物を得る場合には、Ｙ，Ｍ，Ｃ及びＫのそれぞれの印刷 版に焼付けを行う際に、原板に予め形成されたレジスタマーク（いわゆる「トン ボ」）を基準として原板の見当合わせ（相対的位置決め）を行わねばならない。

【０００３】 かかる見当合わせを行う際には、原板見当合わせ装置が使用される。従来の原 板見当合わせ装置としては、原板を載置可能なテーブルと、原板に形成された複 数個のレジスタマークを撮像する複数個のＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラで 撮像したレジスタマークの画像に基づき原板をＸ、Ｙ、θの３方向に移動させて 原板の位置決めを行う位置決め部とを備えたものがすでに知られている。また、 前記ＣＣＤカメラの代わりに、レジスタマーク検出用のセンサを用いたものもあ る（特開昭６３−２２３６４８号、特開昭６４−３５５５９号、特開平２−３９ ０５２号、実開平２−２１６５３号等）。

【０００４】 この原板見当合わせ装置では、まず原板がテーブルに載置される。そして、位 置決め部が、レジスタマークを基準に原板を位置決めする。位置決めの終了した 原板は、補助シートに貼付けられ、固定される。

【０００５】 次に、例えば原板をベルトにより搬送して殖版焼付けを行うベルト搬送式の殖 版機（特開平２−１０６７５９号）に使用される原板の場合には、補助シートと してのリーダフィルム（ガイドフィルム）に位置決めして固定される。このとき 、原板が一方向に長いとき（長尺状のとき）に、その位置決め精度の悪化が問題 となる。すなわち、リーダフィルムの長手方向と原板の長手方向が一致する場合 には、原板とリーダフィルムとの間の相対位置関係の精度は低下しないが、原板 フィルムの長手方向がリーダフィルムの長手方向に直交する場合には、上述の位 置決め部による位置決め精度が悪化する。これは、リーダフィルムの長手方向と 平行な方向において原板に形成された１対のレジスタマークを用いて位置決めを する際に、その１対のレジスタマーク間の距離が短いため、原板の傾きを精度良 く修正できないからである。

【０００６】 本考案の目的は、長尺の原板に対して行う見当合わせの精度が維持できる原板 見当合わせ装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る原板見当合わせ装置は、複数のレジスタマークが形成された原板 に対して見当合わせを行うための装置である。この装置は、原板を載置可能なテ ーブルと、前記レジスタマークを検出する複数個の検出手段と、前記検出手段の 信号に基づき前記テーブルの平面に沿い原板を移動させてその位置決めを行う位 置決め手段と、原板をテーブル平面で９０度回転させる回転手段とを備えている 。

【０００８】

【作用】

本考案に係る原板見当合わせ装置において長尺の原板に対する見当合わせを行 う場合には、少なくとも原板の長手方向両端部の２個のレジスタマークが検出手 段で検出し得る方向で、原板をテーブルに載置する。次に、テーブルに載置され た原板に対し、位置決め手段が位置決めを行う。ここでは、少なくとも原板の長 手方向の２個のレジスタマークを使用して位置決めを行うため、その方向に関す るレジスタマーク間の距離が長く、精度良く位置決めが行える。したがって、こ の場合には位置決め精度が維持できる。

【０００９】 位置決め手段により原板の位置決めが終わった時の姿勢が、原板に要求される 姿勢である場合には、そこで位置決め動作が終了する。一方、位置決め動作が終 了した時の原板の姿勢が要求される原板の姿勢に対し９０度異なっている場合に は、回転手段が原板をテーブル平面で９０度回転させる。これにより、原板は要 求されている姿勢となる。ここでは、回転手段が原板をテーブル平面で９０度回 転させるだけであるので、上述の位置決め手段による位置決め精度は維持される 。

