JPH04111733A - 支持台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は荷重中心が水平方向に移動可能な可動部を有す
る装置を支持するために用いられる支持台に関し、超精
密三次元測定装置や超精密加工装置などを支持する支持
台として利用されるものである。

従来の技術 レーザを用いた超精密三次元測定装置は光学レンズなど
の表面形状をナノメータのレベルで測定するものである
が、このような測定装置が載置される従来の支持台とし
て、第３図に示すものがある。この従来例は、剛性の高
い定盤ａを用い、且つこの定盤ａをその両側部において
複数の支持脚体すにより直接支持する構成のものが知ら
れている。そして定盤ａの中央部には、レーザ計測ヘッ
ドＣを備えこれをＸ−Ｙ移動させるＸ−Ｙテーブルｄが
載置され、定盤すの縁部には基準ミラーｅを保持する保
持枠ｆが載置される。

前記支持脚体すの配設ピッチＰは定盤ａの幅寸法いっば
いにとって、広幅としており、これによってＸ＝Ｙテー
ブルｄの移動中心Ｇの移動時に生じる横揺れを抑えるよ
うにしている。

発明が解決しようとする課題 しかし上記従来例では、定盤ａに対する支持幅Ｑが、支
持脚体すの配設ピッチＰが広幅となることに伴い、同様
に広幅となるため、第３図に仮想線で示すように、Ｘ−
Ｙテーブルｄの移動中心Ｇが移動すると定盤ａの歪み形
状が変化し易く、レーザ計測へッｌ”　ｃと基準ミラー
ｅとの間の相対位置関係か影響を受けて測定装置本来の
正しい計測精度が得られないという問題がある。

これに対しては定盤ａの厚さ寸法を大きくして定盤ａの
歪みを小さくすることが考えられるが、そうすると前記
装置を含む機器全体の重心位置が高くなると共に重量が
増すので、横揺れが大きくなり易いという問題が生しる
。

又この横揺れに対しては、第４図に示すように、υ形状
のブラケットｇを介して定盤ａを低位置で支持すれば、
定盤ａの厚さ寸法が犬であっても機器全体の重心位置は
高くならないが、支持脚体すを定盤ａの側方に配置する
ことになるので、支持脚体すの配設ピッチＰが定盤ａの
幅寸法よりも大きくなり、支持台が横方向二こ大型化す
るという問題が生しる。

本発明は上記問題点に鑑み、所定装置の可動部の作動に
起因する定盤の歪み形状の変化が生しにくく、且つ横揺
れに強い比較的コンパクトな支持台を提供することを目
的とする。

課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するため、可動部を有する装置
が載置される定盤と、この定盤の両側部を支承する支持
脚体とをＭえた支持台において、前記定盤をその横断面
形状が中央部が厚肉で、両端部が薄肉になるように形成
し、吋記支持脚体を定盤の両端部の夫々の下方に配し、
これら支持脚体と定盤との間に支持脚体の頂部から下方
かつ内側カムこ屈曲延出する支持ブラケットを配し、こ
の支持ブラケットを介して前記定盤をその中央部の底面
及び側面において前記支持脚体に支持させたことを特徴
とする。

作用 上記構成によれば、定盤をその横断面形状が中央部が厚
肉で、両端部が薄肉となるように形成し、その中央部の
底面及び側面を支持ブラケットを介して支持、＠体で支
持するように構成したので、定盤に載置される装置の可
動部を厚肉中央部に載置すると、前記可動部の可動範囲
における定盤の歪みを小さくすることができる。

又定盤は支持脚体の頂部から下方かつ内側方に屈曲延出
する支持ブラケットを介して、その中央部底面及び側面
が支持される構成としたので装置全体の重心位置が低く
なり、従来例の問題点であった横揺れが生じ易くなると
いう事態を回避することができる。更に前記支持脚体を
定盤の両端部下方に配設したことにより、支持台の大型
化を抑えることができる。

実施例 本発明の実施例を、第１図及び第２図に基き説明する。

本実施例の定盤１は横断面形状が中央部２が厚肉で、両
端部３．３が薄肉となる略Ｔ字状をなし、前記端部３の
厚さ寸法Ｔ、を前記中央部２の厚さ寸法Ｔ２よりも小さ
くすることにより、従来のものに比べて軽量化を図って
いる。定盤１の４隅部下方に、この定盤１を支持するた
めの支持脚体４を夫々配設することにより、支持脚体４
．４間の配設ピ・７チＰを定盤１の幅寸法いっばいにと
っている。これら支持脚体４は横フレーム４ａによって
互いに連結されていると共に夫々の内部に防振装置を備
えている。