【００１０】

【実施例】

図１は本考案の一実施例としての原板見当合わせ装置の斜視図、図２はその斜 視部分図である。 図において、この見当合わせ装置は、主としてテーブル１と、テーブル１内を 移動可能な３個のＣＣＤカメラ２，３，４と、原板移動用の位置決めアーム５と 原板回転用のターレット６とを備えている。さらに、位置決めアーム５の上方に は、ＣＣＤカメラ２，３，４にそれぞれ対応する３個のＣＲＴ７，８，９を備え たモニタ部１０が配置されている。テーブル１上には、さらに、ＣＣＤカメラ２ ，３，４をマニュアルで移動させるための１対のつまみ１１，１２と、キーパネ ル１３とが設けられている。キーパネル１３には、通常動作の開始／停止を指令 するためのスタート／ストップ指令ボタン１４と、長尺の原板の吸着をアーム５ からターレット６に切り替える動作及びターレット６を回転させる動作を指令す るための吸着切替／回転指令ボタン１５が設けられている。さらに、テーブル１ の上面には、後述するピンバー（図４）が嵌め込まれて固定される１対のガイド 溝１６，１７が形成されている。

【００１１】 ３個のＣＣＤカメラ２，３，４のうち、第１ＣＣＤカメラ２は、ターレット６ から位置決めアーム５の基部側に延びるスリット１８に沿って移動し得る。一方 、第２ＣＣＤカメラ３と第３ＣＣＤカメラ４とは、ターレット６を挟んで左右方 向に延びる１対のスリット１９，２０に沿って移動し得る。両スリット１９，２ ０はターレット６を挟んで同一直線上に配置されており、またスリット１８は両 スリット１９，２０に対し直交している。

【００１２】 ＣＣＤカメラ２，３，４とつまみ１１，１２とは、テーブル１内に組み込まれ た図３に示す機構によって連結されている。図３において、つまみ１１は、テー ブル１の左右方向に沿って延びる環状のワイヤ２１を介して１対のＣＣＤカメラ ３，４に連結されている。これによって、つまみ１１を回せば、両ＣＣＤカメラ ３，４はターレット６（図２）を中心に同一距離だけ近づいたり離れたりする。 一方、つまみ１２とＣＣＤカメラ２とはワイヤ２２を介して連結されており、つ まみ１２を回すことによってＣＣＤカメラ２は両ＣＣＤカメラ３，４の移動方向 と直交する方向に移動する。

【００１３】 位置決めアーム５は、アーム基部を中心に上下に回動可能であり、図１の上方 姿勢と、テーブル１上の下方姿勢とをとり得る。また、位置決めアーム５の基部 には後述するアクチュエータ（図８）が取り付けられており、そのアクチュエー タによって位置決めアーム５はテーブル１上を移動及び回動し得る。さらに、位 置決めアーム５には吸引機構（図示せず）が取り付けられており、後述する真空 ポンプ（図８）によってその吸引機構がテーブル１上に配置された原板を吸着し 得る。

【００１４】 ターレット６は、図５に示すように、概ね円盤状の部材であり、各スリット１ ８，１９，２０の延長部分に、ＣＣＤカメラ２，３，４が入り込み得る凹部３０ を有している。また、ターレット６の表面には、上方に開く吸気溝３１が形成さ れている。さらに、ターレット６の外周部には、ターレット６の中心を中心とし た場合に約９０度をなす切欠き３２が形成されている。切欠き３２には、テーブ ル１側に固定された位置決めピン３３が係合している。なお、切欠き３２の形状 及び位置決めピン３３の形状は、後述するようにターレット６が正確に９０度の み回動し得るように設定されている。

【００１５】 図６に示すように、ターレット６の下方において、テーブル１にはターレット 駆動機構３４が設けられている。ターレット駆動機構３４のハウジング３５内に は、ターレット６と同心の回転軸３６が回転自在に支持されている。回転軸３６ の下端には、エア使用の回転機構であるロータリーアクチュエータ３７の出力軸 ３８が固定されている。回転軸３６の上端は、ターレット６の下面に固定されて いる。回転軸３６内には、ターレット６の吸気溝３１に連通する気路３９が形成 されている。気路３９の下端部は、ハウジング３５の上下方向中間部に形成され た雌ねじ部３５ａに常に連通している。雌ねじ部３５ａには、図示しないバキュ ーム機構が連結されている。

【００１６】 テーブル１のガイド溝１６，１７（図１）に嵌め込まれて使用されるピンバー ４０を図４に示す。ピンバー４０は、バー本体４１と、バー本体４１の両端に設 けられた固定金具４２と、バー本体４１の中央部に形成された１対の位置決めピ ン４３とを有している。固定金具４２によって、ピンバー４０はガイド溝１６， １７に固定され得る。

【００１７】 図７及び図８は、原板見当合わせ装置の電気的構成を示すブロック図である。 画像処理系５０を示す図７において、ＣＣＤカメラ２，３，４からの画像信号 は、Ａ／Ｄコンバータ５１によってデジタル画像信号へと変換される。一方、標 線メモリ５２には、位置基準マークとしての十字型標線の画像データがストアさ れている。Ａ／Ｄコンバータ５１からのデジタル画像信号は、スーパーインポー ズ回路５３において標線メモリ５２からの標線画像と重ね合わされ、ＣＲＴ７， ８，９にそれぞれ表示される。

【００１８】 一方、Ａ／Ｄ変換された撮像出力は二値化回路５４によって二値化され、画像 処理ＣＰＵ５５に与えられる。この画像処理用ＣＰＵ５５には、動作プログラム 等をストアしてあるＲＯＭ５６と、種々のデータの記憶に用いられるＲＡＭ５７ とが接続されている。ＣＰＵ５５は、二値化回路５４から受け取った画像に対し 所定の処理を行うことにより、ＣＣＤカメラ２，３，４で撮像されたレジスタマ ーク（トンボ）の位置認識等を行う。標線メモリ５２は、このＣＰＵ５５の制御 下に置かれている。

【００１９】 レジスタマークの位置に関するデータは、ＣＰＵ５５から図８の制御用ＣＰＵ ６１に転送される。機構制御系６０を示す図８において、制御用ＣＰＵ６１は、 ＲＯＭ６２及びＲＡＭ６３に接続されており、これらからのプログラムやデータ に基づいて動作する。制御用ＣＰＵ６１は、入力インターフェース６４を介して キーパネル１３に接続されている。

【００２０】 さらに、制御用ＣＰＵ６１は、パルス発生回路６５を制御し、パルス発生回路 ６５に所定のパルスを発生させる。パルス発生回路６５の出力パルスは、３個の ドライバー６６，６７，６８に与えられる。各ドライバー６６，６７，６８は、 位置決めアーム５（図１）用のアクチュエータ６９，７０，７１を構成するパル スモータを駆動する。なお、アクチュエータ６９，７０，７１は、位置決めアー ム５（図１）の基部に取り付けられており、位置決めアーム５をテーブル１上で 移動及び回動させるものである。

【００２１】 さらに、制御用ＣＰＵ６１は、出力インターフェース７２を介して、ＣＣＤカ メラ２，３，４（図２）用の照明ランプＬＮＰのＯＮ／ＯＦＦ制御や、真空ポン プＶＰの動作制御を行う。真空ポンプＶＰは、図示しない弁機構を介して、ター レット６及び位置決めアーム５に接続されており、ターレット６及び位置決めア ーム５に対して吸引動作を行わせ得る。また、出力インターフェース７２には、 ターレット駆動機構制御系７３（ドライバー）を介してターレット駆動機構３４ のロータリーアクチュエータ３７（図６）が接続されている。

【００２２】 次に、図９及び図１０に示す制御フローチャートと、操作手順を示す図１１〜 図２２とを参照して、上述の原板見当合わせ装置の動作及び操作手順を説明する 。なお、図９及び図１０は制御用ＣＰＵ６１（図８）の制御を示している。

【００２３】 図９においてプログラムがスタートすると、ステップＳ１においてターレット ６を初期位置に配置する等の初期設定がなされる。初期設定が済めば、ステップ Ｓ２において動作開始指令を待つ。

【００２４】 操作者は、図１１に示すように位置決めアーム５を上方に配置し、図１２に示 すように第１色目の原板Ｘをテーブル１上に載置する。ここでは、原板Ｘの中心 がターレット６の中心にほぼ一致するように配置する。また、原板Ｘが長尺の場 合には、その長手方向がスリット１９，２０の延在方向とほぼ平行となるように 配置する。原板Ｘをセットすれば、図１３に示すように、操作者は位置決めアー ム５をテーブル１上に下ろす。これにより、原板Ｘはテーブル１と位置決めアー ム５とによって挟まれた状態になる。