各支持脚体４と定盤１との間に、定盤１をその中央部２
の底面及び側面において、前記支持脚体４に支持させる
ための支持ブラケット５を夫々設けている。この支持ブ
ラケット５は、支持脚体４の頂部から下方かつ内側方に
屈曲延出するものであり、具体的には、支持脚体４の頂
部に取付けられる水平上板部６と、前記中央部２の底面
に取付けられる水平下板部７と、これら水平上板部６と
水平下板部７とを接続し且つ前記中央部２の側面に取付
けられる鉛直板部８とからなり、水平上板部６と水平下
板部７とは互いに逆向きに鉛直板部８から延設されてい
る。鉛直板部８の上下寸法は中央部２の厚さ寸法Ｔ２か
ら端部３の厚さ寸法Ｔ１を滅した値よりも小であり、水
平下板部７が定盤ｌの中央部２の底面に取付けられた状
態で、水平上板部６は前記端部３の下面との間に隙間を
形成する。これにより、定盤１に対する支持幅Ｑを前記
中央部２の幅寸法にまで小さくすることができる。

本実施例では定盤１の上に、レーザを用いた超精密三次
元測定装置を載置している。この装置は、Ｘ−Ｙテーブ
ル１０によってレーザ計測ヘッド１１をＸ−Ｙ方向に移
動させながら光学レンズなどの被測定物１２のＺ方向の
形状を測定し、測定データをＸＹ座標に基いてナノメー
タオーダの精度で評価するものである。Ｘ−Ｙチーフル
１０及びレーザ計測ヘンド１１は、本装置の可動部を構
成する。この可動部は定盤１の中央部２に載置され、定
盤１の両端部３には定盤ｌに与える歪みの影響が小さい
基準ミラー１３を保持する保持枠１４など固定物や軽量
の移動物が載置されている。なお前記中央部２の幅寸法
はＸ−ＹテーブルｌＯＯ幅寸法に一致する程度まで小さ
くすることができる。

以上の構成によれは、Ｘ−Ｙチーフル■０はその作動に
応してその移動中心Ｇを中央部２の領域内で移動させる
が、中央部２を墜肉に形成し、かつ定盤１に対する支持
幅Ｑを定盤１の幅寸法よりも小さい中央部２の幅寸法と
したことにより、前記変化に起因する定盤１の歪み形状
の変化を小さく抑えることができるので、被測定物１２
、レーザ計測ヘッド１１基準ミラー１３の相互の相対位
置を正確に保持することができる。

又上記形状に定盤ｌを形成し、上記形状の支持ブラケッ
ト５を介して定盤ｌを支持脚体４に支持させたので、定
盤ｌを低く設置して機器全体の重心を低くすることがで
き、横揺れに対する安定性を増すことができる。

なお上記実施例では、支持フラケントを各支持脚体ごと
に個別に設けているが、左右の支持脚体間に横架される
υ形状のものを用いてもよい。

発明の効果 本発明は上記構成、作用を有するので、定盤上に載置さ
れる装置の可動部の作動に対しての定盤の歪みを小さく
することができると共に、比較的コンパクトで横揺れの
少ない支持台を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の斜視図、第２図はその正面図
、第３図は従来例の正面図、第４図は改良例の正面図で
ある。 第３図 ４−−−−−−・・・ １Ｏ１１１ 定盤 中央部 端部 支持脚体 支持ブラケント 可動部 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）可動部を有する装置が載置される定盤と、この定
   盤の両側部を支承する支持脚体とを備えた支持台におい
   て、前記定盤をその横断面形状が中央部が厚肉で、両端
   部が薄肉になるように形成し、前記支持脚体を定盤の両
   端部の夫々の下方に配し、これら支持脚体と定盤との間
   に支持脚体の頂部から下方かつ内側方に屈曲延出する支
   持ブラケットを配し、この支持ブラケットを介して前記
   定盤をその中央部の底面及び側面において前記支持脚体
   に支持させたことを特徴とする支持台。