【００２５】 原板Ｘのセットが終われば、操作者はキーパネル１３のスタート／ストップ指 令ボタン１４を押すことにより、動作開始指令を行う。スタート／ストップ指令 ボタン１４が押されれば、プログラムはステップＳ２からステップＳ３に移行す る。

【００２６】 ステップＳ３では、原板Ｘに形成されたレジスタマークＭ１〜Ｍ４（図２２） のうち、レジスタマークＭ１，Ｍ２，Ｍ３がそれぞれ対応するＣＣＤカメラ２， ３，４によって映し出されているか否かを判断する。この場合の判断は、画像処 理用ＣＰＵ５５（図７）から転送されてきたデータに基づいて判断される。各Ｃ ＣＤカメラ２，３，４においてレジスタマークＭ１〜Ｍ３が映し出されていない 場合には、ステップＳ１０に移行して、ＣＲＴ７，８，９上にエラー発生の表示 を行う等のエラー処理を行った後、ステップＳ２に戻る。これにより、指定され たＣＲＴ７，８，９にはその表示がなされるので、操作者はレジスタマークＭ１ 〜Ｍ３とＣＣＤカメラ２，３，４との位置関係のうち不備のある箇所について調 整を行う。この調整は、つまみ１１及びつまみ１２を回転させること、及び手で 原板Ｘをずらせることにより行われる。

【００２７】 ステップＳ３においてレジスタマークＭ１〜Ｍ３がＣＣＤカメラ２，３，４の 視野内に入ったと判断された場合には、ステップＳ７に移行する。ステップＳ７ では、位置決めアーム５に対し吸引動作を行わせる。これにより、原板Ｘは位置 決めアーム５に吸着された状態となる。次に、ステップＳ８において、図１４に 示すような見当合わせ動作を行う。この見当合わせ動作は、ＣＣＤカメラ２，３ ，４からの画像情報に基づいて、原板ＸのレジスタマークＭ１〜Ｍ３と基準の標 線とが一致するように原板Ｘが移動させられる。この原板Ｘの移動は、原板Ｘを 保持する位置決めアーム５がテーブル１上を水平移動及び回動することによって 実現される。この位置決めアーム５の移動及び回動は、アクチュエータ６９〜７ １（図８）によって実現され、その移動量及び回動量は、ＣＣＤセンサ２，３， ４からの撮像情報に基づいて決定される。

【００２８】 見当合わせ動作が完了すれば、プログラムはステップＳ８からステップＳ９に 移行する。ステップＳ９では、見当合わせ動作が正常に終了したか否かを判断す る。原板Ｘの初期の姿勢が、アクチュエータ６９〜７１による位置決めアーム５ の姿勢制御可能範囲を逸脱していた場合等には、見当合わせができないので、プ ログラムはステップＳ１０に移行して、ＣＲＴ７，８，９にエラー発生の表示等 のエラー処理を行った後、ステップＳ２に戻る。

【００２９】 ステップＳ８における見当合わせが正常に終了した場合には、プログラムはス テップＳ９からステップＳ１１に移行し、ＣＲＴ８上に「ＧＯＯＤ」を表示する 。なお、撮像情報に基づいて、正確に見当合わせが実行された場合でも、理想的 な正しい位置とレジスタマークＭ１〜Ｍ３の現実の位置との間にはわずかな誤差 が存在する。各レジスタマークＭ１〜Ｍ３に関する精度は基本的に同一であるの で、ここでは、仮に図２２のＡだけ誤差が生じたものとする。

【００３０】 ステップＳ１１での処理が終われば図１０のステップＳ１２に移行する。ステ ップＳ１２では、吸着切替／回転指令ボタン１５が押されたか否かを判断する。 ステップＳ１２での判断がＮｏの場合にはステップＳ１４に移行する。ステップ Ｓ１４では、操作者によりスタート／ストップ指令ボタン１４が押されたか否か を判断する。すなわち、ステップＳ１２及びＳ１４では、両ボタン１４，１５の いずれかが押されるのを待つ。

【００３１】 操作者は、スタート／ストップ指令ボタン１４を押す前に、ピンバー４０を用 いてリーダフィルム（後述）の位置決めを行うとともに、そのリーダフィルムに 原板Ｘを固定する。リーダフィルムへの原板Ｘの固定が完了すれば、操作者はス タート／ストップ指令ボタン１４を押す。これにより、プログラムはステップＳ １４からステップＳ１５に移行し、位置決めアーム５による原板Ｘに対する吸着 動作を停止する。その後、操作者は位置決めアーム５を上側の姿勢に持ち上げる 。所定時間経過後、ステップＳ１６において、位置決めアーム５の原点復帰動作 が実行される。ステップＳ１６での処理が終われば、プログラムは図９のステッ プＳ２に戻る。

【００３２】 一方、吸着切替／回転指令ボタン１５が押された場合には、ステップＳ１２か らステップＳ１３に移行する。ステップＳ１３では、ターレット６に対し吸着動 作を開始させる。ここでは、図６の気路３９を介して吸気溝３１内が減圧され、 それによってターレット６に原板Ｘが吸着される。続いて、ステップＳ１７にお いて、位置決めアーム５の吸着動作を停止する。ステップＳ１８では、吸着切替 ／回転指令ボタン１５の吸着切替部のランプ（図示せず）を点灯させる。それを 見た操作者は、アームを図１５のように上方に配置する。

【００３３】 ステップＳ１９では、吸着切替／回転指令ボタン１５が再び押されるのを待つ 。位置決めアーム５を上げ終わった操作者が吸着切替／回転指令ボタン１５を再 び押すと、プログラムはステップＳ２０に移行する。ステップＳ２０では、ター レット６が９０度回動する。ここでは、図６のロータリーアクチュエータ３７に よって出力軸３１が回転駆動される。それに伴い、ターレット６が切欠き３２の 範囲だけ回動する。このとき、位置決めピン３３によるターレット６の回動許容 範囲は正確に９０度である。このターレット６の９０度の回動によって、図１６ の矢印Ｒ方向に原板Ｘが回動し、図２２の二点鎖線で示す姿勢となる。

【００３４】 この場合には、図２２の実線の姿勢で各レジスタマークＭ１〜Ｍ３を基準に見 当合わせがなされているので、レジスタマークＭ１〜Ｍ４に関する誤差はほぼＡ 程度である。これに比べて、見当合わせ動作（ステップＳ８）以前の原板Ｘのセ ット際に、図２３に示す姿勢とした場合には次のようになる。ここでは、第２Ｃ ＣＤカメラ３と第２ＣＣＤカメラ４とに関する位置決めが、距離が短い方の１対 のレジスタマークＭ１及びレジスタマークＭ４とを用いて行われるので、各レジ スタマークＭ１，Ｍ２，Ｍ４において生じる誤差がＡであっても、ＣＣＤカメラ を用いて調整されない側のレジスタマークＭ３に関して生じる誤差Ｂは誤差Ａよ りも相当に大きなものとなり得る。したがって、図２３に示すような姿勢で当初 から原板Ｘをセットした場合には、見当合わせ動作（ステップＳ８）において見 当合わせが正常に行われた場合でも、生じる誤差は大きくなる。これに比べて、 図２３に示した工程で見当合わせを行い、９０度の回動を行えば、生じる誤差は 小さくなる。

【００３５】 ステップＳ２０におけるターレット６の回動動作が完了すれば、ステップＳ２ １において、スタート／ストップ指令ボタン１４が再び押されるのを待つ。操作 者は、図１７に示すように、ピンバー４０をガイド溝１６，１７にセットする。 そして、図１８に示すように、正確な標線が描かれたレジスタゲージフィルムＹ をピンバー４０にセットする。この場合には、レジスタゲージフィルムＹに形成 された位置決め用孔にピンバー４０の位置決めピン４３（図４）を嵌め込むこと によってレジスタゲージフィルムＹのセットが行われる。

【００３６】 次に、レジスタゲージフィルムＹの標線を原板Ｘのレジスタマークに合わせ、 その状態で固定金具４２を用いてピンバー４０をテーブル１に固定する。そして 、図１９に示すようにレジスタゲージフィルムＹをピンバー４０から取り除き、 図２０に示すようにそれに代えてリーダフィルムＺをピンバー４０にセットする 。続いて、図２１に示すように、原板ＸとリーダフィルムＺとをテープで固定す る。リーダフィルムＺと原板Ｘとの固定が完了すれば、操作者はスタート／スト ップ指令ボタン１４を押す。

【００３７】 これによって、プログラムはステップＳ２１からステップＳ２２に移行し、タ ーレット６の吸着を停止する。操作者は、テーブル１上からリーダフィルムＺと ともに原板Ｘを取り出す。ステップＳ２２から所定時間経過後、ステップＳ２３ において位置決めアーム５及びターレット６の原点復帰動作が行われる。ステッ プＳ２３での処理が終われば、プログラムは図９のステップＳ２に戻る。これに より、第１色目の原板Ｘに関する処理及び操作が終了したことになる。

【００３８】 第２〜第４色目の原板Ｘについて操作を行う場合には、ピンバー４０をテーブ ル１に固定したままとする。また、ＣＣＤカメラ２，３，４も移動させない。そ の状態で上述の動作を繰り返す。但し、ここでは、ＣＣＤカメラ２，３，４の調 整と、レジスタゲージフィルムＹを用いたピンバー４０の固定位置の調整とは行 う必要がない。

【００３９】 〔他の実施例〕 （ａ） 上述の実施例では、ターレット６をロータリーアクチュエータ３７で回 動させる構成となっていた。しかし、本考案はそれに限定されることはなく、ロ ータリーアクチュエータ３７に代えてパルスモータを使用しても良い。この場合 には、パルスモータによりターレット６の回転角度を管理できるので、切欠き３ ２及び位置決めピン３３を省略できる。

【００４０】 （ｂ） 上述の実施例ではレジスタマークの検出手段として３個のＣＣＤカメラ ２，３，４を使用したが、２個のＣＣＤカメラを用いて本考案を実施しても良い 。この場合には、一方のＣＣＤカメラに対応するレジスタマークで奥行き方向及 び左右方向の位置合わせを行うとともに、他方のＣＣＤカメラに対応するレジス タマークで奥行き方向の位置合わせを行う構成とする。また、ＣＣＤカメラに代 えて、フォトセンサー等を使用してもよい。

【００４１】

【考案の効果】

本考案に係る原板見当合わせ装置は、原板をテーブル平面で９０度回転させる 回転手段を備えている。このため、本考案によれば、長尺の原板に対して行う見 当合わせの精度が維持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例としての原板見当合わせ装置
の斜視図。

【図２】その別の方向から見た斜視部分図。

【図３】ＣＣＤカメラ駆動部の斜視図。

【図４】ピンバーの斜視図。

【図５】ターレット部分の平面図。

【図６】図５のＶ−Ｖ断面部分図。

【図７】画像処理系の電気的構成のブロック図。

【図８】機構制御系の電気的構成のブロック図。

【図９】制御用ＣＰＵの制御フローチャート。

【図10】制御用ＣＰＵの制御フローチャート。

【図11】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図12】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図13】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図14】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図15】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図16】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図17】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図18】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図19】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図20】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図21】その１動作状態を示す斜視部分図。

【図22】原板の配置状態を示す平面図。

【図23】比較のための図２２に相当する図。

【符号の説明】

１ テーブル ２ 第１ＣＣＤカメラ ３ 第２ＣＣＤカメラ ４ 第３ＣＣＤカメラ ５ 位置決めアーム ６ ターレット ３４ ターレット駆動機構 ６１ 制御用ＣＰＵ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】複数のレジスタマークが形成された原板に
   対して見当合わせを行うための原板見当合わせ装置であ
   って、前記原板を載置可能なテーブルと、前記レジスタ
   マークを検出する複数個の検出手段と、前記検出手段の
   信号に基づき、前記テーブルの平面に沿い原板を移動さ
   せてその位置決めを行う位置決め手段と、前記原板をテ
   ーブル平面で９０度回転させる回転手段と、を備えた原
   板見当合わせ装置。